JPH04228563A - 真空蒸着装置に用いられる列形蒸発器 - Google Patents

真空蒸着装置に用いられる列形蒸発器

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JPH04228563A
JPH04228563A JP3106243A JP10624391A JPH04228563A JP H04228563 A JPH04228563 A JP H04228563A JP 3106243 A JP3106243 A JP 3106243A JP 10624391 A JP10624391 A JP 10624391A JP H04228563 A JPH04228563 A JP H04228563A
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JP
Japan
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evaporator
supply conduit
power supply
tube
holder
Prior art date
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Pending
Application number
JP3106243A
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English (en)
Inventor
Jochen Heinz
ハインツ ヨッヘン
Thomas Krug
クルーク トーマス
Klemens Ruebsam
クレメンス　リュプザム
Hans Kessler
ハンス　ケスラー
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空蒸着装置、特にベ
ルト蒸着装置に用いられる列形蒸発器であって、管片状
に構成された電気的な給電導管に固定された複数の蒸発
器が設けられていて、該蒸発器が、個々に出力を制御さ
れるようになっていて、通電によって加熱されるように
なっており、前記管片状の給電導管が、列形蒸発器の全
長にわたって延びる導電性の保持体に保持されており、
一方の極性の給電導管が前記保持体と導電接続されてお
り、他方の極性の給電導管が絶縁されて前記保持体を貫
通案内されていて、絶縁配置された導線と接続されてい
る形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】米国特許第３３８７１１６号明細書に基
づき公知の列形蒸発器では、トラフ状の蒸発器が、管片
状の位置固定の第１の給電導管と、位置固定の第２の給
電導管に保持されて案内されたばね緊張力下にある押圧
部材との間に緊定されている。
【０００３】この公知の装置には、トラフ状の蒸発器の
交換に時間がかかるという欠点がある。それというのは
、この交換のために工具を用いてばね緊張力が減じられ
なければならないからである。さらに前記公知の装置の
欠点は前記トラフ状の蒸発器の取出しが面倒であること
にある。それというのは、この蒸発器への接近が極めて
困難であるからである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は冒頭で
述べた形式の列形蒸発器を改良して、公知の装置の欠点
が与えられておらず、特に前記管片状の給電導管の冷却
を可能にし、汚れに対して鈍感であって、かつフレキシ
ブルまたはばね弾性的な全てのエレメントが蒸発源の噴
流範囲の外部に位置するような列形蒸発器を提供するこ
とであることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、前記保持体に遊びを持って貫通案
内された管片状の給電導管がばねエレメントによって負
荷されており、該ばねエレメントが前記蒸発器の長手方
向延びにほぼ平行に作用していて、前記給電導管のヘッ
ド部分を前記蒸発器の前記給電導管に向いた端面に押圧
しており、前記ばねエレメント自体が前記保持体に対し
て電気的に絶縁されて保持されかつ案内されているか、
または絶縁性の材料から形成されており、前記給電導管
と接続された導線が、冷却媒体によって貫流される導体
であるか、または冷却ホースまたは冷却管として構成さ
れており、該冷却ホースまたは冷却管が前記導線に対し
て平行に敷設されていて、前記給電導管に設けられた室
または通路に開口しているようにした。
【０００６】
【発明の効果】本発明によれば、前記公知の欠点が回避
されて、前記管片状の給電導管の冷却が可能となり、汚
れに対して安定的となり、フレキシブルまたはばね弾性
的な全てのエレメントが蒸発源の噴流範囲の外部に位置
するようになる。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく
説明する。
【０００８】図示の本発明による列形蒸発器は主として
Ｔ字形横断面条片として構成された保持体６を有してお
り、この保持体の上面は互いに平行に配置されたＬ字形
の多数の支持体２５とねじ締結されている。これらの支
持体はそれぞれ管片状の給電導管３と結合されており、
この給電導管の下端部は同じくねじ締結部２６で保持体
６と固くねじ締結されている。
【０００９】給電導管３はそれぞれヘッド部分１７とね
じ締結されており、このヘッド部分に設けられた突起１
６はそれぞれトラフ状の蒸発器５に接触している。この
蒸発器はそれぞれ保持体６に対して平行な平面で延びて
いる。各蒸発器５の前記給電導管３とは反対の側の端部
はそれぞれ管片状の給電導管４のヘッド部分９に設けら
れた突起１５に接触しており、前記給電導管４はこの給
電導管に向かい合って位置する給電導管３とは異なり、
水平な平面で摺動可能に保持体６に保持されている。
【００１０】この摺動可能性を矢印方向Ａ，Ｂにおいて
可能にするためには、この給電導管４がそれぞれカラー
部分１３を備えており、このカラー部分を介して給電導
管４は環状の絶縁部材１４に支持されている。この場合
、給電導管４の下側の区分は遊びＡ，Ｂを有する開口２
２を通って延びている。
【００１１】給電導管４が上方に向かって開口２２から
滑脱しないようにするために、下側のガイドプレート２
７はねじ２８を介してカラー部分１３と結合されており
、この場合、ねじ２８のヘッドとカラー部分１３との間
もしくはガイドプレート２７と保持体６との間には絶縁
部材２９，３０が配置されている。
【００１２】ねじ２８がさらにカラー部分１３に設けら
れた孔３１を通って案内されていて、この孔がねじ２８
の軸部の直径よりも十分に大きく設定されているので、
給電導管４と保持体６との間の導電接続は排除されてい
る。
【００１３】カラー部分１３の側面３２には押圧部材３
３が接触しており、この押圧部材は圧縮ばね８のばね力
を受けている。この圧縮ばねは絶縁スリーブ３４に支承
されていて、支持されている。この支承スリーブ自体は
ガイド体２３の一部であり、このガイド体はねじ３５に
よって保持体６に保持されている。
【００１４】ねじ３５が遊びを持って孔３６を貫通して
いるので、ガイド体２３を規定の範囲で保持体６に沿っ
て摺動させることができる。ガイド体２３は、位置固定
であるが回転可能であるカム軸もしくはカムホイール２
４に支持されているので、ばね８を矢印Ａの方向で給電
導管４に作用させる力が調節可能になる。
【００１５】給電導管４は、ホース状に構成された導線
７と導電接続されており、この場合、導線７はホース導
管１１を取り囲んでいる。このホース導管を通じて通路
１２に冷却媒体を搬送することができる。この冷却媒体
は、通路１２を貫流した後にホース導管またはフレキシ
ブル管状導管３７によって再びポンプ排出され得る。
【００１６】管片状の両給電導管に設けられた突起１６
もしくは１５と、これらの突起の間に保持されたかもし
くは締め付けられた蒸発器５とに間には、グラファイト
ホイル１９，２０がはめ込まれており、このグラファイ
トホイルによって、給電導管３，４と蒸発器５との間で
のできるだけ損失のない電流移行が行なわれるようにな
る。
【００１７】カム軸もしくはカムホイール２４が図示の
位置に対して回転させられると、圧縮ばね８の前記蒸発
器５に作用する緊定力が減少するので、給電導管４は矢
印方向Ｂに僅かに逃げることができる。したがって、蒸
発器５を等しい長さの別の蒸発器と簡単に交換すること
ができる。
【００１８】管片状の給電導管４のカラー部分１３には
、さらにシールド状のベローズ２１が設けられている。 このベローズにより、蒸発残分またはその他の汚れが孔
２２，３１に入り込んで、給電導管４の自由な運動可能
性を妨害してしまうことが確実に回避される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による列形蒸発器を部分的に断面して示
す側面図である。
【符号の説明】

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　真空蒸着装置に用いられる列形蒸発器
    であって、管片状に構成された電気的な給電導管（３，
    ４）に固定された複数の蒸発器（５）が設けられていて
    、該蒸発器が、個々に出力を制御されるようになってい
    て、通電によって加熱されるようになっており、前記管
    片状の給電導管（３，４）が、列形蒸発器の全長にわた
    って延びる導電性の保持体（６）に保持されており、一
    方の極性の給電導管（３）が前記保持体（６）と導電接
    続されており、他方の極性の給電導管（４）が絶縁され
    て前記保持体（６）を貫通案内されていて、絶縁配置さ
    れた導線（７）と接続されている形式のものにおいて、
    前記保持体（６）に遊び（ａ，ｂ）を持って貫通案内さ
    れた管片状の給電導管（４）がばねエレメント（８）に
    よって負荷されており、該ばねエレメントが前記蒸発器
    （５）の長手方向延びにほぼ平行に作用していて、前記
    給電導管（４）のヘッド部分（９）を前記蒸発器（５）
    の前記給電導管に向いた端面（１０）に押圧しており、
    前記ばねエレメント（８）自体が前記保持体（６）に対
    して電気的に絶縁されて保持されかつ案内されているか
    、または絶縁性の材料から形成されており、前記給電導
    管（４）と接続された導線（７）が、冷却媒体によって
    貫流される導体であるか、または冷却ホース（１１）ま
    たは冷却管として構成されており、該冷却ホースまたは
    冷却管が前記導線（７）に対して平行に敷設されていて
    、前記給電導管（４）に設けられた室または通路（１２
    ）に開口していることを特徴とする、真空蒸着装置に用
    いられる列形蒸発器。
  2. 【請求項２】　　前記管片状の給電導管（４）がフラン
    ジ状のカラー部分（１３）を備えていて、該カラー部分
    （１３）と、中間配置された絶縁部材（１４）とを介し
    て前記保持体（６）に支持されている、請求項１記載の
    列形蒸発器。
  3. 【請求項３】　　前記ばねエレメントが、前記保持体に
    傾動可能に支承されていて圧縮ばねによって負荷されて
    いるレバーから形成されており、該レバーが、絶縁性の
    材料から成る押圧部材を介して前記管片状の給電導管に
    支持されている、請求項１または２記載の列形蒸発器。
  4. 【請求項４】　　管片状の各給電導管（４）のヘッド部
    分（９）が端部に切欠きまたは突起（１５）を備えてお
    り、該切欠きまたは突起がそれぞれ水平方向に延びる面
    （１８）を形成しており、該面にそれぞれ対応する蒸発
    器（５）の端部が載着しており、さらに前記切欠きまた
    は突起がほぼ鉛直方向に延びる面を形成しており、該面
    に蒸発器の各端面（１０）が支持されており、蒸発器端
    面と、前記給電導管（４）の支持面との間にグラファイ
    トホイル（１９）がはめ込まれている、請求項１から３
    までのいずれか１項記載の列形蒸発器。
  5. 【請求項５】　　冷却水を案内する高電流供給部（７）
    と結合された前記管片状の給電導管（４）が、前記フラ
    ンジ状のカラー部分（１３）に被さったベローズ（２１
    ）を有しており、該ベローズ（２１）の下側の開いた縁
    部が前記保持体（６）の上側の範囲で終わっていて、前
    記保持体（６）に設けられた開口（２２）の汚染を防止
    している、請求項１から４までのいずれか１項記載の列
    形蒸発器。
  6. 【請求項６】　　可動の前記管片状の給電導管（４）に
    作用する前記ばねエレメント（８）がガイド体（２３）
    内に保持されて案内されており、該ガイド体が前記保持
    体（６）の上側に配置されていて、前記保持体に支承さ
    れた回転可能なカムホイール（２４）を介して前記管片
    状の給電導管（４）に対する前記ガイド体の距離（ｆ）
    が調節可能である、請求項１から５までのいずれか１項
    記載の列形蒸発器。
  7. 【請求項７】　　前記高電流供給部（７）と接続された
    前記管片状の給電導管（４）がキャリッジに保持されて
    おり、該キャリッジが前記保持体と作用接続されていて
    、前記蒸発器（５）の長手方向における前記開口（２２
    ）に対する前記給電導管（４）のシフトを可能にしてい
    るが、鉛直方向における同シフトを排除している、請求
    項１から６までのいずれか１項記載の列形蒸発器。
JP3106243A 1990-05-14 1991-05-13 真空蒸着装置に用いられる列形蒸発器 Pending JPH04228563A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4015385.1 1990-05-14
DE4015385A DE4015385A1 (de) 1990-05-14 1990-05-14 Reihenverdampfer fuer vakuumbedampfungsanlagen

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JPH04228563A true JPH04228563A (ja) 1992-08-18

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ID=6406320

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JP3106243A Pending JPH04228563A (ja) 1990-05-14 1991-05-13 真空蒸着装置に用いられる列形蒸発器

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US (1) US5068915A (ja)
EP (1) EP0456892B1 (ja)
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DE (2) DE4015385A1 (ja)
ES (1) ES2046653T3 (ja)

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EP0456892B1 (de) 1993-10-20
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