JPH04264341A - 走査電子顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置Info
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- JPH04264341A JPH04264341A JP3046221A JP4622191A JPH04264341A JP H04264341 A JPH04264341 A JP H04264341A JP 3046221 A JP3046221 A JP 3046221A JP 4622191 A JP4622191 A JP 4622191A JP H04264341 A JPH04264341 A JP H04264341A
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims description 17
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 13
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 16
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、走査電子顕微鏡等
における自動輝度・コントラスト調整装置に関し、特に
検出信号の変化幅が広い場合においても自動的に輝度・
コントラスト調整を行なうことのできる装置に関する。
における自動輝度・コントラスト調整装置に関し、特に
検出信号の変化幅が広い場合においても自動的に輝度・
コントラスト調整を行なうことのできる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）、
電子プローブＸ線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）や
走査型オージェマイクロプローブ（ＳＡＭ）などの二次
電子線像を陰極線管（ＣＲＴ）などの画像表示装置上で
観察する装置では、検出信号の強度に応じて、ＣＲＴの
輝度及びコントラストを自動的に調整することが行なわ
れている。図５は走査電子顕微鏡における自動輝度・コ
ントラスト調整装置の従来例を示している。
電子プローブＸ線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）や
走査型オージェマイクロプローブ（ＳＡＭ）などの二次
電子線像を陰極線管（ＣＲＴ）などの画像表示装置上で
観察する装置では、検出信号の強度に応じて、ＣＲＴの
輝度及びコントラストを自動的に調整することが行なわ
れている。図５は走査電子顕微鏡における自動輝度・コ
ントラスト調整装置の従来例を示している。
【０００３】図５において、レンズ３０，３１によって
集束された電子線３２は、偏向器３３によって試料３４
上で二次元的に走査される。該試料３４より放出された
二次電子線信号３５はシンチレータ３６で光に変換され
光電子増倍管（ＰＭＴ）３７、増幅器３８を介して、Ｃ
ＲＴ３９に表示される。この場合、増幅器３８の出力信
号の平均値を平均値検出器４０で検出し、誤差増幅器４
１はこれと基準電圧４２とを比較して発生した補正電圧
を増幅器３８に負帰還して増幅器３８の出力を一定に制
御している。基準電圧４２はＣＲＴ３９上の最大輝度に
対応するグリッド４３の電圧と最小輝度に対応するグリ
ッド４３間の適当な電圧に設定し、光電子増倍管３７の
電圧４４を調整することにより最適な輝度及びコントラ
ストを得るようにしている。
集束された電子線３２は、偏向器３３によって試料３４
上で二次元的に走査される。該試料３４より放出された
二次電子線信号３５はシンチレータ３６で光に変換され
光電子増倍管（ＰＭＴ）３７、増幅器３８を介して、Ｃ
ＲＴ３９に表示される。この場合、増幅器３８の出力信
号の平均値を平均値検出器４０で検出し、誤差増幅器４
１はこれと基準電圧４２とを比較して発生した補正電圧
を増幅器３８に負帰還して増幅器３８の出力を一定に制
御している。基準電圧４２はＣＲＴ３９上の最大輝度に
対応するグリッド４３の電圧と最小輝度に対応するグリ
ッド４３間の適当な電圧に設定し、光電子増倍管３７の
電圧４４を調整することにより最適な輝度及びコントラ
ストを得るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＥＰＭ
ＡやＳＡＭ等の装置では、一次電子線のビーム電流値を
種々変更して使用することが多く、またその可変範囲は
１０−１２ 〜１０−５Ａと広くなる。そのため、検出
信号のダイナミックレンジが大きくなり、検出器後段の
増幅器の動作範囲をその都度手動により調整することが
必要であった。
ＡやＳＡＭ等の装置では、一次電子線のビーム電流値を
種々変更して使用することが多く、またその可変範囲は
１０−１２ 〜１０−５Ａと広くなる。そのため、検出
信号のダイナミックレンジが大きくなり、検出器後段の
増幅器の動作範囲をその都度手動により調整することが
必要であった。
【０００５】本発明は、上述した問題点を考慮し、極め
て広い測定条件に対しても自動的に輝度及びコントラス
トの調整を行なうことのできる走査電子顕微鏡等におけ
る自動輝度・コントラスト調整装置を提供することを目
的としている。
て広い測定条件に対しても自動的に輝度及びコントラス
トの調整を行なうことのできる走査電子顕微鏡等におけ
る自動輝度・コントラスト調整装置を提供することを目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、電子線により
試料表面上を二次元的に走査し、該試料面上から得られ
る情報を検出する検出手段と、該検出信号を増幅する増
幅器と、該増幅器の出力信号に基づいて試料表面の像を
表示する画像表示装置と、該画像表示装置に表示される
像の輝度及びコントラストを調整するように前記増幅器
の増幅率及びレベルを制御する手段とからなる走査電子
顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置にお
いて、増幅率の制御に先立って前記検出器に印加される
高電圧を掃引する手段と、該高電圧掃引時に検出された
検出信号が予め設定された増幅器の動作レベルの上限に
達したことを検出して前記高圧値を設定する手段と、該
高圧値を設定後に試料上から得られる検出信号をランダ
ムにサンプリングする手段と、該サンプリングされた全
信号の強度値を比較してその最高値より所定個数除いた
データｕ及び最低値より所定個数だけ除いたデータｌを
検出すると共に該データｕ及びデータｌに基づいて増幅
率制御信号及びレベル制御信号を演算する手段を設け、
該データに基づいて前記増幅器の増幅率及びレベルを制
御するようにしたことを特徴としている。
試料表面上を二次元的に走査し、該試料面上から得られ
る情報を検出する検出手段と、該検出信号を増幅する増
幅器と、該増幅器の出力信号に基づいて試料表面の像を
表示する画像表示装置と、該画像表示装置に表示される
像の輝度及びコントラストを調整するように前記増幅器
の増幅率及びレベルを制御する手段とからなる走査電子
顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置にお
いて、増幅率の制御に先立って前記検出器に印加される
高電圧を掃引する手段と、該高電圧掃引時に検出された
検出信号が予め設定された増幅器の動作レベルの上限に
達したことを検出して前記高圧値を設定する手段と、該
高圧値を設定後に試料上から得られる検出信号をランダ
ムにサンプリングする手段と、該サンプリングされた全
信号の強度値を比較してその最高値より所定個数除いた
データｕ及び最低値より所定個数だけ除いたデータｌを
検出すると共に該データｕ及びデータｌに基づいて増幅
率制御信号及びレベル制御信号を演算する手段を設け、
該データに基づいて前記増幅器の増幅率及びレベルを制
御するようにしたことを特徴としている。
【０００７】
【実施例】 以下、本発明の実施例を図面に基づいて
説明する。図１は本発明の一実施例を説明するための装
置構成図、図２乃至図３は動作を説明するための図であ
る。
説明する。図１は本発明の一実施例を説明するための装
置構成図、図２乃至図３は動作を説明するための図であ
る。
【０００８】図１において、レンズ１，２によって集束
された電子線３は、スキャンジェネレータ５によって発
生されるＴＶレートの走査信号に基づいて駆動される偏
向器４により試料６上で二次元的に走査される。該試料
６より放出された二次電子線信号７はシンチレータ８で
光に変換され光電子増倍管（ＰＭＴ）９、ゲイン調整用
増幅器１０、レベル調整用増幅器１１を介して、フレー
ムメモリ１３に供給されて記憶される。このフレームメ
モリ１３へのデータの書込及び読出は前記スキャンジェ
ネレータ５の走査信号に同期して書込及び読出アドレス
を発生するアドレス発生回路１２の出力信号に基づいて
行なわれている。フレームメモリ１３より読出されたデ
ータはＴＶレートで走査されるＣＲＴ１４に表示される
。
された電子線３は、スキャンジェネレータ５によって発
生されるＴＶレートの走査信号に基づいて駆動される偏
向器４により試料６上で二次元的に走査される。該試料
６より放出された二次電子線信号７はシンチレータ８で
光に変換され光電子増倍管（ＰＭＴ）９、ゲイン調整用
増幅器１０、レベル調整用増幅器１１を介して、フレー
ムメモリ１３に供給されて記憶される。このフレームメ
モリ１３へのデータの書込及び読出は前記スキャンジェ
ネレータ５の走査信号に同期して書込及び読出アドレス
を発生するアドレス発生回路１２の出力信号に基づいて
行なわれている。フレームメモリ１３より読出されたデ
ータはＴＶレートで走査されるＣＲＴ１４に表示される
。
【０００９】本発明による自動輝度・コントラストの調
整では、まず、試料上に照射される電子線がＴＶレート
で高速に走査されると、高圧電源１５から光電子増倍管
９に印加される電圧ＨＶが低圧側より高圧側（または高
圧側から低圧側）へ掃引される。このように、電圧ＨＶ
が上昇されると、検出器のゲインも増大されるが、この
とき、検出器９の出力信号が常に同符号領域で変化する
ように増幅器１０のオフセット値は０に設定されている
。
整では、まず、試料上に照射される電子線がＴＶレート
で高速に走査されると、高圧電源１５から光電子増倍管
９に印加される電圧ＨＶが低圧側より高圧側（または高
圧側から低圧側）へ掃引される。このように、電圧ＨＶ
が上昇されると、検出器のゲインも増大されるが、この
とき、検出器９の出力信号が常に同符号領域で変化する
ように増幅器１０のオフセット値は０に設定されている
。
【００１０】増幅器１０及び増幅器１１を通過して得ら
れる映像信号の一部は、サンプリング回路１５を介して
中央演算処理装置（ＣＰＵ）１６に供給される。該ＣＰ
Ｕ１６では、前記映像信号の強度が増幅器１０の有する
利得の８０％程度に達する高圧電圧値ＨＶＧ を設定す
るように、図２に示すような予め設定された基準値Ｓと
映像信号との比較が行なわれる。そして、映像信号の強
度が基準値に到達した点で、前記高圧値の上昇が停止さ
れ、光電子増倍管９に印加される電圧ＨＶＧ が固定さ
れる。次いで、サンプリング回路１７は１フレーム走査
中乃至はそれ以上の繰り返し走査が行なわれる期間にお
いて、ランダムに２０００点程度の映像信号のサンプリ
ングを行ない、該サンプリングしたデータがＣＰＵ１６
内のメモリ（図示せず）に記憶される。該メモリに記憶
されたデータはＣＰＵ１６においてその強度が比較され
、図３に示すような全データ中の最大値及び最小値より
夫々１００データ（５％）除いた内の最大データｕ及び
最小データｌが求められる。そして、ＣＰＵ１６はこの
データに基づいて、ＣＲＴ１４に供給される信号の範囲
が該ＣＲＴに設定されているダイナミックレンジに対応
する値に一致するように次式に基づいて前記ゲイン調整
用増幅器１０、レベル調整用増幅器１１に供給される制
御信号Ｇ及びＬＥを演算する。
れる映像信号の一部は、サンプリング回路１５を介して
中央演算処理装置（ＣＰＵ）１６に供給される。該ＣＰ
Ｕ１６では、前記映像信号の強度が増幅器１０の有する
利得の８０％程度に達する高圧電圧値ＨＶＧ を設定す
るように、図２に示すような予め設定された基準値Ｓと
映像信号との比較が行なわれる。そして、映像信号の強
度が基準値に到達した点で、前記高圧値の上昇が停止さ
れ、光電子増倍管９に印加される電圧ＨＶＧ が固定さ
れる。次いで、サンプリング回路１７は１フレーム走査
中乃至はそれ以上の繰り返し走査が行なわれる期間にお
いて、ランダムに２０００点程度の映像信号のサンプリ
ングを行ない、該サンプリングしたデータがＣＰＵ１６
内のメモリ（図示せず）に記憶される。該メモリに記憶
されたデータはＣＰＵ１６においてその強度が比較され
、図３に示すような全データ中の最大値及び最小値より
夫々１００データ（５％）除いた内の最大データｕ及び
最小データｌが求められる。そして、ＣＰＵ１６はこの
データに基づいて、ＣＲＴ１４に供給される信号の範囲
が該ＣＲＴに設定されているダイナミックレンジに対応
する値に一致するように次式に基づいて前記ゲイン調整
用増幅器１０、レベル調整用増幅器１１に供給される制
御信号Ｇ及びＬＥを演算する。
【００１１】なお、前記高圧値ＨＶＧ の設定を行なっ
た状態では、ゲイン調整用増幅器１０のゲインＧはＧ＝
１、即ち増幅作用はなく、レベル調整用増幅器１１のレ
ベルもＬＥ＝０に設定されている。
た状態では、ゲイン調整用増幅器１０のゲインＧはＧ＝
１、即ち増幅作用はなく、レベル調整用増幅器１１のレ
ベルもＬＥ＝０に設定されている。
【００１２】ゲインＧは前記データｕ及びデータｌに基
づいて次式により決定される。 Ｇ＝（Ｕ−Ｌ）／（ｕ−ｌ）
（１）ＬＥ＝（Ｕ・
Ｌ−Ｌ・Ｕ）／（Ｕ−Ｌ）
（２）但し、ここでＵ及びＬはＣＲＴ側で設
定される信号の最大値及び最小値である。上述した演算
により、決定されたデータが制御信号として前記ゲイン
調整用増幅器１０、レベル調整用増幅器１１に供給され
ると、図４に示すように前記検出信号（Ａ）は所定の増
幅率で増幅（Ｂ）されると共に、そのレベルがＣＲＴに
設定されているダイナミックレンジに対応するようにシ
フト（Ｃ）される。
づいて次式により決定される。 Ｇ＝（Ｕ−Ｌ）／（ｕ−ｌ）
（１）ＬＥ＝（Ｕ・
Ｌ−Ｌ・Ｕ）／（Ｕ−Ｌ）
（２）但し、ここでＵ及びＬはＣＲＴ側で設
定される信号の最大値及び最小値である。上述した演算
により、決定されたデータが制御信号として前記ゲイン
調整用増幅器１０、レベル調整用増幅器１１に供給され
ると、図４に示すように前記検出信号（Ａ）は所定の増
幅率で増幅（Ｂ）されると共に、そのレベルがＣＲＴに
設定されているダイナミックレンジに対応するようにシ
フト（Ｃ）される。
【００１３】このように、試料上から得られる検出信号
に基づいて検出器のゲインを自動的に最適の値に設定し
た後に、検出信号をランダムにサンプリングし、該サン
プリングされたデータ中の所定数のデータのみを使用し
て、自動的に輝度及びコントラストの調整を行なうよう
に構成したことにより、一次電子線のビーム電流値が種
々変化して、検出信号のダイナミックレンジが大きく変
化する場合でも、適切な輝度及びコントラストの調整を
自動的に行なうことができる。
に基づいて検出器のゲインを自動的に最適の値に設定し
た後に、検出信号をランダムにサンプリングし、該サン
プリングされたデータ中の所定数のデータのみを使用し
て、自動的に輝度及びコントラストの調整を行なうよう
に構成したことにより、一次電子線のビーム電流値が種
々変化して、検出信号のダイナミックレンジが大きく変
化する場合でも、適切な輝度及びコントラストの調整を
自動的に行なうことができる。
【００１４】なお、上述した実施例は本発明の一実施例
に過ぎず、本発明は種々変形して実施することができる
。例えば、上述した実施例における不規則なサンプリン
グは試料上をＴＶレートで高速に走査するような場合に
特に有効であるが、例えばビーム電流が１０−１１ Ａ
台と少ない場合には、低速走査を行うと共に、サンプリ
ング回路の全段にローパスフィルタを介在さた上でサン
プリングを行うことが望ましい。
に過ぎず、本発明は種々変形して実施することができる
。例えば、上述した実施例における不規則なサンプリン
グは試料上をＴＶレートで高速に走査するような場合に
特に有効であるが、例えばビーム電流が１０−１１ Ａ
台と少ない場合には、低速走査を行うと共に、サンプリ
ング回路の全段にローパスフィルタを介在さた上でサン
プリングを行うことが望ましい。
【００１５】
【発明の効果】 以上の説明から明らかなように、本
発明によれば、電子線により試料表面上を二次元的に走
査し、該試料面上から得られる情報を検出する検出手段
と、該検出信号を増幅する増幅器と、該増幅器の出力信
号に基づいて試料表面の像を表示する画像表示装置と、
該画像表示装置に表示される像の輝度及びコントラスト
を調整するように前記増幅器の増幅率及びレベルを制御
する手段とからなる走査電子顕微鏡等における自動輝度
・コントラスト調整装置において、増幅率の制御に先立
って前記検出器に印加される高電圧を掃引する手段と、
該高電圧掃引時に検出された検出信号が予め設定された
増幅器の動作レベルの上限に達したことを検出して前記
高圧値を設定する手段と、該高圧値を設定後に試料上か
ら得られる検出信号をランダムにサンプリングする手段
と、該サンプリングされた全信号の強度値を比較してそ
の最高値より所定個数除いたデータｕ及び最低値より所
定個数だけ除いたデータｌを検出すると共に該データｕ
及びデータｌに基づいて増幅率制御信号及びレベル制御
信号を演算する手段を設け、該データに基づいて前記増
幅器の増幅率及びレベルを制御するようにしたことによ
り、一次電子線のビーム電流値が種々変化して、検出信
号のダイナミックレンジが大きく変化する場合でも、ラ
ンダムにサンプリングされた画像データ中の所定数のデ
ータのみを使用して、適切な輝度及びコントラストの調
整を自動的に行なうことができる。
発明によれば、電子線により試料表面上を二次元的に走
査し、該試料面上から得られる情報を検出する検出手段
と、該検出信号を増幅する増幅器と、該増幅器の出力信
号に基づいて試料表面の像を表示する画像表示装置と、
該画像表示装置に表示される像の輝度及びコントラスト
を調整するように前記増幅器の増幅率及びレベルを制御
する手段とからなる走査電子顕微鏡等における自動輝度
・コントラスト調整装置において、増幅率の制御に先立
って前記検出器に印加される高電圧を掃引する手段と、
該高電圧掃引時に検出された検出信号が予め設定された
増幅器の動作レベルの上限に達したことを検出して前記
高圧値を設定する手段と、該高圧値を設定後に試料上か
ら得られる検出信号をランダムにサンプリングする手段
と、該サンプリングされた全信号の強度値を比較してそ
の最高値より所定個数除いたデータｕ及び最低値より所
定個数だけ除いたデータｌを検出すると共に該データｕ
及びデータｌに基づいて増幅率制御信号及びレベル制御
信号を演算する手段を設け、該データに基づいて前記増
幅器の増幅率及びレベルを制御するようにしたことによ
り、一次電子線のビーム電流値が種々変化して、検出信
号のダイナミックレンジが大きく変化する場合でも、ラ
ンダムにサンプリングされた画像データ中の所定数のデ
ータのみを使用して、適切な輝度及びコントラストの調
整を自動的に行なうことができる。
【図１】図１は本発明の一実施例を説明するための装置
構成図。
構成図。
【図２】図２は検出器のゲイン設定動作を説明するため
の図。
の図。
【図３】図３は全データ中の最大値及び最小値より夫々
１００データ（５％）除いた内の最大データｕ及び最小
データｌを示す図。
１００データ（５％）除いた内の最大データｕ及び最小
データｌを示す図。
【図４】図４は増幅器のゲインおよびレベルの設定動作
を説明するための図。
を説明するための図。
【図５】図５は従来例を説明するための図。
１：レンズ
２：レンズ３：電子線
４：偏向器５：スキャンジェネレータ
６：試料７：二次電子線信号
８：シンチレータ９：光電子増倍管（ＰＭＴ）
１０：ゲイン調整用増幅器 １１：レベル調整用増幅器 １２：アドレス
発生回路 １３：フレームメモリ １４：ＣＲ
Ｔ１５：高圧電源 １
６：中央演算処理装置（ＣＰＵ） １７：サンプリング回路
２：レンズ３：電子線
４：偏向器５：スキャンジェネレータ
６：試料７：二次電子線信号
８：シンチレータ９：光電子増倍管（ＰＭＴ）
１０：ゲイン調整用増幅器 １１：レベル調整用増幅器 １２：アドレス
発生回路 １３：フレームメモリ １４：ＣＲ
Ｔ１５：高圧電源 １
６：中央演算処理装置（ＣＰＵ） １７：サンプリング回路
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線により試料表面上を二次元的に
走査し、該試料面上から得られる情報を検出する検出手
段と、該検出信号を増幅する増幅器と、該増幅器の出力
信号に基づいて試料表面の像を表示する画像表示装置と
、該画像表示装置に表示される像の輝度及びコントラス
トを調整するように前記増幅器の増幅率及びレベルを制
御する手段とからなる走査電子顕微鏡等における自動輝
度・コントラスト調整装置において、増幅率の制御に先
立って前記検出器に印加される高電圧を掃引する手段と
、該高電圧掃引時に検出された検出信号が予め設定され
た増幅器の動作レベルの上限に達したことを検出して前
記高圧値を設定する手段と、該高圧値を設定後に試料上
から得られる検出信号をランダムにサンプリングする手
段と、該サンプリングされた全信号の強度値を比較して
その最高値より所定個数除いたデータｕ及び最低値より
所定個数だけ除いたデータｌを検出すると共に該データ
ｕ及びデータｌに基づいて増幅率制御信号及びレベル制
御信号を演算する手段を設け、該データに基づいて前記
増幅器の増幅率及びレベルを制御するようにしたことを
特徴とする走査電子顕微鏡等における自動輝度・コント
ラスト調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046221A JP2839732B2 (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 走査電子顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3046221A JP2839732B2 (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 走査電子顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04264341A true JPH04264341A (ja) | 1992-09-21 |
| JP2839732B2 JP2839732B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=12741057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3046221A Expired - Fee Related JP2839732B2 (ja) | 1991-02-19 | 1991-02-19 | 走査電子顕微鏡等における自動輝度・コントラスト調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2839732B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007080670A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡および画像信号処理方法 |
| JP2007200769A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 電子顕微鏡の画像処理システム及び方法並びにスペクトル処理システム及び方法 |
| JP2011243516A (ja) * | 2010-05-21 | 2011-12-01 | Univ Of Tokyo | 多分割ｓｔｅｍ検出器の調整方法 |
-
1991
- 1991-02-19 JP JP3046221A patent/JP2839732B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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