JPH0426107B2 - - Google Patents

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JPH0426107B2
JPH0426107B2 JP58135957A JP13595783A JPH0426107B2 JP H0426107 B2 JPH0426107 B2 JP H0426107B2 JP 58135957 A JP58135957 A JP 58135957A JP 13595783 A JP13595783 A JP 13595783A JP H0426107 B2 JPH0426107 B2 JP H0426107B2
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JP
Japan
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photoreceptor
substrate
aluminum
present
amorphous silicon
Prior art date
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JP58135957A
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English (en)
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JPS6028662A (ja
Inventor
Fumyuki Suda
Kazuaki Hokota
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Stanley Electric Co Ltd
Original Assignee
Stanley Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Stanley Electric Co Ltd filed Critical Stanley Electric Co Ltd
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Priority to DE19843427826 priority patent/DE3427826A1/de
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Priority to US06/815,775 priority patent/US4689283A/en
Publication of JPH0426107B2 publication Critical patent/JPH0426107B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/10Bases for charge-receiving or other layers
    • G03G5/102Bases for charge-receiving or other layers consisting of or comprising metals
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • G03G5/082Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
    • G03G5/08214Silicon-based

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明はいわゆる電子写真などに用いられる光
導電性の感光体に係り、特に無定形ケイ素を感光
体層としかつ基板としてアルミニウム−マンガン
係合金を用いた光導電性の感光体に関する。 従来、電子写真印刷機である複写機、レーザー
プリンタなどに用いられる光導電性の感光材料
(すなわち感光体)として、セレン(Se)、硫化
カドミウム(CdS)、酸化亜鉛(ZnO)、有機光導
電材料などが一般的であつたが、最近これらに代
えて無定形(非晶質)ケイ素(以下、a−Siと略
称する)を感光体として用いる方法が開発され
た。この無定形ケイ素の基本的な構成等について
は本出願人による特開昭57−37352号公報に、ま
た製作条件等については同じく本出願人による特
開昭57−78546号公報にそれぞれ詳細に述べられ
ている。 a−Si感光体は従来の感光体に比べて、電荷保
持能力や光感度特性が良く画像が鮮明なこと、耐
熱性、化学的安定性、機械的強度に優れているこ
と、さらに人体に安全でかつ安価であること等の
利点を有する。 かかるa−Si感光体はa−Si層をプラズマ
CVD法、スパツタリング法、蒸着法などにより
導電性基板上に形成させることによつて得られる
が、たとえばプラズマCVD法を用いて高周波に
よりシランガスなどを含むガス内でグロー放電を
行なつてa−Si膜を形成するとき、基板は一定時
間の間200〜300℃に保持し続けられねばならな
い。このようにして形成されたa−Si層内には通
常、大きな歪が残存しており、たとえば基板が円
筒形状のドラムである場合には残留圧縮応力を生
じ、この応力に起因して基板に外力として作用す
ることになる。 また、上記の如くして形成したa−Si感光体を
用いて印刷するに当たつては、まずこの感光体に
暗状態でコロナ放電を行うことによつて帯電さ
せ、しかる後転写すべき画像、文字、記号などの
被写体を設計された光学系を用いてこの感光体に
結像(すなわち露光)させる。感光体は光導電性
を有しているので、被写体からの光の明暗に応じ
て帯電していた電荷が放電し、感光体には被写体
の静電的潜像が形成される。この静電潜像に印刷
用微粒子を電気的に吸引させ、それを転写紙に付
着固定させることによつて被写体の転写が行われ
るのであるが、この静電潜像の形成過程において
は、a−Si層と導電性基板との間にキヤリヤの移
動が生じ、そのためa−Si層と基板との境界面の
状態や基板の材質などによつて感光体としての特
性が大きく影響され、左右されることにもなる。 従つて、a−Si感光体用の基板は感光体の特性
が劣化しないものを使用することが必要で、この
際、a−Si成膜時の温度条件から低融点の基板は
用いることができず、またa−Si膜内のストレス
によつて変形が生じるような強度の低い基板は適
用上好ましくないのである。 このように、導電性基板の選定に当たつては、
熱的、機械的強度ともに優れ、同時に耐久性をも
満足させて、感光体の特性を充分維持させること
が要求されるのである。 しかしながら、感光体自体の研究開発は進展し
ているにも拘らず、これを支持する導電性基板に
ついて特にその材質の問題に関しては統一した見
解が未だ見出されていない。 本発明はかかる実情を踏まえ、a−Si感光体用
の基板に要求される緒条件を考慮するとともに、
感光体の特性としての電荷保持特性や帯電電位の
向上等をもたらしうる導電性基板を提供すること
を目的とするものである。 a−Si感光体の静電特性は電子写真の画像の良
否に密接に関連し、その帯電電位は画像のコント
ラストに影響して、これが低下すれば画像は白色
がかり画質の低下を招く原因となる。従つて、感
光体特性としての静電特性、画質等を維持しつつ
a−Si感光体の製造条件に適合する基板材料につ
いて、本発明者等は種々検討を重ねた結果、アル
ミニウム−マンガン系合金を基板として用いるこ
とによつて上記の全ての条件を満足しかつ感光体
の諸特性を飛躍的に増大し得ることを見出して本
発明に到達した。 以下、本発明に係るMn系アルミニウム基板の
実施例について、Mg系のアルミニウムを基板と
して用いた場合と比較しつつ説明する。 Al−Mg系アルミニウム合金は純アルミニウム
に比して強度、耐蝕性に優れているという理由か
ら従来より導電性基板として専ら使用されている
ものである。 下記表はMn系アルミニウムとMg系アルミニ
ウムとの各化学成分を比較したものである。
【表】 Mn系のアルミニウムは、Mnを添加すること
によつて純アルミニウムの特質である加工性、耐
蝕性を維持しつつ強度を向上させたものである
が、本発明は上記成分を有するMn系アルミニウ
ムを基板としてそのまま適用することによつて後
述するような好適なa−Si感光体が形成されるこ
とが判明したのである。 ここで、表から明らかなように、Al−Mn合金
のMn含有量は1.0〜1.5%の範囲内であることが
本発明の適用上好ましい。前記したようにMnの
添加によりAl−Mn合金の機械的強度は増すが、
含有量1.5%以上では合金中のMnは夾雑物となつ
て加工表面に現出するので加工性、アルマイト性
の低下を招来し、基板に適さない。また1.0%以
下では加工性、耐蝕性は向上するが機械的強度の
低下が著しい。従つて、基板に作用するa−Si感
光体層の圧縮応力による耐久性や複写機、プリン
タ等に組み込んだ際の部品としての信頼性を満足
し、感光体の静電特性の向上を図ることができる
限度においてMn含有量は1.0〜1.5%が適当であ
る。 次に、Mn系アルミニウムを基板として用いた
本発明の感光体と、従来のMg系アルミニウム基
板を用いた場合の効果の比較を第1図および第2
図を参照して説明する。これらの材質の基板とし
ての適否を検討するため、同一のデポジシヨン条
件でAl−Mn系およびAl−Mg系の各a−Si感光
体層を成膜させて、それぞれのa−Si感光体を作
成した。 第1図は、かかる感光体の表面電荷保持特性に
ついて暗減衰の様子を示すものである。ここでA
は本発明で適用されるMn系アルミニウムを基板
としたa−Si感光体の場合、Bは従来のMg系ア
ルミニウムを基板としたa−Si感光体の各暗減衰
を示す。この図から明らかなように、帯電後10秒
経過した時の初期電位保持率は、Al−Mn系感光
体AがAl−Mg系感光体Bに比しほぼ30%も向上
しており、Al−Mn系(JIS 3003)を基板とした
ものは暗中での表面電荷保持特性が極めて良好で
あることが判る。 第2図は上記各感光体A,Bのコロナ電流70
μA、ドラム回転数120rpmの条件下で測定した各
帯電速度の比較を示すグラフである。本発明によ
るAl−Mn系基板を用いた感光体Aは、帯電後10
秒経過時においてBの感光体に比し40%以上の向
上が見られる。 次に、両者の画像の比較評価を行なつた結果、
従来のAl−Mg系基板を使用した感光体による画
像は同一のコピープロセス中では表面電位が低い
ために黒濃度が低くコントラストが悪いが、Al
−Mn系基板を使用した本発明の感光体による画
像は、黒濃度、コントラストも向上し、極めて鮮
明な画像を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
図面は従来の感光体(Al−Mg系)と本発明の
感光体(Al−Mn系)との各比較を示すものであ
り、第1図は暗中での表面保持特性を示すグラ
フ、第2図は帯電速度を示すグラフである。 A…Al−Mn系感光体、B…Al−Mg系感光体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 アルミニウム−マンガン系のアルミニウム合
    金を用いた基板上にアモルフアスシリコンを主体
    とする感光体層を形成した電子写真用アモルフア
    スシリコン感光体であつて、上記アルミニウム合
    金のマンガン含有率が1.0〜1.5%の範囲内である
    ことを特徴とする上記電子写真用アモルフアスシ
    リコン感光体。
JP58135957A 1983-07-27 1983-07-27 電子写真用アモルフアスシリコン感光体 Granted JPS6028662A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58135957A JPS6028662A (ja) 1983-07-27 1983-07-27 電子写真用アモルフアスシリコン感光体
DE19843427826 DE3427826A1 (de) 1983-07-27 1984-07-27 Substrat fuer einen photorezeptor aus amorphem silicium
US06/815,775 US4689283A (en) 1983-07-27 1986-01-02 Amorphous silicon photoreceptor for electrophotography with Al-Mn alloy base

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58135957A JPS6028662A (ja) 1983-07-27 1983-07-27 電子写真用アモルフアスシリコン感光体

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Publication Number Publication Date
JPS6028662A JPS6028662A (ja) 1985-02-13
JPH0426107B2 true JPH0426107B2 (ja) 1992-05-06

Family

ID=15163790

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58135957A Granted JPS6028662A (ja) 1983-07-27 1983-07-27 電子写真用アモルフアスシリコン感光体

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US (1) US4689283A (ja)
JP (1) JPS6028662A (ja)
DE (1) DE3427826A1 (ja)

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Publication number Publication date
JPS6028662A (ja) 1985-02-13
DE3427826A1 (de) 1985-02-14
US4689283A (en) 1987-08-25
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