JP3552389B2 - 浮遊粉塵測定装置 - Google Patents
浮遊粉塵測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3552389B2 JP3552389B2 JP04706596A JP4706596A JP3552389B2 JP 3552389 B2 JP3552389 B2 JP 3552389B2 JP 04706596 A JP04706596 A JP 04706596A JP 4706596 A JP4706596 A JP 4706596A JP 3552389 B2 JP3552389 B2 JP 3552389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- dust
- output
- laser beam
- diffraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims description 54
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 46
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 31
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 9
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、エア中に浮遊している微小な粉塵の粒度分布を測定する装置に関し、例えば大気中の粉塵モニタ、あるいは工場内の作業環境モニタ等として用いることのできる浮遊粉塵測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
エア中に浮遊している粉塵の粒径等を測定する装置として、従来、1個の粒子が光照射位置を通過したときに生じる散乱光等を検出することにより、単位体積当たりのエア中に含まれる粒子の数と個々の粒子の大きさを検出するダストカウンタや、レーザ光を用いて干渉縞を作るとともに、そこを1個の粒子が通過することによる干渉縞の変化を検出してその粒子の大きさを測定するフェーズドップラー方式の測定装置が知られている。
【0003】
また、粒子群の粒度分布を測定する装置として、従来、分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射することによって生じる回折/散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果をフラウンホーファ回折理論やミー散乱理論に基づいて被測定粒子群の粒度分布に換算する、いわゆるレーザ回折/散乱式の粒度分布測定装置が知られている。なお、このレーザ回折/散乱式の粒度分布測定装置において被測定粒子群を分散させる方法としては、被測定粒子群を液体中に分散させて懸濁液とする液相法と、被測定粒子群を気体中に分散させてエアロゾルとする気相法とがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、大気中の粉塵のモニタや工場内の作業環境モニタに当たって、エア中に浮遊している粉塵の数ないしは量のほかに、浮遊粉塵の粒径ないしはその分布をも知ることができれば、その粉塵の種類や発生源等を特定するための重要なデータとなり得る。
【0005】
このような浮遊粉塵の粒径ないしはその分布を測定して、その種類ないしは発生源等を特定するためのデータに供するには、浮遊粉塵は元来的に微小な粒径の粒子であるが故に、その粒径の測定下限は0.1μm程度まで正確に測定することが必要となる。
【0006】
ところが、従来のダストカウンタは粉塵の数を正確にカウントすることができるものの、個々の粉塵の粒径の測定精度は悪く、また、フェーズドップラー方式の粉塵測定装置では、その粒径の測定下限は0.5μm程度であり、いずれも上記のような用途には適していない。
【0007】
一方、レーザ回折/散乱式の粒度分布測定装置では0.1μm程度の粒径をも十分に測定可能であるが、浮遊粉塵を含む試料エアに対して直接的にレーザ光を照射したのでは、試料濃度(エア中の粉塵の濃度)が低すぎるため、得られる回折/散乱光は極めて微弱なものとなり、実質的に測定不能である。
【0008】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、エア中の浮遊粉塵の粒径の分布を、測定下限0.1μm程度まで正確に測定することのできる浮遊粉塵測定装置の提供を目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための構成を、本発明の実施の形態を表す図1を参照しつつ説明すると、本発明の浮遊粉塵測定装置は、レーザビーム照射光学系1からの平行レーザビームが照射される測定部2と、その測定部2のレーザビーム照射領域を横切るように、浮遊粉塵が含まれる試料エアAsとクリーンエアAcとを交互に切り換えて供給するエア供給・切換手段3と、測定部2の浮遊粉塵によるレーザビームの回折/散乱光の空間強度分布を測定するための光センサ群41,42,43を備え、上記測定部2のレーザビーム照射領域に、上記エア供給・切換手段3によって試料エアAsとクリーンエアAcとを交互に供給することにより、各光センサ41,42,43の出力が、試料エアAs中の浮遊粉塵により回折/散乱している状態での出力と、そのような回折/散乱を受けないバックグランド光のみの状態での出力(バックグランド出力)とが交互に現れる交流信号となるように構成されているとともに、その各光センサ群41,42,43の出力をそれぞれ交流増幅した後に検波し、その検波結果をデジタル化する回路手段5と、そのデジタルデータを用いた演算によって試料エア中の浮遊粉塵の粒度分布を算出する演算手段6を備えていることによって特徴づけられる。
【0010】
本発明は、0.1μm程度の粒径まで十分に測定可能であるレーザ回折/散乱式の粒度分布測定装置を利用するとともに、その回折/散乱光の測定の仕方に改善を加えることによって、数ppb程度の極めて低濃度の試料エア中の浮遊粉塵の粒度分布の測定を可能とし、所期の目的を達成するものである。
【0011】
すなわち、通常のレーザ回折/散乱式の粒度分布測定装置では、レーザビームの照射領域に対して分散状態の試料粒子群を連続的に供給しつつ、複数の回折/散乱角に対応して配置された光センサ群への入射光強度を測定し、その測定出力と、試料の存在しない状態(バックグランド光のみの状態)での光センサ群の出力との差から、被測定粒子群による回折/散乱光パターン(空間強度分布)を求めて、粒度分布に換算する。
【0012】
このような装置において試料濃度が低くなると、前記したように得られる回折/散乱光強度が極めて小さくなってしまう。このような低濃度試料に対応するには、▲1▼照射レーザ光強度を強くして回折/散乱光強度を大きくする、▲2▼センサ用アンプの増幅率を増大させるなどの対策が考えられるが、これらの対策を施してもレーザ光源のドリフトやふらつき、あるいはセンサ用アンプのドリフトやノイズにより、実用的には数ppm程度までしか対応できない。
【0013】
そこで、本発明においては、浮遊粉塵が含まれる試料エアと、そのような粉塵の含まれないクリーンエアとを、照射レーザ光を横切るように交互に供給することにより、回折/散乱光を測定するためのセンサ群41,42,43の出力を、それぞれ粉塵による回折/散乱状態と、非回折/散乱状態(バックグランド光のみの状態)との2状態の検出出力が交互に現れる交流信号とし、その交流信号をまず交流増幅する。これにより、レーザ光源やセンサアンプなどのドリフト、あるいは照射レーザ光強度のふらつきや光学部品への粉塵付着によるバックグランドの変化の影響を除去することができる。従って、バックグランドに対して微弱な回折/散乱光の信号成分が乗った状態のセンサ出力と、先に測定したバックグランド相当分との差を直流増幅する従来の方式に比して、信号成分の増幅率をより大きくすることが可能となる。
【0014】
そして、このような交流増幅後の信号を検波することにより、試料エアとクリーンエアの切換周波数よりも高いノイズをも低減でき、交流増幅のための増幅器のゲインを上げてもそのようなノイズの影響の少ない正確な回折/散乱光測定結果を得ることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施の形態の構成図で、光学的および機械的構成を示す模式図と、電気的構成を示すブロック図とを併記して示す図である。
【0016】
レーザ光照射光学系1は、半導体レーザ1aと、その出力光を平行ビームにするためのレンズ等からなるビーム成形光学系1bによって構成されている。このレーザ照射光学系1からの平行レーザビームは測定部2内に照射される。
【0017】
測定部2はケース2aによって外界に対して仕切られた空間であり、ケース2aには互いに対向する位置に2つの窓2b,2cが設けられている。レーザ光照射光学系1からのレーザビームは一方の窓2bを介して測定部2内に照射され、後述する回折/散乱光の一部(前方回折/散乱光)は他方の窓2cを介して測定部2外に出ていく。
【0018】
そして、この測定部2内に、そのレーザビーム照射領域を横切るように、浮遊粉塵を含む試料エアAs と、そのような粉塵を含まないクリーンエアAc とが、エア供給・切換機構3によって交互に供給される。
【0019】
すなわち、測定部2には、2つのエア入口と1つのエア出口を持つ流路切換器3aが配置されているとともに、その流路切換器3aの各エア入口には、それぞれ試料エアAs の供給管3bとクリーンエアAc の供給管3cとが接続されており、これらによってエア供給・切換機構3が構成されている。そして、この流路切換器3aにより、試料エアAs とクリーンエアAc とが交互に切り換えられてエア出口に導かれ、これらのエアが交互にレーザビームを横切るように噴出するようになっている。なお、流路切換器3aによるエアの切換周波数は、例えば1〜数Hz程度とすることができる。
【0020】
また、測定部2のケース2aには流路切換器3aのエア出口に対向してエア排出口2dが設けられているとともに、このエア排出口2dには排気用ファン2eが設けられており、測定部2内に供給された試料エアAs 中に含まれる浮遊粉塵はレーザビームを横切った後に直ちに測定部2外に排出されるように構成されている。
【0021】
測定部2の窓2cの外側には、集光レンズ40とリングデテクタ41が配置されている。リングデテクタ41は、互いに異なる半径を持つリング状ないしは半リング状の受光面を有する複数の光センサが同心円上に並べられた公知のもので、このリングデテクタ41は集光レンズ40の焦点面上に配置されているとともに、これらはともにレーザビームの光軸上に配置されている。
【0022】
また、測定部2の内部には、側方散乱光センサ42と後方散乱光センサ43が配置されており、これらの各光センサ42,43と、上記したリングデテクタ41によって、試料エアAs 中に含まれる浮遊粉塵によるレーザビームの回折/散乱光の空間強度分布が検出される。
【0023】
すなわち、浮遊粉塵がレーザビームの照射領域を横切ることにより、そのレーザビームは粉塵の粒径に応じた角度で回折/散乱するが、このうち、前方所定角度範囲への回折/散乱光は集光レンズ40によってリングデテクタ41の受光面上に導かれてそこに結像し、また、側方および後方への散乱光はそれぞれ側方散乱光センサ42および後方散乱光センサ43の受光面に入射する。従って、リングデテクタ41内の各光センサの出力と、側方散乱光センサ42および後方散乱光センサ43の出力、および、これらの各光センサの配設位置とから、レーザビームの照射領域中に浮遊粉塵が存在している状態において生じる回折/散乱光の空間強度分布に係る情報を知ることができる。
【0024】
ここで、測定部2内のレーザビーム照射領域には、エア供給・切換機構3によって試料エアAs とクリーンエアAc とが交互に供給されるため、上記した各光センサ出力は、試料エアAs 中の浮遊粉塵により回折/散乱している状態での出力と、そのような回折/散乱を受けない状態での出力(このような非回折/散乱状態での出力を、以下、バックグランド出力と称する)とが交互に現れ、従ってこれらの各光センサ出力は、エア供給・切換機構3による試料エアAs とクリーンエアAc との切換周期に同期した交流信号となる。
【0025】
さて、リングデテクタ41内の各光センサの出力と、側方および後方散乱光センサ42,43の出力は、信号処理回路5によって以下に示すような処理を受けてデジタル化され、コンピュータ6に導入される。
【0026】
すなわち、リングデテクタ41内の各光センサの出力と、側方および後方散乱光センサ42および43の出力は、それぞれ個別にプリアンプ5aに導入されて増幅された後、交流増幅器5bによって交流増幅され、更に検波回路5cによって検波される。そして、その各センサごとの検波出力がマルチプレクサ5dを介してA−D変換器5eによってデジタル化される。
【0027】
そして、その各光センサの出力ごとのデジタルデータはコンピュータ6に取り込まれ、フラウンホーファ回折理論およびミー散乱理論に基づく公知のアルゴリズムによって、試料エアAs 中に含まれる浮遊粉塵の粒度分布に換算される。
【0028】
以上の本発明の実施の形態において、各光センサ出力は、前記したように浮遊粉塵による回折/散乱状態での出力と、バックグランド出力とが交互に現れる交流信号となっているため、試料エアAs 中の浮遊粉塵濃度が数ppbオーダーの低濃度で、これによって回折/散乱光強度が極めて微弱であり、また、半導体レーザ1aの出力のドリフトやふらつき、あるいはプリアンプ5aおよび交流増幅器5bにドリフトがあっても、これらの影響を受けることなく交流増幅器5bの増幅率を上げることが可能となる。そして、その交流増幅の後に検波することによって、各光センサの交流出力の周波数、つまり試料エアAs とクリーンエアAc の切換周波数よりも高い周波数のノイズの影響をも低減することができる。
【0029】
従って、コンピュータ6には試料エアAs 中に含まれる浮遊粉塵による回折/散乱光の空間強度分布に関する正確なデータが取り込まれ、その粉塵の粒度分布を正確に算出することが可能となる。
【0030】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、0.1μm程度の微小な粒径まで正確に測定することのできるレーザ回折/散乱式粒度分布測定装置を利用して、そのレーザビームの照射領域に、浮遊粉塵を低濃度で含む試料エアとクリーンエアとを交互に供給して、回折/散乱光の空間強度分布を測定するための光センサ群の出力を交流化するとともに、その各光センサの出力を交流増幅の後に検波して、その検波結果をデジタル化して粒度分布の換算に供しているため、従来のレーザ回折/散乱式粒度分布測定装置では測定不能であった、数ppb程度の極めて低濃度の浮遊粉塵を含む試料エアであっても、その粒度分布を正確に測定することが可能となった。
【0031】
従って本発明によれば、大気中に僅かに含まれる浮遊粉塵等の粒度分布を十分に正確に測定することが可能となり、大気の粉塵モニタや作業環境モニタとして用いることにより、従来のこの種の用途に用いられていたダストカウンタやフェーズドップラー方式の測定装置に比して、より細かい粒径まで正確に粉塵の粒度分布を測定することが可能となり、その粉塵の種類や発生源等の特定のためのデータとして供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の構成図で、光学的および機械的構成を示す模式図と電気的構成を示すブロック図とを併記した図
【符号の説明】
1 レーザビーム照射光学系
1a 半導体レーザ
1b ビーム成形光学系
2 測定部
2a ケース
2b,2c 窓
2d エア排気口
2e 排気用ファン
3 エア供給・切換機構
3a 流路切換器
3b 試料エア供給管
3c クリーンエア供給管
40 集光レンズ
41 リングデテクタ
42 側方散乱光センサ
43 後方散乱光センサ
5 信号処理回路
5a プリアンプ
5b 交流増幅器
5c 検波回路
5e A−D変換器
6 コンピュータ
Claims (1)
- レーザビーム照射光学系からの平行レーザビームが照射される測定部と、その測定部のレーザビーム照射領域を横切るように、浮遊粉塵が含まれる試料エアとクリーンエアとを交互に切り換えて供給するエア供給・切換手段と、上記測定部の浮遊粉塵によるレーザビームの回折/散乱光の空間強度分布を測定するための光センサ群を備え、上記測定部のレーザビーム照射領域に、上記エア供給・切換手段によって試料エアとクリーンエアとを交互に供給することにより、上記各光センサの出力が、試料エア中の浮遊粉塵により回折/散乱している状態での出力と、そのような回折/散乱を受けないバックグランド光のみの状態での出力とが交互に現れる交流信号となるように構成されているとともに、その各光センサ群の出力交流信号をそれぞれ交流増幅した後に検波し、その検波結果をデジタル化する回路手段と、そのデジタルデータを用いた演算によって試料エア中の浮遊粉塵の粒度分布を算出する演算手段を備えていることを特徴とする浮遊粉塵測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04706596A JP3552389B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 浮遊粉塵測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04706596A JP3552389B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 浮遊粉塵測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09243547A JPH09243547A (ja) | 1997-09-19 |
JP3552389B2 true JP3552389B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=12764766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04706596A Expired - Fee Related JP3552389B2 (ja) | 1996-03-05 | 1996-03-05 | 浮遊粉塵測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3552389B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190084691A (ko) * | 2018-01-09 | 2019-07-17 | 채규욱 | 광학식 미세먼지 센서 |
CN111175250A (zh) * | 2019-04-08 | 2020-05-19 | 南京林业大学 | 一种木质粉尘爆炸等级的实时测量方法及装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006138833A (ja) * | 2004-06-11 | 2006-06-01 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 微粒子測定装置 |
-
1996
- 1996-03-05 JP JP04706596A patent/JP3552389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190084691A (ko) * | 2018-01-09 | 2019-07-17 | 채규욱 | 광학식 미세먼지 센서 |
KR102153640B1 (ko) | 2018-01-09 | 2020-09-08 | 채규욱 | 광학식 미세먼지 센서 |
CN111175250A (zh) * | 2019-04-08 | 2020-05-19 | 南京林业大学 | 一种木质粉尘爆炸等级的实时测量方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09243547A (ja) | 1997-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2786187B2 (ja) | 粒子寸法検出装置 | |
US5011286A (en) | Multisensor particle counter utilizing a single energy source | |
US4402607A (en) | Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces | |
US20090039249A1 (en) | Size segregated aerosol mass concentration measurement device | |
US4737648A (en) | Apparatus for detecting fibrous particle sizes by detecting scattered light at different angles | |
US5084629A (en) | Split flow uniform multisensor detection | |
JP3552389B2 (ja) | 浮遊粉塵測定装置 | |
US3535531A (en) | High-volume airborne-particle light scattering detector system having rectangularly shaped elongated scanning zone | |
CN108181213A (zh) | 一种室外恒流泵吸式激光粉尘检测装置 | |
JP2000046722A (ja) | 粒子濃度測定方法および装置並びに粒子計測装置 | |
JP2007278858A (ja) | 霧粒子センサ及び霧センサ | |
JP2879798B2 (ja) | 粒子寸法検出装置に使用するための粒子検出装置 | |
CN207730615U (zh) | 一种室外恒流泵吸式激光粉尘检测装置 | |
JP2000146814A (ja) | 粒径分布測定装置 | |
JP3966851B2 (ja) | 光散乱式粒子計数装置 | |
US7139075B2 (en) | Method and apparatus for measuring the size distribution and concentration of particles in a fluid | |
JPH08128941A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH10274617A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JP2000206033A (ja) | タバコ煙粒子計測装置 | |
SU1105001A1 (ru) | Способ контрол чистоты обработки поверхности | |
JPH0498145A (ja) | 流体中の微粒子計数装置 | |
TW202346835A (zh) | 增強的雙遍次及多遍次粒子偵測 | |
JPH0570098B2 (ja) | ||
JPH07151670A (ja) | 流体中異物測定装置 | |
KR20220008450A (ko) | 듀얼타입 굴뚝 먼지측정 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040413 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080514 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120514 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |