JPH05140786A - 光記録媒体製造用スタンパーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 折れや屈曲、剥離むら等のない高品質なスタ
ンパーを得る方法を提供する。 【構成】 記録すべき情報に対応した凹凸パターン２３
が形成されたガラス原盤２１に、導電化処理を施し導電
膜２４を形成した後、電鋳を行い電鋳膜２５を形成し、
次いで振動を加えながら原盤から導電膜２４と電鋳膜２
５を一体に剥離する光記録媒体製造用スタンパーの製造
方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学的に情報の記録・
再生を行なう光記録媒体製造用スタンパーの製造方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種情報の記録には、磁気テー
プ、磁気ディスク等の磁気材料、各種半導体メモリー等
が主として用いられてきた。この様な磁気メモリー、半
導体メモリーは情報の書き込み及び、読みだしを容易に
行うことができるという利点はあるが、反面、情報の内
容を容易に書き換えられたり、また高密度記録ができな
いという問題点があった。

【０００３】この様な、問題点を解決するために、多種
多様の情報を効率良く取り扱う手段として、光記録媒体
による光学的情報記録方法が提案され、そのための光学
的情報記録担体、記録再生方法、記録再生装置が提案さ
れている。かかる情報記録担体としての光記録媒体は、
一般にレーザー光を用いて情報記録担体上の光記録層の
一部を揮散させるか、反射率の変化を生じさせるか、あ
るいは変形を生じさせて光学的な反射率や透過率の差に
よって情報を記録し、あるいは再生を行なっている。こ
の場合、光記録層は情報を書き込み後、現像処理などの
必要がなく、「書いた後に直読する」ことのできる、い
わゆるＤＲＡＷ（ダイレクト・リード・アフター・ライ
ト）媒体であり、高密度記録が可能であり、また追加書
き込みも可能であることから、情報の記録・保存媒体と
して有効である。

【０００４】図３（ａ），（ｂ）は従来の光記録媒体
（光ディスク、光カード）の模式的断面図である。図３
（ａ）は光ディスクを示し、トラック溝部１３を設けた
透明基板１２上に光記録層１４を形成し、該光記録層１
４の上にスペーサー１５を介して保護基板１７を設けて
なるものである。

【０００５】図３（ｂ）は光カードを示し、トラック溝
部１３を設けた透明基板１２上に光記録層１４を形成
し、該光記録層１４の上に接着剤層１６を介して保護基
板１７を設けてなるものである。

【０００６】図３において、記録・再生は、トラック溝
部１３の微細な凹凸を利用してレーザー光の位相差によ
り位置決めをしながら行なっている。一般的な光記録媒
体では、熱可塑性樹脂であるポリカーボネート樹脂やポ
リメチルメタクリル樹脂を、トラックや情報に対応する
凹凸パターンが記録されているスタンパーを用いて、そ
の凹凸パターンを転写して溝部１３を形成している。

【０００７】スタンパーの製造方法としては、一般的
に、図４に示す様に、平面性良く研磨されたガラスなど
の原盤２１の上に、レジストや感光性樹脂のレジスト層
２２に、記録すべき情報に対応した所定の深さの凹凸パ
ターン２３を形成した後に（図４（ａ）参照）、導電化
処理を施し導電膜２４を形成し（図４（ｂ）参照）、次
いで所定の厚さまで電鋳を行なって電鋳膜２５を形成し
（図４（ｃ）参照）、その電鋳膜２５を導電膜２４と共
にレジスト層２２より剥離することによって金属スタン
パーを得ている（図４（ｄ）参照）。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、原盤か
ら導電膜と電鋳膜２５からなるスタンパーを引き剥がす
際に、スタンパーにかかる応力によってスタンパー自体
に折れや屈曲、剥離むら等が生じてスタンパーの品質を
低下させる問題を有していた。

【０００９】本発明者らは鋭意検討の結果、上記のスタ
ンパの剥離の際に、スタンパーにかかる応力を軽減させ
る手段を付加することによって、折れや屈曲、剥離むら
等のない高品質なスタンパーを得ることができる方法を
見出し、本発明の完成に至った。

【００１０】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、光ビー
ムの照射により光学特性を変化させて、情報の記録・再
生を行なう光記録媒体の製造に用いられるスタンパーの
製造方法において、記録すべき情報に対応した凹凸パタ
ーンが形成された原盤に、導電化処理を施し導電膜を形
成した後、電鋳を行い電鋳膜を形成し、次いで振動を加
えながら原盤から導電膜と電鋳膜を一体に剥離すること
を特徴とする光記録媒体製造用スタンパーの製造方法で
ある。

【００１１】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
光記録媒体製造用スタンパーの製造方法は、光ビームの
照射によって光学特性を変化させて情報の記録、再生を
行なう光記録媒体で記録すべき情報に対応した凹凸パタ
ーンが形成された原盤に導電層を設け、電鋳を行なって
電鋳膜を形成した後、該電鋳膜を該導電層と共に、振動
を加えながら該原盤より剥離することによってスタンパ
ーを製造する方法によるものである。

【００１２】上記の方法によれば、剥離時に原盤とスタ
ンパーの間に振動に基づくずり応力が加えられ、これに
よって剥離力を弱め、剥離をスムーズに行なうことがで
き、スタンパーの折れや屈曲、剥離むら等を解消するこ
とができる。

【００１３】図１は本発明のスタンパー製造方法に用い
る電鋳装置の一実施態様を示す概略断面図である。同図
において、電鋳槽３には、陽極２と陰極１が対向する位
置に置かれている。陽極２と陰極１の間には邪魔板６が
設置され、陰極１上に形成される電鋳膜の膜厚を均一化
している。陰極１は、図２に示すように、原盤９上にス
パッターなどで導電膜２４を設けたものを原盤ホルダー
８にセットし、モーター４により回転自在に設置されて
いる。電鋳槽３には電鋳液７が満たされており、陰極１
と陽極２の間に通電することにより、陰極１の導電膜２
４上に電鋳膜が形成される。

【００１４】図５は、この様にして形成された電鋳膜を
導電膜と共に剥離する方法の一実施態様を示す概略断面
図である。同図に示す様に、本発明においては、電鋳膜
２５を導電膜２４と共にガラス原盤２１上のレジスト層
２２から矢印Ａ方向へ剥離すると同時にガラス原盤２１
の裏面に超音波振動子などの振動子２６を接触させ、振
動を加えながら剥離する。

【００１５】上記の実施態様では、ガラス原盤２１の裏
面に振動子２６を設けているが、振動子２６は電鋳膜２
５に接触させて設けてもよく、またガラス原盤２１と電
鋳膜２５の両面に接触させて設けて両面から振動を与え
る形態にしてもよい。

【００１６】また、支持体としてガラス原盤２１を使用
しているが、支持体の材質はガラスに限定することな
く、その他の金属、樹脂、セラミック等の材質を任意に
選択してよい。

【００１７】本発明において用いられる超音波振動子の
周波数は１ＫＨｚ〜１００ＭＨｚ程度のものを用いるこ
とが出来、また超音波振動子の出力は１０Ｗ以上、１０
ＫＷ以下のものが好ましい。出力が１０Ｗ未満では剥離
力を弱める効果を充分に発揮することができず、また１
０ＫＷを越えるとスタンパーのトラック溝部に歪みを生
じるので不適当である。

【００１８】本発明においては、上記の様に剥離時に、
振動を加えることにより、スタンパーとレジスト層の間
にずり応力が働き、剥離力を弱め、スタンパーの折れや
屈曲、剥離むら等を防ぐことが出来る。

【００１９】また、電鋳後にスタンパー表面を平面化す
るために裏面研磨を施した後、剥離を行なうと、スタン
パを用いて成形した樹脂成形体の平滑性を確保する上で
好適である。

【００２０】

【実施例】以下、実施例を示し、本発明をさらに具体的
に説明する。

【００２１】実施例１ 厚さ１０ｍｍ、φ３５５ｍｍのガラス板（旭ガラス）上
に、フォトレジスト（ＡＺ１３００、ヘキストジャパン
製）を０．１１μｍの厚さに回転塗布してから、レーザ
ー露光機（松下電気製）でパターンを露光し、現像し
て、ピッチ１．６μｍ、幅０．７μｍ、深さ１１００Å
の同心円の凹凸パターンを形成した。その後で、ニッケ
ルを１０００Åの厚さにスパッターして導電化処理し
た。

【００２２】この凹凸パターンの形成されたガラス原盤
を外形φ４００ｍｍ、角度４５度、長さ１０ｍｍのテー
パーの形成された、丸型原盤ホールダーに固定した。陽
極としてはニッケル球をチタンの籠に入れて、綿布で覆
ってごみの流失を抑えたものをもちいた。電鋳液として
は下記の組成に混合した液を５００リットル用いて、電
鋳層１５０リットル、予備層３５０リットルの電鋳槽に
入れて、液温度４５℃、ｐＨ４．０の状態で、液全体を
１０回／時間のサイクルで循環させ、電鋳を行った。

【００２３】 スルファミン酸ニッケル（４水和物） ４５０ｇ／１ ホウ酸 ３０ｇ／１ ピット防止剤 ５ｍｌ／１

【００２４】電流条件は最初は３Ａで３０分間流してか
ら、５０Ａまで電流を上げて、１３０００Ａ分の積算電
流値になるまで電鋳を行なって、３００μｍの厚さの電
鋳スタンパーをガラス原盤上のレジスト層上に形成し
た。

【００２５】次に、この電鋳スタンパーを図５に示す如
く、ガラス原盤の裏面に超音波振動子（シャープ社製、
ＵＴ−６０４Ｆ）を接触させ、４０ＫＨｚ、１００Ｗの
一定出力で振動させながらスタンパーを剥離したとこ
ろ、スムーズに剥離され、スタンパーの折れや、屈曲、
剥離むら等は観察されなかった。

【００２６】実施例２ 実施例１と同様にして電鋳膜を作成した後、超音波振動
子を電鋳膜の表面に接触させ、剥離端の移動に従って超
音波振動子を移動させながら振動を与え剥離を行なっ
た。その結果、スタンパーに折れや屈曲、剥離むら等は
観察されなかった。

【００２７】実施例３ 実施例１と同様にして電鋳膜を作成した後、超音波振動
子を１００ＫＨｚ、２００Ｗの一定出力で振動させた以
外は、実施例１と同様にして振動させながらスタンパー
を剥離した。その結果、スタンパーの折れや屈曲、剥離
むら等は観察されなかった。

【００２８】比較例１ 超音波振動子を接触させずにスタンパーを剥離した以外
は、実施例１と同様にしてスタンパーを得たが、剥離時
に、スタンパーの折れ曲がり等が発生し、剥離むらが多
く不適当であった。

【００２９】以上の実施例の結果から、超音波振動子を
接触して振動を与えながら剥離することにより、高品質
なスタンパーを得る効果を有していることが認められ
た。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電鋳によって製造されたスタンパーをレジスト層より剥
離する工程において、振動を与えながら剥離することに
より、折れや屈曲、剥離むら等のない高品質なスタンパ
ーを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスタンパーの製造方法に用いる電鋳装
置の一実施態様を示す概略断面図である。

【図２】本発明のスタンパーの製造方法の電鋳に用いら
れる原盤ホルダーの概略断面図である。

【図３】従来の光記録媒体の断面図である。

【図４】従来のスタンパーの製造方法を示す概略断面図
である。

【図５】本発明のスタンパーの剥離方法を示す概略断面
図である。

【符号の説明】

１ 陰極 ２ 陽極 ３ 電鋳槽 ４ モーター ５ 上蓋 ６ 邪魔板 ７ 電鋳液 ８ 原盤ホルダー ９ 原盤 １０ 原盤押え部 １１ 電鋳膜層 １２ 透明基板 １３ トラック溝部 １４ 光記録層 １５ スペーサー １６ 接着剤層 １７ 保護基板 １８ 中心孔 ２１ ガラス原盤 ２２ レジスト層 ２３ 凹凸パターン ２４ 導電膜 ２５ 電鋳膜 ２６ 振動子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 甲斐 丘 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 串田 直樹 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 上高原 弘文 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 鹿目 修 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビームの照射により光学特性を変化さ
   せて、情報の記録・再生を行なう光記録媒体の製造に用
   いられるスタンパーの製造方法において、記録すべき情
   報に対応した凹凸パターンが形成された原盤に、導電化
   処理を施し導電膜を形成した後、電鋳を行い電鋳膜を形
   成し、次いで振動を加えながら原盤から導電膜と電鋳膜
   を一体に剥離することを特徴とする光記録媒体製造用ス
   タンパーの製造方法。