JPH04265966A - 焼付装置における原版真空吸着取り付け装置 - Google Patents
焼付装置における原版真空吸着取り付け装置Info
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- JPH04265966A JPH04265966A JP3026969A JP2696991A JPH04265966A JP H04265966 A JPH04265966 A JP H04265966A JP 3026969 A JP3026969 A JP 3026969A JP 2696991 A JP2696991 A JP 2696991A JP H04265966 A JPH04265966 A JP H04265966A
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- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 28
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 238000002508 contact lithography Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は露光すべき感光基材に原
版を密着ないし投影して焼き付けるための焼付装置に関
し、特に、焼き付けるべき絵柄が描かれた原版を真空吸
着して取り付ける装置に関する。
版を密着ないし投影して焼き付けるための焼付装置に関
し、特に、焼き付けるべき絵柄が描かれた原版を真空吸
着して取り付ける装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にフィルムやガラス板等からなる透
過性の原版にかかれた絵柄を感光基材に高品位で複写す
る方法の１つとして、真空密着焼付法が用いられている
（例えば、特開昭５８−１３６０２６号）。
過性の原版にかかれた絵柄を感光基材に高品位で複写す
る方法の１つとして、真空密着焼付法が用いられている
（例えば、特開昭５８−１３６０２６号）。
【０００３】このような真空密着焼付法を利用した密着
焼付装置の１例として、図５に示したようなものがある
。この密着焼付装置は、感光基材１の両側にそれぞれガ
ラス等からなる原版２、２を配置させるために、原版２
、２を真空吸着溝９によって真空吸着固定した一対の枠
３、３と、各枠３、３の対向する面に取付られた密閉用
パッキング４、４と、一方の枠３に形成された排気口５
に接続された真空ポンプ（図示せず）と、各枠３、３を
互いに接近及び離間するように往復動可能に保持したベ
ッド６と、基材１の両側に配置された光源７、７等を備
えている。
焼付装置の１例として、図５に示したようなものがある
。この密着焼付装置は、感光基材１の両側にそれぞれガ
ラス等からなる原版２、２を配置させるために、原版２
、２を真空吸着溝９によって真空吸着固定した一対の枠
３、３と、各枠３、３の対向する面に取付られた密閉用
パッキング４、４と、一方の枠３に形成された排気口５
に接続された真空ポンプ（図示せず）と、各枠３、３を
互いに接近及び離間するように往復動可能に保持したベ
ッド６と、基材１の両側に配置された光源７、７等を備
えている。
【０００４】この密着焼付装置による焼付動作は次のよ
うに行われる。すなわち、まず、感光基材１を原版２、
２間の所定位置に位置決めした後、一対の枠３、３を感
光基材１に接近する方向に移動させて、感光基材１を両
面の原版２、２で挟み、密閉用パッキング４、４により
枠３、３間をシールして、両面の原版２、２、枠３、３
及びパッキング４、４によって密閉された密閉室８が形
成される。次に、密閉室８に連通した排気口５から内部
の空気を真空ポンプで吸引して、密閉室８内を真空にす
る。その結果、両面の原版２、２が大気により押圧され
、感光基材１に密着する。その後、光源７、７を点灯さ
せることにより、原版２、２の絵柄が感光基材１に焼き
付けられる。
うに行われる。すなわち、まず、感光基材１を原版２、
２間の所定位置に位置決めした後、一対の枠３、３を感
光基材１に接近する方向に移動させて、感光基材１を両
面の原版２、２で挟み、密閉用パッキング４、４により
枠３、３間をシールして、両面の原版２、２、枠３、３
及びパッキング４、４によって密閉された密閉室８が形
成される。次に、密閉室８に連通した排気口５から内部
の空気を真空ポンプで吸引して、密閉室８内を真空にす
る。その結果、両面の原版２、２が大気により押圧され
、感光基材１に密着する。その後、光源７、７を点灯さ
せることにより、原版２、２の絵柄が感光基材１に焼き
付けられる。
【０００５】このような密着焼付装置において、枠３に
原版２を取り付ける方法としては、図６に示すように、
原版２を保持する枠３全周に真空吸着溝９を設け、溝９
に連通する配管１０を介して溝９を真空排気することに
より原版２の周囲を真空吸着させるのが一般的である。 この場合、図のＡ−Ａ断面に示すように、真空吸着作用
をより促進するために、真空吸着溝９の両側にパッキン
グ１１を配置する場合が多いが、このパッキング１１は
必ずしも必要なものではない。
原版２を取り付ける方法としては、図６に示すように、
原版２を保持する枠３全周に真空吸着溝９を設け、溝９
に連通する配管１０を介して溝９を真空排気することに
より原版２の周囲を真空吸着させるのが一般的である。 この場合、図のＡ−Ａ断面に示すように、真空吸着作用
をより促進するために、真空吸着溝９の両側にパッキン
グ１１を配置する場合が多いが、このパッキング１１は
必ずしも必要なものではない。
【０００６】なお、以上は密着焼付装置における原版取
り付け法であるが、投影焼付装置においても同様な原版
取り付け法が採用されている。
り付け法であるが、投影焼付装置においても同様な原版
取り付け法が採用されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示したような原版取り付け法においては、枠３の真空吸
着溝９は原版２の外周全周にわたって設けられており、
原版が必ずしも平坦でなく反り等がある場合、平坦でな
い部分において真空吸着溝９の中へ吸着排気中に空気が
漏れてしまい、その結果、真空吸着溝９全体の吸着能力
が低下するため、このような原版２は枠３に吸着し難い
という問題が生じていた。
示したような原版取り付け法においては、枠３の真空吸
着溝９は原版２の外周全周にわたって設けられており、
原版が必ずしも平坦でなく反り等がある場合、平坦でな
い部分において真空吸着溝９の中へ吸着排気中に空気が
漏れてしまい、その結果、真空吸着溝９全体の吸着能力
が低下するため、このような原版２は枠３に吸着し難い
という問題が生じていた。
【０００８】このような吸着し難い問題は、溝９の周囲
にパッキング１１を設けたときにも同じで、パッキング
１１そのものの弾力性をかなり弱くしないと、容易に吸
着しない。ところが、弾力性が弱いパッキングは復元し
難く、数回の使用でパッキングがつぶれたままとなって
しまい、使用不能になる。逆に、弾力性の強いパッキン
グを用いると、パッキングがないときと同じ問題が生じ
る。
にパッキング１１を設けたときにも同じで、パッキング
１１そのものの弾力性をかなり弱くしないと、容易に吸
着しない。ところが、弾力性が弱いパッキングは復元し
難く、数回の使用でパッキングがつぶれたままとなって
しまい、使用不能になる。逆に、弾力性の強いパッキン
グを用いると、パッキングがないときと同じ問題が生じ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、原版を
吸着する溝を分割し、それぞれの溝に真空吸着機能を持
たせることにより、何れかの溝が原版によりシールされ
れば、全周がシールされなくても、原版を吸着できる原
版吸着性能を向上させた焼付装置における原版真空吸着
取り付け装置を提供することである。
題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、原版を
吸着する溝を分割し、それぞれの溝に真空吸着機能を持
たせることにより、何れかの溝が原版によりシールされ
れば、全周がシールされなくても、原版を吸着できる原
版吸着性能を向上させた焼付装置における原版真空吸着
取り付け装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の焼付装置における原版真空吸着取り付け装置は、感
光材料を塗布してなる基材の表面に絵柄が描かれた原版
を焼き付ける焼付装置の原版真空吸着取り付け装置にお
いて、原版を取り付ける枠の周囲に吸着用溝を複数個設
け、各吸着用溝が個々に真空吸着機能を果たすように構
成されていることを特徴とするものである。
明の焼付装置における原版真空吸着取り付け装置は、感
光材料を塗布してなる基材の表面に絵柄が描かれた原版
を焼き付ける焼付装置の原版真空吸着取り付け装置にお
いて、原版を取り付ける枠の周囲に吸着用溝を複数個設
け、各吸着用溝が個々に真空吸着機能を果たすように構
成されていることを特徴とするものである。
【００１１】この場合、原版を取り付ける枠の周囲に複
数個の穴を有するパッキングを配置するか、中心部に穴
を設けた複数のパッキングを配置し、これら穴によって
前記の吸着用溝を構成するようにすることが望ましい。
数個の穴を有するパッキングを配置するか、中心部に穴
を設けた複数のパッキングを配置し、これら穴によって
前記の吸着用溝を構成するようにすることが望ましい。
【００１２】
【作用】本発明のおいては、原版を取り付ける枠の周囲
に吸着用溝を複数個設け、各吸着用溝が個々に真空吸着
機能を果たすように構成されているので、取り付けられ
る原版が平坦でなく反り等がある場合でも、平坦でない
部分においてその部分の吸着用溝によって吸着できなく
とも、他の部分においてその部分の吸着用溝により真空
吸着できるので、従来のものに比較して原版吸着性能は
一段と向上する。
に吸着用溝を複数個設け、各吸着用溝が個々に真空吸着
機能を果たすように構成されているので、取り付けられ
る原版が平坦でなく反り等がある場合でも、平坦でない
部分においてその部分の吸着用溝によって吸着できなく
とも、他の部分においてその部分の吸着用溝により真空
吸着できるので、従来のものに比較して原版吸着性能は
一段と向上する。
【００１３】
【実施例】次に、図面を参照にして本発明の焼付装置に
おける原版真空吸着取り付け装置の実施例について説明
する。図１は本発明の１実施例の原版真空吸着取り付け
装置を備えた原版２取り付け枠３の斜視図であり、その
最外周全周に密閉室８（図５参照）形成用の密閉用パッ
キング４が設けられ、その内側全周に原版２吸着用の溝
を形成するパッキング１２が設けられている。パッキン
グ１２には、図に示すように、分割された吸着用溝１３
が一定間隔で枠３全周にわたって設けられている。一方
、枠３の各吸着用溝１３に対応する位置には排気孔１４
が開いており、図２の部分拡大図から明らかなように、
各排気孔１４には真空排気用の比較的径の太い配管１６
から枝分かれしている比較的径の細い排気枝管１５がそ
れぞれ接続している。また、パッキング１２は、図１の
線Ａ−Ａに沿った断面図である図３に示すように、枠３
の平面に接着されるか（ａ）、枠３の平面に溝を設け、
その中に一部を埋め込んで（ｂ）固定される。図（ａ）
の場合は、パッキング１２が吸引により排気孔１４側に
吸い込まれないようにするため、ストッパー１７を溝１
３の底部に設ける必要があるが、図（ｂ）の場合は、原
版２を吸着したとき枠３の溝周りがストッパーとなるの
で、このようなストッパーを設ける必要は必ずしもない
。
おける原版真空吸着取り付け装置の実施例について説明
する。図１は本発明の１実施例の原版真空吸着取り付け
装置を備えた原版２取り付け枠３の斜視図であり、その
最外周全周に密閉室８（図５参照）形成用の密閉用パッ
キング４が設けられ、その内側全周に原版２吸着用の溝
を形成するパッキング１２が設けられている。パッキン
グ１２には、図に示すように、分割された吸着用溝１３
が一定間隔で枠３全周にわたって設けられている。一方
、枠３の各吸着用溝１３に対応する位置には排気孔１４
が開いており、図２の部分拡大図から明らかなように、
各排気孔１４には真空排気用の比較的径の太い配管１６
から枝分かれしている比較的径の細い排気枝管１５がそ
れぞれ接続している。また、パッキング１２は、図１の
線Ａ−Ａに沿った断面図である図３に示すように、枠３
の平面に接着されるか（ａ）、枠３の平面に溝を設け、
その中に一部を埋め込んで（ｂ）固定される。図（ａ）
の場合は、パッキング１２が吸引により排気孔１４側に
吸い込まれないようにするため、ストッパー１７を溝１
３の底部に設ける必要があるが、図（ｂ）の場合は、原
版２を吸着したとき枠３の溝周りがストッパーとなるの
で、このようなストッパーを設ける必要は必ずしもない
。
【００１４】以上のように原版の真空吸着機構を構成す
ると、分割された真空吸着用溝１３につながる排気枝管
１５の径が配管１６の径より小さいので、一部の溝１３
が原版２の吸着によるシールがなされなくとも、配管１
６の真空度は殆ど影響されないため、各溝１３は各々独
立に真空吸引作用を果たす。したがって、原版２が平坦
でなく反り等がある場合、平坦でない部分において吸着
できなくとも、他の部分においてその部分の溝１３によ
り真空吸着されるので、従来のものに比較して原版吸着
性能は一段と向上する。
ると、分割された真空吸着用溝１３につながる排気枝管
１５の径が配管１６の径より小さいので、一部の溝１３
が原版２の吸着によるシールがなされなくとも、配管１
６の真空度は殆ど影響されないため、各溝１３は各々独
立に真空吸引作用を果たす。したがって、原版２が平坦
でなく反り等がある場合、平坦でない部分において吸着
できなくとも、他の部分においてその部分の溝１３によ
り真空吸着されるので、従来のものに比較して原版吸着
性能は一段と向上する。
【００１５】なお、例えばシャドウマスクを焼き付ける
場合、溝１３の長さａは５０〜１００ｍｍ、溝１３と溝
１３の間隙ｂは１０ｍｍ程度が望ましく、パッキング１
２の厚さは、耐久性を考慮して、ネオプレン（クロロプ
レン）ゴム、硬度６５度にて、３〜４ｍｍ（平パッキン
グの場合）が望ましい。
場合、溝１３の長さａは５０〜１００ｍｍ、溝１３と溝
１３の間隙ｂは１０ｍｍ程度が望ましく、パッキング１
２の厚さは、耐久性を考慮して、ネオプレン（クロロプ
レン）ゴム、硬度６５度にて、３〜４ｍｍ（平パッキン
グの場合）が望ましい。
【００１６】ところで、分割された吸着用溝１３は、図
１のように１本のパッキング１２により形成する代わり
に、図４に平面図を示すように、長円形の独立した複数
のパッキング１２′により形成することもできる。なお
、パッキング１２、１２′を省いても、枠３の排気孔１
４周囲に底の浅い溝を形成することにより、同様の吸着
作用を行わせることができる。
１のように１本のパッキング１２により形成する代わり
に、図４に平面図を示すように、長円形の独立した複数
のパッキング１２′により形成することもできる。なお
、パッキング１２、１２′を省いても、枠３の排気孔１
４周囲に底の浅い溝を形成することにより、同様の吸着
作用を行わせることができる。
【００１７】以上、実施例について本発明の原版真空吸
着取り付け装置を説明してきたが、本発明はこれら実施
例に限定されず種々の変形が可能である。また、本発明
の原版真空吸着取り付け装置は密着焼付装置に限らず、
投影焼付装置の原版取り付け装置にも適用できる。
着取り付け装置を説明してきたが、本発明はこれら実施
例に限定されず種々の変形が可能である。また、本発明
の原版真空吸着取り付け装置は密着焼付装置に限らず、
投影焼付装置の原版取り付け装置にも適用できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の焼付装置
における原版真空吸着取り付け装置によれば、原版を取
り付ける枠の周囲に吸着用溝を複数個設け、各吸着用溝
が個々に真空吸着機能を果たすように構成されているの
で、取り付けられる原版が平坦でなく反り等がある場合
でも、平坦でない部分においてその部分の吸着用溝によ
って吸着できなくとも、他の部分においてその部分の吸
着用溝により真空吸着できるので、従来のものに比較し
て原版吸着性能は一段と向上する。
における原版真空吸着取り付け装置によれば、原版を取
り付ける枠の周囲に吸着用溝を複数個設け、各吸着用溝
が個々に真空吸着機能を果たすように構成されているの
で、取り付けられる原版が平坦でなく反り等がある場合
でも、平坦でない部分においてその部分の吸着用溝によ
って吸着できなくとも、他の部分においてその部分の吸
着用溝により真空吸着できるので、従来のものに比較し
て原版吸着性能は一段と向上する。
【図１】本発明の１実施例の原版真空吸着取り付け装置
を備えた原版取り付け枠の斜視図である。
を備えた原版取り付け枠の斜視図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】図１の線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図４】別の実施例のパッキング形状を示す平面図であ
る。
る。
【図５】真空密着焼付法を利用した密着焼付装置の１例
の概略断面図である。
の概略断面図である。
【図６】従来の原版真空吸着取り付け装置を備えた原版
取り付け枠の斜視図及び部分断面図である。
取り付け枠の斜視図及び部分断面図である。
２…原版
３…原版取り付け枠
４…密閉用パッキング
５…排気口
１２、１２′…パッキング
１３…吸着用溝
１４…排気孔
１５…細い排気枝管
１６…太い配管
１７…ストッパー
Claims (3)
- 【請求項１】 感光材料を塗布してなる基材の表面に
絵柄が描かれた原版を焼き付ける焼付装置の原版真空吸
着取り付け装置において、原版を取り付ける枠の周囲に
吸着用溝を複数個設け、各吸着用溝が個々に真空吸着機
能を果たすように構成されていることを特徴とする焼付
装置における原版真空吸着取り付け装置。 - 【請求項２】 原版を取り付ける枠の周囲に複数個の
穴を有するパッキングを配置し、これら穴によって前記
吸着用溝を構成したことを特徴とする請求項１記載の焼
付装置における原版真空吸着取り付け装置。 - 【請求項３】 原版を取り付ける枠の周囲に中心部に
穴を設けた複数のパッキングを配置し、これら穴によっ
て前記吸着用溝を構成したことを特徴とする請求項１記
載の焼付装置における原版真空吸着取り付け装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3026969A JP2951732B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 焼付装置における原版真空吸着取り付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3026969A JP2951732B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 焼付装置における原版真空吸着取り付け装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265966A true JPH04265966A (ja) | 1992-09-22 |
| JP2951732B2 JP2951732B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=12207988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3026969A Expired - Lifetime JP2951732B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 焼付装置における原版真空吸着取り付け装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951732B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP3026969A patent/JP2951732B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2951732B2 (ja) | 1999-09-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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