JPH04288953A - Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法 - Google Patents
Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法Info
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- JPH04288953A JPH04288953A JP7864791A JP7864791A JPH04288953A JP H04288953 A JPH04288953 A JP H04288953A JP 7864791 A JP7864791 A JP 7864791A JP 7864791 A JP7864791 A JP 7864791A JP H04288953 A JPH04288953 A JP H04288953A
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Landscapes
- Continuous Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば磁気ヘッドや
トランスの素材として用いられるＦｅ系軟磁性合金薄帯
を連続的に製造するための方法に関する。
トランスの素材として用いられるＦｅ系軟磁性合金薄帯
を連続的に製造するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】非晶質合金の薄帯（リボン）を連続的に
製造するための装置として、図５に示すいわゆる単ロー
ル法によるものが知られている。これは、Ｃｕ製の冷却
ロール１を高速で回転させつつ、その頂部に近接配置し
たノズル２から溶融金属３を吹き付けることによって、
溶融金属３を冷却ロール１の表面で急速冷却して固化さ
せつつ、帯状となして冷却ロール１の回転方向に引き出
すようにしたものである。
製造するための装置として、図５に示すいわゆる単ロー
ル法によるものが知られている。これは、Ｃｕ製の冷却
ロール１を高速で回転させつつ、その頂部に近接配置し
たノズル２から溶融金属３を吹き付けることによって、
溶融金属３を冷却ロール１の表面で急速冷却して固化さ
せつつ、帯状となして冷却ロール１の回転方向に引き出
すようにしたものである。
【０００３】図５に示す装置の場合、ノズル２は冷却ロ
ール１の頂部においてほぼ鉛直となるように設けられ、
その先端と冷却ロール１の表面との間の間隔は１ｍｍ程
度以下に設定されるようになっている。
ール１の頂部においてほぼ鉛直となるように設けられ、
その先端と冷却ロール１の表面との間の間隔は１ｍｍ程
度以下に設定されるようになっている。
【０００４】そして、ノズル２より突出された溶融金属
３は、ノズル２の先端と冷却ロール１の表面との間にお
いて実質的に静止している溜まり（パドル）４を形成し
、冷却ロール１の回転に伴ってその溜まり４から溶融金
属３が引き出されていって冷却ロール１の表面上で冷却
されて帯状となって固化し、これによって薄帯５が連続
的に形成されるようになっている。
３は、ノズル２の先端と冷却ロール１の表面との間にお
いて実質的に静止している溜まり（パドル）４を形成し
、冷却ロール１の回転に伴ってその溜まり４から溶融金
属３が引き出されていって冷却ロール１の表面上で冷却
されて帯状となって固化し、これによって薄帯５が連続
的に形成されるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ヘッド
の素材として用いられる軟磁性合金は、特にその表面が
十分に平坦であること、即ち、表面粗さが十分に小さい
ことが要求されるが、前記従来の装置により製造される
薄帯の表面粗さは必ずしも音声用磁気ヘッドに用いる程
度に小さいものではなく、このため、表面をより平坦に
なしえる合金薄帯の製造装置の開発が要望されている。
の素材として用いられる軟磁性合金は、特にその表面が
十分に平坦であること、即ち、表面粗さが十分に小さい
ことが要求されるが、前記従来の装置により製造される
薄帯の表面粗さは必ずしも音声用磁気ヘッドに用いる程
度に小さいものではなく、このため、表面をより平坦に
なしえる合金薄帯の製造装置の開発が要望されている。
【０００６】ところで、磁気ヘッド、トランス 、チョ
ークコイル等に用いられる軟磁性合金において一般的に
要求される諸特性は以下の通りである ■飽和磁束密度が高いこと。 ■透磁率が高いこと。 ■低保磁力であること。 ■薄い形状が得やすいこと。
ークコイル等に用いられる軟磁性合金において一般的に
要求される諸特性は以下の通りである ■飽和磁束密度が高いこと。 ■透磁率が高いこと。 ■低保磁力であること。 ■薄い形状が得やすいこと。
【０００７】また、磁気ヘッドに対しては、前記■〜■
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。 ■硬度が高いこと。
に記載の特性の他に耐摩耗性の観点から以下の特性が要
求される。 ■硬度が高いこと。
【０００８】従って軟磁性合金あるいは磁気ヘッドを製
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。
造する場合、これらの観点から種々の合金系において材
料研究がなされている。
【０００９】そこで本発明者らは、先に、前記の従来合
金と非晶質合金の課題を解決した高飽和磁束密度Ｆｅ系
軟磁性合金を平成３年３月１８日付けで特許出願してい
る。
金と非晶質合金の課題を解決した高飽和磁束密度Ｆｅ系
軟磁性合金を平成３年３月１８日付けで特許出願してい
る。
【００１０】この特許出願に係る合金の１つは、次式で
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎ
ｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝
６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５
原子％以下である。
【００１１】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
【００１２】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
【００１３】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以
下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以
下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
【００１４】更に本発明者らは、前記合金の発展型の合
金として、平成３年３月１８日付けで、以下に示す組成
の合金について特許出願をしている。
金として、平成３年３月１８日付けで、以下に示す組成
の合金について特許出願をしている。
【００１５】この特許出願に係る合金の１つは、次式で
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
示される組成からなることを特徴とする高飽和磁束密度
Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００１６】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６
．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００１７】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
【００１８】また、前記特許出願に係る合金の他の１つ
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
は、次式で示される組成からなることを特徴とする高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金であった。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
【００１９】以上のように本発明者らは、前記各組成の
種々のＦｅ系軟磁性合金を開発したわけであるが、これ
らの合金を用い、図５に示す製造装置を更に改良して好
適な薄帯を製造できることが判明したので本願発明に到
達した。
種々のＦｅ系軟磁性合金を開発したわけであるが、これ
らの合金を用い、図５に示す製造装置を更に改良して好
適な薄帯を製造できることが判明したので本願発明に到
達した。
【００２０】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
、薄帯の両面での表面粗さのばらつきを低減し、高い飽
和磁束密度と高透磁率を兼備し、かつ高い機械強度と高
い熱安定性を有するＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法を
提供することを目的とする。
、薄帯の両面での表面粗さのばらつきを低減し、高い飽
和磁束密度と高透磁率を兼備し、かつ高い機械強度と高
い熱安定性を有するＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法を
提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載した発明
は、前記課題を解決するために、回転駆動される冷却ロ
ールの表面に、先端が前記冷却ロールの表面に臨むよう
に配置されたノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き
付けることによってその溶湯を冷却ロールの表面におい
て冷却して帯状となして冷却ロールの回転方向に引き出
すＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法において、少なくと
も外周面をＦｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、
前記ノズルを前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側
に向けて頂部に近接配置し、このノズルの前端から溶湯
を冷却ロールの表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロ
ールに吹き付けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次
式で示される組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用
いることを特徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法
。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以上
の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６
．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原
子％以下である。
は、前記課題を解決するために、回転駆動される冷却ロ
ールの表面に、先端が前記冷却ロールの表面に臨むよう
に配置されたノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き
付けることによってその溶湯を冷却ロールの表面におい
て冷却して帯状となして冷却ロールの回転方向に引き出
すＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法において、少なくと
も外周面をＦｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、
前記ノズルを前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側
に向けて頂部に近接配置し、このノズルの前端から溶湯
を冷却ロールの表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロ
ールに吹き付けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次
式で示される組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用
いることを特徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法
。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以上
の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６
．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原
子％以下である。
【００２２】請求項２に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
【００２３】請求項３に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００２４】請求項４に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但しＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．
５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但しＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．
５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００２５】請求項５に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
【００２６】請求項６に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
【００２７】請求項７に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
【００２８】請求項８に記載した発明は、前記課題を解
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
決するために、 回転駆動される冷却ロールの表面に
、先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置された
ノズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることに
よってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯
状となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁
性合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦ
ｅ系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを
前記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部
に近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロール
の表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付
けられるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される
組成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特
徴とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
【００２９】
【作用】本発明ではノズルの先端を冷却ロールの表面に
対してその回転方向後方側に向くように斜めに臨ませる
ことになるので、ノズルを冷却ロールに真っ直ぐに臨ま
せる構成の従来方法に比較すると、ノズルの先端と冷却
ロールとの間に形成される溜まり（パドル）が大きくな
る。そして、冷却ロールの回転により溜まりから溶融金
属が引き出されて薄帯が形成され、その際、溜まりの体
積が大きいほど実質的な体積変動が小さくなり、従って
、溜まりが小さい場合に比して溶融金属が安定的に引き
出されてゆき、これによって形成される薄帯の表面粗さ
が改善される。その結果、磁気ヘッド用として好適なＦ
ｅ系軟磁性薄帯が得られる。
対してその回転方向後方側に向くように斜めに臨ませる
ことになるので、ノズルを冷却ロールに真っ直ぐに臨ま
せる構成の従来方法に比較すると、ノズルの先端と冷却
ロールとの間に形成される溜まり（パドル）が大きくな
る。そして、冷却ロールの回転により溜まりから溶融金
属が引き出されて薄帯が形成され、その際、溜まりの体
積が大きいほど実質的な体積変動が小さくなり、従って
、溜まりが小さい場合に比して溶融金属が安定的に引き
出されてゆき、これによって形成される薄帯の表面粗さ
が改善される。その結果、磁気ヘッド用として好適なＦ
ｅ系軟磁性薄帯が得られる。
【００３０】また、特定の組成の軟磁性合金の溶湯を用
いるので、高い飽和磁束密度と高い透磁率を示し、硬度
が高く、耐熱性に優れた磁気ヘッド用などとして好適な
Ｆｅ系軟磁性合金の薄帯が得られる。
いるので、高い飽和磁束密度と高い透磁率を示し、硬度
が高く、耐熱性に優れた磁気ヘッド用などとして好適な
Ｆｅ系軟磁性合金の薄帯が得られる。
【００３１】
【実施例】以下に本発明を図面を参照しながら説明する
。図１と図２は本発明の方法で使用する装置の一実施例
を示すもので、本実施例での装置は、図５に示した従来
の装置と略同等の構成であり、冷却ロール１０を高速で
回転させつつ、その頂部に近接配置したノズル２０から
溶融金属３０を吹き付けることによって、溶融金属３０
を冷却ロール１０の表面で急速冷却して固化させつつ冷
却ロール１０の回転方向に帯状となして引き出す装置で
ある。
。図１と図２は本発明の方法で使用する装置の一実施例
を示すもので、本実施例での装置は、図５に示した従来
の装置と略同等の構成であり、冷却ロール１０を高速で
回転させつつ、その頂部に近接配置したノズル２０から
溶融金属３０を吹き付けることによって、溶融金属３０
を冷却ロール１０の表面で急速冷却して固化させつつ冷
却ロール１０の回転方向に帯状となして引き出す装置で
ある。
【００３２】本実施例の装置で従来例の装置と異なって
いるのは、まず、冷却ロール１０の全体がＦｅ系の合金
からなることである。即ち、冷却ロール１０はステンレ
ス、工具鋼などのＦｅ系の合金から構成されている。冷
却ロール１０をＦｅ系の合金から構成したのは、溶融金
属３０として後述するようにＦｅ系の軟磁性合金を用い
るので、この合金とのぬれ性を良くするためである。な
お、この実施例では冷却ロール１０の全体をＦｅ系合金
で形成したが、冷却ロール１０の外周部分のみを前記の
Ｆｅ系合金で構成しても良いのは勿論である。
いるのは、まず、冷却ロール１０の全体がＦｅ系の合金
からなることである。即ち、冷却ロール１０はステンレ
ス、工具鋼などのＦｅ系の合金から構成されている。冷
却ロール１０をＦｅ系の合金から構成したのは、溶融金
属３０として後述するようにＦｅ系の軟磁性合金を用い
るので、この合金とのぬれ性を良くするためである。な
お、この実施例では冷却ロール１０の全体をＦｅ系合金
で形成したが、冷却ロール１０の外周部分のみを前記の
Ｆｅ系合金で構成しても良いのは勿論である。
【００３３】本実施例の装置では、図１に示すように、
冷却ロール１０の回転方向が図５の場合と逆になってい
て、製造された薄帯５０は、図１において左方向に引き
出されるようになっている。
冷却ロール１０の回転方向が図５の場合と逆になってい
て、製造された薄帯５０は、図１において左方向に引き
出されるようになっている。
【００３４】また、ノズル２０は、冷却ロール１０の頂
部に近接配置されているが、そのノズル２０は、先端が
回転方向後方側（図１において右側）を向くように鉛直
に対して傾斜する状態で設けられている。ノズル２０の
鉛直に対する傾斜核度θ（図２参照）は、後述する理由
により４０°を越えない範囲に設定されている。
部に近接配置されているが、そのノズル２０は、先端が
回転方向後方側（図１において右側）を向くように鉛直
に対して傾斜する状態で設けられている。ノズル２０の
鉛直に対する傾斜核度θ（図２参照）は、後述する理由
により４０°を越えない範囲に設定されている。
【００３５】前記ノズル２０の各部の寸法や冷却ロール
１との間の間隔は適宜設定して良いが、好ましくは、図
２に示すノズル２０のスリットの寸法ｔ１を０．５ｍｍ
、肉厚寸法ｔ２を１．０ｍｍ、冷却ロール１の最頂部を
通る接線とノズル２０の最下端との間の距離ｌ１を０．
５ｍｍ程度とすることが好ましい。
１との間の間隔は適宜設定して良いが、好ましくは、図
２に示すノズル２０のスリットの寸法ｔ１を０．５ｍｍ
、肉厚寸法ｔ２を１．０ｍｍ、冷却ロール１の最頂部を
通る接線とノズル２０の最下端との間の距離ｌ１を０．
５ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００３６】また、スリットの下部と前記接線との間の
間隔ｌ２は、ｌ２＝ｌ１＋ｔ２ｓｉｎθとなり、またス
リットの上部と前記接線との間の間隔ｌ３は、ｌ３＝ｌ
１＋（ｔ１＋ｔ２）ｓｉｎθとなるので、前記のように
ｔ１＝０．５ｍｍ、ｔ２＝１．０ｍｍ、ｌ１＝０．５ｍ
ｍとし、θ＝４０°とした場合には、ｌ２≒１．１４ｍ
ｍ、ｌ３≒１．４６ｍｍとなる。
間隔ｌ２は、ｌ２＝ｌ１＋ｔ２ｓｉｎθとなり、またス
リットの上部と前記接線との間の間隔ｌ３は、ｌ３＝ｌ
１＋（ｔ１＋ｔ２）ｓｉｎθとなるので、前記のように
ｔ１＝０．５ｍｍ、ｔ２＝１．０ｍｍ、ｌ１＝０．５ｍ
ｍとし、θ＝４０°とした場合には、ｌ２≒１．１４ｍ
ｍ、ｌ３≒１．４６ｍｍとなる。
【００３７】次に、冷却ロール１０に吹き付ける溶湯３
０として、次式に示す組成のＦｅ系軟磁性合金の溶湯を
用いることができる。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以上
の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６
．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原
子％以下である。
０として、次式に示す組成のＦｅ系軟磁性合金の溶湯を
用いることができる。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以上
の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６
．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原
子％以下である。
【００３８】また、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ
，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２
種以上の元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１
８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下
である。
【００３９】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００４０】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但しＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．
５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但しＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．
５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。
【００４１】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。
【００４２】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。
【００４３】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。
【００４４】更に、溶湯３０として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることができ
る。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
【００４５】本発明により製造されるＦｅ系合金は、前
記組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶質合金
を溶湯から急冷することにより得る工程と、これを加熱
し、微細な結晶粒を形成する熱処理工程によって通常得
ることができる。
記組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶質合金
を溶湯から急冷することにより得る工程と、これを加熱
し、微細な結晶粒を形成する熱処理工程によって通常得
ることができる。
【００４６】本発明において非晶質相を得やすくするた
めには、非晶質形成能を有するＴｉ，Ｎｂ，Ｔａの少な
くとも１つ及びＢを含む必要がある。
めには、非晶質形成能を有するＴｉ，Ｎｂ，Ｔａの少な
くとも１つ及びＢを含む必要がある。
【００４７】Ｂには本発明合金の非晶質形成能を高める
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためＢ添加は必須である。Ｂと同様にＡ１，Ｓ
ｉ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成元素として一般に用いられて
おり、これらの元素を添加した場合も本発明と同一とみ
なすことができる。
効果、および前記熱処理工程において磁気特性に悪影響
を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果があると考えら
れ、このためＢ添加は必須である。Ｂと同様にＡ１，Ｓ
ｉ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成元素として一般に用いられて
おり、これらの元素を添加した場合も本発明と同一とみ
なすことができる。
【００４８】ＴｉとＮｂとＴａにも同等の効果があるが
、これらの元素の中でもＮｂとＴａは、融点の高い金属
材料であって熱的に安定であり、製造時に酸化しずらい
ものである。よってこれらの元素を添加している場合は
、先に本願発明者らが特許出願（特願平２−１０８３０
８号）している材料においてＨｆやＺｒを含有するもの
よりも製造条件が容易で安価に製造することができ、ま
た、コストの面でも有利である。即ち、先に本願発明者
らが特許出願している系の合金においては、真空雰囲気
中において不活性ガスを供給して酸化に留意しつつ製造
する必要があったが、本願発明の合金においては製造条
件をゆるくすることができる。具体的には、ノズル先端
部に不活性ガスを部分的に供給しつつ大気中で製造、も
しくは大気中の雰囲気で製造することができる。
、これらの元素の中でもＮｂとＴａは、融点の高い金属
材料であって熱的に安定であり、製造時に酸化しずらい
ものである。よってこれらの元素を添加している場合は
、先に本願発明者らが特許出願（特願平２−１０８３０
８号）している材料においてＨｆやＺｒを含有するもの
よりも製造条件が容易で安価に製造することができ、ま
た、コストの面でも有利である。即ち、先に本願発明者
らが特許出願している系の合金においては、真空雰囲気
中において不活性ガスを供給して酸化に留意しつつ製造
する必要があったが、本願発明の合金においては製造条
件をゆるくすることができる。具体的には、ノズル先端
部に不活性ガスを部分的に供給しつつ大気中で製造、も
しくは大気中の雰囲気で製造することができる。
【００４９】本発明においては、Ｃｕ，Ｎｉおよびこれ
らと同族元素のうちから選ばれた少なくとも１種又は２
種以上の元素をＯ．２〜４．５原子％含むことが好まし
い。 添加量が０．２原子％より少ないと前記の熱処理工程に
より優れた軟磁気特性を得ることが難しいが、飽和磁束
密度が若干高くなるので、これらの元素は０．２原子％
以下でも良い。これらの元素の中でもＣｕは特に好適で
ある。
らと同族元素のうちから選ばれた少なくとも１種又は２
種以上の元素をＯ．２〜４．５原子％含むことが好まし
い。 添加量が０．２原子％より少ないと前記の熱処理工程に
より優れた軟磁気特性を得ることが難しいが、飽和磁束
密度が若干高くなるので、これらの元素は０．２原子％
以下でも良い。これらの元素の中でもＣｕは特に好適で
ある。
【００５０】Ｃｕ，Ｎｉ等の添加により、軟磁気特性が
著しく改善される機構については明らかではないが、結
晶化温度を示差熱分析法により測定したところ、Ｃｕ，
Ｎｉ等を添加した合金の結晶化温度は、添加しない合金
に比べてやや低い温度であると認められた。これは前記
元素の添加により非晶質相が不均一となり、その結果、
非晶質相の安定性が低下したことに起因すると考えられ
る。 また不均一な非晶質相が結晶化する場合、部分的に結晶
化しやすい領域が多数でき不均一核生成するため、得ら
れる組織が微細結晶粒組織となると考えられる。また特
にＦｅに対する固溶度が著しく低い元素であるＣｕの場
合、相分離傾向があるため、加熱によりミクロな組成ゆ
らぎが生じ、非晶質相が不均一となる傾向がより顕著に
なると考えられ、組織の微細化に寄与するものと考えら
れる。
著しく改善される機構については明らかではないが、結
晶化温度を示差熱分析法により測定したところ、Ｃｕ，
Ｎｉ等を添加した合金の結晶化温度は、添加しない合金
に比べてやや低い温度であると認められた。これは前記
元素の添加により非晶質相が不均一となり、その結果、
非晶質相の安定性が低下したことに起因すると考えられ
る。 また不均一な非晶質相が結晶化する場合、部分的に結晶
化しやすい領域が多数でき不均一核生成するため、得ら
れる組織が微細結晶粒組織となると考えられる。また特
にＦｅに対する固溶度が著しく低い元素であるＣｕの場
合、相分離傾向があるため、加熱によりミクロな組成ゆ
らぎが生じ、非晶質相が不均一となる傾向がより顕著に
なると考えられ、組織の微細化に寄与するものと考えら
れる。
【００５１】以上の観点からＣｕ及びその同族元素、Ｎ
ｉおよびＰｄ，Ｐｔ以外の元素でも結晶化温度を低下さ
せる元素には同様の効果が期待できる。またＣｕのよう
にＦｅに対する固溶限が小さい元素にも同様の効果が期
待できる。
ｉおよびＰｄ，Ｐｔ以外の元素でも結晶化温度を低下さ
せる元素には同様の効果が期待できる。またＣｕのよう
にＦｅに対する固溶限が小さい元素にも同様の効果が期
待できる。
【００５２】以上、本発明の軟磁性合金に含まれる合金
元素の限定理由を説明したが、これらの元素以外でも耐
食性を改善するために、Ｃｒ，Ｍｏ，あるいはＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｉｒなどの白金族元素を添加することも可能であり
、また、必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃｄ，
Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ，Ｓ
ｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等の元
素を添加することで磁歪を調整することもできる。その
他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については所望
の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金の組成と同一とみなすこと
ができるのは勿論である。
元素の限定理由を説明したが、これらの元素以外でも耐
食性を改善するために、Ｃｒ，Ｍｏ，あるいはＲｕ，Ｒ
ｈ，Ｉｒなどの白金族元素を添加することも可能であり
、また、必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃｄ，
Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ，Ｓ
ｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等の元
素を添加することで磁歪を調整することもできる。その
他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については所望
の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の高飽
和磁束密度Ｆｅ系軟磁性合金の組成と同一とみなすこと
ができるのは勿論である。
【００５３】本発明で使用するＦｅ系軟磁性合金溶湯に
おけるＦｅ，Ｃｏ量のｂは、元素Ｔ’ｚを含む合金溶湯
においては９２原子％以下である。これは、ｂが９２原
子％を越えると高い透磁率が得られないためであるが、
飽和磁束密度１０ｋＧ以上を得るためには、ｂが７５原
子％以上であることがより好ましい。また、元素Ｔ’ｚ
を含まない合金溶湯においては、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ量を
９３原子％以下とする。
おけるＦｅ，Ｃｏ量のｂは、元素Ｔ’ｚを含む合金溶湯
においては９２原子％以下である。これは、ｂが９２原
子％を越えると高い透磁率が得られないためであるが、
飽和磁束密度１０ｋＧ以上を得るためには、ｂが７５原
子％以上であることがより好ましい。また、元素Ｔ’ｚ
を含まない合金溶湯においては、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ量を
９３原子％以下とする。
【００５４】Ｔ’ｚが４．５原子％を超えると飽和磁束
密度が低下し、本発明の特徴が失われてしまう。
密度が低下し、本発明の特徴が失われてしまう。
【００５５】次に、図１に示す装置を用いてＦｅ系軟磁
性合金薄帯を製造する場合について説明する。
性合金薄帯を製造する場合について説明する。
【００５６】図１に示す矢印Ａ方向に冷却ロール１０を
高速回転させて前記組成の合金の溶湯をノズル２０から
噴出させると、合金溶湯は冷却ロール１０の頂部に溜ま
り４０を形成しながら冷却ロール１０の表面に沿って押
し出され、薄帯５０が得られる。この薄帯５０において
は大部分が不均一な非晶質相からなるものである。
高速回転させて前記組成の合金の溶湯をノズル２０から
噴出させると、合金溶湯は冷却ロール１０の頂部に溜ま
り４０を形成しながら冷却ロール１０の表面に沿って押
し出され、薄帯５０が得られる。この薄帯５０において
は大部分が不均一な非晶質相からなるものである。
【００５７】ここで、冷却ロール１０の外周面は、Ｆｅ
系の合金からなり、Ｆｅ系軟磁性合金とのぬれ性が良好
であるので、冷却ロール１０から薄帯５０が円滑に送り
出されるものである。これに対し、Ｃｕ製などのＦｅ系
合金以外の冷却ロールを用いると、噴出の際に溶湯が飛
散し、形状が良好なリボンの作製が困難となるので好ま
しくない。
系の合金からなり、Ｆｅ系軟磁性合金とのぬれ性が良好
であるので、冷却ロール１０から薄帯５０が円滑に送り
出されるものである。これに対し、Ｃｕ製などのＦｅ系
合金以外の冷却ロールを用いると、噴出の際に溶湯が飛
散し、形状が良好なリボンの作製が困難となるので好ま
しくない。
【００５８】ここで冷却ロール１０の上に形成される溜
まり４０は、十分な大きさに形成されるので、この大き
な溜まり４０から薄帯５０が引き出されてゆく。このよ
うに溜まり４０が十分に大きければ、溜まり４０の大き
さの変動が少ないので、厚さの均一な薄帯５０が得られ
る。
まり４０は、十分な大きさに形成されるので、この大き
な溜まり４０から薄帯５０が引き出されてゆく。このよ
うに溜まり４０が十分に大きければ、溜まり４０の大き
さの変動が少ないので、厚さの均一な薄帯５０が得られ
る。
【００５９】このように得られた薄帯５０に対し、５０
０〜６２０℃に加熱後徐冷する焼鈍処理を行えば、薄帯
５０の不均一な非晶質相が結晶化する結果、部分的に結
晶化しやすい領域が多数でき、不均一核生成するために
、得られる組織が微細となり、結果的に１００〜２００
オングストローム程度の微細結晶組織となる。この結果
、高い飽和磁束密度と透磁率を有する優れた軟磁気特性
を示し、硬度も高く、耐熱性にも優れたＦｅ系軟磁性合
金薄帯を得ることができる。
０〜６２０℃に加熱後徐冷する焼鈍処理を行えば、薄帯
５０の不均一な非晶質相が結晶化する結果、部分的に結
晶化しやすい領域が多数でき、不均一核生成するために
、得られる組織が微細となり、結果的に１００〜２００
オングストローム程度の微細結晶組織となる。この結果
、高い飽和磁束密度と透磁率を有する優れた軟磁気特性
を示し、硬度も高く、耐熱性にも優れたＦｅ系軟磁性合
金薄帯を得ることができる。
【００６０】ここで、図３はノズル２０の傾斜角度θと
表面粗さＲｚの関係を示す実測データであって、横軸は
ノズル２０の傾斜角度θ、縦軸は傾斜角度が０°である
場合の表面粗さＲｚに対するノズル２０を傾斜させた場
合の表面粗さＲｚの比 Ｒｚ／Ｒｚ０を表すものである
。図３から傾斜角度θが大きくなるほど表面粗さＲｚが
小さくなる、即ち、表面がより平坦となる傾向を示すこ
とが分かる。なお、表面粗さＲｚ０およびＲｚの計算値
は、ＪＩＳ Ｂ０６０１に規定されている十点平均粗さ
を触針式の表面粗さ計によって計測したものである。
表面粗さＲｚの関係を示す実測データであって、横軸は
ノズル２０の傾斜角度θ、縦軸は傾斜角度が０°である
場合の表面粗さＲｚに対するノズル２０を傾斜させた場
合の表面粗さＲｚの比 Ｒｚ／Ｒｚ０を表すものである
。図３から傾斜角度θが大きくなるほど表面粗さＲｚが
小さくなる、即ち、表面がより平坦となる傾向を示すこ
とが分かる。なお、表面粗さＲｚ０およびＲｚの計算値
は、ＪＩＳ Ｂ０６０１に規定されている十点平均粗さ
を触針式の表面粗さ計によって計測したものである。
【００６１】このように、ノズル２０を傾斜させること
によって表面粗さＲｚが小さくなる理由は、ノズル２０
の先端と冷却ロール１の間に形成される溜まり（パドル
）４０がノズル２０を傾斜させない場合に比較して大き
なものとなり、従ってこの溜まり４０より溶融金属３０
が引き出されていくことに伴う溜まり４０の微少な体積
変動が実質的に低減し、溶融金属３０が安定に引き出さ
れていくためと考えられる。
によって表面粗さＲｚが小さくなる理由は、ノズル２０
の先端と冷却ロール１の間に形成される溜まり（パドル
）４０がノズル２０を傾斜させない場合に比較して大き
なものとなり、従ってこの溜まり４０より溶融金属３０
が引き出されていくことに伴う溜まり４０の微少な体積
変動が実質的に低減し、溶融金属３０が安定に引き出さ
れていくためと考えられる。
【００６２】なお、ノズル２０の最下端と冷却ロール１
との間の間隔寸法ｌ１を一定にしている場合においては
、傾斜角度θが大きくなるほど溜まり４０が大きくなっ
てゆくが、傾斜角度θが４０°を越えてしまうと、溶融
金属３０はその自重により冷却ロール１０の移転方向後
方側に流下してしまって溜まり４０が形成されなくなり
、従って、傾斜角度θは４０°を越えない範囲で設定す
る必要がある。
との間の間隔寸法ｌ１を一定にしている場合においては
、傾斜角度θが大きくなるほど溜まり４０が大きくなっ
てゆくが、傾斜角度θが４０°を越えてしまうと、溶融
金属３０はその自重により冷却ロール１０の移転方向後
方側に流下してしまって溜まり４０が形成されなくなり
、従って、傾斜角度θは４０°を越えない範囲で設定す
る必要がある。
【００６３】また、ノズル２０をその先端が冷却ロール
１０の回転方向先方側に向くように傾斜させた場合には
大きな溜まり４０が形成されることがなく、従って、そ
の場合は表面粗さが改善される効果を奏するものではな
い。
１０の回転方向先方側に向くように傾斜させた場合には
大きな溜まり４０が形成されることがなく、従って、そ
の場合は表面粗さが改善される効果を奏するものではな
い。
【００６４】一方、図４は、ノズル２０の傾斜角度θを
一定とした場合における、ノズル２０の先端と冷却ロー
ル１０の表面との間隔が表面粗さに対して及ぼす影響を
調べたものである。図４において横軸はノズル２０の先
端と冷却ロール１０の表面との間隔（前記のｌ１寸法）
であり、縦軸は形成された薄帯５の表面粗さＲｚ，Ｒｍ
ａｘである。Ｒｍａｘは触針式の表面粗さ計により計測
した最大表面粗さである。この図から、ｌ１寸法を０．
３〜０．５ｍｍの範囲内に設定した場合に表面粗さＲｚ
，Ｒｍａｘが最も小さくなることがわかるので、前記ｌ
１の値をその範囲内に設定することが好ましい。その場
合、前記のノズル２０を用いてθ＝４０°とした場合に
あっては、ｌ２＝０．９４〜１．１４ｍｍ、ｌ３≒１．
２６〜１．４６ｍｍとなるので、ノズル２０のスリット
と冷却ロール１０との間の間隔は、通常１ｍｍ以下とさ
れている従来の場合に比して実質的に大きなものとなる
。
一定とした場合における、ノズル２０の先端と冷却ロー
ル１０の表面との間隔が表面粗さに対して及ぼす影響を
調べたものである。図４において横軸はノズル２０の先
端と冷却ロール１０の表面との間隔（前記のｌ１寸法）
であり、縦軸は形成された薄帯５の表面粗さＲｚ，Ｒｍ
ａｘである。Ｒｍａｘは触針式の表面粗さ計により計測
した最大表面粗さである。この図から、ｌ１寸法を０．
３〜０．５ｍｍの範囲内に設定した場合に表面粗さＲｚ
，Ｒｍａｘが最も小さくなることがわかるので、前記ｌ
１の値をその範囲内に設定することが好ましい。その場
合、前記のノズル２０を用いてθ＝４０°とした場合に
あっては、ｌ２＝０．９４〜１．１４ｍｍ、ｌ３≒１．
２６〜１．４６ｍｍとなるので、ノズル２０のスリット
と冷却ロール１０との間の間隔は、通常１ｍｍ以下とさ
れている従来の場合に比して実質的に大きなものとなる
。
【００６５】ところで、前記のように製造されたＦｅ８
０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１なる組成の合金薄帯を６００℃に
１時間保持した後に、徐冷して焼鈍した結果、Ｆｅ系軟
磁性合金薄帯を得ることができた。
０Ｎｂ７Ｂ１２Ｃｕ１なる組成の合金薄帯を６００℃に
１時間保持した後に、徐冷して焼鈍した結果、Ｆｅ系軟
磁性合金薄帯を得ることができた。
【００６６】得られたＦｅ系軟磁性合金薄帯は、飽和磁
束密度１４．１（ｋＧ）、１ｋＨｚの透磁率２８８００
を示し、軟磁気特性に優れていることが判明した。
束密度１４．１（ｋＧ）、１ｋＨｚの透磁率２８８００
を示し、軟磁気特性に優れていることが判明した。
【００６７】また、このＦｅ系軟磁性合金薄帯は、ビッ
カース硬さで９５０（ＤＰＮ）を示し磁気ヘッド用とし
て十分な硬度を有することが明らかになった。
カース硬さで９５０（ＤＰＮ）を示し磁気ヘッド用とし
て十分な硬度を有することが明らかになった。
【００６８】以上で説明したように、薄帯５０の両側の
表面粗さを十分に小さくできるものであり、従って、本
実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材としての軟
磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である。
表面粗さを十分に小さくできるものであり、従って、本
実施例の装置は特に音声用磁気ヘッドの素材としての軟
磁性合金の薄帯を製造する装置として好適である。
【００６９】
【発明の効果】以上説明したように本発明の方法は、ノ
ズルを冷却ロールの回転方向の後方側に向けて傾斜させ
るので、冷却ロールとノズルとの間に形成される溜まり
を大きくすることができ、この大きな溜まりから薄帯を
引き出せるので、大きさの変動の少ない溜まりから安定
的に薄帯を引き出せる。その結果、製造される薄帯の両
面の表面粗さを十分に小さく、かつ、均等になし得る効
果を奏する。
ズルを冷却ロールの回転方向の後方側に向けて傾斜させ
るので、冷却ロールとノズルとの間に形成される溜まり
を大きくすることができ、この大きな溜まりから薄帯を
引き出せるので、大きさの変動の少ない溜まりから安定
的に薄帯を引き出せる。その結果、製造される薄帯の両
面の表面粗さを十分に小さく、かつ、均等になし得る効
果を奏する。
【００７０】また、用いる溶湯が、特定の組成のＦｅ系
軟磁性合金の溶湯であるので、得られた薄帯は、飽和磁
束密度が高く、透磁率に優れるとともに、硬度が高いの
で、磁気ヘッド用などとして好適なＦｅ系軟磁性合金の
薄帯が得られる。
軟磁性合金の溶湯であるので、得られた薄帯は、飽和磁
束密度が高く、透磁率に優れるとともに、硬度が高いの
で、磁気ヘッド用などとして好適なＦｅ系軟磁性合金の
薄帯が得られる。
【図１】本発明装置の一実施例を示す冷却ロールとノズ
ルを示す断面図である。
ルを示す断面図である。
【図２】本発明装置の一実施例を示すノズルの傾斜角度
を示すための説明図である。
を示すための説明図である。
【図３】ノズル傾斜角度と表面粗さの関係を示す図であ
る。
る。
【図４】ノズルと冷却ロールの間隔と表面粗さの関係を
示す図である。
示す図である。
【図５】従来の冷却ロールとノズルを示す断面図である
。
。
１０ 冷却ロール
２０ ノズル
３０ 溶湯
４０ 溜まり
５０ 薄帯
Claims (8)
- 【請求項１】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以上
の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６
．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、ｚ＝４．５原
子％以下である。 - 【請求項２】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，
Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素で
あり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔから
なる群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、ｂ
≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４〜１０
原子％、ｚ＝４．５原子％以下である。 - 【請求項３】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ但し、ＭはＣｏ
，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、ＬはＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元
素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．５
〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。 - 【請求項４】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金溶湯として、次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ 但しＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝６．
５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％である。 - 【請求項５】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｃｏ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ
Ｄ ｓ Ｘ但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群か
ら選ばれた１種又は２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ
，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選
ばれた１種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆ
の少なくとも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、
Ｒｈ、Ｉｒの中から選択される元素であり、ａ≦０．０
５、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜１８原子％、ｙ＝４
〜１０原子％、ｚ＝４．５原子％以下、ｓ＝４〜１０原
子％ である。 - 【請求項６】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｔ’ｚ Ｄ ｓ Ｘ但し、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｔ’はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｎｉ
，Ｐｄ，Ｐｔ からなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一方で
あり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から
選択される元素であり、ｂ≦９２原子％、ｘ＝６．５〜
１８原子％、ｙ＝４〜１０原子％、 ｚ＝４．５原子
％以下、ｓ＝４〜１０原子％ である。 - 【請求項７】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 （Ｆｅ１−ａ Ｍ ａ）ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄｓ Ｘ但
し、ＭはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であり、
ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なくとも一
方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中
から選択される元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原
子％、ｘ＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓ
は４〜１０原子％である。 - 【請求項８】 回転駆動される冷却ロールの表面に、
先端が前記冷却ロールの表面に臨むように配置されたノ
ズルからＦｅ系軟磁性合金の溶湯を吹き付けることによ
ってその溶湯を冷却ロールの表面において冷却して帯状
となして冷却ロールの回転方向に引き出すＦｅ系軟磁性
合金薄帯の製造方法において、少なくとも外周面をＦｅ
系合金から構成した冷却ロールを用い、前記ノズルを前
記冷却ロールの頂部より回転方向後方側に向けて頂部に
近接配置し、このノズルの前端から溶湯を冷却ロールの
表面に吹き付け、前記ノズルから冷却ロールに吹き付け
られるＦｅ系軟磁性合金の溶湯として次式で示される組
成からなるＦｅ系軟磁性合金の溶湯を用いることを特徴
とするＦｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法。 Ｆｅ ｂ Ｂｘ Ｌｙ Ｄ ｓ Ｘ 但し、ＬはＴｉ，Ｎｂ，Ｔａからなる群から選ばれた１
種又は２種以上の元素であり、ＤはＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ
＝６．５〜１０原子％、ｙ＝４〜９原子％、ｓは４〜１
０原子％である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7864791A JPH04288953A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7864791A JPH04288953A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04288953A true JPH04288953A (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=13667659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7864791A Withdrawn JPH04288953A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | Ｆｅ系軟磁性合金薄帯の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04288953A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5741557A (en) * | 1993-07-30 | 1998-04-21 | International Business Machines Corporation | Method for depositing metal fine lines on a substrate |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP7864791A patent/JPH04288953A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5741557A (en) * | 1993-07-30 | 1998-04-21 | International Business Machines Corporation | Method for depositing metal fine lines on a substrate |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |