JPH04274717A - 偏光検出装置 - Google Patents

偏光検出装置

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JPH04274717A
JPH04274717A JP3278897A JP27889791A JPH04274717A JP H04274717 A JPH04274717 A JP H04274717A JP 3278897 A JP3278897 A JP 3278897A JP 27889791 A JP27889791 A JP 27889791A JP H04274717 A JPH04274717 A JP H04274717A
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waveguide
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、偏光検出装置に関し、
更に詳しく述べれば、光学記録装置に使用する偏光検出
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】偏光は、薄膜の深さ測定や磁気光学記録
のような多数の用途に利用されている。このような装置
では、偏光の状態、すなわち、偏光面の方向、を決定す
ることができることが必要である。
【0003】磁気光学記録装置では、データを消去可能
に記憶することができる。レーザビームが磁気光学媒体
上の一点に収束され、材料を媒体の磁区を変化させるこ
とができる温度にまで加熱する。次に磁界を二方向の内
の一方に加え、前記点の磁区を上向きまたは下向きの方
向に向ける。
【0004】ディスクは、低パワーの偏光レーザビーム
をディスク上の点に収束させることにより読取られる。 ケル効果により反射ビームの偏光面が、記録場所の磁区
の方向により、時計回りまたは反時計回りに回転する。 回転の差を検出してディジタルデータを表わす。ディス
クには、記録場所を加熱し、磁区の方向を切換えること
により記録することができる。
【0005】偏光方向の検出は、これら光学記録装置に
とって重要である。これら装置の中には反射光ビームを
二つの直交偏光成分ビームに分離するのに、ウォーラス
トンプリズムのような個別の光学構成要素を使用してい
るものがある。こうしてこれらビームの強さを検出し、
比較する。元の反射ビームの偏光面の正確な方向をこう
して決定することができる。
【0006】直交偏光成分を分離する他の方法は、光学
回折格子結合器を使用することである。その例には、1
989年9月19日にスナガワ、他に対して発行された
米国特許第4,868,803号、Shogo Ura
、他による 「Focusing Grating C
ouplers forPolarization D
etection」、Journal of Ligh
twave Technology、 vol.6, 
No.6、June 1988、および1987年9月
16〜18日に東京で行われた光学的記憶装置に関する
1987年国際シンポジウムで Sunagawa、 
他が発表した 「AnIntegrated Opti
c Detection Device for Ma
gneto−optical DiskPickup」
 がある。これら参考文献は、磁気光学ディスクから戻
る光ビームの経路中に並んで設置された横電気波動(T
E)および横磁気波動(TM)回折格子結合器の組合せ
を示している。TEおよびTMの回折格子は、各々異な
る直交偏光成分を導波路に結合させる。この方法に伴う
問題点は、ビームの一部分しか各偏光成分についてサン
プルされないことである。ビームの強さが一様でないこ
とが多々あり、検出誤差が生ずる。
【0007】必要なのは、感度および信頼性が改善され
た集積偏光検出装置である。
【0008】
【発明の概要】手短かに述べれば、好適実施例において
、本発明は、光ビームの第1および第2の偏光成分を第
1および第2の導波チャンネルに別々に結合させる1対
の重ね合せ光学結合器を備えている。チャンネルは、そ
の長手方向の軸が互いにほぼ垂直になる向きにある。 第1および第2の光学検出器は、それぞれ、第1および
第2の導波チャンネルに設置されて、第1および第2の
偏光成分の光強度を測定する。
【0009】
【好適実施例の説明】図1は、全般に参照数字10で表
わされた本発明のデータ記録装置を示す。装置10は、
偏光光ビームを発生するレーザ12を備えている。レー
ザ12は、半導体ダイオード・レーザのようなレーザダ
イオードが望ましいが、他の形式の光源をも使用するこ
とができる。レーザ制御回路14が、レーザ12に接続
されている。回路14は、当業界で既知であるパワー制
御回路である。コリメーティングレンズ16は、レーザ
12からの光を平行光にし、収束レンズ18が平行にな
った光を光学記録媒体20の上に収束する。媒体20は
、好適実施例では、磁気光学材料で作られている。レン
ズ18は、焦点制御回路24に接続されている焦点モー
タ22に取付けられている。回路24は、モータ22の
動きを制御するもので、当業界で既知である。光電子チ
ャンネル28は、レンズ16とレンズ18との間に設置
されている。レーザ12、レンズ16および18、光電
子チャンネル28、およびモータ22は、光学ヘッド3
0を構成している。
【0010】図2は、光電子チャンネル28の詳細図を
示す。チャンネル28は、ガラス基板32を備えている
。基板32は、1対の回折格子結合器38および40か
ら成る交差回折格子36を備えている。結合器38およ
び40は、互いにほぼ垂直になるように整列している。 結合器38は、第1の直交偏光成分の光を軸52に沿う
導波管50に結合するように配置されている。結合器4
0は、第2の直交偏光成分の光を軸56に沿う導波管5
4に結合するように配置されている。軸52および56
は共に、基板32の平面に平行な平面内にある。結合器
38および40は共に、横電気波動(TE)型の回折格
子結合器であることが望ましいが、代りに両者を横磁気
波動(TM)型の回折格子結合器にすることもできる。 結合器38および40は、そのそれぞれの導波管50お
よび54の最低次TEモードとブラッグ整合している。 代りに、結合器38および40がTM型のものであれば
、これらはそれぞれ導波管50および54の最低次TM
モードにブラッグ整合する。
【0011】導波管50および54は、基板32の上に
形成されて基板32の上面全体に広がっている単一モー
ド平面状導波管であることが望ましい。導波管50と5
4との境界は、結合器38および40により決まる。軸
52および56の向きは、互いにほぼ直角である。光学
検出器60は、導波管50の内部または上に設置されて
いる。検出器60は、1対の二つの別々の部分62およ
び64から構成されている。光学検出器70は、導波管
54の内部または上に設置されている。検出器70は、
1対の別々の部分72および74から構成されている。
【0012】ビームスプリッタ80が、回折格子38と
検出器60との間で導波管50の内部または上に設置さ
れている。ビームスプリッタ80は、導波管50の中の
光の一部を、軸81に沿って、光を焦点84に収束する
レンズ86に導く。ビームスプリッタ86が回折格子4
0と検出器70との間で導波管54の内部または上に設
置されている。ビームスプリッタ86は、導波管54の
中の光の一部を、軸87に沿って、光を焦点90に収束
するレンズ88に導く。レンズ82および88は、それ
ぞれ導波管50および54の内部または上に形成されて
いる。代りに、ビームスプリッタ80および86、およ
びレンズ82および88を基板32の内部または上に形
成することができる。
【0013】光学検出器92は、軸81に沿って、焦点
84の前に離れて設置されている。光学検出器94は、
軸87に沿って、焦点90の後に設置されている。媒体
20(図1)に焦点が合うと、光は検出器92および9
4の縁にこぼれる。光学検出器96は、基板32の上に
軸52に沿って、回折格子38に対して導波管50とは
反対の側に設置されている。光学検出器98は、基板3
2の上に軸56に沿って、回折格子40に対して導波管
54とは反対の側に設置されている。
【0014】図3は、検出器回路の図を示すが、全般的
に参照数字100で示してある。回路100は、データ
検出器回路102、トラック検出器回路104、焦点検
出器回路106、およびパワー検出器回路108から構
成されている。回路102は、検出器62および64に
接続されている加算増幅器110を備えている。増幅器
110からの出力および検出器90からの出力は、加算
増幅器112に接続されている。加算増幅器114は、
検出器72および74に接続されている。増幅器114
からの出力および検出器94からの出力は、加算増幅器
116に接続されている。増幅器112および116か
らの出力は、差動増幅器118に接続されている。増幅
器118の出力は、データ信号である。
【0015】回路104は、検出器62および72に接
続されている加算増幅器120を備えている。加算増幅
器122は、検出器64および74に接続されている。 増幅器120および122の出力は、差動増幅器124
に接続されている。増幅器124の出力は、トラック誤
差信号である。
【0016】回路106は、検出器92および94の出
力に接続されている差動増幅器130を備えている。増
幅器130の出力は、焦点誤差信号である。
【0017】回路108は、検出器96および98に接
続されている加算増幅器132を備えている。増幅器1
32の出力は、パワー信号である。
【0018】図4は、ロータリアクチュエータに使用さ
れている状態の装置10を示す。ディスク媒体20は、
ディスク駆動装置の主軸160に装着されている。ロー
タリアクチュエータの腕162は枢軸点164の周りに
装着されている。腕162は、ディスク20の下側に設
置されている。光学ヘッド30は、腕162の端に取付
けられている。この場合にはヘッド30の光電子チャン
ネル28だけを示してある。レーザ12から入来する光
の偏光面168は、ディスク20の同心状トラック16
9にほぼ垂直であることに注目のこと。チャンネル28
は、ディスク20に対するその向きを示すために拡大図
により示してある。
【0019】ボイスコイルモータ170が腕162に取
付けられている。トラッキング制御回路172はモータ
170に接続されている。回路172は、モータ170
の動きを制御するもので当業界では周知である。
【0020】装置10の動作を今度は理解することがで
きる。レーザ12からの入来偏光は、レンズ16により
平行光にされ、光電子チャンネル28の結合器36を通
過する。レーザ12は、入来光の偏光面168が、軸5
2および56の両者から等しい角度片寄るように配置さ
れている。
【0021】入来光の一部は、結合器38および40に
よりそれぞれ、光学検出器96および98に転ぜられる
。結合器38は、入来光の第1の直交成分を転換し、結
合器40は、入来光の第2の直交成分を転送する。偏光
面168は、各結合器38および40に対して等しい角
度片寄っているので、検出器96および98に衝突する
第1および第2の直交成分の強さは、ほぼ等しい。検出
器96および98の出力は、加算増幅132により加算
され、パワー信号が発生される。このパワー信号は、レ
ーザ12を適切なパワーレベルに調節するレーザ制御回
路14に伝えられる。
【0022】検出器96および98と結合されない入来
光は、結合器36を通って進み、レンズ18によりディ
スク20の上に収束される。入来光がディスク20の記
録データ場所から反射すると、その偏光面が、1が記録
されるか0が記録されるかによって、時計回りまたは反
時計回りに回転する。この反射光は次に、レンズ18を
通って結合器38および40に戻る。結合器38は、反
射光の第1の直交成分を軸52に沿って導波管50に転
ずる。結合器40は、反射光の第2の直交成分を軸56
に沿って導波管54に転ずる。  結合器38および4
0は、チャンネル28が光の伝播方向に垂直な平面に対
してわずかな角度(たとえば、1〜3°)を成して設置
されているので、入来光と反射光とを区別することがで
きる。したがって、光が適切な方向で確実に結合するた
めには、軸52および56が、チャンネル28の上への
入射光の直交偏光成分の投射を表わすべきである。軸5
2および56が偏光の方向に垂直な平面から片寄ってい
る角度は等しい。
【0023】第1の偏光成分光は、導波管50に沿って
ビームスプリッタ80に進む。光の一部は、レンズ82
に、次いで検出器92に転ぜられる。残りの光は、導波
管50に沿って検出器62および64に進む。光の第2
の直交偏光成分は、導波管54に沿ってビームスプリッ
タ86に進む。光の一部は、レンズ88および検出器9
4に向けられる。残りの光は、導波管54に沿って検出
器72および74に進む。
【0024】上に述べたとおり、ディスク20の上の記
録場所は、反射光の偏光面を入来光の偏光面168に対
して時計回りにまたは反時計回りに回転させる。この回
転により、導波管50の中の光の第1の偏光成分が導波
管54の中の第2の偏光成分より強さが大きくなり、ま
たはその逆が生ずる。第1の成分の強さは、検出器62
、64、および92の出力を回路102で加算すること
によって決まる。第2の成分の強さは、検出器72、7
4、および94の出力を回路102で加算することによ
って決まる。次いで二つの間の差を求めると、これはデ
ータ信号を表わす。
【0025】入来光を直接ディスク20のトラック上に
収束させると、反射光は、結合器38および40を横断
して対称に分布する。検出器62および72は検出器6
4および74と同量の光を受けることになる。入来光が
トラックを完全に離れていれば、検出器62および72
の出力の和は、検出器64および74の和より大きくな
り、またはその逆となる。回路104は、この差を決定
し、トラック誤差信号をトラック制御回路172に送り
、トラック制御回路172は、モータ170を動作させ
て腕を調節し、光をトラック上に保持する。
【0026】入来光がレンズ18によりディスク20の
上に完全に収束すると、反射光は、平行光ビームとして
チャンネル28に戻る。レンズ82を通過する光は、焦
点84に収束し、レンズ88を通過する光は、焦点90
に収束する。検出器92および94は、それぞれ、点8
4および90の反対側に設置されており、点84および
90と、それぞれ、検出器92および94との距離は、
ほぼ同じである。検出器92および94の出力は、レン
ズ18がディスク20の上に焦点を結ぶときは、同じで
ある。検出器92および94は、媒体20に焦点が合っ
ているとき検出器に光がわずかに詰込まれ過ぎるように
、点84および90に対して、設置される。入来光がレ
ンズ18により正しく収束されなければ、反射光は、平
行にならずにわずかに収斂または発散する。これにより
焦点84および90がレンズ82および88に対して前
方または後方にずれる。検出器92または94の一方に
入る光の量は増加するが、他方に入る光の量は減少する
。この差は、焦点誤差信号を焦点制御回路24に伝達す
る回路106により検出される。回路24は、モータ2
2にレンズをディスク20に対して上下に移動させ、光
を正しい焦点に戻す。
【0027】本発明の他の実施例が可能である。たとえ
ば、光学チャンネルをすべて基板32の一方の側に作る
代りに、部品を別々の側に作ることができる。結合器3
8、導波管50、および関連部品を基板32の第1の側
に作ることができ、結合器40、導波管54、および関
連部品を第2の側に作ることができる。こうすれば結合
器38は結合器40の直上になる。アセンブリの上面図
は、図2のチャンネル28と正確に同じに見える。
【0028】図5は、本発明の光学チャンネルの更に他
の実施例を示すもので、これには全般的に参照数字20
0が付けてある。光学チャンネル200は、装置10の
チャンネル28の代りに使用することができる。チャン
ネル200は、1対の基板202および204から構成
されている。基板202は、結合器238、導波管25
0、軸252、および1対の検出器262、264を備
えており、これらはチャンネル28のそれぞれ、結合器
38、導波管50、軸52、および検出器62、64と
同じである。基板202はまた、ビームスプリッタ28
0、レンズ282、検出器292および296を備えて
おり、これらはそれぞれ、チャンネル28の、ビームス
プリッタ80、レンズ82、および検出器92および9
6と同じである。
【0029】基板204は、結合器240、導波管25
4、軸256、および1対の検出器272および274
を備えており、これらはチャンネル28のそれぞれ、結
合器40、導波管54、軸56、および検出器72およ
び74と同じである。基板204はまたビームスプリッ
タ286、レンズ288、および検出器294および2
98を備えており、これらはチャンネル28のそれぞれ
、ビームスプリッタ86、レンズ88、および検出器9
4および98と同じである。
【0030】基板202は、結合器238が結合器24
0の上または下になるように基板204の上または下に
設置されている。実際上は結合器238と240とは重
なっている。基板は、軸252および256が互いにほ
ぼ垂直になるように調節される。チャンネル200の動
作は、その他の点ではチャンネル28に関連して説明し
たものと同じである。
【0031】図6は、本発明の光学チャンネルの他の実
施例を示しており、全般的に参照数字300を付けてあ
る。チャンネル300は、基板302および基板304
から構成されている。基板302は、偏光検出またはデ
ータ検出の構成要素の他にパワー検出要素をも備えてい
る。基板304は、トラッキングおよび収束用の構成要
素を備えている。
【0032】基板302は、チャンネル28のそれぞれ
、結合器38、40、導波管50、54、および軸52
、56、と同様の、1対の回折格子結合器338、34
0、1対の導波管350、354、および1対の軸52
、56から構成される交差回折格子結合器336を備え
ている。単独光学検出器360は、導波管350の内部
に設置されており、単独光学検出器370は、導波管3
54の内部に設置されている。1対の検出器396およ
び398は、それぞれ、チャンネル28の検出器96お
よび98と同じであり、回路108と同様のパワー検出
回路に接続されている。
【0033】基板304は、TE型回折格子結合器40
2を備えている。結合器402は、光を軸406に沿う
導波管404に結合させる。複数の光学検出器410、
412、および414が導波管404の内部に、軸40
6に垂直な方向に設置されている。レンズ420は、導
波管404の内部に、結合器402と検出器410、4
12、および414との間に設置されている。レンズ4
20は、結合光を検出器の前の焦点422に収束させる
。焦点422から光は発散して検出器410、412、
および414に入る。基板304は、点線で示したよう
に基板302の上方に設置するのが望ましい。結合器3
38、340、および402はすべて重なっている。チ
ャンネル300をチャンネル28の代りに置き換え、装
置10を基板302と媒体20との間に設置された基板
304で置き換えることができる。
【0034】結合器402は、TE結合器であり、レー
ザ21からの光の偏光面は、導波管の軸406に垂直で
ある。結合器402は、TM結合器にすることができ、
この場合には偏光面は導波管の軸406に平行である。 トラックサーボ検出を適切に行うには、媒体20のトラ
ックを、導波管軸406に対して45°より少い角度に
しなければならない。好適実施例ではこの角度は0°で
ある。
【0035】図7は、検出器回路の図であり、全般的に
参照数字500で示してある。回路500は、焦点検出
回路502、トラッキング検出回路504、データ検出
回路506、パワー検出回路508から構成されている
。回路502は、加算増幅器510および差動増幅器5
12を備えている。検出器410および414は、増幅
器510に接続されている。増幅器510および検出器
412の出力は、差動増幅器512に接続されている。 差動増幅器512の出力は、焦点誤差信号である。
【0036】回路504は、差動増幅器520を備えて
いる。差動増幅器520は、検出器410および414
に接続されている。増幅器520の出力は、トラッキン
グ誤差信号である。回路506は、差動増幅器530を
備えている。増幅器530は、検出器360および37
0に接続されている。増幅器530の出力は、データ信
号である。回路508は、加算増幅器540を備えてい
る。増幅器540は、検出器396および398に接続
されている。増幅器540の出力は、パワー信号である
【0037】今度はチャンネル300の動作を理解する
ことができる。レーザ12からの入来光の偏光面は44
0である。反射光は、面440に対して回転した偏光面
を備えている。この回転は、回路506により検出器3
60および370の出力の差として検出され、出力はデ
ータ信号である。
【0038】反射光は、結合器402により導波管40
4とも結合される。ヘッドがトラックを外れていれば、
検出器410および414における光の強さは等しくな
い。この差は、回路504により決定され、トラック誤
差信号が発生される。
【0039】媒体20が対物レンズ18に近すぎれば、
検出器410および414での光の和と比較して検出器
412に入る光が多い。媒体が対物レンズ18から遠す
ぎれば、一層多くの光が検出器410および414に入
る。この差は、回路502により検出され、焦点誤差信
号が発生される。
【0040】図8は、本発明の光学チャンネルの別の実
施例を示すもので、全般的に参照数字600で示してあ
る。チャンネル600を装置10のチャンネル28の代
りに置き換えることができる。チャンネル600は、基
板602を備えている。基板602は、1対のTE型回
折格子結合器638および640から成る交差回折格子
結合器636を備えている。基板602はまた、チャン
ネル28のそれぞれ、導波管50および54、および軸
52および56と同様の、1対の導波管650および6
54、および1対の軸652および656を備えている
。レンズ660は、導波管650の内部に設置されてい
る。複数の検出器662、664、および668は、導
波管650の内部に軸652に垂直な線内に設置されて
いる。レンズ660の焦点70は、レンズ650と検出
器662、664、および668との間のほぼ中間にあ
る。
【0041】レンズ672は、導波管654の内部に設
置されている。複数の検出器674、676、および6
78は、導波管654の中に軸656に垂直な線内に設
置されている。レンズ672の焦点は、レンズ672と
検出器674、676、および678との間のほぼ中間
にある。1対の検出器696および698がそれぞれ軸
652および656に沿って設置されており、それぞれ
、チャンネル28の検出器96および98と同じである
【0042】図9は、チャンネル600と共に使用する
検出回路を示すもので、全般に参照数字700が付けて
ある。回路700は、データ検出回路702、トラック
検出回路704、および焦点検出回路706、およびパ
ワー検出回路708から構成されている。回路702は
、1対の加算増幅器712および714、および差動増
幅器716を備えている。加算増幅器712は、検出器
662、664、および668に接続されており、加算
増幅器714は、検出器674、676、および678
に接続されている。差動増幅器716は、増幅器712
および714に接続されている。増幅器716の出力は
、データ信号である。
【0043】回路704は、1対の加算増幅器720お
よび722、および差動増幅器724から構成されてい
る。加算増幅器720は、検出器662および678に
接続されており、加算増幅器722は、検出器668お
よび674に接続されている。差動増幅器724は、増
幅器720および722に接続されている。増幅器72
4の出力は、トラッキング誤差信号である。
【0044】回路706は、複数の加算増幅器730、
732、および734、および1対の差動増幅器736
および738から構成されている。増幅器730は、検
出器662および668に接続されており、増幅器73
2は、検出器674および678に接続されている。増
幅器736は、増幅器730および検出器664に接続
されている。増幅器738は、増幅器732および検出
器676に接続されている。増幅器734は、増幅器7
36および738に接続されており、その出力は、焦点
誤差信号である。回路708は、検出器696および6
98に接続された加算増幅器740を備えている。増幅
器740の出力は、パワー信号である。
【0045】チャンネル600の動作は、チャンネル2
8および装置10と同じである。レーザ12からの光は
、偏光面750を有する交差回折格子636を通過する
。入来光の一部は、検出器696および698に結合さ
れ、回路708は、レーザ制御器14に向けてパワー信
号を発生する。媒体20から戻る光は、導波管650お
よび654に結合される。平面750に対する偏光面の
回転方向の差は、回路702により検出され、データ信
号を発生する。媒体20が焦点を外れていれば、中間検
出器664および676に入る光は、外側検出器662
、668、674、および678に入る光より多いか少
い。この差は、回路706により検出され、焦点誤差信
号が焦点制御器24に送られる。光学ヘッド30がトラ
ックを外れていれば、外側検出器662および678に
入る光は、内側検出器668および674に入る光より
多いか少い。この差は、回路704により検出され、ト
ラッキング誤差信号がトラック制御器172に送られる
【0046】本発明を製造する手段は多数存在するが、
望ましい方法は、写真石版およびイオンミリングによる
方法である。基板は、ガラスまたは他の透明な材料から
作ることができる。回折格子結合器のパターンは、写真
石版により基板上に設ける。交差回折格子は、二つのT
E回折格子パターンを互いにほぼ直角になるように形成
して作る。次にこのパターンをイオンミリングにより基
板の表面にエッチする。交差回折格子は、好適にエッチ
され、基板内にイオンミルされるが、これは導波管の上
面に形成することもできる。光学回折格子結合器は、H
.Nishihara、M.Haruna、および T
.Suhara の著書、Optical Integ
rated Circuits、 McGrawHil
l、 New York、 1989 に詳細に説明さ
れている。
【0047】結合器を形成してから、導波管を基板上に
堆積させる。ガラス膜を基板上に単一モード平面状導波
管に充分な厚さになる深さに堆積する。代表的な深さは
、2マイクロメートルであろう。導波管の形成について
は、Nishihara の著書の他に、S.Dutt
a、 他の論文、「Extremely Low−Lo
ss Glass Thin−Film Optica
l Waveguide」Journal of Ap
plied Physics、 Vol.52、 pp
.3873 (1981)、 および M.Gupta
 の「Laser Annealing of Cor
ning 7059 Glass Waveguide
s」、 Applied Optics、 Vol.2
9、 pp.2307 (1990) に述べられてい
る。
【0048】次にビームスプリッタおよびレンズを導波
管の表面上に写真石版とイオンビームエッチングとの組
合せにより形成する。代案として、ビームスプリッタお
よびレンズを基板内または基板上に形成することができ
る。これら装置の製造についても Nishihara
 の著書に述べられている。
【0049】最後に、光学検出器を形成する。非晶質シ
リコン層(水素化非晶質シリコン( a−Si:H) 
のような)を堆積して活性層とする。検出器領域を写真
平版とプラズマエッチングとの組合せにより導波管の表
面に画定する。検出器構造は、写真石版、リフトオフ、
および金属薄膜成長の手法を用いてCrおよびAuの互
いにかみ合うフィンが(ショットキバリア金属接触)を
形成することにより完成する。検出器について電気信号
リードを布置してから、それらを誘電体薄膜層により随
意に封入する。
【0050】光学検出器の形成については、R.G.H
unsperger の Integrated Op
tics :Theory and Technolo
gy、 Springer−Verlag、 Berl
in、1984、 pp.251〜252、D.L.R
ogers の 「Integrated Metal
 Semiconductor Metal Dete
ctors」、 OSAProceedings On
 Picosecond Electronics a
nd Optoelectronics、 (1989
) に説明されている。
【0051】直交結合器、導波管、および関連構成要素
は、基板の同じ面に形成するのが望ましいが、これらを
基板の別々の側に設けた直交導波管のそれぞれの一つで
形成することもできる。
【0052】
【発明の効果】上記により本発明の長所を理解すること
ができる。光電子チャンネル全体を写真石版法により一
つの基板上に形成することができる。これにより製造工
程が非常に簡単になり、構成要素が確実に正しく位置合
せされる。
【0053】交差または重なり回折格子結合器の使用に
よりその他の長所が生ずる。従来技術の装置は、反射ビ
ームの二つの直交成分を結合させるために並べて設置さ
れたTEおよびTM結合器を使用している。実際、ビー
ムの一方の側が第1の偏光成分に対してサンプルされ、
ビームの他の側が第2の偏光成分に対してサンプルされ
る。ビームの半分は、結合器を通して伝達され、検出す
らされない。この問題は、反射光ビームが完全に対称で
はなく、一方の側から他方へずれる傾向があるので、重
要である。対照的に、本発明の重なり結合器は、各偏光
成分をビーム直径全体を横断してサンプルする。これに
より装置の感度がはるかに大きくなり、一層確実なデー
タ検出が行われる。
【0054】本発明はまた、半導体レーザダイオードを
光源として使用する装置に共通の波長の変化に対して鈍
感である。従来の装置は、別々の偏光成分を結合させる
のにTEおよびTMの結合器を共に使用している。しか
し、これら二つの結合器の効率は、光の周波数が異れば
異なる。レーザ周波数のわずかな変動のためデータ信号
に誤差が加わる。本発明は、互いに垂直に設置された同
じ形式(TEまたはTM)の二つの結合器を使用してこ
の問題を解決している。光の周波数が変るにつれて、二
つの結合器の効率は、同量だけ変化してデータ信号が減
少するが、差動検出装置の平衡は崩れない。このため本
発明は、従来技術より多くの共通モード雑音を除去する
【0055】本発明には他の使用法がある。たとえば、
本発明を偏光面の向きを決定する必要がある用途に使用
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学データ記憶装置の概要図である。
【図2】図1の装置の光電子チャンネルの部分の概要図
である。
【図3】図2の装置の回路図である。
【図4】ロータリアクチュエータに使用した図1の装置
の一部の概要図である。
【図5】本発明の光電子チャンネルの別の実施例の概要
図である。
【図6】本発明の光電子チャンネルの別の実施例の概要
図である。
【図7】図6の装置の回路図である。
【図8】本発明の光電子チャンネルの別の実施例の概要
図である。
【図9】図8の装置の回路図である。

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の導波チャンネルと、偏光光ビームを
    受け、第1の偏光成分光ビームを第1の軸に沿う第1の
    導波チャンネルに結合させる第1の回折格子結合器と、
    第1の導波チャンネルと光学的に連絡して第1の偏光成
    分光を検出する第1の光学検出器と、第2の導波チャン
    ネルと、前記偏光光ビームを受け、第1の偏光成分とほ
    ぼ直交する成分である第2の偏光成分の光ビームを第1
    の軸にほぼ垂直な第2の軸に沿う第2の導波チャンネル
    に結合させる第2の回折格子結合器と、第2の導波チャ
    ンネルと光学的に連絡して第2の偏光光成分を検出する
    第2の光学検出器と、を備えて構成される偏光検出装置
  2. 【請求項2】更に、第1および第2の光学検出器に接続
    され、第1と第2との偏光成分の強さの差に応じて検出
    信号を発生する検出回路、を備えている請求項1に記載
    の装置。
  3. 【請求項3】第1および第2の回折格子結合器は、横電
    気波動(TE)結合器である、請求項1に記載の装置。
  4. 【請求項4】第1および第2の回折格子結合器は、横磁
    気波動(TM)結合器である、請求項1に記載の装置。
  5. 【請求項5】第1および第2の結合器は、交差回折格子
    結合器から構成されている、請求項1に記載の装置。
  6. 【請求項6】偏光光ビームを発生する光発生手段と、前
    記偏光光ビームを受け、反射光ビームを発生するデータ
    記憶媒体と、第1の導波チャンネルと、データ記憶媒体
    と光学的に連絡して反射光ビームを受け、第1の偏光成
    分光ビームを第1の軸に沿う第1の導波チャンネルに結
    合させる第1の回折格子結合器と、第1の導波チャンネ
    ルと光学的に連絡して第1の偏光成分光を検出する第1
    の光学検出器と、第2の導波チャンネルと、データ記憶
    媒体と光学的に連絡して前記反射光ビームを受け、第1
    の偏光成分とほぼ直交する成分である第2の偏光成分の
    光ビームを第1の軸にほぼ垂直な第2の軸に沿う第2の
    導波チャンネルに結合させる第2の回折格子結合器と、
    第2の導波チャンネルと光学的に連絡して第2の偏光成
    分光を検出する第2の光学検出器と、を備えて構成され
    るデータ記憶装置。
  7. 【請求項7】更に、第1および第2の光学検出器に接続
    されて第1と第2との偏光成分の強さの差に応ずる検出
    信号を発生する検出回路、を備えている請求項6に記載
    の装置。
  8. 【請求項8】更に、第1の回折格子結合器を介して光発
    生手段と光学的に連絡し、第1の信号を発生する第3の
    光学検出器と、第2の回折格子結合器を介して光発生手
    段と光学的に連絡し、第2の信号を発生する第4の光学
    検出器と、光発生手段および第3および第4の光学検出
    器に接続され、第1および第2の信号に応じてパワー信
    号を発生するパワー制御回路と、を備えている請求項6
    に記載の装置。
  9. 【請求項9】第1および第2の回折格子結合器は、横電
    気波動(TE)結合器である、請求項6に記載の装置。
  10. 【請求項10】第1および第2の回折格子結合器は、横
    磁気波動(TM)結合器である、請求項6に記載の装置
  11. 【請求項11】更に、第1の導波チャンネルに設置され
    た第1のビームスプリッタと、第1のビームスプリッタ
    と光学的に連絡する焦点光学検出器と、第2の導波チャ
    ンネルに設置された第2のビームスプリッタと、第2の
    ビームスプリッタと光学的に連絡する第2の焦点光学検
    出器と、を備えている請求項6に記載の装置。
  12. 【請求項12】更に、第1および第2の焦点光学検出器
    に接続され、第1および第2の光学検出器における光の
    強さを比較してこれに応ずる焦点信号を発生する焦点検
    出回路、を備えている請求項10に記載の装置。
  13. 【請求項13】更に、データ記憶媒体と第1および第2
    の回折格子結合器との間に設置されて光を媒体上に収束
    させるレンズと、レンズに接続され、前記焦点誤差信号
    に応じてレンズを媒体に対して移動させるレンズ移動手
    段と、を備えている請求項12に記載の装置。
  14. 【請求項14】第1および第2の光学検出器は、各々第
    1および第2の部分を備えており、更に、第1および第
    2の光学検出器の第1および第2の部分に接続されてト
    ラック誤差信号を発生するトラック検出回路を備えてい
    る、請求項6に記載の装置。
  15. 【請求項15】光発生手段、第1および第2の導波チャ
    ンネル、第1および第2の回折格子結合器、および第1
    および第2の光学検出器が光学ヘッドを構成しており、
    更に、光学ヘッドに接続され、前記トラック誤差信号に
    応じて光学ヘッドを媒体に対して移動させる光学ヘッド
    移動手段を備えている、請求項14に記載の装置。
  16. 【請求項16】第1および第2の光学検出器は、各々第
    1、第2、および第3の部分を備えており、更に、前記
    第1および第2の導波チャンネルにそれぞれ設置された
    第1および第2のレンズと、第1および第3の部分に接
    続されてトラック誤差信号を発生するトラック検出回路
    と、第1、第2、および第3の部分に接続されて焦点誤
    差信号を発生する焦点検出回路とを備えている請求項6
    に記載の装置。
  17. 【請求項17】更に、データ記憶媒体と第1および第2
    の回折格子結合器との間に設置されて光を媒体上に収束
    させるレンズと、レンズに接続され、前記焦点誤差信号
    に応じてレンズを媒体に対して移動させるレンズ移動手
    段と、を備えている請求項16に記載の装置。
  18. 【請求項18】光発生手段、第1および第2の導波チャ
    ンネル、第1および第2の回折格子結合器、および第1
    および第2の光学検出器が光学ヘッドを構成しており、
    更に、光学ヘッドに接続され、前記トラック誤差信号に
    応じて光学ヘッドを媒体に対して移動させる光学ヘッド
    移動手段を備えている、請求項16に記載の装置。
  19. 【請求項19】更に、レンズを備えた第3の導波チャン
    ネルと、前記偏光光ビームを受け、該偏光光ビームを第
    3の軸に沿う第3の導波チャンネルに結合させる第3の
    回折格子結合器と、第1、第2、および第3の部分を有
    し、偏光光ビームを検出する第3の光学検出器と、を備
    えており、前記第3の軸は、第1および第2の両軸から
    約45°の角度片寄っている、請求項6に記載の装置。
  20. 【請求項20】更に、第1および第3の部分に接続され
    てトラック誤差信号を発生するトラック検出回路と、第
    1、第2、および第3の部分に接続されて焦点誤差信号
    を発生する焦点検出回路と、を備えている請求項19に
    記載の装置。
  21. 【請求項21】更に、データ記憶媒体と第1および第2
    の回折格子結合器との間に設置され、光を媒体上に収束
    させるレンズと、レンズに接続され、前記焦点信号に応
    じてレンズを媒体に対して移動させるレンズ移動手段と
    、を備えている請求項20に記載の装置。
  22. 【請求項22】光発生手段、第1、第2、および第3の
    導波チャンネル、第1、第2、および第3の回折格子結
    合器、および第1、第2、および第3の光学検出器が光
    学ヘッドを構成しており、更に、光学ヘッドに接続され
    、前記トラック誤差信号に応じて光学ヘッドを媒体に対
    して移動させる光学ヘッド移動手段を備えている、請求
    項20に記載の装置。
  23. 【請求項23】基板と、基板上に形成され、第1の軸に
    沿う伝播方向を有する第1の導波チャンネルと、  基
    板上に形成され、第1の軸にほぼ垂直な第2の軸に沿う
    伝播方向を有する第2の導波チャンネルと、基板上、第
    1の軸と第2の軸との交点に形成され、偏光光ビームを
    受けて第1の偏光光成分を第1の導波チャンネルに結合
    させると共に第2の偏光光成分を第2の導波チャンネル
    に結合させる交差回折格子結合器と、基板上に第1の導
    波チャンネルと光学的に連絡して形成され、前記第1の
    偏光光成分を検出する第1の光学検出器と、基板上に第
    2の導波チャンネルと光学的に連絡して形成され、前記
    第2の偏光光成分を検出する第2の光学検出器と、から
    構成される偏光検出装置。
  24. 【請求項24】基板と、基板の第1の側に形成され、第
    1の軸に沿う伝播方向を有する第1の導波チャンネルと
    、基板の前記第1の側に形成され、偏光光ビームを受け
    て第1の偏光成分光ビームを前記第1の軸に沿う第1の
    導波チャンネルに結合させる第1の回折格子結合器と、
    基板の前記第1の側に第1の導波チャンネルと光学的に
    連絡して形成され、第1の偏光成分光を検出する第1の
    光学検出器と、基板の第2の側に形成され、第1の軸に
    ほぼ垂直な第2の軸に沿う伝播方向を有する第2の導波
    チャンネルと、基板の前記第2の側に形成され、前記偏
    光光ビームを受けて、前記第1の偏光成分とほぼ直交す
    る成分である第2の偏光成分の光ビームを第1の軸にほ
    ぼ垂直な第2の軸に沿う第2の導波チャンネルに結合さ
    せる第2の回折格子結合器と、基板の前記第2の側に第
    2の導波チャンネルと光学的に連絡して形成され、第2
    の偏光成分光を検出する第2の光学検出器と、を備えて
    構成される偏光検出装置。
  25. 【請求項25】第1の基板と、第1の基板上に形成され
    、第1の軸に沿う伝播方向を有する第1の導波チャンネ
    ルと、第1の基板上に形成され、偏光光ビームを受けて
    第1の偏光成分光ビームを前記第1の軸に沿う第1の導
    波チャンネルに結合させる第1の回折格子結合器と、第
    1の基板上に第1の導波チャンネルと光学的に連絡して
    形成され、第1の偏光光を検出する第1の光学検出器と
    、第2の基板と、第2の基板上に形成され、第1の軸に
    ほぼ垂直な第2の軸に沿う伝播方向を有する第2の導波
    チャンネルと、第2の基板上に形成され、前記偏光光ビ
    ームを受けて、第1の偏光成分とほぼ直交する成分であ
    る第2の偏光成分光ビームを第1の軸にほぼ垂直な第2
    の軸に沿う第2の導波チャンネルに結合させる第2の回
    折格子結合器と、第2の基板上に第2の導波チャンネル
    と光学的に連絡して形成され、第2の偏光成分光を検出
    する第2の光学検出器と、を備えて構成される偏光検出
    装置。
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