JPH04248013A - セラミック製ボールジョイントおよびその製造方法 - Google Patents
セラミック製ボールジョイントおよびその製造方法Info
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- JPH04248013A JPH04248013A JP3021529A JP2152991A JPH04248013A JP H04248013 A JPH04248013 A JP H04248013A JP 3021529 A JP3021529 A JP 3021529A JP 2152991 A JP2152991 A JP 2152991A JP H04248013 A JPH04248013 A JP H04248013A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
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- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック製ボールジ
ョイントおよびその製造方法に関するものである。
ョイントおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術およびその課題】例えばガスタービン等の
高温となる部位に耐熱性に優れたセラミックが用いられ
るが、セラミック部品間に生じる熱膨張差や不均一な熱
歪み等に対応して、高温下でセラミック部品間の相対変
位を許容する連結構造として、スプリング等の引張り力
を角変位可能に支持するセラミック製ボールジョイント
が必要とされる。
高温となる部位に耐熱性に優れたセラミックが用いられ
るが、セラミック部品間に生じる熱膨張差や不均一な熱
歪み等に対応して、高温下でセラミック部品間の相対変
位を許容する連結構造として、スプリング等の引張り力
を角変位可能に支持するセラミック製ボールジョイント
が必要とされる。
【０００３】従来のセラミック製ボールジョイントとし
て、例えば実開昭６２−１６２４１６号公報にあるよう
に、雄ロッドの一端に球面状に突出する球部をセラミッ
クにより形成する一方、この球部を摺動可能に内包する
嵌合穴を有する雌ロッドを金属により形成する構造が知
られている。
て、例えば実開昭６２−１６２４１６号公報にあるよう
に、雄ロッドの一端に球面状に突出する球部をセラミッ
クにより形成する一方、この球部を摺動可能に内包する
嵌合穴を有する雌ロッドを金属により形成する構造が知
られている。
【０００４】しかしながら、上記雌ロッドをセラミック
により形成しようとする場合、セラミックは金属材料の
ように塑性加工等ができないため、引張り力を受ける嵌
合穴の絞り面の部分は複数のセラミック部品を組み合わ
せて形成しなければならず、構造の複雑化を招いた。
により形成しようとする場合、セラミックは金属材料の
ように塑性加工等ができないため、引張り力を受ける嵌
合穴の絞り面の部分は複数のセラミック部品を組み合わ
せて形成しなければならず、構造の複雑化を招いた。
【０００５】本発明は上記問題点に着目してなされたも
ので、引張り力を支持できるセラミック製ボールジョイ
ントの構造を簡素化することを目的とする。
ので、引張り力を支持できるセラミック製ボールジョイ
ントの構造を簡素化することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、雄ロッドの一
端に球面状に突出する球部をセラミックにより一体形成
する一方、セラミックにより一体形成した雌ロッドの一
端の嵌合穴にこの球部を摺動可能に内包し、雌ロッドの
焼結前の嵌合穴の開口径を焼結済みの球部の外径より大
きく、かつ焼結後はこれよりも小さくなるように形成し
た。
端に球面状に突出する球部をセラミックにより一体形成
する一方、セラミックにより一体形成した雌ロッドの一
端の嵌合穴にこの球部を摺動可能に内包し、雌ロッドの
焼結前の嵌合穴の開口径を焼結済みの球部の外径より大
きく、かつ焼結後はこれよりも小さくなるように形成し
た。
【０００７】第二の発明は、セラミック製ボールジョイ
ントの製造方法として、雌ロッドをその嵌合穴の開口径
が焼結済みの球部の外径より大きく、かつ焼結後にはこ
れよりも小さくなるように成形して、雌ロッドの焼結を
その嵌合穴の内側に焼結済みの球部を嵌め合わせた状態
で行う。
ントの製造方法として、雌ロッドをその嵌合穴の開口径
が焼結済みの球部の外径より大きく、かつ焼結後にはこ
れよりも小さくなるように成形して、雌ロッドの焼結を
その嵌合穴の内側に焼結済みの球部を嵌め合わせた状態
で行う。
【０００８】
【作用】嵌合穴の開口径を球部の外径より小さく絞って
形成したことにより、球部が嵌合穴から抜けることがな
く、雄ロッドと雌ロッドはこの間に懸かる引張り力を角
変位可能に支持するセラミック製ボールジョイントを構
成する。
形成したことにより、球部が嵌合穴から抜けることがな
く、雄ロッドと雌ロッドはこの間に懸かる引張り力を角
変位可能に支持するセラミック製ボールジョイントを構
成する。
【０００９】その製造方法として、雌ロッドの焼結をそ
の嵌合穴に焼結済みの球部を嵌め合わせた状態で行うた
め、焼結時に生じるセラミック材の収縮作用により、嵌
合穴の開口径を球部の外径より小さく絞ることができる
。
の嵌合穴に焼結済みの球部を嵌め合わせた状態で行うた
め、焼結時に生じるセラミック材の収縮作用により、嵌
合穴の開口径を球部の外径より小さく絞ることができる
。
【００１０】これに対して、雄ロッドと雌ロッドをそれ
ぞれ分離した状態で焼結する方法では、焼結後の嵌合穴
内に球部に嵌め合わすことができないため、雌ロッドに
嵌合穴の絞り部分を別体で形成しなければならず、構造
の複雑化を招くのである。
ぞれ分離した状態で焼結する方法では、焼結後の嵌合穴
内に球部に嵌め合わすことができないため、雌ロッドに
嵌合穴の絞り部分を別体で形成しなければならず、構造
の複雑化を招くのである。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の実施例を示しており、このボ
ールジョイント１は互いに角変位可能に結合するセラミ
ック製雄ロッド２と同じくセラミック製雌ロッド１２か
らなり、ガスタービンのセラミック部品間を連結する支
持構造に用いられる。
ールジョイント１は互いに角変位可能に結合するセラミ
ック製雄ロッド２と同じくセラミック製雌ロッド１２か
らなり、ガスタービンのセラミック部品間を連結する支
持構造に用いられる。
【００１２】雄ロッド２はその一端から球部３が球面状
に突出し、その他端にガスタービンのケーシング（被支
持部材）に固着されるフランジ部４を有し、これら各部
位がセラミックにより一体形成される。
に突出し、その他端にガスタービンのケーシング（被支
持部材）に固着されるフランジ部４を有し、これら各部
位がセラミックにより一体形成される。
【００１３】雌ロッド１２はその一端に雄ロッド２の球
部３を内包する嵌合穴１３が開口し、この嵌合穴１３の
開口径ｄを球部３の外径ｃより小さく絞られ、これら各
部位がセラミックにより一体形成される。これにより、
嵌合穴１３の内壁面は球部３の背面３ａ側に摺接する絞
り面１３ａを有し、この絞り面１３ａを形成する部位も
後述する本発明の製造方法によりセラミックで一体形成
される。なお、このセラミック材としては例えば窒化ケ
イ素、炭化ケイ素等が用いられる。
部３を内包する嵌合穴１３が開口し、この嵌合穴１３の
開口径ｄを球部３の外径ｃより小さく絞られ、これら各
部位がセラミックにより一体形成される。これにより、
嵌合穴１３の内壁面は球部３の背面３ａ側に摺接する絞
り面１３ａを有し、この絞り面１３ａを形成する部位も
後述する本発明の製造方法によりセラミックで一体形成
される。なお、このセラミック材としては例えば窒化ケ
イ素、炭化ケイ素等が用いられる。
【００１４】雌ロッド１２の途中には溝１４が形成され
、この溝１４にワッシャが嵌められるとともに、このワ
ッシャに着座するコイルスプリングがガスタービンのシ
ュラウド（被支持部材）の間に介装される。このコイル
スプリングの弾性復元力によりシュラウドがボールジョ
イント１を介して上記ケーシングに押付けられて連結さ
れるようになっている。
、この溝１４にワッシャが嵌められるとともに、このワ
ッシャに着座するコイルスプリングがガスタービンのシ
ュラウド（被支持部材）の間に介装される。このコイル
スプリングの弾性復元力によりシュラウドがボールジョ
イント１を介して上記ケーシングに押付けられて連結さ
れるようになっている。
【００１５】次に、このセラミック製ボールジョイント
１の製造方法について説明する。
１の製造方法について説明する。
【００１６】図２、図３にそれぞれ示すように、焼結を
行う前に雌ロッド１２の嵌合穴１３の開口径Ｄを、焼結
済みの球部３の外径ｃより大きく形成して、嵌合穴１３
に球部３を挿入することを可能にする。
行う前に雌ロッド１２の嵌合穴１３の開口径Ｄを、焼結
済みの球部３の外径ｃより大きく形成して、嵌合穴１３
に球部３を挿入することを可能にする。
【００１７】雌ロッド１２の焼結は、図４に示すように
、嵌合穴１３に焼結済の球部３を嵌め合わせた状態で行
う。この焼結時にセラミック材が所定の比率で収縮する
ことにより、焼結後の嵌合穴１３の開口径ｄを球部３の
外径ｃより小さくする。すなわち、ｄ＜ｃ＜Ｄの寸法関
係になっている。
、嵌合穴１３に焼結済の球部３を嵌め合わせた状態で行
う。この焼結時にセラミック材が所定の比率で収縮する
ことにより、焼結後の嵌合穴１３の開口径ｄを球部３の
外径ｃより小さくする。すなわち、ｄ＜ｃ＜Ｄの寸法関
係になっている。
【００１８】焼結前の嵌合穴１３の内径Ｂは、焼結済み
の球部３の外径ｃより所定の比率で大きく形成される。 焼結後の球部３と嵌合穴１３の間のクリアランスをα、
セラミック材の焼結時の収縮比率をγとすると、嵌合穴
１３の内径Ｂは次式で求められる。 Ｂ＝（ｃ＋α）／γ なお、収縮比率γは窒化ケイ素、炭化ケイ素等のセラミ
ック材料により、あるいは焼結助剤、焼結温度等により
異なるが、概ね０．７＜γ＜０．８の範囲となる。クリ
アランスαはｃ・１／１０００＜α＜ｃ・３／１０００
の範囲で設定され、嵌合穴１３に対する球部３の摺動が
自在となるようにする。
の球部３の外径ｃより所定の比率で大きく形成される。 焼結後の球部３と嵌合穴１３の間のクリアランスをα、
セラミック材の焼結時の収縮比率をγとすると、嵌合穴
１３の内径Ｂは次式で求められる。 Ｂ＝（ｃ＋α）／γ なお、収縮比率γは窒化ケイ素、炭化ケイ素等のセラミ
ック材料により、あるいは焼結助剤、焼結温度等により
異なるが、概ね０．７＜γ＜０．８の範囲となる。クリ
アランスαはｃ・１／１０００＜α＜ｃ・３／１０００
の範囲で設定され、嵌合穴１３に対する球部３の摺動が
自在となるようにする。
【００１９】このように、雌ロッド１２の焼結をその嵌
合穴１３に焼結済みの球部３を嵌め合わせた状態で行う
ことにより、焼結後の嵌合穴１３の開口径ｄを球部３の
外径ｃより小さく収縮させて、雌ロッド１２に球部３を
内包する嵌合穴１３の絞り面１３ａをセラミックにより
一体形成することが可能となる。
合穴１３に焼結済みの球部３を嵌め合わせた状態で行う
ことにより、焼結後の嵌合穴１３の開口径ｄを球部３の
外径ｃより小さく収縮させて、雌ロッド１２に球部３を
内包する嵌合穴１３の絞り面１３ａをセラミックにより
一体形成することが可能となる。
【００２０】これに対して、雄ロッドと雌ロッドをそれ
ぞれ分離した状態で焼結する方法では、焼結後の嵌合穴
に球部に嵌め合わせることが不可能となり、前記実施例
における嵌合穴１３の絞り面１３ａを形成する部位を雌
ロッド１２に対して別体で形成しなければならず、構造
の複雑化を招くのである。
ぞれ分離した状態で焼結する方法では、焼結後の嵌合穴
に球部に嵌め合わせることが不可能となり、前記実施例
における嵌合穴１３の絞り面１３ａを形成する部位を雌
ロッド１２に対して別体で形成しなければならず、構造
の複雑化を招くのである。
【００２１】ボールジョイント１は嵌合穴１３の絞り面
１３ａを介して球部３の抜け止めが行われ、雌ロッド１
２と雄ロッド２間に働く引張り力を角変位可能に支持す
る。したがって、ガスタービンの運転により、ケーシン
グとシュラウドの間に生じる熱膨張差や不均一な熱歪み
は、上記コイルスプリングを圧縮しつつ、雄ロッド２と
雌ロッド１２が互いに曲折することにより吸収され、ガ
スタービンの各被支持部材と雄ロッド２および雌ロッド
１２の各セラミック材に局所的な応力が生じることを防
止できる。もちろん、雄ロッド２と雌ロッド１２はセラ
ミックで形成されることにより、十分な耐熱性が確保さ
れる。
１３ａを介して球部３の抜け止めが行われ、雌ロッド１
２と雄ロッド２間に働く引張り力を角変位可能に支持す
る。したがって、ガスタービンの運転により、ケーシン
グとシュラウドの間に生じる熱膨張差や不均一な熱歪み
は、上記コイルスプリングを圧縮しつつ、雄ロッド２と
雌ロッド１２が互いに曲折することにより吸収され、ガ
スタービンの各被支持部材と雄ロッド２および雌ロッド
１２の各セラミック材に局所的な応力が生じることを防
止できる。もちろん、雄ロッド２と雌ロッド１２はセラ
ミックで形成されることにより、十分な耐熱性が確保さ
れる。
【００２２】次に、図５に示す他の実施例は、第一雄ロ
ッド２１と第二雄ロッド４１の間に１本の雌ロッド３１
を２つのセラミック製ボールジョイント２０，３０が設
けられ、図６に示すように雄ロッド３１を角変位させな
がら第一雄ロッド２１と第二雄ロッド４１が互いに平行
移動することを可能とするものである。
ッド２１と第二雄ロッド４１の間に１本の雌ロッド３１
を２つのセラミック製ボールジョイント２０，３０が設
けられ、図６に示すように雄ロッド３１を角変位させな
がら第一雄ロッド２１と第二雄ロッド４１が互いに平行
移動することを可能とするものである。
【００２３】雌ロッド３１はその一端に第一雄ロッド２
１の球部２２を内包する嵌合穴３２を有し、その他端に
第二雄ロッド４１の球部４２を内包する嵌合穴３３を有
している。
１の球部２２を内包する嵌合穴３２を有し、その他端に
第二雄ロッド４１の球部４２を内包する嵌合穴３３を有
している。
【００２４】第一雄ロッド２１はその他端にフランジ部
２３を有して、このフランジ部２３が図示しないガスタ
ービンのケーシングに固着される。一方、第二雄ロッド
４１は棒状に形成され、その途中に溝４３が形成される
。この溝４３にワッシャが嵌められるとともに、このワ
ッシャに着座するコイルスプリングがガスタービンのシ
ュラウドの間に介装され、このコイルスプリングの弾性
復元力によりシュラウドを上記ケーシングに押付けるよ
うになっている。
２３を有して、このフランジ部２３が図示しないガスタ
ービンのケーシングに固着される。一方、第二雄ロッド
４１は棒状に形成され、その途中に溝４３が形成される
。この溝４３にワッシャが嵌められるとともに、このワ
ッシャに着座するコイルスプリングがガスタービンのシ
ュラウドの間に介装され、このコイルスプリングの弾性
復元力によりシュラウドを上記ケーシングに押付けるよ
うになっている。
【００２５】ガスタービンの運転により、ケーシングと
シュラウドの間に生じる熱膨張差や不均一な熱歪みは上
記コイルスプリングを圧縮しつつ、図６に示すように、
第一雄ロッド２１と第二雄ロッド４１に対して雌ロッド
３１が曲折することにより、第一雄ロッド２１と第二雄
ロッド４１は互いに偏心量Ｌだけ平行移動することを可
能となり、各ロッド２１，３１，４１に曲げ応力が生じ
ること防止できる。もちろん、各ロッド２１，３１，４
１はセラミックを材質として形成されることにより、十
分な耐熱性が確保される。
シュラウドの間に生じる熱膨張差や不均一な熱歪みは上
記コイルスプリングを圧縮しつつ、図６に示すように、
第一雄ロッド２１と第二雄ロッド４１に対して雌ロッド
３１が曲折することにより、第一雄ロッド２１と第二雄
ロッド４１は互いに偏心量Ｌだけ平行移動することを可
能となり、各ロッド２１，３１，４１に曲げ応力が生じ
ること防止できる。もちろん、各ロッド２１，３１，４
１はセラミックを材質として形成されることにより、十
分な耐熱性が確保される。
【００２６】図７は雌ロッド３１の焼結時の状態を示し
ており、所定の形状に焼結仕上げ加工した第一雄ロッド
２１の球部２２と第二雄ロッド４１の球部４２とを、焼
結後の収縮割合を見込んで成形された各嵌合穴３２，３
３に嵌め合わせて行われる。この焼結時の収縮により各
嵌合穴３２，３３は所定のクリアランスをもって第一雄
ロッド２１の球部２２と第二雄ロッド４１の球部４２を
内包し、各嵌合穴１３，３３の開口径を各球部２２，４
２の外径より小さくする。
ており、所定の形状に焼結仕上げ加工した第一雄ロッド
２１の球部２２と第二雄ロッド４１の球部４２とを、焼
結後の収縮割合を見込んで成形された各嵌合穴３２，３
３に嵌め合わせて行われる。この焼結時の収縮により各
嵌合穴３２，３３は所定のクリアランスをもって第一雄
ロッド２１の球部２２と第二雄ロッド４１の球部４２を
内包し、各嵌合穴１３，３３の開口径を各球部２２，４
２の外径より小さくする。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、雄ロッド
の一端に球面状に突出する球部をセラミックにより一体
形成する一方、セラミックにより一体形成した雌ロッド
の一端の嵌合穴にこの球部を摺動可能に内包し、雌ロッ
ドの焼結前の嵌合穴の開口径を焼結済みの球部の外径よ
り大きく、かつ焼結後はこれよりも小さくなるように形
成したため、雄ロッドと雌ロッドの間に懸かる引張り力
を角変位可能に支持するセラミック製ボールジョイント
を提供することができる。
の一端に球面状に突出する球部をセラミックにより一体
形成する一方、セラミックにより一体形成した雌ロッド
の一端の嵌合穴にこの球部を摺動可能に内包し、雌ロッ
ドの焼結前の嵌合穴の開口径を焼結済みの球部の外径よ
り大きく、かつ焼結後はこれよりも小さくなるように形
成したため、雄ロッドと雌ロッドの間に懸かる引張り力
を角変位可能に支持するセラミック製ボールジョイント
を提供することができる。
【００２８】第二の発明は、セラミック製ボールジョイ
ントの製造方法として、雌ロッドをその嵌合穴の開口径
が焼結済みの球部の外径より大きくなるように成形して
、雌ロッドの焼結を嵌合穴の内側に焼結済みの球部を嵌
め合わせた状態で行うため、焼結時に生じるセラミック
材の収縮作用により、嵌合穴の開口部を球部の外径より
小さく絞ることができる。これにより、雌ロッドの一体
化が可能となり、部品点数を削減して構造の簡素化がは
かれる。
ントの製造方法として、雌ロッドをその嵌合穴の開口径
が焼結済みの球部の外径より大きくなるように成形して
、雌ロッドの焼結を嵌合穴の内側に焼結済みの球部を嵌
め合わせた状態で行うため、焼結時に生じるセラミック
材の収縮作用により、嵌合穴の開口部を球部の外径より
小さく絞ることができる。これにより、雌ロッドの一体
化が可能となり、部品点数を削減して構造の簡素化がは
かれる。
【図１】本発明の実施例を示すボールジョイントの断面
図である。
図である。
【図２】同じく焼結前の雌ロッドの断面図である。
【図３】同じく焼結前の雄ロッドの断面図である。
【図４】同じく焼結前のボールジョイントの断面図であ
る。
る。
【図５】他の実施例を示すボールジョイント断面図であ
る。
る。
【図６】同じくボールジョイントの動きを示す断面図で
ある。
ある。
【図７】同じく焼結前のボールジョイントの断面図であ
る。
る。
１ ボールジョイント
２ 雄ロッド
３ 球部
１２ 雌ロッド
１３ 嵌合穴
１３ａ 絞り面
Claims (2)
- 【請求項１】 雄ロッドの一端に球面状に突出する球
部をセラミックにより一体形成する一方、セラミックに
より一体形成した雌ロッドの一端の嵌合穴にこの球部を
摺動可能に内包し、雌ロッドの焼結前の嵌合穴の開口径
を焼結済みの球部の外径より大きく、かつ焼結後はこれ
よりも小さくなるように形成したことを特徴とするセラ
ミック製ボールジョイント。 - 【請求項２】 雌ロッドをその嵌合穴の開口径が焼結
済みの球部の外径より大きく、かつ焼結後にはこれより
も小さくなるように成形して、雌ロッドの焼結をその嵌
合穴の内側に焼結済みの球部を嵌め合わせた状態で行う
ことを特徴とするセラミック製ボールジョイントの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3021529A JP2737413B2 (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | セラミック製ボールジョイントおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3021529A JP2737413B2 (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | セラミック製ボールジョイントおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04248013A true JPH04248013A (ja) | 1992-09-03 |
| JP2737413B2 JP2737413B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=12057487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3021529A Expired - Lifetime JP2737413B2 (ja) | 1991-01-22 | 1991-01-22 | セラミック製ボールジョイントおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2737413B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007092438A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Ps Mitsubishi Construction Co Ltd | 床版据付方法 |
| JP2010514652A (ja) * | 2006-12-27 | 2010-05-06 | デグデント・ゲーエムベーハー | 複数の部品から成る集合体とその製造方法 |
| JP2010266059A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Sekai Saisoku Shisaku Center:Kk | ボールジョイント装置及びその製造方法 |
| JP2011173137A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Kyocera Corp | 溶湯金属攪拌用回転体およびこれを備えた溶湯金属の脱ガス処理装置 |
| JP2020015253A (ja) * | 2018-07-26 | 2020-01-30 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス複合体及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-01-22 JP JP3021529A patent/JP2737413B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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