JP2007200769A - 電子顕微鏡の画像処理システム及び方法並びにスペクトル処理システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 走査電子顕微鏡10は、電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する。パーソナルコンピュータ20は電子顕微鏡10によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す。パーソナルコンピュータ20は、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量の電子顕微鏡画像と、最大エントロピー法を用いた画像との比較に対する評価結果に基づいて前記画像処理のためのフィルタリング条件を決定する。
【選択図】 図1
Description
つまり、ある程度、形の決まっているスペクトルには有効である。特にオージェスペクトルやEELS(Electron Energy-Loss Spectrometer)スペクトルの場合にはバックグラウンド・スペクトルの形が予め予測できる為、デフォルト値mにこのバックグラウンドの曲線を当てはめることは有効である。
(D|f)=exp|-f|fD/D!
となる。
10 走査電子顕微鏡
11 電子銃
14 偏向器
16 試料
17 試料ステージ
20 パーソナルコンピュータ
21 CPU
25 HDD
28 表示部
Claims (20)
- 電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する電子顕微鏡と、
前記電子顕微鏡によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す制御部と
を備えることを特徴とする電子顕微鏡の画像処理システム。 - 前記制御部は、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量の電子顕微鏡画像と、最大エントロピー法を用いた画像との比較に対する評価結果に基づいて前記画像処理のためのフィルタリング条件を決定することを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、前記比較に対する評価結果がNGであれば再度、装置関数のガウス分布の半値幅を変更して最大エントロピー法にかけることを特徴とする請求項2記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、前記比較に対する評価結果がOKであれば、照射電流量、照射ビーム径、加速電圧に関する電子顕微鏡の最適条件を自動的に決定し、前記電子顕微鏡を制御することを特徴とする請求項2記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、照射電流、照射ビーム径、加速電圧等の光学条件に対して、最適な装置関数のガウス分布の半値幅を外挿・内挿法により求め、自動的に最適フィルタリングを行うことを特徴とする請求項2記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、画像処理結果の像に対して輝度階調を変換し最大ピーク値を表示可能なビット数内に収めるピーク値調整を行うことを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、ピーク値調整によってピーク値が調整された画像のノイズ度と、輪郭のボケ具合を評価することを特徴とする請求項6記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、前記評価がNGであれば、計算の収束条件パラメータを変え、輝度階調の変換係数を変えることを特徴とする請求項7記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、前記電子顕微鏡によって生成された2次元の顕微鏡画像を、x方向の1次元の輝度スペクトルの集まりとみなして、x方向の走査線ごとに同一条件で最大エントロピー法の計算を適用することを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 前記制御部は、前記電子顕微鏡像によって生成された顕微鏡画像に最大エントロピーを用いた画像処理を施し、かつ輝度の補正を行うためにγ変換や、輝度の分布の平均化による輝度分布の修正を行うことを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡の画像処理システム。
- 一次電子を試料に照射し、試料から発生したX線、オージェ電子、二次電子のいずれかを検出することによってスペクトを生成するスペクトル生成部と、
前記スペクトル生成部によって生成されたスペクトルを取得し、前記スペクトルに最大エントロピー法を用いたフィルタリング処理を施す制御部と
を備えることを特徴とするスペクトル処理システム。 - 前記制御部は、前記スペクトルに最大エントロピー法を用いたフィルタリング処理を施す際に、あらかじめ取得された大照射電流量によって得られるスペクトルと、最大エントロピー法を用いたスペクトルとの比較に対する評価結果に基づいて前記フィルタリング条件を決定することを特徴とする請求項11記載のスペクトル処理システム。
- 前記制御部は、前記比較に対する評価結果がNGであれば再度、装置関数のガウス分布の半値幅を変更して最大エントロピー法にかけることを特徴とする請求項12記載のスペクトル処理システム。
- 前記制御部は、前記比較に対する評価結果がOKであれば、照射電流量、照射ビーム径、加速電圧に関する最適条件を自動的に決定し、前記スペクトル生成部を制御することを特徴とする請求項12記載のスペクトル処理システム。
- 前記制御部は、照射電流、照射ビーム径、加速電圧等の光学条件に対して、最適な装置関数のガウス分布の半値幅を外挿・内挿法により求め、自動的に最適フィルタリングを行うことを特徴とする請求項12記載のスペクトル処理システム。
- 前記制御部は、前記フィルタリングリング処理結果に対してピーク最大値の正規化を行い、最大ピーク値を調整することを特徴とする請求項11記載のスペクトル処理システム。
- 前記制御部は、ピーク値調整によってピーク値が調整されたスペクトルのノイズ度を評価することを特徴とする請求項16記載のスペクトル処理システム。
- 前記制御部は、前記評価がNGであれば、計算の収束条件パラメータを変えることを特徴とする請求項17記載のスペクトル処理システム。
- 電子銃から電子線を試料に照射し、試料から発生した二次電子を検出することによって顕微鏡画像を生成する電子顕微鏡によって生成された顕微鏡画像を取得する工程と、
前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す制御工程とからなることを特徴とする電子顕微鏡の画像処理方法。 - 一次電子を試料に照射し、試料から発生したX線、オージェ電子、二次電子のいずれかを検出することによってスペクトを生成するスペクトル生成部によって生成されたスペクトルを取得する工程と、
前記スペクトルに最大エントロピー法を用いたフィルタリング処理を施す制御工程と
を備えることを特徴とするスペクトル処理方法。
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