JPH04265835A - ダスト発生量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、駆動機構およびその部
品などについてダスト発生量の評価を行う装置に関する
。ＬＳＩパターンの微細化が進み、半導体製造装置の駆
動機構などから発生したダストが製品デバイスに与える
影響が問題となっている。

【０００２】

【従来の技術】従来のダスト発生量測定装置は、図２に
示すように、送風口にファン１とフィルタ２を設けた試
験試料設置室３、縮流部４、および排風口をあけたダス
ト採取室５を連通させた包囲体と、ダスト採取室５内に
配置したダスト吸引口７に連通するダストカウンタ６と
を有する。試験試料３′を設置して稼働させ、発生した
ダストを送風気流に載せ、この気流を縮流部４で絞り、
ダスト採取室５内のダスト吸引口７から吸引し、ダスト
カウンタ６で計測する。ダストカウンタは吸引式の光散
乱式ダストカウンタである。このときダスト吸引口７に
向けて流れる気流の風速がダスト吸引口７における吸引
速度に等しいことが必要である。もし前者が後者より大
きければ、ダスト量が過大に測定され、反対の場合には
、ダスト量が過小となって測定される。従来は、手動で
ファンモータへの供給電圧を制御して、気流の風速が、
ダスト吸引口の吸引速度と等しくなるように調節してい
た。

【０００３】なお試験試料の大きさおよび形状に応じて
、送風気流で運ばれるダスト量が、ダスト採取位置によ
って変化する。従来は、ダスト吸引口の位置を変える操
作も手動で行っており、そのため実験の精度や再現性が
悪く、さらにダスト採取室の排風口から排出されるダス
トが装置の使用環境を汚染する欠点があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ダスト発生
量測定装置において、ダストカウンタに連通するダスト
吸引口の位置における気流の風速がダスト吸引口の吸引
速度に等しいように制御することを主要な課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題は、試験試料か
ら発生したダストを同伴した気流に対面するダスト吸引
口７に隣接して、風速センサ８を設け、このセンサ８で
測定した気流の風速が、ダストカウンタ６に連通するダ
スト吸引口７の吸引速度に等しいように、送風ファン１
の送風量を調節する制御装置９を設けたことを特徴とす
るダスト発生量測定装置によって解決することができる
。

【０００６】

【作用】本発明は、ファン制御装置によりダスト採取位
置における気流の風速とダストカウンタの吸引速度が常
に等しくなるようにファンを制御することで、ダスト採
取位置が変っても等速度吸引による測定を行うことがで
きる。なおダスト採取位置をステージにより移動するこ
とにより、測定精度、再現性を向上させ、また試験試料
の発生ダストをダスト採取室の排風口に装着したフィル
タで捕集して、ダストが装置外に流出することを防止し
て装置使用環境の清浄度を保つことができる。

【０００７】

【実施例】図１は、本発明のダスト発生量測定装置の実
施態様を示す断面図である。従来の装置と相違する点を
記載する。ファン制御装置９を設け、これにダストカウ
ンタ６に連通するダスト吸引口７における吸引速度を入
力する。ファン制御装置９は風速センサ処理部とファン
モータ制御部とで構成され、処理部は風速センサ８が感
知した気流の風速をダスト吸引口７の吸引速度と比較し
、その結果にもとずいてファンモータ制御部が送風ファ
ン１を駆動する図示しないパルスモータに信号を送り、
ダスト採取位置における気流の風速がダスト吸引口７の
吸引速度に等しいように、制御する。

【０００８】ファン１により装置に送られた空気は、試
験試料設置室３内で試験試料３′に触れ、試験試料３′
から発生したダストを同伴し、縮流部４を経てダスト採
取室５に入り、ここでダスト吸引口７および風速センサ
８に流れつく。ダスト吸引口７は可撓性導管によってダ
ストカウンタ６に連通している。ダストを含む気流の風
速はダスト吸引口７の吸引速度と等速度であり、気流中
のダスト量を正確に測定できる。

【０００９】またダスト採取室５内に、ダスト吸引口７
と風速センサ８とを支持するステージ１０を設け、この
ステージ１０をステージ駆動制御装置１１で精度および
再現性よくＸＹ方向に移動させながらダストを採取する
ことができる。なお、ダスト採取室５の排風口には、フ
ィルタ１２を設けて、作業室内へのダストの放出を防止
することができる。

【００１０】

【発明の効果】本発明によれば、常に等速度吸引により
ダスト発生量を精度高くかつ再現性良く測定することが
できるので、半導体製造装置などにおける駆動機構製作
の際、防塵効果の高い材質、構造の選定に有用なもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のダスト発生量測定装置の実施態様の断
面図である。

【図２】従来技術のダスト発生量測定装置の断面図であ
る。

【符号の説明】

１…ファン ２，１２…フィルタ ３…試験試料設置室 ３′…試験試料 ４…縮流部 ５…ダスト採取室 ６…ダストカウンタ ７…ダスト吸引口 ８…風速センサ ９…ファン制御装置 １０…ステージ １１…ステージ駆動制御装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　送風口にファンとフィルタを設けたダ
   スト発生試験試料設置室、縮流部、および排風口をあけ
   たダスト採取室を順次連通させた包囲体と、ダスト採取
   室内のダスト吸引口に連通し、吸引ファンを有するダス
   トカウンタとを含むダスト発生量測定装置であって、試
   験試料から発生したダストを同伴した気流に対面するダ
   スト吸引口（７）に隣接して、風速センサ（８）を設け
   、このセンサ（８）で測定した風速が、ダストカウンタ
   （６）に連通するダスト吸引口（７）の吸引速度に等し
   いように、送風ファン（１）の送風量を調節する制御装
   置（９）を設けたことを特徴とする装置。
2. 【請求項２】　　ダスト吸引口（７）と風速センサ（８
   ）とを支持するステージ（１０）およびこれを移動させ
   るステージ駆動制御装置（１１）を設けた、請求項１に
   記載の装置。
3. 【請求項３】　　ダスト採取室（５）にあけた排風口に
   フィルタ（１２）を設けた、請求項１または２に記載の
   装置。