JPH04283412A - 薄膜磁気ヘッド用コアスライダの加工用治具取付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は薄膜磁気ヘッド用コアス
ライダ（以下、ＴＦＨコアスライダと称する）の加工用
治具取付方法にかかり、加工用治具にＴＦＨコアスライ
ダのブロックスライダとダミースライダを同時に供給し
、両者を高精度に位置決め接着するのに好適なＴＦＨコ
アスライダの加工用治具取付方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＦＨコアスライダは、ウェハ基板から
ブロックスライダ形状に切り出され、加工用高精度治具
（以下共通治具と称する）にワックスにより仮止めされ
た後、順次研削、溝加工、ラッピング加工等の処理が施
される。ＴＨＦコアスライダは、ワックスによって共通
治具に接着された状態で超精密加工されるため、ワック
ス塗布膜厚の均一性、凝固時に歪の少ない接着、加工工
程に耐える高強度接着等が要求される。

【０００３】従来技術においては、ブロックスライダを
ウェハ基板から切り出す時に多数個取りするため、ウェ
ハの上部及び下部から切り出すブロックスライダの片側
の側面には、ウェハのオリフラ部が残り、テープエッジ
状になる。図５はウェハ１からの切り出し位置に起因す
るＴＦＨコアスライダのブロックスライダ２，３の側面
形状の相違を示す。図５において、ウェハ１の四隅から
切り出したブロックスライダ２，３の片側側面の形状は
、その位置に応じて下向きのテーパエッジ状のブロック
スライダ２と上向きのテーパエッジ状のブロックスライ
ダ３となる。また、図６はＴＦＨコアスライダのブロッ
クスライダ４とダミースライダ５が共通治具６に接着さ
れた状態を示す。また、図７はＴＦＨコアスライダ７の
拡大図である。

【０００４】さらに、従来技術においては、ＴＨＦコア
スライダの接着にホットメルト形ワックスが多用され、
その作業は人手作業に依存している。人手作業の内容は
、次のようなものである。すなわち、液状ワックスが塗
布された加熱状態の共通治具上にブロックスライダを乗
せてスクラブ動作を行い、位置決めを行った後にブロッ
クスライダの横にダミースライダを貼り付け、その後冷
却定盤にて徐冷を行っている。

【０００５】上記従来技術において、薄膜素子のワック
ス接着方法として関連するものには、例えば特開昭６３
ー１９１３０９号公報に開示された発明が存在する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、ウェハ基板一枚からブロックスライダの多数個取り
を最大限に行うため、ブロックスライダをウェハ基板か
ら切り出すときに、ウェハ基板最上部及び最下部におい
てオリフラテーパ付きコアスライダがブロック状に切り
出される。そこで、ダミースライダがテーパエッジ状の
ブロックスライダとの組み合わせとなった場合、人手作
業によりダミースライダとブロックスライダの位置合わ
せをしても位置ずれを起こし、その結果共通治具上でダ
ミースライダがブロックスライダの下に潜り込んだり、
ブロックスライダの上に乗り上がったりして、位置決め
精度が悪くなる。したがって、人手作業では、共通治具
上にダミースライダとブロックスライダを組み合わて同
時に接着することは難しく、また上記理由により機械化
が大変困難であるという問題点があった。

【０００７】また、従来の人手作業による方法では、ホ
ットメルト型ワックスを使用するために高温下での作業
となり、安全面における問題点があった。さらに、人手
作業のため、ダミースライダとブロックスライダの共通
治具上における接着位置決め精度、ワックスの塗布膜厚
さのバラツキ、接着強度等のバラツキがあり、接着強度
の低いものは加工工程において破壊されて飛散するため
、ブロックスライダの加工精度が狂い製品品質に悪影響
を与え、さらに研削機械の砥石を損傷する恐れがあると
いう問題点があった。

【０００８】本発明の第１の目的は、従来人手によって
行っていた共通治具にコアスライダとダミースライダを
接着する作業を機械化し、人手作業では困難なブロック
状のコアスライダとダミーコアスライダを同時に規定位
置に位置決めてし接着することが可能な薄膜磁気ヘッド
用コアスライダの加工用治具取付方法を提供することに
ある。

【０００９】さらに、本発明の第２の目的は、片側の側
面がテーパエッジ状であるブロックスライダとダミース
ライダを同時に規定位置に高精度に位置決め接着するこ
とが可能な薄膜磁気ヘッド用コアスライダの加工用治具
取付方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の薄膜磁気ヘッド
用コアスライダの加工用治具取付方法は、ダミースライ
ダとブロックスライダを位置決めして、加工用治具上に
接着する薄膜磁気ヘッド用コアスライダの加工用治具取
付方法に適用されるものであり、ダミースライダをその
高さ方向に移動し、ダミースライダの側面とブロックス
ライダの側面とを接触させ、この状態でダミースライダ
とブロックスライダの位置関係を定め、該定められたダ
ミースライダとブロックスライダの位置関係を保持した
まま、ワックスがスタンプ塗布された過熱状態にある加
工用治具上にダミースライダとブロックスライダを移載
し、該定められたダミースライダとブロックスライダの
位置関係を保持したまま加工用治具上で位置決めした後
、急速冷却してダミースライダとブロックスライダとを
共通治具に接着することを特徴としている。

【００１１】

【作用】本発明によれば、ダミースライダの側面とブロ
ックスライダの側面とを接触させ、この状態でダミース
ライダとブロックスライダの位置関係を定める。したが
って、ブロックスライダの片側の側面にテーパエッジが
ある場合においても、ダミースライダがブロックスライ
ダの下に潜り込む等の事態が防止できる。また、上記定
められた位置関係を保持したまま、加工用治具上に移載
され、位置決め・急冷されるため、ブロックスライダと
ダミースライダを高精度に位置決め接着することができ
る。

【００１２】

【実施例】以下、添付の図面に示す実施例により、更に
詳細に本発明について説明する。図１〜図３は、位置決
め接着の前工程の位置揃え治具１６上のダミースライダ
５とブロックスライダ４との関係を示す図であり、図１
は上面図、図２、図３はその側面図である。

【００１３】さらに、図４は本実施例の接着装置の位置
決め部のエアー配管８、スクラブシャフト９、スクラブ
シャフト保持部１０、スプリング１１、スクラブパッド
１２、Ｘ方向位置決めピン１３ａ、Ｙ方向位置決めピン
１３ｂ、位置決め基準片１４、位置決めテーブル１５を
示す。

【００１４】次に、本発明の一実施例の動作について説
明する。図１は位置揃え治具１６上のダミースライダ５
の高さを調節する段差ピン１７と、段差ピン１７を押す
エアーシリンダ１８及び横押しピン１９を押すエアーシ
リンダ２０、固定ピン２１を示したものである。段差ピ
ン１７は、段差ピン位置揃え治具１６上のブロックスラ
イダ４の高さより高い部分と低い部分の２段に分かれて
おり、エアーシリンダ１８のどちらか一方が段差ピン１
７を押すことにより、ダミースライダ５とブロックスラ
イダ４の横方向が固定ピン２１により揃えられる。

【００１５】図２はダミースライダ５と側面のテーパエ
ッジ部が下向きのブロックスライダ２との関係を示した
側面図である。段差ピン１７が位置揃え治具１６の上面
の高さよりも低いため、ダミースライダ５がブロックス
ライダ２の高さより低くなる。横押しピン１９がダミー
スライダ５をブロックスライダ２に押し付けることによ
り、ダミースライダ５の側面中央部がブロックスライダ
２の側面のテーパエッジ部と接触した状態で揃えられる
。よって、ダミースライダ５がブロックスライダ２の上
部に乗り上がることが防げる。

【００１６】図３はダミースライダ５と側面のテーパエ
ッジ部が上向きのブロックスライダ３との関係を示した
側面図である。段差ピン１７が位置揃え治具１６の上面
の高さより高いため、ダミースライダ５がブロックスラ
イダ３の高さより高くなる。横押しピン１９がダミース
ライダ５をブロックスライダ３に押し付けることにより
、ダミースライダ５の側面中央部がブロックスライダ３
の側面のテーパエッジ部と接触した状態で揃えられる。 よって、ダミースライダ５がブロックスライダ３の下部
に潜り込むことが防げる。

【００１７】次に、図４に示す接着装置の動作について
説明する。図４に示すスクラブパッド１２は、前工程に
おける位置揃え治具１６上の位置関係を保存した状態で
、ブロックスライダ４とダミースライダ５をエアー配管
８からの真空吸着により吸い上げて、位置決めテーブル
１５上の過熱状態にある共通治具６の表面に移載する。 共通治具６の表面には、液状のワックスが一様に塗布さ
れている。移載後、ブロックスライダ４とダミースライ
ダ５は、スプリング１１により垂直方向下向きに圧力を
加えられながら、スクラブシャフト９及びスクラブシャ
フト保持部１０のＸ方向の動作を受けてスクラブされる
。次に、位置決め基準片１４がＹ方向に前進し、ブロッ
クスライダ４とダミースライダ５がスクラブパッド１２
により保持されているため位置決め基準片１４に寄せら
れ、さらにＸ方向の位置決めピン１３ａ及びＹ方向の位
置決めピン１３ｂの押し付け力により、正確な位置決め
が行われる。その後、エアーによる急速冷却により、ブ
ロックスライダ４とダミースライダ５との位置決め精度
が保持された状態でワックスが固体化し、ブロックスラ
イダ４とダミースライダ５の接着が終了する。なお、急
速冷却に起因するワックスの収縮により、ブロックスラ
イダ４に生ずる歪みを除去するため、接着後に恒温槽に
よるエージングを行うようにしてもよい。

【００１８】以上の説明から明らかなように、上記実施
例によれば、ウェハ基板の上部または下部から切り出さ
れたテーパエッジ状のブロックスライダの側面とダミー
スライダの側面とは、ダミースライダの側面をブロック
スライダの側面に押し付けて位置揃えする際に、ダミー
スライダの側面がブロックスライダのテーパエッジ先端
部と接するように、ダミースライダの高さ方向をテーパ
エッジ状に合わせて上下に段差を付けるようにして位置
揃えするため、ダミースライダがブロックスライダの下
に潜り込むことなく、確実に位置揃えを行うことができ
る。

【００１９】また、上記実施例によれば、ブロックスラ
イダとダミースライダとを位置揃え治具上で位置決めし
た後、スクラブパッドにより両者を同時に吸着しながら
、ワックスがスタンプ塗布されている加熱状態の共通治
具の表面に搬送し、さらにダミースライダとブロックス
ライダをスクラブパッドで押さえながら左右方向に両者
同時にスクラブし、その後所定位置に位置決めし、その
後両者同時に冷温エアーを吹き付けて急冷を行って素早
くワックスを固めることにより、振動などの外的要因に
よる接着時の位置ずれを有効に防止することができる。

【００２０】

【発明の効果】本発明によれば、ＴＨＦコアスライダの
製造工程における加工治具にブロックスライダ及びダミ
ースライダを自動で高精度位置決め接着することができ
、大幅な生産性の向上と品質の安定化を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】位置揃え治具上のダミースライダとブロックス
ライダとの関係を示す上面図。

【図２】位置揃え治具上のダミースライダとブロックス
ライダとの関係を示す側面図。

【図３】位置揃え治具上のダミースライダとブロックス
ライダとの関係を示す側面図。

【図４】本実施例のダミースライダとブロックスライダ
の接着装置における位置決め部の詳細を示す斜視図。

【図５】ウェハからの切り出し位置に起因するブロック
スライダの側面形状の相違を示す説明図。

【図６】ＴＦＨコアスライダのブロックスライダとダミ
ースライダが共通治具上に接着された状態を示す説明図
。

【図７】ＴＦＨコアスライダ７の斜視図である。

【符号の説明】

１　　ウェハ ２　　ブロックスライダ ３　　ブロックスライダ ４　　ブロックスライダ ５　　ダミースライダ ６　　共通治具 ７　　ＴＨＦコアスライダ ８　　エアー配管 ９　　スクラブシャフト １０　　スクラブシャフト保持部 １１　　スプリング １２　　スクラブパッド １３ａ　　Ｘ方向位置決めピン １３ｂ　　Ｙ方向位置決めピン １４　　位置決め基準片 １５　　位置決めテーブル １６　　位置揃え治具 １７　　段差ピン １８　　エアーシリンダ １９　　横押しピン ２０　　エアーシリンダ ２１　　固定ピン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダミースライダとブロックスライダを位置
   決めして、加工用治具上に接着する薄膜磁気ヘッド用コ
   アスライダの加工用治具取付方法において、ダミースラ
   イダをその高さ方向に移動し、ダミースライダの側面と
   ブロックスライダの側面とを接触させ、この状態でダミ
   ースライダとブロックスライダの位置関係を定め、該定
   められたダミースライダとブロックスライダの位置関係
   を保持したまま、ワックスがスタンプ塗布された過熱状
   態にある加工用治具上にダミースライダとブロックスラ
   イダを移載し、該定められたダミースライダとブロック
   スライダの位置関係を保持したまま加工用治具上で位置
   決めした後、急速冷却してダミースライダとブロックス
   ライダとを共通治具に接着することを特徴とする薄膜磁
   気ヘッド用コアスライダの加工用治具取付方法。