JPH04238129A - 光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体の製造方法に
関し、詳しくは光学的に情報の記録・再生を行なう光記
録媒体製造用スタンパ−の電鋳方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種情報の記録には、磁気テ−プ
、磁気ディスク等の磁気材料、各種半導体メモリ−等が
主として用いられてきた。この様な磁気メモリ−、半導
体メモリ−は情報の書き込みおよび読みだしが容易に行
なえるという利点はあるが、反面、情報の内容を容易に
改ざんされたり、また高密度記録ができないという問題
点があった。かかる問題点を解決するために、多種多様
の情報を効率良く取り扱う手段として、光記録媒体によ
る光学的情報記録方法が提案され、そのための光学的情
報記録担体、記録再生方法、記録再生装置が提案されて
いる。かかる情報記録担体としての光記録媒体は、一般
にレ−ザ−光を用いて情報記録担体上の光記録層の一部
を揮散させるか、反射率の変化を生じさせるか、あるい
は変形を生じせて、光学的な反射率や透過率の差によっ
て情報を記録し、あるいは再生を行なっている。この場
合、光記録層は情報を書き込み後、現像処理などの必要
がなく、「書いた後に直読する」ことのできる、いわゆ
るＤＲＡＷ（ダイレクト　　リ−ド　　アフタ−　　ラ
イト）媒体であり、高密度記録が可能であり、また追加
書き込みも可能であることから、情報の記録・保存媒体
として有効である。

【０００３】図４は、従来の光記録媒体（光ディスク、
光カ−ド、光テ−プなど）の模式的断面図である。情報
の記録・再生は、トラック溝部１２の微細な凹凸を利用
してレ−ザ−光の位相差により位置決めをしながら行な
っている。一般的な光記録媒体では、熱可塑性樹脂であ
るポリカ−ボネ−ト樹脂やポリメチルメタクリル樹脂を
、トラックや情報に対応する凹凸パタ−ンが記録されて
いるスタンパ−を用いて、その凹凸パタ−ンを転写して
溝部１２を形成している。スタンパ−の製造方法として
は一般的に、図５に示す様に、平面性良く研磨されたガ
ラスなどの板の上に、レジストや感光性樹脂で所定の深
さに凹凸パタ−ンを形成した後に（図５ａ）、導電化し
てから（図５　　ｂ）、所定の厚さまで電鋳を行なって
金属スタンパ−を得ている（図５　　ｃ）。

【０００４】従来のスタンパ−の電鋳方法では、以下の
ことが行われている。電鋳を行なうときには、電鋳槽の
陽極と陰極の間に邪魔板を挿入して板厚分布を良くする
こと。（特開昭５９−１７７３８８、同６０−１７０８
９、同６１−２７９６９９）ピンホ−ルの防止のために
、電鋳槽に生成する不溶解性酸化物スライムやスマット
などの異物を予備槽に取り除いている。（実開昭５８−
１４１４３５）また、電鋳した時の通電治具跡を紫外線
硬化樹脂でシ−ルして、研磨時の研磨剤などのしみ込み
を防止している。（特開昭６２−２０９７４６）　　図
２に示す様に、従来から陰極１を下側に向けて、陽極２
と向き合う様に固定して電鋳を行なっている。これは電
鋳を行なっている時に、陽極２から発生する陽極の不溶
解性のごみ（スライムやスマット）が発生した時に、陰
極１が上や横を向いていると、これらのごみが陰極の表
面上に付着するか、またはこれらの異物が陰極表面上に
共折出してしまうのを避けるためである。しかしながら
図３に示す原盤ホ−ルダ−８を図２に示すように下側に
向けて電鋳を行なうと、気体が発生した時に、これらの
気体が、原盤９の表面や原盤押さえ部１０に閉じ込めら
れて電鋳膜の生成速度を不均一にしたり、「す」や突起
、凹みを発生させたりするという問題点がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題を
解決する目的でなされたものであり、光ビ−ムの照射に
よって、光学特性を変化させて、情報の記録・再生を行
なう情報記録媒体で、記録すべき情報に対応した凹凸パ
タ−ンが形成された原盤に電鋳を行なうことによってス
タンパ−を製造する方法において、陽極と陰極が互いに
対向する間隙中で、電鋳の開始時から終了時での任意の
時点において、電鋳液に超音波などの振動を加えながら
電鋳を行なうことによって、「す」や突起、凹みのない
スタンパ−の電鋳方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のスタンパ−の電
鋳方法は、光ビ−ムの照射によって、光学特性を変化さ
せて、情報の記録・再生を行なう情報記録媒体で、記録
すべき情報に対応した凹凸パタ−ンが形成された原盤に
電鋳を行なうことによってスタンパ−を製造する方法に
おいて、陽極と陰極が互いに対向する間隙中で、電鋳の
開始時から終了時での任意の時点において、電鋳液に超
音波などの振動を加えながら電鋳を行なうことを特徴と
する。本発明の電鋳方法を用いることによって、陰極１
の原盤９や原盤押さえ部１０の上に発生したかまたは付
着した気体を効果的に除去することができるため、「す
」や突起、凹みのない電鋳スタンパ−を得られるという
利点がある。以下、本発明を詳細に説明する。図１は、
本発明のスタンパ−の電鋳方法の実施態様を示す断面図
である。電鋳槽３に陽極２と陰極１は対向する位置に置
かれている。陰極１は下側を向きながらモ−タ−４で軸
を中心にして回転している。陽極２と陰極１の間いは邪
魔板６が設置されている。電鋳槽３の液中には、電鋳液
に機械的な振動を加えることができる様に超音波振動子
７が設置されている。

【０００７】本発明においては、超音波振動子７は陰極
１の原盤９や原盤押さえ部１０に発生したか、または付
着した気体を電鋳液中に溶解させることができるならば
電鋳層３のいづれの位置にでも設置することが可能であ
る。特に電鋳層３の底面や底面近くの側面に設置するの
が効果が大きい。その時には、電鋳槽３の中の電鋳液の
流れを乱さない位置に設置することが必要である。その
他に電鋳液を陰極１にノズルなどで吹き付ける電鋳装置
の場合にはノズルから吹き出る電鋳液に超音波を加える
ことも可能である。設置する超音波振動子７の周波数は
１ＫＨｚ〜１００ＭＨｚのものを用いることができる。 また超音波振動子７の出力は電鋳槽３の容積にもよるが
１０Ｗ以上１０ＫＷ以下が良い。出力が弱いと気体の除
去効果が小さく、逆に大きいと電鋳液の流れを乱してし
まう。超音波振動子の出力を一定にしても良いが、電鋳
時の電流値は開始時は小さくて、終了時近くでは大きく
なるので、気体の発生する可能性も高くなるので、電流
値に合わせて変化させることも可能である。

【０００８】

【作用】本発明の電鋳スタンパ−は、電鋳の開始時から
終了時の任意の時間に電鋳液に超音波などの機械的な振
動を加えることによって、陰極の原盤表面に発生または
付着した気体を電鋳液中に溶解させることによって「す
」や突起、凹みのない電鋳スタンパ−を提供するもので
ある。特に角型の原盤を用いるときには効果は大きい。

【０００９】

【実施例】以下、実施例を示し、本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明がこれらに限定されるものではな
い。

【００１０】実施例１ 厚さ１０ｍｍ、φ３５５ｍｍのガラス板（旭硝子（株）
製）上にフォトレジスト（商品名　　ＡＺ１３００，ヘ
キストジャパン製）を０．１１μｍの厚さに塗布して、
レ−ザ−露光機（松下電器（株）製）でパタ−ンを露光
、現像して、ピッチ１．６μｍ、幅０．７μｍ、深さ１
１００Ａの同心円の凹凸パタ−ンを形成した。その後で
、ニッケルを１０００Åの厚さにスパッタ−して導電化
処理した。この凹凸パタ−ンの形成されたガラス板を外
径４００ｍｍ、角度４５度、長さ１０ｍｍのテ−パ−の
形成された原盤ホ−ルダ−に固定した。陽極としてはニ
ッケル球をチタンの籠に入れて、綿布で覆ってごみの流
失を抑えたものを用いた。電鋳液としては下記の組成に
混合した液を５００ｌ用いて、電鋳槽１５０ｌ、予備槽
３５０ｌの電鋳槽に入れて、液温度４５℃で、液全体を
１０回／時間のサイクルで循環させた。

【００１１】 スルファミン酸ニッケル（４水和物）　　４５０ｇ／ｌ
ホウ酸　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　３０ｇ／ｌピット防止剤　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５ｍｌ
／ｌ電鋳槽の底面に２ＭＨｚ、５００Ｗの超音波振動子
を設置して、５００Ｗの一定出力で電鋳液を振動させな
がら電鋳を行なった。電流条件は最初は３Ａで３０分間
流してから、５０Ａまで電流を上げて１３０００Ａ・分
の積算電流値になるまで電鋳を行なって、３００μｍの
厚さの電鋳スタンパ−を得た。スタンパ−表面を目視で
観察したところ「す」や突起、凹みは見出だされなかっ
た。 このスタンパ−を半分の厚さまで研磨してみても「す」
や突起、凹みは見出だされなかった。

【００１２】実施例２ 厚さ１０ｍｍ、３４０×３００ｍｍのガラス板（旭ガラ
ス）と、同じ大きさで表面にピッチ１２μｍ、幅３．０
μｍ深さ３０００Ａの凹凸パタ−ンが形成されたフォト
マスク（ＨＯＹＡ）との間に５０μｍの厚さに紫外線硬
化樹脂（日本化薬、ＩＮＣ１１８）を挟んで硬化させた
。硬化後にフォトマスクを外してガラス原盤を得た。 この原盤を外形５００ｍｍで角度４５度、長さ１０ｍｍ
のテ−パ−が形成された原盤ホ−ルダ−に設置した。実
施例１と同じ電鋳液、陽極と電鋳槽を用いて電鋳槽の底
面に周波数２ＭＨｚ、出力１ＫＷの超音波振動子を設置
した。電流値の条件は１Ａで３０分流してから、３０Ａ
まで電流値を上げて積算電流値が９６００Ａ分になるま
で電鋳を行なって、２００μｍの電鋳スタンパ−を得た
。電鋳を行なっているときには、超音波振動子を用いて
、電流値１Ａのときは５００Ｗで、電流値３０Ａときに
は１ＫＷの振動を加えた。実施例１と同じ様に表面を観
察したところ「す」や突起、凹みは、スタンパ−表面に
は観察されなかった。実施例１と同様に半分の厚さまで
研磨しても「す」や突起、凹みは観察されなかった。

【００１３】実施例３ 実施例１と同じガラス原盤を用いて、実施例１と同じ原
盤ホ−ルダ−、実施例１と同じ陽極、電鋳液、電鋳槽を
用いた。電鋳槽の底面と底面近くの側面に周波数２ＭＨ
ｚ、出力５００Ｗの超音波振動子をそれぞれ１台づつ設
置した。この超音波振動子をそれぞれ５００Ｗの一定出
力で振動させながら、実施例１と同じ電流条件を用いて
実施例１と同じ積算電流値まで電鋳した。実施例１と同
様にできた電鋳スタンパ−を観察したところ、「す」や
突起、凹みは、スタンパ−表面には観察されなかった。 実施例１と同様に半分の厚さまで研磨しても「す」や突
起、凹みは観察されなかった。

【００１４】比較例１ 実施例１と同じガラス原盤を用いて、実施例１と同じ原
盤ホ−ルダ−、実施例１と同じ陽極、電鋳液、電鋳槽を
用いた。超音波振動子は用いなかった。実施例１と同じ
電流条件を用いて実施例１と同じ積算電流値まで電鋳し
た。実施例１と同様に電鋳されたスタンパ−表面を観察
したところ。「す」や突起、凹みは観察されなかった。 実施例１と同様に半分の厚さまで研磨してみたところ、
スタンパ−の全面に渡って、径０．１〜０．２ｍｍφの
凹みが多数観察された。（発明の効果）

【００１５】

【発明の効果】本発明の電鋳方法を用いると、電鋳槽に
入った陰極の原盤と原盤ホ−ルダ−のテ−パ−部に気体
の閉じ込めがあっても、超音波などの機械的な振動によ
って電鋳液中に気体が溶解することによって、電鋳膜の
生成妨害が発生しなくなるため、電鋳膜の生成速度が均
一になる。そのため電鋳膜中に「す」や突起や凹みが発
生することもなくなるという効果がある。特に角型の原
盤を用いて電鋳するときには、気体が角に停滞し易いの
で超音波などの振動での気体の除去効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスタンパ−の製造に用いる電鋳装置の
概略断面図である。

【図２】従来のスタンパ−の製造に用いる電鋳装置の概
略断面図である。

【図３】従来の原盤ホ−ルダ−の概略断面図である。

【図４】従来の光記録媒体の一般的な断面図である。 （ａ）光ディスク、（ｂ）光カ−ド

【図５】従来のスタンパ−の製造方法を示す概略断面図
である。

【符号の説明】

１　　陰極 ２　　陽極 ３　　電鋳槽 ４　　モ−タ− ５　　上蓋 ６　　邪魔板 ７　　超音波発信機 ８　　原盤ホ−ルダ− ９　　原盤 １０　　原盤押さえ部 １１　　電鋳膜層 １２　　トラック溝部 １３　　透明基板 １４　　光記録層 １５　　スペ−サ− １６　　接着剤層 １７　　保護基板 １８　　中心穴 ２１　　ガラス基板 ２２　　レジスト層 ２３　　トラック溝 ２４　　導電膜 ２５　　電鋳膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　光ビ−ムの照射によって、光学特性を
   変化させて、情報の記録・再生を行なう情報記録媒体で
   、記録すべき情報に対応した凹凸パタ−ンが形成された
   原盤に電鋳を行なうことによってスタンパ−を製造する
   方法において、陽極と陰極が互いに対向する間隙中で、
   電鋳の開始時から終了時での任意の時点において、電鋳
   液に超音波などの振動を加えながら電鋳を行なうことを
   特徴とする光記録媒体製造用スタンパ−の電鋳方法。