JPH04288950A - Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置及び製造方法 - Google Patents
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置及び製造方法Info
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- JPH04288950A JPH04288950A JP3022794A JP2279491A JPH04288950A JP H04288950 A JPH04288950 A JP H04288950A JP 3022794 A JP3022794 A JP 3022794A JP 2279491 A JP2279491 A JP 2279491A JP H04288950 A JPH04288950 A JP H04288950A
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- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 78
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 89
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 32
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 15
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 7
- -1 and Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 29
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 16
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 13
- 235000019592 roughness Nutrition 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 7
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
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- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15341—Preparation processes therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば磁気ヘッドや
トランスの素材として用いられるＦｅ系軟磁性合金薄帯
を連続的に製造するための装置と方法に関する。
トランスの素材として用いられるＦｅ系軟磁性合金薄帯
を連続的に製造するための装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】非晶質合金の薄帯（リボン）を連続的に
製造するための装置として、図３に示すいわゆる単ロー
ル法によるものが知られている。これは、Ｃｕ製の冷却
ロール１を高速で回転させつつ、その頂部に近接配置し
たノズル２から溶融金属３を吹き付けることによって、
溶融金属３を冷却ロール１の表面で急速冷却して固化さ
せつつ、帯状となして冷却ロール１の回転方向に引き出
すようにしたものである。
製造するための装置として、図３に示すいわゆる単ロー
ル法によるものが知られている。これは、Ｃｕ製の冷却
ロール１を高速で回転させつつ、その頂部に近接配置し
たノズル２から溶融金属３を吹き付けることによって、
溶融金属３を冷却ロール１の表面で急速冷却して固化さ
せつつ、帯状となして冷却ロール１の回転方向に引き出
すようにしたものである。
【０００３】図３に示す装置の場合、冷却ロール１の表
面は、鏡面仕上とされ、また、ノズル２は冷却ロール１
の頂部においてほぼ鉛直となるように設けられ、その先
端と冷却ロール１の表面との間の間隔は１ｍｍ程度以下
に設定されるようになっている。
面は、鏡面仕上とされ、また、ノズル２は冷却ロール１
の頂部においてほぼ鉛直となるように設けられ、その先
端と冷却ロール１の表面との間の間隔は１ｍｍ程度以下
に設定されるようになっている。
【０００４】そして、ノズル２より突出された溶融金属
３は、ノズル２の先端と冷却ロール１の表面との間にお
いて実質的に静止している溜まり（パドル）４を形成し
、冷却ロール１の回転に伴ってその溜まり４から溶融金
属３が引き出されていって冷却ロール１の表面上で冷却
されて帯状となって固化し、これによって薄帯５が連続
的に形成されるようになっている。
３は、ノズル２の先端と冷却ロール１の表面との間にお
いて実質的に静止している溜まり（パドル）４を形成し
、冷却ロール１の回転に伴ってその溜まり４から溶融金
属３が引き出されていって冷却ロール１の表面上で冷却
されて帯状となって固化し、これによって薄帯５が連続
的に形成されるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッド
の素材として用いられる軟磁性合金は、特にその表面が
十分に平坦であること、即ち、表面粗さが十分に小さい
ことが要求されるが、前記従来の装置により製造される
薄帯にあっては、その両面における表面粗さが大きくば
らつく問題がある。即ち、ロールに接触しつつ凝固して
形成されるロール接触面に比して、ロールに接触せずに
凝固して形成される自由凝固面での表面粗さが大きくな
ってしまう欠点があり、このため、磁気ヘッド用の素材
として用い難いという問題があった。
の素材として用いられる軟磁性合金は、特にその表面が
十分に平坦であること、即ち、表面粗さが十分に小さい
ことが要求されるが、前記従来の装置により製造される
薄帯にあっては、その両面における表面粗さが大きくば
らつく問題がある。即ち、ロールに接触しつつ凝固して
形成されるロール接触面に比して、ロールに接触せずに
凝固して形成される自由凝固面での表面粗さが大きくな
ってしまう欠点があり、このため、磁気ヘッド用の素材
として用い難いという問題があった。
【０００６】ところで、磁気ヘッド、トランス 、チョ
ークコイル等に用いられる軟磁性合金において一般的に
要求される諸特性は以下の通りである ■飽和磁束密度が高いこと。 ■透磁率が高いこと。 ■低保磁力であること。 ■薄い形状が得やすいこと。
ークコイル等に用いられる軟磁性合金において一般的に
要求される諸特性は以下の通りである ■飽和磁束密度が高いこと。 ■透磁率が高いこと。 ■低保磁力であること。 ■薄い形状が得やすいこと。
【０００７】また、磁気ヘッドに対しては、前記■〜■
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。■硬度が高いこと。
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。■硬度が高いこと。
【０００８】従って軟磁性合金あるいは磁気ヘッドを製
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。
【０００９】このような背景から本発明者らは、先に、
前記要求を満たした高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金を
特願平２ー１０８３０８号明細書において平成２年４月
２４日付けで特許出願している。
前記要求を満たした高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金を
特願平２ー１０８３０８号明細書において平成２年４月
２４日付けで特許出願している。
【００１０】この特許出願に係る合金の他の１つは、次
式で示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束
密度合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ
≦９２原子％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０
原子％、ｚ＝０．２〜４．５原子％である。
式で示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束
密度合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ
≦９２原子％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０
原子％、ｚ＝０．２〜４．５原子％である。
【００１１】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９２原子
％、 ｘ＝０．５〜１６原子％、 ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝０．２〜４．５原子％である
。 更に本発明者らは、前記合金の発展型の合金として、先
に、以下に示す組成の合金について特許出願を行ってい
る。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９２原子
％、 ｘ＝０．５〜１６原子％、 ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝０．２〜４．５原子％である
。 更に本発明者らは、前記合金の発展型の合金として、先
に、以下に示す組成の合金について特許出願を行ってい
る。
【００１２】この特許出願に係る合金の１つは、次式で
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、 ａ≦０．０５、
ｂ≦９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、 ｙ＝４
〜９原子％である。
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、 ａ≦０．０５、
ｂ≦９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、 ｙ＝４
〜９原子％である。
【００１３】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
【００１４】以上のように本発明者らは、前記各組成の
種々のＦｅ系軟磁性合金を開発したわけであるが、これ
らの合金を用い、図３に示す製造装置を使用して薄帯を
製造できることが判明したので本願発明に到達した。
種々のＦｅ系軟磁性合金を開発したわけであるが、これ
らの合金を用い、図３に示す製造装置を使用して薄帯を
製造できることが判明したので本願発明に到達した。
【００１５】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
、薄帯の両面での表面粗さのばらつきを低減し、高い飽
和磁束密度と高透磁率を兼備し、かつ、高い機械強度と
高い熱安定性を有するＦｅ系軟磁性合金薄帯を提供でき
る製造装置と製造方法を提供することを目的とする。
、薄帯の両面での表面粗さのばらつきを低減し、高い飽
和磁束密度と高透磁率を兼備し、かつ、高い機械強度と
高い熱安定性を有するＦｅ系軟磁性合金薄帯を提供でき
る製造装置と製造方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載した発明
は、前記課題を解決するために、回転駆動される冷却ロ
ールと、この冷却ロールの表面に先端を臨ませて近接配
置され、Ｆｅ系軟磁性合金の溶融金属を冷却ロールの表
面に吹き付けて溶融金属を冷却ロールの表面において冷
却しつつ帯状となして冷却ロールの回転方向に引き出す
ようにするためのノズルとを具備してなるＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造装置において、冷却ロールの少なくとも
外周面をＦｅ系合金から構成し、冷却ロールの外周面を
、砥粒ナンバー６００番ないし１０００番の研摩紙によ
り研摩して得られる粗さに相当する粗さに仕上げてなる
ものである。
は、前記課題を解決するために、回転駆動される冷却ロ
ールと、この冷却ロールの表面に先端を臨ませて近接配
置され、Ｆｅ系軟磁性合金の溶融金属を冷却ロールの表
面に吹き付けて溶融金属を冷却ロールの表面において冷
却しつつ帯状となして冷却ロールの回転方向に引き出す
ようにするためのノズルとを具備してなるＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造装置において、冷却ロールの少なくとも
外周面をＦｅ系合金から構成し、冷却ロールの外周面を
、砥粒ナンバー６００番ないし１０００番の研摩紙によ
り研摩して得られる粗さに相当する粗さに仕上げてなる
ものである。
【００１７】請求項２に記載した発明は、前記課題を解
決するために、回転駆動される冷却ロールの表面に、先
端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノズ
ルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによっ
てその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状と
なして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性合
金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ系
合金から構成した冷却ロールであって、その外周面を、
砥粒ナンバー６００番ないし１０００番の研摩紙により
研摩して得られる粗さに相当する粗さに仕上げてなる冷
却ロールを用いるものである。
決するために、回転駆動される冷却ロールの表面に、先
端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノズ
ルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによっ
てその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状と
なして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性合
金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ系
合金から構成した冷却ロールであって、その外周面を、
砥粒ナンバー６００番ないし１０００番の研摩紙により
研摩して得られる粗さに相当する粗さに仕上げてなる冷
却ロールを用いるものである。
【００１８】請求項３に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ
≦９２原子％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０
原子％、ｚ＝４．５原子％以下である。
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ
≦９２原子％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０
原子％、ｚ＝４．５原子％以下である。
【００１９】請求項４に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、 ｂ≦９２原子％、 ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ
＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下である。
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、 ｂ≦９２原子％、 ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ
＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下である。
【００２０】請求項５に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、ａ≦０．０５、ｂ≦９３
原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、 ｙ＝４〜９原子％で
ある。
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、ａ≦０．０５、ｂ≦９３
原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、 ｙ＝４〜９原子％で
ある。
【００２１】請求項６に記載した発明は、前記課題を解
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
決するために、請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄帯
の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
【００２２】
【作用】冷却ロールの表面が鏡面仕上げとされている従
来装置において作製された薄帯を観察したところ、その
自由凝固面には長さ方向に波状の凹凸が観察され、この
凹凸は、溜まりから薄帯が引き出されていく際にロール
上で微小な滑りを生じ、そのため発生したものと考えら
れる。一方、ロールに接触しつつ凝固するロール接触面
については、自由凝固面に見られる凹凸も若干観察され
るが、基本的には冷却ロール表面の凹凸がそのまま転写
されるために、自由凝固面より表面粗さが小さなものと
なる。
来装置において作製された薄帯を観察したところ、その
自由凝固面には長さ方向に波状の凹凸が観察され、この
凹凸は、溜まりから薄帯が引き出されていく際にロール
上で微小な滑りを生じ、そのため発生したものと考えら
れる。一方、ロールに接触しつつ凝固するロール接触面
については、自由凝固面に見られる凹凸も若干観察され
るが、基本的には冷却ロール表面の凹凸がそのまま転写
されるために、自由凝固面より表面粗さが小さなものと
なる。
【００２３】そこで本発明の装置では、冷却ロールの表
面を鏡面より粗く仕上げることによって、薄帯とロール
表面との間の摩擦を大きくし、それによって薄帯の冷却
ロールに対する滑りを防止して自由凝固面における凹凸
の発生を防止し、これによって、自由凝固面の表面粗さ
が改善される。そして、冷却ロール接触面の表面粗さは
冷却ロール表面の粗さに依存するため、冷却ロール表面
粗さを最適に設定することにより、双方の表面粗さを均
等になしえる。この結果、磁気ヘッド用などとして好適
なＦｅ系軟磁性薄帯が得られる。
面を鏡面より粗く仕上げることによって、薄帯とロール
表面との間の摩擦を大きくし、それによって薄帯の冷却
ロールに対する滑りを防止して自由凝固面における凹凸
の発生を防止し、これによって、自由凝固面の表面粗さ
が改善される。そして、冷却ロール接触面の表面粗さは
冷却ロール表面の粗さに依存するため、冷却ロール表面
粗さを最適に設定することにより、双方の表面粗さを均
等になしえる。この結果、磁気ヘッド用などとして好適
なＦｅ系軟磁性薄帯が得られる。
【００２４】また、特定の組成の軟磁性合金の溶湯を用
いるので、高い飽和磁束密度と高い透磁率を示し、硬度
が高く、耐熱性に優れた磁気ヘッド用などとして好適な
Ｆｅ系軟磁性合金の薄帯が得られる。
いるので、高い飽和磁束密度と高い透磁率を示し、硬度
が高く、耐熱性に優れた磁気ヘッド用などとして好適な
Ｆｅ系軟磁性合金の薄帯が得られる。
【００２５】
【実施例】以下に本発明を図面を参照しながら説明する
。図１は本発明装置の一実施例を示すもので、本実施例
の装置は、図３に示した従来の装置と略同等の構成であ
り、冷却ロール１０を高速で回転させつつ、その頂部に
近接配置したノズル２０から溶融金属３０を吹き付ける
ことによって、溶融金属３０を冷却ロール１０の表面で
急速冷却して固化させつつ冷却ロール１０の回転方向に
帯状となして引き出す装置である。
。図１は本発明装置の一実施例を示すもので、本実施例
の装置は、図３に示した従来の装置と略同等の構成であ
り、冷却ロール１０を高速で回転させつつ、その頂部に
近接配置したノズル２０から溶融金属３０を吹き付ける
ことによって、溶融金属３０を冷却ロール１０の表面で
急速冷却して固化させつつ冷却ロール１０の回転方向に
帯状となして引き出す装置である。
【００２６】本実施例の装置で従来例の装置と異なって
いるのは、まず、冷却ロール１０がＦｅ系の合金からな
ることである。即ち、冷却ロール１０はステンレスなど
のＦｅ系の合金から構成されている。なお、冷却ロール
１０の外周部分のみを前記のＦｅ系合金で構成しても良
いのは勿論である。
いるのは、まず、冷却ロール１０がＦｅ系の合金からな
ることである。即ち、冷却ロール１０はステンレスなど
のＦｅ系の合金から構成されている。なお、冷却ロール
１０の外周部分のみを前記のＦｅ系合金で構成しても良
いのは勿論である。
【００２７】また、冷却ロール１０の外周面は、砥粒ナ
ンバー６００番ないし１０００番、好ましくは、８００
番の研摩紙によって研摩されることによって鏡面より粗
く仕上げられたものとなっており、これによって製造さ
れる薄帯５０の両面の表面粗さをほぼ均等になし得るも
のとなっている。
ンバー６００番ないし１０００番、好ましくは、８００
番の研摩紙によって研摩されることによって鏡面より粗
く仕上げられたものとなっており、これによって製造さ
れる薄帯５０の両面の表面粗さをほぼ均等になし得るも
のとなっている。
【００２８】以上で説明したように、冷却ロール１０の
表面を砥粒ナンバー６００〜１０００番、好ましくは８
００番の研摩紙により研摩して得られる粗さに相当する
粗さとなすことによって、薄帯５０両側の表面粗さを十
分に小さく、かつ、均等になし得るものであり、従って
、本実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材として
の軟磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である。
表面を砥粒ナンバー６００〜１０００番、好ましくは８
００番の研摩紙により研摩して得られる粗さに相当する
粗さとなすことによって、薄帯５０両側の表面粗さを十
分に小さく、かつ、均等になし得るものであり、従って
、本実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材として
の軟磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である。
【００２９】次に、溶湯３０として、次式に示す組成の
Ｆｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができる。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、 ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、 ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４
．５原子％以下である。
Ｆｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができる。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、 ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、 ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４
．５原子％以下である。
【００３０】また、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９２原子
％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ
＝４．５原子％以下である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９２原子
％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ
＝４．５原子％以下である。
【００３１】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、ａ≦０．０５、ｂ≦９３
原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％であ
る。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、ａ≦０．０５、ｂ≦９３
原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％であ
る。
【００３２】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
【００３３】本発明により製造されるＦｅ系軟磁性合金
は、前記組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶
質合金を溶湯から急冷することにより得る工程と、これ
を加熱し微細な結晶粒を形成する熱処理工程によって通
常得ることができる。
は、前記組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶
質合金を溶湯から急冷することにより得る工程と、これ
を加熱し微細な結晶粒を形成する熱処理工程によって通
常得ることができる。
【００３４】本発明に用いる合金溶湯３０において、急
冷後に非晶質相を得やすくするためには、非晶質形成能
の高いＺｒ、Ｈｆのいずれかを含む必要がある。またＺ
ｒ、Ｈｆはその一部を他の４Ａ〜６Ａ族元素のうち、Ｔ
ｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗと置換することが出来る
。ここでＣｒを含めなかったのは、Ｃｒが他の元素に比
べ非晶質形成能が劣っているからである。
冷後に非晶質相を得やすくするためには、非晶質形成能
の高いＺｒ、Ｈｆのいずれかを含む必要がある。またＺ
ｒ、Ｈｆはその一部を他の４Ａ〜６Ａ族元素のうち、Ｔ
ｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗと置換することが出来る
。ここでＣｒを含めなかったのは、Ｃｒが他の元素に比
べ非晶質形成能が劣っているからである。
【００３５】Ｂには本発明合金の非晶質形成能を高める
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためＢ添加は必須である。Ｂと同様にＡ１，Ｓ
ｉ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成元素として一般に用いられて
おり、これらの元素を添加した場合も本発明と同一とみ
なすことができる。
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためＢ添加は必須である。Ｂと同様にＡ１，Ｓ
ｉ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成元素として一般に用いられて
おり、これらの元素を添加した場合も本発明と同一とみ
なすことができる。
【００３６】以上、本発明で使用する高飽和磁束密度Ｆ
ｅ系軟磁性合金に含まれる合金元素の限定理由を説明し
たが、これらの元素以外でも耐食性を改善するために、
Ｃｒ，Ｒｕその他の白金族元素を添加することも可能で
あり、また、必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃ
ｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ
，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等
の元素を添加することで磁歪を調整することもできる。 その他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については
所望の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の
高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金の組成と同一とみなす
ことができるのは勿論である。
ｅ系軟磁性合金に含まれる合金元素の限定理由を説明し
たが、これらの元素以外でも耐食性を改善するために、
Ｃｒ，Ｒｕその他の白金族元素を添加することも可能で
あり、また、必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃ
ｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ
，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等
の元素を添加することで磁歪を調整することもできる。 その他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については
所望の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の
高飽和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金の組成と同一とみなす
ことができるのは勿論である。
【００３７】本発明で使用するＦｅ系軟磁性合金溶湯に
おけるＦｅ，Ｃｏ量のｂは、９２原子％以下である。こ
れは、ｂが９２原子％を越えると高い透磁率が得られな
いためであるが、飽和磁束密度１０ｋＧ以上を得るため
には、ｂが７５原子％以上であることがより好ましい。 また、元素Ｔ’ｚを含まない合金溶湯においては、Ｆｅ
，Ｎｉ，Ｃｏ量を９３原子％以下とする。
おけるＦｅ，Ｃｏ量のｂは、９２原子％以下である。こ
れは、ｂが９２原子％を越えると高い透磁率が得られな
いためであるが、飽和磁束密度１０ｋＧ以上を得るため
には、ｂが７５原子％以上であることがより好ましい。 また、元素Ｔ’ｚを含まない合金溶湯においては、Ｆｅ
，Ｎｉ，Ｃｏ量を９３原子％以下とする。
【００３８】更に本発明者等は高飽和磁束密度Ｆｅ系軟
磁性合金の熱処理方法の研究を行ない、図４に示される
ような結果を得た。図４はＦｅ８８Ｃｕ１Ｂ３Ｚｒ８な
る組成の軟磁性合金の試料について、６５０℃に１時間
加熱した後、種々の冷却速度で冷却した後の透磁率を測
定した結果を示すものである。
磁性合金の熱処理方法の研究を行ない、図４に示される
ような結果を得た。図４はＦｅ８８Ｃｕ１Ｂ３Ｚｒ８な
る組成の軟磁性合金の試料について、６５０℃に１時間
加熱した後、種々の冷却速度で冷却した後の透磁率を測
定した結果を示すものである。
【００３９】この研究結果から、１００℃／分以上の冷
却速度であれば、透磁率を著しく高められることが明ら
かになった。これによりＴ’ｚを４．５原子％以下とす
ることができた。
却速度であれば、透磁率を著しく高められることが明ら
かになった。これによりＴ’ｚを４．５原子％以下とす
ることができた。
【００４０】次に、図１に示す装置を用いてＦｅ系軟磁
性合金薄帯を製造する場合について説明する。
性合金薄帯を製造する場合について説明する。
【００４１】図１に示す矢印Ａ方向に冷却ロール１０を
高速回転させて前記組成の合金の溶湯をノズル２０から
噴出させると、合金溶湯は冷却ロール１０の頂部に溜ま
り４０を形成しながら冷却ロール１０の表面に沿って押
し出され、薄帯５０が得られる。この薄帯５０において
は大部分が不均一な非晶質相からなるものである。
高速回転させて前記組成の合金の溶湯をノズル２０から
噴出させると、合金溶湯は冷却ロール１０の頂部に溜ま
り４０を形成しながら冷却ロール１０の表面に沿って押
し出され、薄帯５０が得られる。この薄帯５０において
は大部分が不均一な非晶質相からなるものである。
【００４２】ここで、冷却ロール１０の外周面は、Ｆｅ
系の合金からなり、Ｆｅ系軟磁性合金とのぬれ性が良好
であるので、冷却ロール１０から薄帯５０の分離も容易
であり、厚さの均一な薄帯５０が得られる。これに対し
Ｃｕ製などのＦｅ系合金以外の冷却ロールを用いると、
溶湯の噴出時に溶湯が飛び散り、良好な形状のリボンが
形成されないので好ましくない。
系の合金からなり、Ｆｅ系軟磁性合金とのぬれ性が良好
であるので、冷却ロール１０から薄帯５０の分離も容易
であり、厚さの均一な薄帯５０が得られる。これに対し
Ｃｕ製などのＦｅ系合金以外の冷却ロールを用いると、
溶湯の噴出時に溶湯が飛び散り、良好な形状のリボンが
形成されないので好ましくない。
【００４３】また、冷却ロール１０の表面は、適度な粗
さに形成されているので、薄帯５０が冷却ロール１０に
対して滑ってしまうことが抑制され、その結果、薄帯５
０の両面の表面粗さが十分に小さくなる。
さに形成されているので、薄帯５０が冷却ロール１０に
対して滑ってしまうことが抑制され、その結果、薄帯５
０の両面の表面粗さが十分に小さくなる。
【００４４】このように得られた薄帯５０に対し、５０
０〜６２０℃に加熱後徐冷する焼鈍処理を行えば、薄帯
５０の不均一な非晶質相が結晶化する結果、部分的に結
晶化しやすい領域が多数でき、不均一核生成するために
、得られる組織が微細となり、結果的に１００〜２００
オングストローム程度の微細結晶組織となる。この結果
、高い飽和磁束密度と透磁率を有する優れた軟磁気特性
を示し、硬度も高く、耐熱性にも優れたＦｅ系軟磁性合
金薄帯を得ることができる。
０〜６２０℃に加熱後徐冷する焼鈍処理を行えば、薄帯
５０の不均一な非晶質相が結晶化する結果、部分的に結
晶化しやすい領域が多数でき、不均一核生成するために
、得られる組織が微細となり、結果的に１００〜２００
オングストローム程度の微細結晶組織となる。この結果
、高い飽和磁束密度と透磁率を有する優れた軟磁気特性
を示し、硬度も高く、耐熱性にも優れたＦｅ系軟磁性合
金薄帯を得ることができる。
【００４５】次に本実施例の有効性を図２に示す実験結
果に基づいて説明する。
果に基づいて説明する。
【００４６】図２は、冷却ロール１０の表面粗さを薄帯
５０の両面の表面粗さとの関係を示したものであって、
横軸はロール研摩のために用いた研摩紙の砥粒ナンバー
、縦軸は接針式の表面粗さ計ににより測定した最大表面
粗さＲｍａｘ、および、ＪＩＳＢ０６０１に規定されて
いる十点平均粗さＲｚである。なお、本実験においては
、Ｆｅ９１Ｚｒ７Ｂ２なる組成のＦｅ系軟磁性合金の溶
湯を用いた。
５０の両面の表面粗さとの関係を示したものであって、
横軸はロール研摩のために用いた研摩紙の砥粒ナンバー
、縦軸は接針式の表面粗さ計ににより測定した最大表面
粗さＲｍａｘ、および、ＪＩＳＢ０６０１に規定されて
いる十点平均粗さＲｚである。なお、本実験においては
、Ｆｅ９１Ｚｒ７Ｂ２なる組成のＦｅ系軟磁性合金の溶
湯を用いた。
【００４７】図２から、自由凝固面の表面粗さは、冷却
ロールの表面粗さが大きい程（研摩紙の砥粒ナンバーが
小さい程）良くなり、冷却ロール表面粗さが小さくなっ
て鏡面に近付くほど（研摩紙の砥粒ナンバーが大きいほ
ど））悪化する傾向があることが分かる。
ロールの表面粗さが大きい程（研摩紙の砥粒ナンバーが
小さい程）良くなり、冷却ロール表面粗さが小さくなっ
て鏡面に近付くほど（研摩紙の砥粒ナンバーが大きいほ
ど））悪化する傾向があることが分かる。
【００４８】一方、冷却ロール接触面の表面粗さは、砥
粒ナンバーの大小によってあまり変化しないが、概ね冷
却ロール表面粗さが小さいほど（砥粒ナンバーが大きい
ほど）良くなる傾向を示すことが分かる。
粒ナンバーの大小によってあまり変化しないが、概ね冷
却ロール表面粗さが小さいほど（砥粒ナンバーが大きい
ほど）良くなる傾向を示すことが分かる。
【００４９】そして、冷却ロール表面を砥粒ナンバー８
００番の研摩紙により研摩した場合において、双方の表
面粗さがほぼ均等になり、しかも、その場合における表
面粗さは、冷却ロール表面を鏡面とした場合（従来の場
合）における冷却ロール接触面の表面粗さとほぼ同等程
度となる。また、砥粒ナンバー６００〜１０００番の砥
粒紙を用いた場合もほぼ同様の結果が得られるが、その
範囲外では、自由凝固面での表面粗さが大きくなってし
まい両面でのばらつきが拡大してしまう。
００番の研摩紙により研摩した場合において、双方の表
面粗さがほぼ均等になり、しかも、その場合における表
面粗さは、冷却ロール表面を鏡面とした場合（従来の場
合）における冷却ロール接触面の表面粗さとほぼ同等程
度となる。また、砥粒ナンバー６００〜１０００番の砥
粒紙を用いた場合もほぼ同様の結果が得られるが、その
範囲外では、自由凝固面での表面粗さが大きくなってし
まい両面でのばらつきが拡大してしまう。
【００５０】ところで、前記のように製造された薄帯を
６５０℃に１時間保持した後に徐冷して焼鈍した結果、
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯を得ることができた。
６５０℃に１時間保持した後に徐冷して焼鈍した結果、
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯を得ることができた。
【００５１】得られたＦｅ系軟磁性合金薄帯は、飽和時
速密度１．７ｋＧ、１ｋＨｚの透磁率１４０００を示し
、軟磁気特性に優れていることが判明した。また、この
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯は、ビッカース硬さで１３００Ｄ
ＰＮを示し磁気ヘッド用として十分な硬度を有すること
が明らかになった。
速密度１．７ｋＧ、１ｋＨｚの透磁率１４０００を示し
、軟磁気特性に優れていることが判明した。また、この
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯は、ビッカース硬さで１３００Ｄ
ＰＮを示し磁気ヘッド用として十分な硬度を有すること
が明らかになった。
【００５２】以上で説明したように、冷却ロール１０の
表面を砥粒ナンバー６００〜１０００番、好ましくは８
００番の研摩紙により研摩して得られる粗さに相当する
粗さとなすことによって、薄帯５０の両側の表面粗さを
十分に小さく、かつ、均等になし得るものであり、従っ
て、本実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材とし
ての軟磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である
。
表面を砥粒ナンバー６００〜１０００番、好ましくは８
００番の研摩紙により研摩して得られる粗さに相当する
粗さとなすことによって、薄帯５０の両側の表面粗さを
十分に小さく、かつ、均等になし得るものであり、従っ
て、本実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材とし
ての軟磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である
。
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように本発明の製造装置は
、冷却ロールの表面を砥粒ナンバー６００〜１０００番
の研摩紙により研摩して得られる粗さに相当する粗さと
し、冷却ロールにＦｅ系軟磁性合金の溶湯を噴き出して
薄帯を製造できるので、薄帯が冷却ロールに対して滑る
ことが抑制され、その結果、製造される薄帯の両面の表
面粗さを十分に小さく、かつ、均等になし得る効果を奏
する。また、用いる溶湯が、特定の組成のＦｅ系軟磁性
合金であるので、得られた薄帯は、飽和磁束密度が高く
、透磁率に優れるとともに、硬度が高いので、磁気ヘッ
ド用などとして好適なＦｅ系軟磁性合金の薄帯が得られ
る。
、冷却ロールの表面を砥粒ナンバー６００〜１０００番
の研摩紙により研摩して得られる粗さに相当する粗さと
し、冷却ロールにＦｅ系軟磁性合金の溶湯を噴き出して
薄帯を製造できるので、薄帯が冷却ロールに対して滑る
ことが抑制され、その結果、製造される薄帯の両面の表
面粗さを十分に小さく、かつ、均等になし得る効果を奏
する。また、用いる溶湯が、特定の組成のＦｅ系軟磁性
合金であるので、得られた薄帯は、飽和磁束密度が高く
、透磁率に優れるとともに、硬度が高いので、磁気ヘッ
ド用などとして好適なＦｅ系軟磁性合金の薄帯が得られ
る。
【００５４】また、本発明方法によれば、前記構成の製
造装置を用いるので、表面粗さが小さく、軟磁気特性に
優れ、磁気ヘッド用などとして好適なＦｅ系軟磁性合金
薄帯を製造することができる。
造装置を用いるので、表面粗さが小さく、軟磁気特性に
優れ、磁気ヘッド用などとして好適なＦｅ系軟磁性合金
薄帯を製造することができる。
【図１】図１は本発明の一実施例を示す側面図である。
【図２】図２は冷却ロール表面の粗さと薄帯表面の粗さ
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図３】図３は従来例の装置を示す側面図である。
【図４】図４は冷却速度と透磁率の関係を示すグラフで
ある。
ある。
１０ 冷却ロール
２０ ノズル
３０ 溶湯
４０ 溜まり
５０ 薄帯
Claims (6)
- 【請求項１】 回転駆動される冷却ロールと、この冷
却ロールの表面に先端を臨ませて近接配置され、Ｆｅ系
軟磁性合金の溶湯を冷却ロールの表面に吹き付けて前記
溶湯を冷却ロールの表面において冷却しつつ帯状となし
て冷却ロールの回転方向に引き出すようにするためのノ
ズルとを具備してなるＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置
において、冷却ロールの少なくとも外周面がＦｅ系合金
からなり、冷却ロールの外周面が、砥粒ナンバー６００
番ないし１０００番の研摩紙により研摩して得られる粗
さに相当する粗さに仕上げられてなることを特徴とする
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置。 - 【請求項２】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールであって、その外周面を
、砥粒ナンバー６００番ないし１０００番の研摩紙によ
り研摩して得られる粗さに相当する粗さに仕上げてなる
冷却ロールを用いることを特徴とするＦｅ系軟磁性合金
薄帯の製造方法。 - 【請求項３】 請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として、次式で示され
る組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを
特徴とするＦｅ系 軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ但し
ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、且
つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’はＣ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ
≦９２原子％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０
原子％、ｚ＝４．５原子％以下である。 - 【請求項４】 請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ Ｔ’ｚ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、Ｔ’
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から
選ばれた１種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９２原子
％、ｘ＝０．５〜１６原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ
＝４．５原子％以下である。 - 【請求項５】 請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｑ ａ）ｂ Ｂｘ Ｔｙ但しＱはＣｏ，
Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＴはＴｉ，Ｚｒ
，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ば
れた１種又は２種以上の元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆ
のいずれか、又は両方を含み、ａ≦０．０５、ｂ≦９３
原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％であ
る。 - 【請求項６】 請求項２に記載のＦｅ系軟磁性合金薄
帯の製造方法において、ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｔｙ 但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり
、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、ｂ≦
９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％
である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3022794A JPH04288950A (ja) | 1990-09-07 | 1991-01-23 | Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23775490 | 1990-09-07 | ||
| JP2-237754 | 1990-09-07 | ||
| JP3022794A JPH04288950A (ja) | 1990-09-07 | 1991-01-23 | Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04288950A true JPH04288950A (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=26360067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3022794A Withdrawn JPH04288950A (ja) | 1990-09-07 | 1991-01-23 | Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04288950A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414462B1 (ko) * | 2000-05-30 | 2004-01-07 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 자석 재료의 제조 방법, 리본상 자석 재료, 분말상 자석재료 및 결합 자석 |
| WO2012102379A1 (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-02 | 日立金属株式会社 | 急冷Fe基軟磁性合金薄帯及びその製造方法、並びに鉄心 |
-
1991
- 1991-01-23 JP JP3022794A patent/JPH04288950A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414462B1 (ko) * | 2000-05-30 | 2004-01-07 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 자석 재료의 제조 방법, 리본상 자석 재료, 분말상 자석재료 및 결합 자석 |
| WO2012102379A1 (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-02 | 日立金属株式会社 | 急冷Fe基軟磁性合金薄帯及びその製造方法、並びに鉄心 |
| US10468182B2 (en) | 2011-01-28 | 2019-11-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Rapidly quenched Fe-based soft-magnetic alloy ribbon and its production method and core |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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