JPH04279875A - 加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種電気、電子装置、
その部品、各種材料等を所定温度にさらしてその耐熱性
等を試験したり、所望の熱処理を加える等のために用い
る加熱装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種物品の耐熱性等について試験
したり、所望の熱処理を加える等のために用いる加熱装
置として、被加熱物を目的の温度にさらす前に、先ず徐
熱し、その後目的の温度にさらし、所定の加熱が終わる
と、徐冷したのち装置外へ搬出する加熱装置が知られて
いる。

【０００３】このタイプの装置では、徐熱ゾーン、目的
の温度の恒温ゾーン、徐冷ゾーンが横に順次配置されて
おり、これらゾーン内に、図５に示すように、徐熱用ホ
ットプレート９１、恒温加熱用ホットプレート９２、徐
冷用ホットプレート９３が順次敷設され、これらホット
プレート上を複数の被加熱物ｗが搬送される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この種の装置
における被加熱物ｗの搬送は、通常、帯状の搬送装置９
４により一旦持ち上げられたのち前進させられ、その後
ホットプレート上に再び載置されるという手順で行われ
る。このため、物品ｗの搬送にあたり、物品ｗが一旦ホ
ットプレートから離れることになり、物品を加熱したい
徐熱ゾーンや恒温ゾーンでそれだけ物品ｗの温度低下を
招くことになる。

【０００５】また、ホットプレートを横に敷設するため
物品搬送距離が長くなり、装置設置面積が大きくなると
いう問題がある。さらに、ホットプレートを用いている
ので、ホットプレート表面温度がそのまま被加熱物温度
のばらつきになり、ベーキング処理等の熱処理を行う場
合、製品の歩どまりが悪くなるという問題がある。

【０００６】そこで本発明は、複数の被加熱物を順次所
望温度にさらして安定した加熱を行うことができ、全体
がコンパクトにまとまっていて設置面積が少なく済む加
熱装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的に従い
、下から上へ順次配置された徐熱ゾーン、恒温ゾーン及
び徐冷ゾーンを有する加熱槽と、前記ゾーンに積み重ね
配置できる被加熱物支持パレットと、前記徐熱ゾーンに
対し設けた加熱槽の第１の入口から該徐熱ゾーン内の空
いたパレットに被加熱物を搬入する手段と、被加熱物を
搬入されたパレットを該パレットより上方のパレットに
重ねつつ該上方のパレットと共に順次上方へ持ち上げる
手段と、前記徐冷ゾーンに対し設けた加熱槽の出口から
該徐冷ゾーン内の徐冷済物を支持するパレットを取り出
し、前記徐熱ゾーンに対し設けた加熱槽の第２の入口か
ら該徐熱ゾーン内へ戻すパレット移動手段と、前記パレ
ット移動手段にて前記徐熱ゾーンへ戻されるパレットか
ら徐冷済物を取り出す手段とを備えたことを特徴とする
加熱装置を提供する。

【０００８】

【作用】本発明装置によると、加熱槽内の恒温ゾーンは
所望の加熱温度雰囲気に制御され、徐熱ゾーン及び徐冷
ゾーンはそれより低い温度雰囲気に制御される。被加熱
物は先ず搬入手段により徐熱ゾーンの空きパレットに搬
入される。被加熱物を上面に又は上方に搬入されたパレ
ットは加熱槽内で、それより上方のパレット下に重ねら
れつつ、該搬入被加熱物及び該上方のパレットと共に順
次持ち上げられる。

【０００９】このようにして、被加熱物が搬入される毎
にパレットが徐熱ゾーンから恒温ゾーンへさらに徐冷ゾ
ーンへ持ち上げられ、その間に被加熱物は徐熱され、次
いで目的温度にさらされ、その後、徐冷される。徐冷ゾ
ーン内の徐冷済物を支持するパレットはそのゾーンから
取り出され、該徐冷済物を降ろされたのち、再び徐熱ゾ
ーンへ戻され、被加熱物の搬入を待つ。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の一実施例の全体の断面を、図２は
図１のＸ−Ｘ線に沿う加熱槽の断面を示しており、図３
はパレット及び該パレットの搬入装置、移動装置等の相
対的位置関係を示しており、図４はパレット脚部を示し
ている。

【００１１】この加熱装置は液晶ディスプレイ装置のガ
ラス基板を焼成（ベーキング）処理する等に採用できる
ものであり、ガラス基板Ｗを支持するための複数のパレ
ット６を含んでいる。さらにこの装置は、加熱槽１、加
熱槽内のパレット６を順次上方へ持ち上げる持ち上げ装
置２、加熱槽内へガラス基板Ｗを搬入する搬入装置３、
加熱槽からパレット６を取り出し、再びこれを加熱槽へ
戻すパレット移動装置４及びベーキング処理を終了した
ガラス基板Ｗをパレット６から降ろして搬出する装置５
を含んでいる。

【００１２】加熱槽１はその内部に下から上へ向け順次
徐熱ゾーン１１、恒温ゾーン１２及び徐冷ゾーン１３を
備えており、これら３つのゾーン相互には仕切りはない
。図１及び図２から分かるように、これら３つのゾーン
はその一側が加熱槽１内に設けた仕切り板１４により、
他側が加熱槽の側壁１５により、背面が加熱槽内に設け
た仕切り板１６によってそれぞれ仕切られており、前面
側は開閉可能な扉１７の内面に設けたダクト１８によっ
て仕切られている。

【００１３】槽１内の仕切り板１４及び１６は相互に連
通しており、これら仕切り板とこれに隣る槽側壁１９及
び背面壁２０との間には空間部が形成されている。この
空間部は上下の仕切り板１２０ａ、１２０ｂによってゾ
ーン１１、１２、１３にそれぞれ対応する三つの小空間
部Ｐ、Ｑ、Ｒに分けられている。いま恒温ゾーン１２を
例にとって説明すると、図２に示すように、前記空間部
Ｑのうち仕切り板１４と槽側壁１９との間には空気循環
用ファン１２１が配置され、モータ１２２により回転駆
動されるようになっている。また空間部Ｑのうち背面仕
切り板１６と背面壁２０との間にはヒータ１２３が配置
され、仕切り板１６にはエアフィルタ１２４が取り付け
られている。

【００１４】モータ１２２によりファン１２１を回すと
、空気は該ファンからヒータ１２３に流れ、ここで加熱
されてフィルタ１２４を通り恒温ゾーン１２へ流入し、
該恒温ゾーンから扉内面のダクト１８を通って再びファ
ン１２１へ戻るように循環する。なお、図面には示して
いないがダクト１８には空気が流通する多数の開孔を設
けてある。

【００１５】本例ではこの熱風空気の循環により恒温槽
１２が約１２０℃の雰囲気にされる。同様に、徐熱ゾー
ン１１においては、仕切り板１４と槽側壁１９との間に
配置されたファン１１１がモータ１１２により運転され
、それによって空気が背面仕切り板１６後方の図示しな
いヒータに触れて熱せられたのちエアフィルタ１１４を
通って徐熱ゾーンに流入し、さらに扉１７内側のダクト
１８を通って再びファン１１１へ循環する。本例ではこ
れによって徐熱ゾーン１８が約８０℃の雰囲気とされる
。

【００１６】同様に、徐冷ゾーン１３においては、仕切
り板１４と槽側壁１９との間に配置されたファン１３１
がモータ１３２により運転され、それによって空気が背
面仕切り板１６後方の図示しないヒータに触れて熱せら
れたのちエアフィルタ１３４を通って徐冷ゾーン１３に
流入し、さらに扉１７内側のダクト１８を通って再びフ
ァン１３１へ循環する。本例ではこれによって徐冷ゾー
ン１３が約８０℃の雰囲気とされる。

【００１７】なお、加熱槽１の一側壁１９にはガラス基
板Ｗを搬入するための入口Ａが、他側壁１５にはパレッ
ト６を取り出すための出口Ｂ及びパレット６を搬入する
ための入口Ｃがそれぞれ設けられている。入口ＡとＣは
それぞれ徐熱ゾーン１１に臨んでおり、互いに対向する
位置関係にある。又、パレット取り出し口Ｂは徐冷ゾー
ン１３に臨んでいる。

【００１８】パレット６は図３及び図４から分かるよう
に、底板６１とその周縁部から立ち上がる周側壁６０を
備えており、全体がほぼ四角形状に形成されている。底
板６１にはガラス基板Ｗの支持域の外側において四本の
脚部６２が下方へ向け突設してある。各脚部６２はその
上端が凹所６２１に形成されており、該凹所の底は円錐
面に形成されている。脚部６２の下端６２２は円錐形状
に形成されている。上下に隣るパレット６、６は上側の
パレット６における各脚部６２が下側のパレット６にお
ける脚部の上端凹所６２１に嵌まることにより、それら
上下に隣り合うパレットが相互に位置決めされ、且つ、
上下に重ねられるようになっている。

【００１９】また、パレット６はその左右端部のそれぞ
れに３つの搬送ローラ突出孔６３を有している。いま図
１に示す状態では、徐熱ゾーン１１、恒温ゾーン１２、
徐冷ゾーン１３の３つのゾーンにわたってガラス基板Ｗ
を支持したパレット６が上下方向に積み重ね配置されて
おり、さらにその下方に空きパレット６（以下「６ａ」
で示す）が配置されている。

【００２０】積み重ねられたパレット６群の最下段パレ
ットの四隅のそれぞれに対し支持ロッド２３が配置され
ており、この支持ロッドによりパレット６群が前記ゾー
ンに支持されている。各支持ロッド２３は図３から分か
るように、上端に水平屈曲部２３１を有しており、加熱
槽１の底部に設けたロッド駆動部２４によりロッドが回
されることでこの水平屈曲部２３１が最下段のパレット
６を支持する位置と、その位置から外れた位置とを択一
的に採ることができる。

【００２１】空きパレット６ａは昇降台２１の上に載置
されており、加熱槽底部に設けた駆動部２２によってこ
の昇降台２１が上昇することで該パレット６ａを上方へ
持ち上げることができる。図１及び図３から分かるよう
に、昇降台２１の両側（奥側及び手前側）にはガラス基
板Ｗの搬入ローラ３２が二列に配置されており、各ロー
ラ３２はパレット６（６ａ）の底板に設けたローラ突出
孔６３から若干上方へ突出し、回転可能となっている。

【００２２】なお、前記昇降台２１及びパレット支持ロ
ッド２３はパレット持ち上げ装置２を構成している。ガ
ラス基板Ｗの搬入装置３は図１及び図３から分かるよう
に、加熱装置１外から加熱槽の入口Ａを通って前記ロー
ラ３２に向け二列に配置されたローラ３１と前記ローラ
３２とからなっている。これらローラは図示しない駆動
手段により図１中、時計方向に回転駆動される。

【００２３】パレット６を加熱槽１から取り出し、再び
該槽へ戻す移動装置４は図１及び図３から分かるように
、図示しない駆動手段により上下方向に駆動される昇降
台４１と、図示しない駆動手段により該台４１上をガラ
ス基板Ｗの搬入方向と同方向に往復動できるパレット掬
い部材４２とを備えている。前記移動装置４により加熱
槽１から取り出されたパレットから熱処理済みのガラス
基板Ｗを降ろして搬出する装置５は、図１及び図３から
分かるように、加熱槽１の入口Ｃに臨む部分から二列に
配置されたローラ５１からなっており、これらローラ５
１は図示しない駆動手段により図１中、時計方向に回転
駆動される。

【００２４】移動装置４は図１に実線で示す位置におい
てその掬い部材４２を加熱槽のパレット出口Ｂを通して
徐冷ゾーンの最上段パレット６の下に差し込み、しかる
のち昇降台４１を若干上昇させることで該パレットを掬
い上げることができる。そのあと、掬い部材４２を槽外
へ引き出すことによりパレット６を外へ取り出すことが
できる。そのようにパレット６を外部へ取り出したのち
は昇降台４１を図１に二点鎖線で示す位置まで下降させ
、該パレットのローラ突出孔６３からローラ５１が上方
へ突出するように配置し、それによって該パレット６上
に支持されていた徐冷済ガラス基板Ｗをローラ５１の上
に乗せ、該ローラ５１の運転によって基板Ｗを搬出する
ことができる。

【００２５】基板Ｗの搬出後は昇降台４１を若干上昇さ
せ、それによってパレット６をローラ５１から外したの
ち掬い部材４２をパレットと共に加熱槽１の入口Ｃから
徐熱ゾーン１１内へ差し込み、その後、昇降台４１を再
び若干下降させることにより該空きパレット６を図１に
示すように槽内の昇降台２１上に載置することができる
。その後は掬い部材４２を外側へ引き出し、昇降台４１
を上昇させて再び徐冷ゾーンからパレットを取り出せる
位置に配置する。

【００２６】以上説明した加熱装置によると、ガラス基
板Ｗは搬入装置３によって加熱槽１の入口Ａから徐熱ゾ
ーン１１へ送り込まれ、ローラ３２上に達し、徐熱ゾー
ン１１底部に配置された昇降台２１上の空きパレット６
ａ上方に配置される。その後、昇降台２１が上昇するこ
とによりパレット６ａが上昇し、その途中ローラ３２上
のガラス基板Ｗをパレット６ａ上に支持してさらに上昇
し、上方パレット群の最下段パレットの脚部６２に当接
するように上方パレット群に重なる。さらにその後、上
方パレット群と共に若干持ち上げられる。これによって
上方パレット群が支持ロッド２３より若干離間すると、
昇降台２１をその位置に止めたままパレット群支持ロッ
ド２３を回動させて該ロッドの水平屈曲部２３１をパレ
ットから外側へ回動させる。さらにその後、昇降台２１
を上昇させ、パレット６ａの底板下面が支持ロッドの水
平屈曲部２３１より上方に位置するまで全体を上昇させ
る。しかるのち支持ロッド２３を回動させてその水平屈
曲部２３１をパレット６ａを含むパレット群の下に回動
させ、そのあと昇降台２１を空きパレットを受け取る当
初の位置まで下降させる。

【００２７】このようにしてガラス基板Ｗを支持するパ
レット６が下方から順次上方へ持ち上げられ、所定の時
間をかけて徐熱ゾーン、恒温ゾーン、徐冷ゾーンと進め
られる。ガラス基板Ｗは徐熱ゾーンにおいて目的温度に
さらされるに先立って予熱され、恒温ゾーンで目的の温
度にさらされ、徐冷ゾーンで急激な冷却を避けるように
徐冷され、しかるのち前述のとおり移動装置４の掬い部
材４２によってパレットごと加熱槽１外へ搬出される。 加熱槽１外へ搬出されたパレット６は移動装置の昇降台
４１の下降により加熱槽１の入口Ｃに臨む位置に配置さ
れ、且つ、ここで該パレット６上の徐冷済ガラス基板Ｗ
がローラ５１に支持されて搬出される。徐冷済ガラス基
板を取り除かれたパレット６は移動装置４により加熱槽
入口Ｃから徐冷ゾーンに戻され、昇降台２１上に配置さ
れ、次のガラス基板の搬入を待つことになる。

【００２８】以上説明した加熱装置によると、徐熱、恒
温及び徐冷ゾーンが上下方向に配置されているので、全
体がそれだけコンパクトになり、装置設置面積がそれだ
け少なく済む利点がある。又、ガラス基板Ｗは徐熱ゾー
ン、恒温ゾーン及び徐冷ゾーンと順次進められ、その間
、所定の温度雰囲気に常時さらされるので、安定した熱
処理を行うことができる利点がある。さらに、前記装置
によると、各ゾーンにおいてその温度の制御及び風速の
制御がヒータ出力の制御及びファンの回転速度制御等に
より容易に行えるので、ガラス基板Ｗへの熱ストレスを
できるだけ少なくして所望の熱処理を行える利点がある
。

【００２９】さらに前記実施例によると、各ゾーンに吹
き出す熱風はエアフィルタを通るから、ガラス基板Ｗの
汚染がそれだけ少なく済むという利点もある。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、複
数の被加熱物を順次、徐熱後、所望温度にさらし、さら
に徐冷するようにして、ばらつき無く、又は少なく安定
して加熱することができ、しかも全体がコンパクトにま
とまっていて設置面積が少なく済む加熱装置を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の断面図である。

【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿う加熱槽の断面図である。

【図３】パレット、搬入装置、パレット持ち上げ装置、
パレット移動装置等の相対的位置関係を示す平面図であ
る。

【図４】パレット脚部の説明図である。

【図５】従来例の説明図である。

【符号の説明】

１　　加熱槽 Ａ　　被加熱物入口 Ｂ　　パレット出口 Ｃ　　パレット入口 １１　　徐熱ゾーン １２　　恒温ゾーン １３　　徐冷ゾーン ２　　持ち上げ装置 ３　　搬入装置 ４　　移動装置 ５　　取り出し装置 ６、６ａ　　パレット Ｗ　　ガラス基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　下から上へ順次配置された徐熱ゾーン
   、恒温ゾーン及び徐冷ゾーンを有する加熱槽と、前記ゾ
   ーンに積み重ね配置できる被加熱物支持パレットと、前
   記徐熱ゾーンに対し設けた加熱槽の第１の入口から該徐
   熱ゾーン内の空いたパレットに被加熱物を搬入する手段
   と、被加熱物を搬入されたパレットを該パレットより上
   方のパレットに重ねつつ該上方のパレットと共に順次上
   方へ持ち上げる手段と、前記徐冷ゾーンに対し設けた加
   熱槽の出口から該徐冷ゾーン内の徐冷済物を支持するパ
   レットを取り出し、前記徐熱ゾーンに対し設けた加熱槽
   の第２の入口から該徐熱ゾーン内へ戻すパレット移動手
   段と、前記パレット移動手段にて前記徐熱ゾーンへ戻さ
   れるパレットから徐冷済物を取り出す手段とを備えたこ
   とを特徴とする加熱装置。