SU1105001A1

SU1105001A1 - Способ контрол чистоты обработки поверхности

Info

Publication number: SU1105001A1
Application number: SU823447156A
Authority: SU
Inventors: В.Н. Бугров; С.А. Карамян
Original assignee: Объединенный Институт Ядерных Исследований
Priority date: 1982-05-31
Filing date: 1982-05-31
Publication date: 1985-08-23

Abstract

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ,заключающийс в том, что направл ют на контролируемую поверхность поток, ионизирующего излучени под углом к ней и регистрируют интенсивность обратнорассе нного поверхностью излучени , отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона измерени , угол падени выбираетс в диапазоне 60+15&deg; по отношению к поверхности , угол выхода обратно-рассе нного излучени - 10±5 , а в качестве источника ионизирующего излучени используют альфа-источник. (Л с

Description

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, к способам дл измерени шероховатости поверхности с помощью волновых излучений или потоков элементарных частиц ,

Известен способ контрол поверхности , реализуемый устройством, состо щим из источника альфа-частиц, детектора и Электронной системы, измер ющей спектр обратно-рассе ных на образце альфа-частиц дл определени элементного состава вещества D il.

Его недостатком вл етс то, что оптимизаци условий определени дерного состава материала исключает чувствительность устройства к неровност м поверхности.

Наиболее близким к изобретению вл етс способ контрол чистоты обработки поверхности, заключающийс в том, что направл ют на контролируемую поверхность поток ионизирующего излучени под углом к ней и регистрируют интенсивность обратно-рассе нного поверхностью излучени 2.

Его недостатком вл етс узкий диапаз.он действи дл контрол только сравнительно крупных неровностей, соответствующих 2-4 классу точности обработки. Это ограничение св зано с особенност ми пробега бета-частиц в веществе, а именно с относительно большой величиной среднего пробега бета-частиц (дес тки и сотни микрометров ) и с большим разбросом пробегов .

Целью изобретени вл етс расширение диапазона измерени контролируемых неровностей в область микронеровностей , соответствующих средним классам точности обработки вплот до 8 класса.

Цель достигаетс тем, что по способу контрол чистоты обработки поверхности , заключающемус в том, что направл ют на контролируемую поверхкость поток ионизирующего излучени под углом к ней и регистрируют интенсивность обратно-рассе нного поверхностью излучени , угол падени излучени выбирают в диапазоне 60±15° по отношению к поверхности, угол выхода обратно-рассе нного излучени - 10+5, а в качестве источника ионизирующего излучени используют альфа-источник.

На чертеже показана схема устройства , реализующего способ контрол чистоты обработки поверхности.

С одной стороны от объекта 1 контрол расположены коллимированные источник 2, детектор 3 излучени и электронна схема 4 регистрации обратно-расссе нного поверхностью излучени . Угол ol падени излучени выбран в диапазоне 60+10 по отношению к поверхности, угол ft выхода обратно-рассе нного излучени 1015 . В качестве источника 2 ионизирующего излучени использован альфа-источник . Источник 2 и детектор 3 заключены в корпуса-коллиматоры 5 и 6.

Способ осуществл етс следующим образом.

Альфа-частицы выход т из корпусаколлиматора 5 через фольгу и падают на поверхность объекта контрол . Рассе нные на угол 75°(относительно исходного направлени ) частицы выход т под углом около 15 к поверх-, ности объекта контрол , проход т через фольгу, затем через корпус-коллиматор 6 и регистрируютс детектором 3. Все элементы закреплены на подставке 7 и расположены в услови х атмосферного давлени воздуха. Электрический сигнал с детектора 3 излучени усиливаетс и регистрируетс в схеме 4 регистрации, котора определ ет интенсивность обратно-рассе нных альфа-частиц, рассе нных объектом контрол , котора зависит от чистоты обработки поверхности (при посто нных услови х измерени ).

Таким образом, при увеличении неровностей поверхности объекта контрол интенсивность рассе нных частиц убывает.

Наибольша чувствительность способа к микронеровност м объекта контрол создаетс в случае, когда угол падени излучени выбираетс в диапазоне 60i15° по отношению к поверхности а угол выхода обратно-рассе нного излучени - 10+5°. Альфа-источник по сравнению с другими типами источников позвол ет расширить диапазон контролируемых микронеровностей вплоть до размера дес тых долей микрометра из-за малого пробега альфа-частиц.

34050014

Определение класса обработки по- частиц от класса обработки поиерхшиверхности с помощью данного способа ти.Градуировочна крива должна быть производитс путем сравнени измерен- получена с помощью эталонов обработкой скорости счета рассе ни от образ- ки поверхности, сделанных из того ца с градуировочной кривой зависимое- 5 же материала, что и контролируемьоЧ ти скорости счета рассе нных альфа- образец, при этом же уровне дискриминации порогового устройства

Claims

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ЧИСТОТЫ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ, заключающийся в том, что направляют на контролируемую поверхность поток! ионизиру ющего излучения под углом к ней и регистрируют интенсивность обратнорассеянного поверхностью излучения, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерения, угол падения выбирается в диапазоне 60+15° по отношению к поверхности, угол выхода обратно-рассеянного излучения - 10±5° , а в качестве источника ионизирующего излучения· используют альфа-источник.

1 1105001 2