JP2011243516A - 多分割stem検出器の調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査透過電子顕微鏡の光軸上に配置された円状のシンチレータ601の検出面DF全体に電流密度が均一な電子線を照射し、各光電子増倍管603が、シンチレータ601から出力される光を光ファイバ束602を介して受光し、各光電子増倍管603から出力される検出信号の強度を測定し、各光電子増倍管603から出力される検出信号の強度が、シンチレータ601の検出面DFを動径方向及び偏角方向に分割された各検出領域DRの面積に比例するように、検出領域DR毎に多分割STEM検出器のゲイン及びオフセットを調整する。
【選択図】図2
Description
(イ)上記した走査透過電子顕微鏡における各検出系のゲイン及びオフセットを調整する時には電子線500の走査は停止し、多分割STEM検出器510の検出面DF全体に均一な電子線500を照射する。これは、電子線500を試料505の無い位置に移動し、中間レンズ系506と投影レンズ507を調整して、カメラ長を十分長く取ることにより実現できる。
上記したゲイン及びオフセットの調整が終了した後に、同じ半径及び面積の検出領域DRに対応する検出系のSTEM像の平均輝度が一致するように、多分割STEM検出器510の機械軸もしくはPL偏向器508を調整する。換言すれば、シンチレータ601の検出面DFの中心から同じ距離に位置する2以上の検出領域DRにおけるSTEM像の輝度が一致するように、シンチレータ601の機械的な軸もしくはPL偏向器508の調整を行う。
回折像のスポットが検出面DFのどの位置に来るかが分れば、各検出系の検出立体角を計算することができる。
509 シャッター
601 シンチレータ
602 光ファイバ束
603 光電子増倍管(PMT)
604 前置増幅器
DF 検出面
DR 検出領域
Claims (6)
- 走査透過電子顕微鏡の光軸上に配置された円状のシンチレータと、当該シンチレータから出力される光が入射される複数の光ファイバからなる光ファイバ束と、前記光ファイバ束を介して前記シンチレータから出力される光を受光する複数の光電子増倍管とを備え、前記シンチレータの検出面は、その動径方向及び偏角方向に複数の検出領域に分割され、且つ、前記複数の光電子増倍管は、前記検出領域毎に、前記シンチレータから出力される光を受光する多分割STEM検出器の調整方法であって、
前記シンチレータの検出面全体に電流密度が均一な電子線を照射し、
前記電子線の照射によって各光電子増倍管から出力される検出信号の強度を測定し、
前記各光電子増倍管から出力される検出信号の強度が、前記検出領域の面積に比例するように、前記検出領域毎に前記多分割STEM検出器のゲイン及びオフセットを調整する
ことを特徴とする多分割STEM検出器の調整方法。 - 最も面積が大きい前記検出領域に対応する光電子増倍管から出力される検出信号の強度が最大値をとるように前記ゲインを調整し、
前記光軸上におけるシンチレータの前段に配置されたシャッターにより、前記シンチレータに入射する前記電子線を遮蔽した状態において、各検出信号の強度がゼロとなるように前記オフセットを調整する
ことを特徴とする請求項1に記載の多分割STEM検出器の調整方法。 - 前記シンチレータの検出面上に収束された電子線を当該検出面上において走査し、
前記電子線の走査によって各検出領域の画像を取得し、
取得された画像から各検出領域の面積の比を計算する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の多分割STEM検出器の調整方法。 - 複数の電流密度についてそれぞれ調整された複数のゲイン及びオフセットを記憶装置に保存し、
前記複数のゲイン及びオフセットの中から、走査透過電子顕微鏡の使用条件に応じて一以上のゲイン及びオフセットを選択する
ことを特徴とする請求項1に記載の多分割STEM検出器の調整方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の多分割STEM検出器の調整方法によって、多分割STEM検出器を調整した後、前記シンチレータの検出面の中心から同じ距離に位置する2以上の前記検出領域におけるSTEM像の輝度が一致するように、前記シンチレータの軸調整を行うことを特徴とする多分割STEM検出器の調整方法。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の多分割STEM検出器の調整方法によって、多分割STEM検出器を調整した後、
回折像の透過スポット位置を複数の回折スポット位置に移動させるPL偏向器の偏向量を記憶し、
前記検出領域の画像において、前記PL偏向器を同量偏向させた場合の移動前と移動後の画像の移動量から、前記シンチレータの検出面での各回折スポット位置を計算し、前記シンチレータの検出立体角を得る
ことを特徴とする多分割STEM検出器の調整方法。
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