JP3219441B2 - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非接触で物体を搬送す
る磁気浮上搬送装置に係わり、特に磁気搬送浮上体の搬
送方向位置の検出機能を持つ磁気浮上搬送装置に関す
る。
る磁気浮上搬送装置に係わり、特に磁気搬送浮上体の搬
送方向位置の検出機能を持つ磁気浮上搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、発塵や潤滑油の飛散を嫌う、
例えば半導体製造プロセスライン等における物体（半導
体ウエハ等）の搬送や移動機構の軸受には、直流電磁石
を用いたいわゆる磁気軸受が用いられている。この種の
軸受は、磁石間あるいは磁石と磁性材料との間に作用す
る磁気的吸引力又は反発力を利用して、搬送物体あるい
は支持物体を空隙を介して非接触で浮揚させるようにし
たもので、種々の方式が実用化されている。
例えば半導体製造プロセスライン等における物体（半導
体ウエハ等）の搬送や移動機構の軸受には、直流電磁石
を用いたいわゆる磁気軸受が用いられている。この種の
軸受は、磁石間あるいは磁石と磁性材料との間に作用す
る磁気的吸引力又は反発力を利用して、搬送物体あるい
は支持物体を空隙を介して非接触で浮揚させるようにし
たもので、種々の方式が実用化されている。
【０００３】しかし、そのうちの電磁石を用いた磁気的
吸引力を利用した磁気軸受は、必要電力が少ないという
メリットはあるものの、本来、不安定な吸引力を電気的
な制御により安定化しなければならないため、その制御
装置が必要となり、更にその制御装置にギャップセンサ
などの付帯部品を多く必要とする欠点を有していた。
吸引力を利用した磁気軸受は、必要電力が少ないという
メリットはあるものの、本来、不安定な吸引力を電気的
な制御により安定化しなければならないため、その制御
装置が必要となり、更にその制御装置にギャップセンサ
などの付帯部品を多く必要とする欠点を有していた。
【０００４】特に、この電磁石を用いた磁気的吸引力を
利用した磁気軸受で長い距離を搬送させる場合には、こ
れらの制御装置を搬送ラインに全体にわたって設ける必
要があった。
利用した磁気軸受で長い距離を搬送させる場合には、こ
れらの制御装置を搬送ラインに全体にわたって設ける必
要があった。
【０００５】これを回避するのに、浮揚搬送される物体
側に必要な制御回路やセンサを搭載する手段が考えられ
るが、その場合、物体側にバッテリ等の電力源を設ける
必要があるために、長時間の浮揚には、充電や給電を行
うシステムが新たに必要になるなど、設備上大きな問題
をかかえることになる。
側に必要な制御回路やセンサを搭載する手段が考えられ
るが、その場合、物体側にバッテリ等の電力源を設ける
必要があるために、長時間の浮揚には、充電や給電を行
うシステムが新たに必要になるなど、設備上大きな問題
をかかえることになる。
【０００６】一方、磁気反発力を利用する磁気軸受で
は、上述のような制御装置を原則的に必要としないた
め、長距離の搬送機構としては大きな利点を有してい
る。しかしながら、永久磁石だけを組合せて反発浮上機
構を構成することは現実には不可能とされており、少な
くとも１軸以上の自由度を上述のような制御装置により
安定化させる必要があるといわれている。
は、上述のような制御装置を原則的に必要としないた
め、長距離の搬送機構としては大きな利点を有してい
る。しかしながら、永久磁石だけを組合せて反発浮上機
構を構成することは現実には不可能とされており、少な
くとも１軸以上の自由度を上述のような制御装置により
安定化させる必要があるといわれている。
【０００７】これに対し交流電磁石を用いた誘導反発方
式（交流反発方式）は、導電材料からなる浮上体（磁気
搬送浮上体）の形状を工夫することにより、安定に浮上
支持させることが原理的に確認されている。
式（交流反発方式）は、導電材料からなる浮上体（磁気
搬送浮上体）の形状を工夫することにより、安定に浮上
支持させることが原理的に確認されている。
【０００８】図２に、この交流電磁石を用いた誘導反発
方式の搬送装置の基本構成を示す。図中、１は搬送方向
に平行に施設された２列の電磁石からなる交流電磁石列
であり、２はこの交流電磁石列１上を搬送される浮上体
である。浮上体２には、例えばアルミニウムなどの軽く
て導電性の大きい材料が適しており、移送の対象とする
搬送物体は通常この浮上体２上に搭載される。
方式の搬送装置の基本構成を示す。図中、１は搬送方向
に平行に施設された２列の電磁石からなる交流電磁石列
であり、２はこの交流電磁石列１上を搬送される浮上体
である。浮上体２には、例えばアルミニウムなどの軽く
て導電性の大きい材料が適しており、移送の対象とする
搬送物体は通常この浮上体２上に搭載される。
【０００９】図２の構成では、交流電磁石列１（を構成
する交流電磁石）に交流電流を通電するとその上部に交
番磁界が発生し、その磁界中に浮上体２があるため、浮
上体２のアルミニウム材料中に過電流と呼ばれる交番電
流が流れる。
する交流電磁石）に交流電流を通電するとその上部に交
番磁界が発生し、その磁界中に浮上体２があるため、浮
上体２のアルミニウム材料中に過電流と呼ばれる交番電
流が流れる。
【００１０】この電流により生じる磁界は交流電磁石列
１（を構成する交流電磁石）によって生じる磁界と反発
する方向に形成され、この反発力により浮上体２は交流
電磁石列１上に浮揚する。また、交流電磁石列１（を構
成する交流電磁石）を浮上体２の走行方向にリニア誘導
モータ結線とすることにより浮上体走行も可能となる。
１（を構成する交流電磁石）によって生じる磁界と反発
する方向に形成され、この反発力により浮上体２は交流
電磁石列１上に浮揚する。また、交流電磁石列１（を構
成する交流電磁石）を浮上体２の走行方向にリニア誘導
モータ結線とすることにより浮上体走行も可能となる。
【００１１】以上が誘導反発方式を用いた搬送原理の概
要である。しかしながら、交流電磁石を搬送ライン全体
について常時励磁しておくことは効率が良くない。そこ
で、図３に示すように、交流電磁石からなる搬送ライン
（交流電磁石列１の軌道）を浮上体走行方向に沿ってい
くつかのブロック（電磁石ブロック）、例えばブロック
１−１〜１−４に分割し、励磁する電磁石ブロックを浮
上体２の走行に合わせて順次切換える方式が開発されて
いる。
要である。しかしながら、交流電磁石を搬送ライン全体
について常時励磁しておくことは効率が良くない。そこ
で、図３に示すように、交流電磁石からなる搬送ライン
（交流電磁石列１の軌道）を浮上体走行方向に沿ってい
くつかのブロック（電磁石ブロック）、例えばブロック
１−１〜１−４に分割し、励磁する電磁石ブロックを浮
上体２の走行に合わせて順次切換える方式が開発されて
いる。
【００１２】図３の構成において、ブロック単位で励磁
する電磁石を切換える場合、そのブロックの上方を走行
する浮上体２と対向する位置に浮上体検出センサ（近接
スイッチ）８−１〜８−３を設置し、このセンサ８−１
〜８−３で浮上体２を検出し、順次切換えを実施する。
この場合、検出センサ８−１〜８−３と走行する浮上体
２との間には何等障害物がなく、検出センサ８−１〜８
−３は直接浮上体２をとらえることが可能であり、種々
の近接スイッチが使用できる。
する電磁石を切換える場合、そのブロックの上方を走行
する浮上体２と対向する位置に浮上体検出センサ（近接
スイッチ）８−１〜８−３を設置し、このセンサ８−１
〜８−３で浮上体２を検出し、順次切換えを実施する。
この場合、検出センサ８−１〜８−３と走行する浮上体
２との間には何等障害物がなく、検出センサ８−１〜８
−３は直接浮上体２をとらえることが可能であり、種々
の近接スイッチが使用できる。
【００１３】さて近年は、発塵を嫌う半導体製造装置に
おけるウエハ搬送機器などにおける真空内搬送に、上記
した交流電磁石を使用する誘導反発方式を利用すること
が行われている。この場合、電磁石からの発塵、脱ガス
対策が必要となる。特に、電磁石からの脱ガスの問題
は、ウエハ表面の組成が悪化し、半導体の高集積化が進
む中で歩留まりが致命的に低下するという問題が起こ
る。
おけるウエハ搬送機器などにおける真空内搬送に、上記
した交流電磁石を使用する誘導反発方式を利用すること
が行われている。この場合、電磁石からの発塵、脱ガス
対策が必要となる。特に、電磁石からの脱ガスの問題
は、ウエハ表面の組成が悪化し、半導体の高集積化が進
む中で歩留まりが致命的に低下するという問題が起こ
る。
【００１４】そこで従来は、この対策として、図４に示
すように、搬送方向に施設された交流電磁石列１の上方
に、セラミックスなどの非金属材料又は常磁性で浮上体
２に比較して電気抵抗が少なくとも５倍以上大きい金属
材料からなる管状の通路（管通路）７を設置し、この管
通路７内を、浮上体２及び浮上体２の上に置かれた半導
体ウエハなどの搬送物体が浮上搬送する構成を適用し、
浮上体搬送路と電磁石の設置場所とを空間的に遮断し
て、電磁石からの発塵、脱ガスの影響が浮上体２上の半
導体ウエハなどに影響しないようにしている。
すように、搬送方向に施設された交流電磁石列１の上方
に、セラミックスなどの非金属材料又は常磁性で浮上体
２に比較して電気抵抗が少なくとも５倍以上大きい金属
材料からなる管状の通路（管通路）７を設置し、この管
通路７内を、浮上体２及び浮上体２の上に置かれた半導
体ウエハなどの搬送物体が浮上搬送する構成を適用し、
浮上体搬送路と電磁石の設置場所とを空間的に遮断し
て、電磁石からの発塵、脱ガスの影響が浮上体２上の半
導体ウエハなどに影響しないようにしている。
【００１５】この図４の構成においても、電磁石励磁の
効率を良くするために、図３と同様にして、浮上体２の
走行に合わせて励磁する電磁石ブロックの切換えを行
い、管通路７内を浮上走行する浮上体２の位置を検出す
る必要がある。
効率を良くするために、図３と同様にして、浮上体２の
走行に合わせて励磁する電磁石ブロックの切換えを行
い、管通路７内を浮上走行する浮上体２の位置を検出す
る必要がある。
【００１６】しかし図４の構成で、図３と同様の浮上体
検出センサ（近接スイッチ）を設けても、その検出セン
サにとっては、搬送路としての管通路７が障害物とな
り、直接浮上体２をとらえることができない。このため
従来は、管通路７に覗き窓あるいは信号取出しのための
穴加工等を必要とする問題があった。
検出センサ（近接スイッチ）を設けても、その検出セン
サにとっては、搬送路としての管通路７が障害物とな
り、直接浮上体２をとらえることができない。このため
従来は、管通路７に覗き窓あるいは信号取出しのための
穴加工等を必要とする問題があった。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来
は、交流電磁石による誘導反発方式を利用した磁気浮上
搬送装置において、電磁石からの発塵、脱ガスの対策の
ために外部と空間的に遮断される管通路を電磁石列に沿
って設置し、この管通路内を浮上体が浮上走行する構造
とした場合、浮上体の走行に合わせて励磁する電磁石ブ
ロックの切換えを行うために浮上体の位置を検出するに
は、管通路に覗き窓あるいは信号取出しのための穴加工
等を必要とするという問題があった。
は、交流電磁石による誘導反発方式を利用した磁気浮上
搬送装置において、電磁石からの発塵、脱ガスの対策の
ために外部と空間的に遮断される管通路を電磁石列に沿
って設置し、この管通路内を浮上体が浮上走行する構造
とした場合、浮上体の走行に合わせて励磁する電磁石ブ
ロックの切換えを行うために浮上体の位置を検出するに
は、管通路に覗き窓あるいは信号取出しのための穴加工
等を必要とするという問題があった。
【００１８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
その目的は、外部と空間的に遮断するための管通路内を
浮上体が浮上走行する構造の磁気浮上搬送装置であって
も、その管通路に覗き窓あるいは信号取出しのための穴
加工等を必要とせずに、管通路の外から非接触で浮上体
走行位置を検出できる磁気浮上搬送装置を提供すること
にある。
その目的は、外部と空間的に遮断するための管通路内を
浮上体が浮上走行する構造の磁気浮上搬送装置であって
も、その管通路に覗き窓あるいは信号取出しのための穴
加工等を必要とせずに、管通路の外から非接触で浮上体
走行位置を検出できる磁気浮上搬送装置を提供すること
にある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は、導電性を有す
る常磁性もしくは非磁性金属材料からなる浮上体を交流
電磁石の交番磁界を利用して浮上搬送させる磁気浮上搬
送装置において、上記の交流電磁石からなる交流電磁石
列を上記浮上体の走行方向に沿って複数のブロック（電
磁石ブロック）に分割し、上記複数のブロックのうちの
連続するＮブロックを同時に励磁する動作を、１ブロッ
クずつ順次ブロックを切換えながら実行する切換器と、
上記複数のブロックのうちの端部のＮ−１ブロックを除
く各ブロックを流れる電流を反映した所定の信号状態を
それぞれ検出するセンサと、この各センサの出力変化を
とらえて上記浮上体の位置を検出し、その検出位置に応
じて励磁するブロックを決定して上記切換器を制御する
切換信号を上記切換器に出力する切換信号発生器とを設
けたことを特徴とする。
る常磁性もしくは非磁性金属材料からなる浮上体を交流
電磁石の交番磁界を利用して浮上搬送させる磁気浮上搬
送装置において、上記の交流電磁石からなる交流電磁石
列を上記浮上体の走行方向に沿って複数のブロック（電
磁石ブロック）に分割し、上記複数のブロックのうちの
連続するＮブロックを同時に励磁する動作を、１ブロッ
クずつ順次ブロックを切換えながら実行する切換器と、
上記複数のブロックのうちの端部のＮ−１ブロックを除
く各ブロックを流れる電流を反映した所定の信号状態を
それぞれ検出するセンサと、この各センサの出力変化を
とらえて上記浮上体の位置を検出し、その検出位置に応
じて励磁するブロックを決定して上記切換器を制御する
切換信号を上記切換器に出力する切換信号発生器とを設
けたことを特徴とする。
【００２０】
【作用】このような構成において、上記複数のブロック
のうちの端部のＮ−１ブロックを除く各ブロックを流れ
る電流を反映した所定の信号状態、例えば励磁電流は、
その上方に浮上体が位置するか否かによって異なる。そ
こで、上記端部のＮ−１ブロックを除く各ブロックの所
定の信号状態をそれぞれ対応するセンサで検出し、この
各センサの出力変化を切換信号発生器でとらえること
で、上記浮上体がいずれのブロックの上方に位置してい
るかを（即ち上記浮上体の位置を）非接触で簡単に確認
でき、確認した浮上体の位置に応じて励磁するブロック
を決定して上記切換器を制御することができる。また、
センサも全てのブロック毎に用意する必要がない。
のうちの端部のＮ−１ブロックを除く各ブロックを流れ
る電流を反映した所定の信号状態、例えば励磁電流は、
その上方に浮上体が位置するか否かによって異なる。そ
こで、上記端部のＮ−１ブロックを除く各ブロックの所
定の信号状態をそれぞれ対応するセンサで検出し、この
各センサの出力変化を切換信号発生器でとらえること
で、上記浮上体がいずれのブロックの上方に位置してい
るかを（即ち上記浮上体の位置を）非接触で簡単に確認
でき、確認した浮上体の位置に応じて励磁するブロック
を決定して上記切換器を制御することができる。また、
センサも全てのブロック毎に用意する必要がない。
【００２１】
【実施例】図１は本発明を適用する磁気浮上搬送装置の
一実施例を示す基本構成図であり、図２乃至図４と同一
部分には同一符号を付してある。
一実施例を示す基本構成図であり、図２乃至図４と同一
部分には同一符号を付してある。
【００２２】図１において、１は交流電磁石列（交流電
磁石配列）、１−１〜１−５は電磁石ブロックである。
電磁石ブロック１−１〜１−５は、電磁石励磁の効率を
良くする目的で交流電磁石列１を搬送方向に５分割した
もので、ブロック単位で励磁されるようになっている。
２は交流電磁石列１の上方を浮上搬送する浮上体であ
り、導電性を有する常磁性もしくは非磁性金属材料から
なる。
磁石配列）、１−１〜１−５は電磁石ブロックである。
電磁石ブロック１−１〜１−５は、電磁石励磁の効率を
良くする目的で交流電磁石列１を搬送方向に５分割した
もので、ブロック単位で励磁されるようになっている。
２は交流電磁石列１の上方を浮上搬送する浮上体であ
り、導電性を有する常磁性もしくは非磁性金属材料から
なる。
【００２３】３は交流電磁石列１を構成する電磁石に交
流電流を通電するための一定電圧の交流電源、４は励磁
する電磁石をブロック単位で切換えるための切換器であ
る。５−１〜５−５は電磁石ブロック１−１〜１−５の
励磁電流を検出するための電流センサ、６は電流センサ
５−１〜５−５の電流検出結果をもとに浮上体２の位置
を検出して、その検出結果に応じて切換器４を制御する
切換信号発生器である。
流電流を通電するための一定電圧の交流電源、４は励磁
する電磁石をブロック単位で切換えるための切換器であ
る。５−１〜５−５は電磁石ブロック１−１〜１−５の
励磁電流を検出するための電流センサ、６は電流センサ
５−１〜５−５の電流検出結果をもとに浮上体２の位置
を検出して、その検出結果に応じて切換器４を制御する
切換信号発生器である。
【００２４】次に、図１の構成の動作を説明する。今、
浮上体２が、図１に示すように電磁石ブロック１−３の
上方を浮上走行中であり、この電磁石ブロック１−３
（を構成する電磁石）と、次の電磁石ブロック、即ち浮
上体２の図中Ａで示す走行方向に対し現在のブロック位
置より１つ先のブロック１−４（を構成する電磁石）と
が、交流電源３により、切換器４を介して同時に励磁さ
れているものとする。
浮上体２が、図１に示すように電磁石ブロック１−３の
上方を浮上走行中であり、この電磁石ブロック１−３
（を構成する電磁石）と、次の電磁石ブロック、即ち浮
上体２の図中Ａで示す走行方向に対し現在のブロック位
置より１つ先のブロック１−４（を構成する電磁石）と
が、交流電源３により、切換器４を介して同時に励磁さ
れているものとする。
【００２５】この状態では、電磁石ブロック１−４に
は、電磁石ブロックを一定電圧で励磁するための励磁電
流だけが流れる。これに対して、浮上体２が上方に位置
している電磁石ブロック１−３には、電磁石ブロックを
一定電圧で励磁するための励磁電流に加えて、変圧器の
原理により、浮上体２を流れる渦電流による反発磁界を
打消すためのアンペア回数に相当する電流が余分に流れ
る。
は、電磁石ブロックを一定電圧で励磁するための励磁電
流だけが流れる。これに対して、浮上体２が上方に位置
している電磁石ブロック１−３には、電磁石ブロックを
一定電圧で励磁するための励磁電流に加えて、変圧器の
原理により、浮上体２を流れる渦電流による反発磁界を
打消すためのアンペア回数に相当する電流が余分に流れ
る。
【００２６】したがって、各電磁石ブロック１−１〜１
−５を流れる電流を電流センサ５−１〜５−５により検
出し、切換信号発生器６にて比較すれば、電磁石ブロッ
ク１−１〜１−５上の浮上体２の有無、即ち電磁石ブロ
ック１−１〜１−５のいずれの上に浮上体２が存在する
かを判別し、浮上体２の走行方向位置を検出することが
できる。
−５を流れる電流を電流センサ５−１〜５−５により検
出し、切換信号発生器６にて比較すれば、電磁石ブロッ
ク１−１〜１−５上の浮上体２の有無、即ち電磁石ブロ
ック１−１〜１−５のいずれの上に浮上体２が存在する
かを判別し、浮上体２の走行方向位置を検出することが
できる。
【００２７】切換信号発生器６は、電流センサ５−１〜
５−５の検出電流をもとに浮上体２の走行方向位置を検
出することにより、その位置に合わせて、励磁する電磁
石ブロックを決定し、その電磁石ブロックに切換えるた
めの切換信号を切換器４に出力する。
５−５の検出電流をもとに浮上体２の走行方向位置を検
出することにより、その位置に合わせて、励磁する電磁
石ブロックを決定し、その電磁石ブロックに切換えるた
めの切換信号を切換器４に出力する。
【００２８】なお、上記の電流センサ５−１〜５−５で
検出する値としては、電磁石電流の絶対値、電磁石電流
の励磁電圧に対する位相差、電磁石電流と励磁電流の積
である励磁電力等、浮上体２の有無により大きく変化す
る各電磁石ブロック１−１〜１−５をそれぞれ流れる電
流を反映した所定の信号状態であれば何であっても構わ
ない。
検出する値としては、電磁石電流の絶対値、電磁石電流
の励磁電圧に対する位相差、電磁石電流と励磁電流の積
である励磁電力等、浮上体２の有無により大きく変化す
る各電磁石ブロック１−１〜１−５をそれぞれ流れる電
流を反映した所定の信号状態であれば何であっても構わ
ない。
【００２９】また、図１の構成では、各電磁石ブロック
１−１〜１−５にそれぞれ１つの電流センサ５−１〜５
−５を設けているが、同時に励磁する電磁石ブロック数
を例えば最大３とした場合、電磁石ブロック１−１と電
磁石ブロック１−４は同時に励磁されることはなく、ま
た電磁石ブロック１−２と電磁石ブロック１−５も同時
に励磁されることがないので、電流センサ５−４と５−
５を省略して、代りに電流センサ５−１と５−２で兼用
することも可能である。また、図１の構成では、交流電
磁石列１が５つの電磁石ブロック１−１〜１−５に分割
されているが、これに限るものではないことは勿論であ
る。
１−１〜１−５にそれぞれ１つの電流センサ５−１〜５
−５を設けているが、同時に励磁する電磁石ブロック数
を例えば最大３とした場合、電磁石ブロック１−１と電
磁石ブロック１−４は同時に励磁されることはなく、ま
た電磁石ブロック１−２と電磁石ブロック１−５も同時
に励磁されることがないので、電流センサ５−４と５−
５を省略して、代りに電流センサ５−１と５−２で兼用
することも可能である。また、図１の構成では、交流電
磁石列１が５つの電磁石ブロック１−１〜１−５に分割
されているが、これに限るものではないことは勿論であ
る。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、導
電性を有する常磁性もしくは非磁性金属材料からなる浮
上体を交流電磁石の交番磁界を利用して浮上搬送させる
磁気浮上搬送装置において、搬送方向に施設された交流
電磁石列を、電磁石励磁の効率化のために複数のブロッ
クに分割して、この複数のブロックのうちの連続するＮ
ブロックを同時に励磁する動作を、１ブロックずつ順次
ブロックを切換えながら実行すると共に、上記複数のブ
ロックのうちの端部のＮ−１ブロックを除く各ブロック
を流れる電流を反映した所定の信号状態をそれぞれセン
サで検出し、各センサの出力変化をとらえて浮上体の位
置を検出するようにしたので、電磁石からの発塵、脱ガ
ス対策のために、上記の交流電磁石列の上方に、外部と
空間的に遮断する管通路を設置した場合でも、この管通
路内を浮上走行する浮上体の走行位置を管通路外から非
接触で検出することができる。したがって、この浮上体
走行位置検出信号をもって浮上体の走行位置に合わせ、
交流電磁石からなる搬送ラインの励磁区間を限定するこ
とが可能となり、搬送ラインとしては電源効率を良くす
ることができる。
電性を有する常磁性もしくは非磁性金属材料からなる浮
上体を交流電磁石の交番磁界を利用して浮上搬送させる
磁気浮上搬送装置において、搬送方向に施設された交流
電磁石列を、電磁石励磁の効率化のために複数のブロッ
クに分割して、この複数のブロックのうちの連続するＮ
ブロックを同時に励磁する動作を、１ブロックずつ順次
ブロックを切換えながら実行すると共に、上記複数のブ
ロックのうちの端部のＮ−１ブロックを除く各ブロック
を流れる電流を反映した所定の信号状態をそれぞれセン
サで検出し、各センサの出力変化をとらえて浮上体の位
置を検出するようにしたので、電磁石からの発塵、脱ガ
ス対策のために、上記の交流電磁石列の上方に、外部と
空間的に遮断する管通路を設置した場合でも、この管通
路内を浮上走行する浮上体の走行位置を管通路外から非
接触で検出することができる。したがって、この浮上体
走行位置検出信号をもって浮上体の走行位置に合わせ、
交流電磁石からなる搬送ラインの励磁区間を限定するこ
とが可能となり、搬送ラインとしては電源効率を良くす
ることができる。
【図１】本発明を適用する磁気浮上搬送装置の一実施例
を示す基本構成図。
を示す基本構成図。
【図２】誘導反発原理による磁気浮上搬送装置を説明す
るための図。
るための図。
【図３】従来の磁気浮上搬送装置における励磁電磁石切
換えを説明するための図。
換えを説明するための図。
【図４】管通路を持つ誘導反発原理による磁気浮上搬送
装置を説明するための図。
装置を説明するための図。
１…交流電磁石列、１−１〜１−５…電磁石ブロック、
２…浮上体、３…交流電源、４…切換器、５−１〜５−
５…電流センサ、６…切換信号発生器、７…管通路、８
−１〜８−３…浮上体検出センサ（近接スイッチ）。
２…浮上体、３…交流電源、４…切換器、５−１〜５−
５…電流センサ、６…切換信号発生器、７…管通路、８
−１〜８−３…浮上体検出センサ（近接スイッチ）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 元巳 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22 号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (56)参考文献 特開 昭55−120303（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−127114（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B60L 13/03 - 13/10 B65G 54/02
Claims (1)
- 【請求項１】 導電性を有する常磁性もしくは非磁性金
属材料からなる浮上体を交流電磁石の交番磁界を利用し
て浮上搬送させる磁気浮上搬送装置において、 上記浮上体を浮上搬送させるための電磁石列を上記浮上
体の走行方向に沿って複数のブロックに分割し、上記複
数のブロックのうちの連続するＮブロックを同時に励磁
する動作を、１ブロックずつ順次ブロックを切換えなが
ら実行する切換器と、上記複数のブロックのうちの端部
のＮ−１ブロックを除く各ブロックを流れる電流を反映
した所定の信号状態をそれぞれ検出するセンサと、この
各センサの出力変化をとらえて上記浮上体の位置を検出
し、その検出位置に応じて励磁するブロックを決定して
上記切換器を制御する切換信号を上記切換器に出力する
切換信号発生器とを具備することを特徴とする磁気浮上
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33832491A JP3219441B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33832491A JP3219441B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05176414A JPH05176414A (ja) | 1993-07-13 |
| JP3219441B2 true JP3219441B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=18317074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33832491A Expired - Fee Related JP3219441B2 (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3219441B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2021189069A (ja) * | 2020-06-01 | 2021-12-13 | 株式会社日立ハイテク | 搬送装置、および分析システム |
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-
1991
- 1991-12-20 JP JP33832491A patent/JP3219441B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05176414A (ja) | 1993-07-13 |
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