JPH04287380A - 超電導電磁波検出素子及びその作製方法 - Google Patents
超電導電磁波検出素子及びその作製方法Info
- Publication number
- JPH04287380A JPH04287380A JP3076853A JP7685391A JPH04287380A JP H04287380 A JPH04287380 A JP H04287380A JP 3076853 A JP3076853 A JP 3076853A JP 7685391 A JP7685391 A JP 7685391A JP H04287380 A JPH04287380 A JP H04287380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic wave
- superconducting
- aqueous solution
- resistance
- nitrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 7
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims abstract description 5
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 10
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 6
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 230000005668 Josephson effect Effects 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超電導電磁波検出素子に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】昨今の電気通信技術の発達に伴い、通信
衛星等を利用した情報通信分野において、より高い周波
数帯域の受信機が求められており、ミリ波、サブミリ波
帯における受信機、即ち超電導電磁波検出素子の需要性
が見直されてきている。従来、Ｎｂ等の金属系超電導体
を用いて作製された超電導電磁波検出素子は、実験室レ
ベルにおいては点接触型の素子でその特性が得られてい
る。しかし、点接触型の欠点である接触部における表面
酸化、ヒートサイクルにおける特性の劣化、再現性が得
られないこと等の問題からその実用化が難しい。また、
高温酸化物超電導体を用いて点接触型素子を作製する場
合は、接触部の表面劣化により臨界温度が低くなるとい
う問題があった。
衛星等を利用した情報通信分野において、より高い周波
数帯域の受信機が求められており、ミリ波、サブミリ波
帯における受信機、即ち超電導電磁波検出素子の需要性
が見直されてきている。従来、Ｎｂ等の金属系超電導体
を用いて作製された超電導電磁波検出素子は、実験室レ
ベルにおいては点接触型の素子でその特性が得られてい
る。しかし、点接触型の欠点である接触部における表面
酸化、ヒートサイクルにおける特性の劣化、再現性が得
られないこと等の問題からその実用化が難しい。また、
高温酸化物超電導体を用いて点接触型素子を作製する場
合は、接触部の表面劣化により臨界温度が低くなるとい
う問題があった。
【０００３】一方、これらの問題点が比較的少ないブリ
ッジ型に代表されるウイークリンク型素子に関しては、
Ｎｂ系において素子を複数個直列接続してチップを作製
するものが提案されている（Ｚ．Ｗａｎｇ ｅｔ． ａ
ｌ；Ｅｌｅｃ．Ｃｏｎｆ．，ＩＳＥＣ ’８９ ｄｉｇ
ｅｓｔ． Ｐ．１７５，１９８９ ）。しかし、この提
案のものは検出マイクロ波の波長と検出素子面積（チッ
プ面積）、接合の個々の素子の均一性及び動作安定性等
の点で作製が容易でなく、再現性も低い。また、高温酸
化物超電導体を用いてマイクロブリッジを形成するもの
においては、高温酸化物超電導体を構成する粒子の大き
さが不均一で各粒界ジョセフソン接合がコヒーレントに
動作しなかったり、ブリッジが大きすぎてジョセフソン
電流以外の電流が流れたり、また並列の粒界接合因子等
の影響のためジョセフソン効果による高周波応答及び高
感度という本来の能力が発揮されないという問題があっ
た。
ッジ型に代表されるウイークリンク型素子に関しては、
Ｎｂ系において素子を複数個直列接続してチップを作製
するものが提案されている（Ｚ．Ｗａｎｇ ｅｔ． ａ
ｌ；Ｅｌｅｃ．Ｃｏｎｆ．，ＩＳＥＣ ’８９ ｄｉｇ
ｅｓｔ． Ｐ．１７５，１９８９ ）。しかし、この提
案のものは検出マイクロ波の波長と検出素子面積（チッ
プ面積）、接合の個々の素子の均一性及び動作安定性等
の点で作製が容易でなく、再現性も低い。また、高温酸
化物超電導体を用いてマイクロブリッジを形成するもの
においては、高温酸化物超電導体を構成する粒子の大き
さが不均一で各粒界ジョセフソン接合がコヒーレントに
動作しなかったり、ブリッジが大きすぎてジョセフソン
電流以外の電流が流れたり、また並列の粒界接合因子等
の影響のためジョセフソン効果による高周波応答及び高
感度という本来の能力が発揮されないという問題があっ
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明者等は高
温酸化物超電導体を用いたウイークリンク型素子の研究
を重ね、ブリッジ部における各粒界ジョセフソン接合が
夫々コヒーレントな動作をし、良好なジョセフソン効果
を表す超電導電磁波検出素子及びこれを再現性よく作製
できる方法の発明をなした（特願平３−３１８５号）。 この超電導電磁波検出素子の作製方法では、まず共沈法
により超電導微粒子粉末を形成し、この粉末を大気中、
８３０ 〜８９０ ℃の温度で９時間一次焼成し、所定
形状にプレス成形した後、酸素中、９１０ 〜９４５
℃の温度で８時間二次焼成することにより平均粒径１５
μｍ 以下の略均一な粒子の焼結体からなる高温酸化物
超電導体バルクを作製する。そしてこのバルクに所定形
状のブリッジ部（弱結合部）を形成することにより超電
導電磁波検出素子を作製する。ところが特願平３−３１
８５号の発明において、電磁波とのインピーダンスマッ
チング及び感度のさらなる向上が求められており、これ
を実現するために素子抵抗（ＲＮ）の増加が望まれてい
た。
温酸化物超電導体を用いたウイークリンク型素子の研究
を重ね、ブリッジ部における各粒界ジョセフソン接合が
夫々コヒーレントな動作をし、良好なジョセフソン効果
を表す超電導電磁波検出素子及びこれを再現性よく作製
できる方法の発明をなした（特願平３−３１８５号）。 この超電導電磁波検出素子の作製方法では、まず共沈法
により超電導微粒子粉末を形成し、この粉末を大気中、
８３０ 〜８９０ ℃の温度で９時間一次焼成し、所定
形状にプレス成形した後、酸素中、９１０ 〜９４５
℃の温度で８時間二次焼成することにより平均粒径１５
μｍ 以下の略均一な粒子の焼結体からなる高温酸化物
超電導体バルクを作製する。そしてこのバルクに所定形
状のブリッジ部（弱結合部）を形成することにより超電
導電磁波検出素子を作製する。ところが特願平３−３１
８５号の発明において、電磁波とのインピーダンスマッ
チング及び感度のさらなる向上が求められており、これ
を実現するために素子抵抗（ＲＮ）の増加が望まれてい
た。
【０００５】本発明は斯かる事情に鑑みなされたもので
あり、超電導体の構成金属の硝酸塩水溶液に高抵抗金属
の硝酸塩を添加して酸化物超電導体を作製することによ
り、素子抵抗が高く、電磁波とのインピーダンスマッチ
ングが向上し、感度が高い超電導電磁波検出素子及びそ
の作製方法を提供することを目的とする。
あり、超電導体の構成金属の硝酸塩水溶液に高抵抗金属
の硝酸塩を添加して酸化物超電導体を作製することによ
り、素子抵抗が高く、電磁波とのインピーダンスマッチ
ングが向上し、感度が高い超電導電磁波検出素子及びそ
の作製方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１発明の超電導電磁波
検出素子は、粒子の焼結体からなる酸化物超電導体バル
クにブリッジ部を設けてなる超電導電磁波検出素子にお
いて、粒界部に高抵抗の非超電導相を形成してあること
を特徴とする。第２発明の超電導電磁波検出素子の作製
方法は、超電導体の構成金属の硝酸塩水溶液とシュウ酸
塩水溶液とを反応させ、酸化物超電導体粉末を共沈させ
、これを焼成、整形し、超音波加工によりブリッジ部を
形成して超電導電磁波検出素子を作製する方法において
、前記硝酸塩水溶液に高抵抗金属の硝酸塩を添加し、前
記超電導電磁波検出素子の粒界部に高抵抗の非超電導相
を形成することを特徴とする。
検出素子は、粒子の焼結体からなる酸化物超電導体バル
クにブリッジ部を設けてなる超電導電磁波検出素子にお
いて、粒界部に高抵抗の非超電導相を形成してあること
を特徴とする。第２発明の超電導電磁波検出素子の作製
方法は、超電導体の構成金属の硝酸塩水溶液とシュウ酸
塩水溶液とを反応させ、酸化物超電導体粉末を共沈させ
、これを焼成、整形し、超音波加工によりブリッジ部を
形成して超電導電磁波検出素子を作製する方法において
、前記硝酸塩水溶液に高抵抗金属の硝酸塩を添加し、前
記超電導電磁波検出素子の粒界部に高抵抗の非超電導相
を形成することを特徴とする。
【０００７】
【作用】焼成により焼結した粒子の粒界は、粒子本体と
組成が異なる。従って粒界に集まり易い不純物元素を添
加することにし、この量及び焼成条件を考慮することに
より、粒界の電導特性を制御することが可能になる。本
発明においては、酸化物超電導体と置換固溶せず、抵抗
率が高い金属を不純物として超電導体の構成金属の硝酸
塩水溶液に微量添加し、その後シュウ酸水溶液と反応さ
せ、共沈させて得られた沈澱物を焼結させることにして
いる。図４は焼結により粒界に高抵抗非超電導相が形成
される過程を示す図である。焼成前の（ａ）の段階では
、不純物金属元素は超電導体構成粒子中に均一に分散し
ている。焼成中の（ｂ）の段階では不純物金属元素は徐
々に粒界部に移動する。焼結が終了した（ｃ）の段階で
は不純物金属元素は粒界部に集中し、高抵抗の非超電導
相が形成される。この非超電導相により素子抵抗が増加
し、その結果、インピーンスマッチングが向上した高感
度の超電導電磁波検出素子を作製することができる。
組成が異なる。従って粒界に集まり易い不純物元素を添
加することにし、この量及び焼成条件を考慮することに
より、粒界の電導特性を制御することが可能になる。本
発明においては、酸化物超電導体と置換固溶せず、抵抗
率が高い金属を不純物として超電導体の構成金属の硝酸
塩水溶液に微量添加し、その後シュウ酸水溶液と反応さ
せ、共沈させて得られた沈澱物を焼結させることにして
いる。図４は焼結により粒界に高抵抗非超電導相が形成
される過程を示す図である。焼成前の（ａ）の段階では
、不純物金属元素は超電導体構成粒子中に均一に分散し
ている。焼成中の（ｂ）の段階では不純物金属元素は徐
々に粒界部に移動する。焼結が終了した（ｃ）の段階で
は不純物金属元素は粒界部に集中し、高抵抗の非超電導
相が形成される。この非超電導相により素子抵抗が増加
し、その結果、インピーンスマッチングが向上した高感
度の超電導電磁波検出素子を作製することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
き具体的に説明する。図１は本発明に係る超電導電磁波
検出素子の斜視図であり、図中１は超電導電磁波検出素
子である。超電導電磁波検出素子１は平均粒径１５μｍ
以下の略均一な超電導体の粒子の焼結体からなり、中央
部にはブリッジ部１ａが形成されている。超電導電磁波
検出素子１の厚みｔは５０μｍであり、ブリッジ部１ａ
の幅ｗは５０μｍ、長さｌは３００μｍである。
き具体的に説明する。図１は本発明に係る超電導電磁波
検出素子の斜視図であり、図中１は超電導電磁波検出素
子である。超電導電磁波検出素子１は平均粒径１５μｍ
以下の略均一な超電導体の粒子の焼結体からなり、中央
部にはブリッジ部１ａが形成されている。超電導電磁波
検出素子１の厚みｔは５０μｍであり、ブリッジ部１ａ
の幅ｗは５０μｍ、長さｌは３００μｍである。
【０００９】図２は超電導電磁波検出素子１を構成する
超電導体の作製プロセスを示した図である。まず、Ｙ、
Ｂａ、Ｃｕの硝酸塩をＹ、Ｂａ、Ｃｕのモル比が１：２
：３になるように混合し、蒸留水に完全に溶解させる。 続いて、高抵抗の金属元素〔Ｍｎ，Ｇｄ（ガドリニウム
），Ｔｂ（テルビウム），Ｈｇ等〕の硝酸塩を酸化物超
電導体ＹＢａ２ Ｃｕ３ Ｏ７−ｘ の総重量に対して
金属元素重量が０．５ 〜５％になるように添加し、均
一に混合する。次にシュウ酸Ｈ２ Ｃ２ Ｏ４ ・２Ｈ
２ Ｏの水溶液を適量加えて反応させ、沈澱させる。こ
のときアンモニア水でｐＨを４．６ （４前後）に調整
する。生成した共沈物（シュウ酸塩）を蒸留水で数回洗
浄し、上澄み液を除去し、沈澱物を乾燥させる。乾燥さ
せた共沈物を大気中において、温度８７０ ℃で９時間
、一次焼成し、酸素雰囲気下において温度９２５ 〜９
６５ ℃で８時間二次焼成する。以上の如くにして得ら
れた超電導焼結体バルクを結晶化ガラス基板に低融点の
ガラス粉末を用いて接着させる。その後、このバルクを
その厚みが５０μｍになるまで均一に研磨し、さらに高
周波超音波加工によりブリッジ幅５０μｍ、長さ３００
μｍのブリッジ部を形成した。
超電導体の作製プロセスを示した図である。まず、Ｙ、
Ｂａ、Ｃｕの硝酸塩をＹ、Ｂａ、Ｃｕのモル比が１：２
：３になるように混合し、蒸留水に完全に溶解させる。 続いて、高抵抗の金属元素〔Ｍｎ，Ｇｄ（ガドリニウム
），Ｔｂ（テルビウム），Ｈｇ等〕の硝酸塩を酸化物超
電導体ＹＢａ２ Ｃｕ３ Ｏ７−ｘ の総重量に対して
金属元素重量が０．５ 〜５％になるように添加し、均
一に混合する。次にシュウ酸Ｈ２ Ｃ２ Ｏ４ ・２Ｈ
２ Ｏの水溶液を適量加えて反応させ、沈澱させる。こ
のときアンモニア水でｐＨを４．６ （４前後）に調整
する。生成した共沈物（シュウ酸塩）を蒸留水で数回洗
浄し、上澄み液を除去し、沈澱物を乾燥させる。乾燥さ
せた共沈物を大気中において、温度８７０ ℃で９時間
、一次焼成し、酸素雰囲気下において温度９２５ 〜９
６５ ℃で８時間二次焼成する。以上の如くにして得ら
れた超電導焼結体バルクを結晶化ガラス基板に低融点の
ガラス粉末を用いて接着させる。その後、このバルクを
その厚みが５０μｍになるまで均一に研磨し、さらに高
周波超音波加工によりブリッジ幅５０μｍ、長さ３００
μｍのブリッジ部を形成した。
【００１０】図３はＨｇをＹＢａ２ Ｃｕ３ Ｏ７−ｘ
に対して０〜１０％の範囲で変えて添加した場合の臨
界温度Ｔｃｅ及び５０Ｋにおける素子抵抗Ｒｎを示した
グラフである。素子抵抗Ｒｎは４端子法によりＩ−Ｖ特
性を５０Ｋにおいて測定したデータより求めたものであ
る。図３よりＨｇを添加しない場合はＲｎが０．６ Ω
とかなり低く、Ｈｇ含有量が０．５％を越えるとＲｎが
増加することが判る。これに伴い、Ｔｃｅが低下し、Ｈ
ｇ含有量が５％以上になると減少率がさらに大きくなり
、１０％では７７Ｋ以下になる。従ってＴｃｅの低下が
数Ｋ内に納まり、Ｒｎが充分増加するＨｇの添加量とし
て、０．５〜５％の添加量が適当であるといえる。他の
不純物元素（Ｍｎ、Ｇｄ、Ｔｂ）添加量についても適正
値があるが、Ｈｇと略同様の傾向を示す。
に対して０〜１０％の範囲で変えて添加した場合の臨
界温度Ｔｃｅ及び５０Ｋにおける素子抵抗Ｒｎを示した
グラフである。素子抵抗Ｒｎは４端子法によりＩ−Ｖ特
性を５０Ｋにおいて測定したデータより求めたものであ
る。図３よりＨｇを添加しない場合はＲｎが０．６ Ω
とかなり低く、Ｈｇ含有量が０．５％を越えるとＲｎが
増加することが判る。これに伴い、Ｔｃｅが低下し、Ｈ
ｇ含有量が５％以上になると減少率がさらに大きくなり
、１０％では７７Ｋ以下になる。従ってＴｃｅの低下が
数Ｋ内に納まり、Ｒｎが充分増加するＨｇの添加量とし
て、０．５〜５％の添加量が適当であるといえる。他の
不純物元素（Ｍｎ、Ｇｄ、Ｔｂ）添加量についても適正
値があるが、Ｈｇと略同様の傾向を示す。
【００１１】
【発明の効果】以上の如く本発明においては、超電導体
の構成金属の硝酸塩水溶液に高抵抗金属の硝酸塩を添加
し、シュウ酸水溶液と反応させ、共沈させて得られた酸
化物超電導体粉末を焼成、整形、超音波加工して超電導
電磁波検出素子を作製しているので、素子抵抗が高く、
電磁波とのインピーダンスマッチングが向上し、感度が
高い超電導電磁波検出素子を得ることができる等、本発
明は優れた効果を奏するものである。
の構成金属の硝酸塩水溶液に高抵抗金属の硝酸塩を添加
し、シュウ酸水溶液と反応させ、共沈させて得られた酸
化物超電導体粉末を焼成、整形、超音波加工して超電導
電磁波検出素子を作製しているので、素子抵抗が高く、
電磁波とのインピーダンスマッチングが向上し、感度が
高い超電導電磁波検出素子を得ることができる等、本発
明は優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明に係る超電導電磁波検出素子の斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係る超電導体の作製プロセスを示した
図である。
図である。
【図３】ＨｇをＹＢａ２ Ｃｕ３ Ｏ７−ｘ に対して
０〜１０％の範囲で変えて添加した場合のＴｃｅ及び５
０Ｋにおける素子抵抗Ｒｎを示したグラフである。
０〜１０％の範囲で変えて添加した場合のＴｃｅ及び５
０Ｋにおける素子抵抗Ｒｎを示したグラフである。
【図４】焼結により粒界に高抵抗非超電導相が形成され
る過程を示す図である。
る過程を示す図である。
１ 超電導電磁波検出素子
１ａ ブリッジ部
Claims (2)
- 【請求項１】 粒子の焼結体からなる酸化物超電導体
バルクにブリッジ部を設けてなる超電導電磁波検出素子
において、粒界部に高抵抗の非超電導相を形成してある
ことを特徴とする超電導電磁波検出素子。 - 【請求項２】 超電導体の構成金属の硝酸塩水溶液と
シュウ酸水溶液とを反応させ、酸化物超電導体粉末を共
沈させ、これを焼成、整形し、超音波加工によりブリッ
ジ部を形成して超電導電磁波検出素子を作製する方法に
おいて、前記硝酸塩水溶液に高抵抗金属の硝酸塩を添加
し、前記超電導電磁波検出素子の粒界部に高抵抗の非超
電導相を形成することを特徴とする超電導電磁波検出素
子の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076853A JPH04287380A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 超電導電磁波検出素子及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076853A JPH04287380A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 超電導電磁波検出素子及びその作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04287380A true JPH04287380A (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=13617212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076853A Pending JPH04287380A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 超電導電磁波検出素子及びその作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04287380A (ja) |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP3076853A patent/JPH04287380A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4339508A (en) | Method for manufacturing a thin and flexible ribbon of superconductor material | |
| JPH09189620A (ja) | 温度センサー用フェライト素子 | |
| JPH04287380A (ja) | 超電導電磁波検出素子及びその作製方法 | |
| Hayri et al. | Magnetic, electrical, and microstructural properties of YBa2Cu3O7: A comparison of sol-gel, co-precipitated, and solid state processing routes | |
| JPH04321285A (ja) | 超電導電磁波検出素子及びその作製方法 | |
| JPH04247672A (ja) | 電磁波検出素子の製造方法 | |
| JP3059806B2 (ja) | 超電導素子及びその製造方法 | |
| JPH04241479A (ja) | ジョセフソンミキサ及びその製造方法 | |
| JPH07113663B2 (ja) | 超電導磁気センサの特性制御回路 | |
| JPH04241478A (ja) | ジョセフソンミキサ及びその製造方法 | |
| JPH01173765A (ja) | 超電導体膜磁気センサ | |
| JPH01243484A (ja) | 超電導素子 | |
| JP2610030B2 (ja) | 酸化物系超電導体及びその製造方法 | |
| JP3590567B2 (ja) | 酸化物超電導線材の製造方法及び酸化物超電導線材 | |
| JPH0671100B2 (ja) | 超電導磁気抵抗装置 | |
| JP2529746B2 (ja) | 超電導膜の製造方法 | |
| JP3005628B2 (ja) | 磁界強さ測定方法 | |
| JPH0443976A (ja) | 超電導磁気センサ | |
| JP3059794B2 (ja) | 超電導電磁波検出素子におけるマイクロブリッジ部形成方法 | |
| JP2966134B2 (ja) | Ｂｉ系酸化物超電導々体の製造方法 | |
| JP4092393B2 (ja) | 高温超伝導ジョセフソン接合形成方法とこれにより形成されたジョセフソン接合を備える高温超伝導ジョセフソン素子 | |
| JPH0193458A (ja) | 酸化物系超電導体 | |
| JP2821608B2 (ja) | 超伝導金属酸化物材料及びその製造方法 | |
| JPH02114575A (ja) | 超電導積層膜磁気抵抗素子 | |
| JPH0380145A (ja) | 酸化物超電導体の製造方法 |