JPH0422449B2 - - Google Patents
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- JPH0422449B2 JPH0422449B2 JP61246443A JP24644386A JPH0422449B2 JP H0422449 B2 JPH0422449 B2 JP H0422449B2 JP 61246443 A JP61246443 A JP 61246443A JP 24644386 A JP24644386 A JP 24644386A JP H0422449 B2 JPH0422449 B2 JP H0422449B2
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- JP
- Japan
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- movement
- measured
- contact
- processing unit
- signal processing
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/02—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Mechanical Control Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は機械的装置を有する駆動装置から所定
の運動経路に沿つて往復せしめられる被測定物体
の前記運動経路に沿つた位置を前記駆動装置から
被測定物体までの間の遊びを補償して測定する位
置測定装置であつて、前記駆動装置に機械的に結
合された測定素子、この測定素子の運動を感知し
てその運動量に応じた数のパルスを発生するパル
ス発生装置、このパルス発生装置からのパルスを
受けてパルス数をカウントし、位置測定値を出力
する電子信号処理ユニツト、および前記駆動装置
の駆動方向が逆転する時に前記被測定物体が実際
に逆方向に動き出したことを感知して制御信号を
前記電子信号処理ユニツトに送る運動感知装置を
備え、前記電子信号処理ユニツトは前記駆動装置
の駆動方向が逆転した時、前記制御信号を受ける
までは前記パルスのカウントを停止しているが、
前記制御信号を受けた時には前記パルスを逆方向
にカウントし始めるようにした位置測定装置に関
する。
の運動経路に沿つて往復せしめられる被測定物体
の前記運動経路に沿つた位置を前記駆動装置から
被測定物体までの間の遊びを補償して測定する位
置測定装置であつて、前記駆動装置に機械的に結
合された測定素子、この測定素子の運動を感知し
てその運動量に応じた数のパルスを発生するパル
ス発生装置、このパルス発生装置からのパルスを
受けてパルス数をカウントし、位置測定値を出力
する電子信号処理ユニツト、および前記駆動装置
の駆動方向が逆転する時に前記被測定物体が実際
に逆方向に動き出したことを感知して制御信号を
前記電子信号処理ユニツトに送る運動感知装置を
備え、前記電子信号処理ユニツトは前記駆動装置
の駆動方向が逆転した時、前記制御信号を受ける
までは前記パルスのカウントを停止しているが、
前記制御信号を受けた時には前記パルスを逆方向
にカウントし始めるようにした位置測定装置に関
する。
物体の直線および回転運動を測定し記録するた
めに種々な測定器具が使用されている。これらの
測定器具は光学的、磁気的、あるいは電気抵抗的
なタイプのものである。これら測定器具が被測定
物体に直接接続されている場合は問題ないが、リ
ンクまたはギヤなどの何等かの中間の機械的伝動
装置を介している場合には、かかる伝動装置の遊
びの故に、得られた測定結果が不正確になるおそ
れがある。この遊びの範囲が判かり、不変の大き
さのものであれば、測定結果を補償して正しい値
を得ることが可能なことは勿論である。しかし、
被測定物体の長さに沿つて遊びの大きさが変わる
こともあり、また時間と共に、換言すれば、摩耗
の結果、変化もする。特に重大な問題は被測定物
体が往復運動する時に発生する。それは被測定物
体が運動方向を逆転する時にバツクラツシユを伴
うからである。
めに種々な測定器具が使用されている。これらの
測定器具は光学的、磁気的、あるいは電気抵抗的
なタイプのものである。これら測定器具が被測定
物体に直接接続されている場合は問題ないが、リ
ンクまたはギヤなどの何等かの中間の機械的伝動
装置を介している場合には、かかる伝動装置の遊
びの故に、得られた測定結果が不正確になるおそ
れがある。この遊びの範囲が判かり、不変の大き
さのものであれば、測定結果を補償して正しい値
を得ることが可能なことは勿論である。しかし、
被測定物体の長さに沿つて遊びの大きさが変わる
こともあり、また時間と共に、換言すれば、摩耗
の結果、変化もする。特に重大な問題は被測定物
体が往復運動する時に発生する。それは被測定物
体が運動方向を逆転する時にバツクラツシユを伴
うからである。
これに関しての従来技術が英国特許公開第
2073880号明細書に示されている。この従来の遊
び補償方法は添付の図面第3図に示す如く、小さ
な圧力センサ124,130を被測定物体である
ナツト2のねじ溝の両側に設け、ねじ1のねじ山
がいずれの方向に圧接するのかを感知するように
なつている。かくしてナツト2とねじ1との間の
バツクラツシユにより、ねじ1が回動されてもナ
ツト2が動くまでの誤差を、ねじ1に設けられて
いるエンコーダ(図示せず:第1図の参照符号
3,4参考)からのパルスのカウントを前記感知
による制御信号が出されるまで阻止することによ
り、無くしている。
2073880号明細書に示されている。この従来の遊
び補償方法は添付の図面第3図に示す如く、小さ
な圧力センサ124,130を被測定物体である
ナツト2のねじ溝の両側に設け、ねじ1のねじ山
がいずれの方向に圧接するのかを感知するように
なつている。かくしてナツト2とねじ1との間の
バツクラツシユにより、ねじ1が回動されてもナ
ツト2が動くまでの誤差を、ねじ1に設けられて
いるエンコーダ(図示せず:第1図の参照符号
3,4参考)からのパルスのカウントを前記感知
による制御信号が出されるまで阻止することによ
り、無くしている。
この従来技術は、被測定物体が実際に動き出し
たときから、エンコーダからのパルスをカウント
し始めるようにすることを開示しているが、この
従来の技術は送り機構がねじ式による場合にしか
適用され得ず、またねじ溝の両側に小さな圧力セ
ンサ124,130を埋め込み、そしてこの埋め
込まれた圧力センサから信号処理回路まで電気接
続を達成するのに非常に繊細な技能を要求するの
である。
たときから、エンコーダからのパルスをカウント
し始めるようにすることを開示しているが、この
従来の技術は送り機構がねじ式による場合にしか
適用され得ず、またねじ溝の両側に小さな圧力セ
ンサ124,130を埋め込み、そしてこの埋め
込まれた圧力センサから信号処理回路まで電気接
続を達成するのに非常に繊細な技能を要求するの
である。
工作機械等の送り量をデイジタル的に計測する
装置においてねじ式の送り機構の遊びを補償する
他の方法として例えば特開昭58−30609号公報が
あげられる。この方法はねじ式の送り機構の遊び
は被測定物体のどの位置においても常に一定であ
ると見なして、所定の位置において送り機構を止
めてデイジタル装置のカウンタを零にセツトし、
送り機構を逆転して被測定物体が逆に移動し始め
るのを特別に設けたインジケータで検出し、移動
し始めたときのデイジタル装置のカウント数をコ
ンピユータ装置等に記憶させたものである。そし
て任意の場所において被測定物体の逆転時にこの
カウント数を差し引くようになしている。この遊
び補償方法ではそれぞれの場所における遊びを正
確に除去していないのである。
装置においてねじ式の送り機構の遊びを補償する
他の方法として例えば特開昭58−30609号公報が
あげられる。この方法はねじ式の送り機構の遊び
は被測定物体のどの位置においても常に一定であ
ると見なして、所定の位置において送り機構を止
めてデイジタル装置のカウンタを零にセツトし、
送り機構を逆転して被測定物体が逆に移動し始め
るのを特別に設けたインジケータで検出し、移動
し始めたときのデイジタル装置のカウント数をコ
ンピユータ装置等に記憶させたものである。そし
て任意の場所において被測定物体の逆転時にこの
カウント数を差し引くようになしている。この遊
び補償方法ではそれぞれの場所における遊びを正
確に除去していないのである。
これらの問題は本発明の位置測定装置によつて
簡単で安価なかつ確実な方法で解決できる。
簡単で安価なかつ確実な方法で解決できる。
本発明による遊びの補償を行うようにした位置
測定装置は、駆動装置の駆動方向が逆転する時に
被測定物体が実際に逆方向に動き出したことを感
知して制御信号を電子信号処理ユニツトに送る運
動感知装置を、 (a) 前記被測定物体に装着された摩擦連結手段
と、この摩擦連結手段を前記被測定物体の運動
経路と平行に貫通して延びて前記運動経路方向
に運動が制限されない限り、前記被測定物体と
共に運動する摩擦相対的移動素子と、 (b) 前記摩擦相対的移動素子の運動経路中に配置
されてこの摩擦相対的移動素子の一部が機械的
に接触すると前記摩擦連結手段によつて、前記
被測定物体の運動は停止させないが前記摩擦相
対的移動素子の運動は停止させる静止素子を備
え、前記摩擦相対的移動素子の前記静止素子と
の接触が断たれるのを電気的に感知することに
より前記被測定物体が逆方向に動き始めたこと
を検知して前記電子信号処理ユニツトへ前記制
御信号を送る接触感知装置と から構成したことを特徴としている。
測定装置は、駆動装置の駆動方向が逆転する時に
被測定物体が実際に逆方向に動き出したことを感
知して制御信号を電子信号処理ユニツトに送る運
動感知装置を、 (a) 前記被測定物体に装着された摩擦連結手段
と、この摩擦連結手段を前記被測定物体の運動
経路と平行に貫通して延びて前記運動経路方向
に運動が制限されない限り、前記被測定物体と
共に運動する摩擦相対的移動素子と、 (b) 前記摩擦相対的移動素子の運動経路中に配置
されてこの摩擦相対的移動素子の一部が機械的
に接触すると前記摩擦連結手段によつて、前記
被測定物体の運動は停止させないが前記摩擦相
対的移動素子の運動は停止させる静止素子を備
え、前記摩擦相対的移動素子の前記静止素子と
の接触が断たれるのを電気的に感知することに
より前記被測定物体が逆方向に動き始めたこと
を検知して前記電子信号処理ユニツトへ前記制
御信号を送る接触感知装置と から構成したことを特徴としている。
本発明のその他の特徴は以下の記載より明らか
となろう。
となろう。
本発明を以下に添付の図面第1図および第2図
を参照して詳しく説明する。
を参照して詳しく説明する。
被測定物体であるナツト2に機械的伝動装置で
あるねじ棒1が螺合している。ねじ棒1が弓状矢
印の方向に駆動装置(図示せず)により回転する
とナツト2は矢印Aの方向に運動する。このナツ
ト2の位置を測定するための測定器具がねじ棒1
を介してナツト2に連動せしめられている。測定
器具はねじ棒1を介して前記駆動装置に機械的に
結合された測定素子3と、この測定素子3の運動
を感知してその運動量に応じた数のパルスを発生
するパルス発生装置4とからなつている。
あるねじ棒1が螺合している。ねじ棒1が弓状矢
印の方向に駆動装置(図示せず)により回転する
とナツト2は矢印Aの方向に運動する。このナツ
ト2の位置を測定するための測定器具がねじ棒1
を介してナツト2に連動せしめられている。測定
器具はねじ棒1を介して前記駆動装置に機械的に
結合された測定素子3と、この測定素子3の運動
を感知してその運動量に応じた数のパルスを発生
するパルス発生装置4とからなつている。
パルス発生装置4からのパルス信号は電子信号
処理ユニツト5に送られ、この電子信号処理ユニ
ツト5によつてパルス数がカウントされ、ねじ棒
1に沿つたナツト2の運動距離を示す適当な値に
変換される。この値に応じて電子信号処理ユニツ
ト5で先に記録された位置の数値が、上記測定素
子3の回転方向に従つて、増減する。つまり、ナ
ツト2の運動方向が逆転すると、パルスのカウン
トがそれまでとは逆方向に行われる。これらの加
減処理は好ましくは演算装置(図示せず)でおこ
なわれる。ナツト2の位置は表示装置6に表示さ
れる。表示装置6は好ましくはデイジタル・イン
ジケータが使用される。
処理ユニツト5に送られ、この電子信号処理ユニ
ツト5によつてパルス数がカウントされ、ねじ棒
1に沿つたナツト2の運動距離を示す適当な値に
変換される。この値に応じて電子信号処理ユニツ
ト5で先に記録された位置の数値が、上記測定素
子3の回転方向に従つて、増減する。つまり、ナ
ツト2の運動方向が逆転すると、パルスのカウン
トがそれまでとは逆方向に行われる。これらの加
減処理は好ましくは演算装置(図示せず)でおこ
なわれる。ナツト2の位置は表示装置6に表示さ
れる。表示装置6は好ましくはデイジタル・イン
ジケータが使用される。
このようにナツト2の運動の距離は測定素子3
を介してねじ棒1の回転量として記録される。し
かしナツト2とねじ棒1との間には遊びがあるの
が普通であるので、ねじ棒1の回転の方向が逆転
する際には、ねじ棒1の回転がナツト2の運動の
距離に正確に対応しているとは言えない。
を介してねじ棒1の回転量として記録される。し
かしナツト2とねじ棒1との間には遊びがあるの
が普通であるので、ねじ棒1の回転の方向が逆転
する際には、ねじ棒1の回転がナツト2の運動の
距離に正確に対応しているとは言えない。
このことに関して、従来からも、測定器具3,
4により生ぜしめられたパルスの数を常に電子信
号処理ユニツト5がカウントして測定結果を出す
のではなく、ナツト2が実際に動き出す時を感知
して、その時点から電子信号処理ユニツト5はパ
ルスの数をそれまでとは逆方向にカウントし始め
て測定結果を出すようにして機械的伝動装置にお
ける遊びの補償を行うようにするという基本的な
考えは、既に周知(英国特許公開第2073880号参
照)になつている。しかしこれを実際に行う時に
必要となる運動感知装置すなわちナツト2が実際
に動き出す時を感知する従来の運動感知装置は担
当に繊細な技術を要求していたのである。本発明
はこの運動感知装置を非常に簡潔な構造としたの
である。
4により生ぜしめられたパルスの数を常に電子信
号処理ユニツト5がカウントして測定結果を出す
のではなく、ナツト2が実際に動き出す時を感知
して、その時点から電子信号処理ユニツト5はパ
ルスの数をそれまでとは逆方向にカウントし始め
て測定結果を出すようにして機械的伝動装置にお
ける遊びの補償を行うようにするという基本的な
考えは、既に周知(英国特許公開第2073880号参
照)になつている。しかしこれを実際に行う時に
必要となる運動感知装置すなわちナツト2が実際
に動き出す時を感知する従来の運動感知装置は担
当に繊細な技術を要求していたのである。本発明
はこの運動感知装置を非常に簡潔な構造としたの
である。
さて本発明による運動感知装置は、第1の実施
例では、 (a) ナツト2(被測定物体)に装着された摩擦連
結手段8並びに、この摩擦連結手段8を前記ナ
ツトの運動経路と平行に貫通して延びて前記運
動経路方向に運動が制限されない限り、前記ナ
ツト2と共に運動する棒7(摩擦相対的移動素
子)と、 (b) 前記棒7の各端に隣接、対向して一つずつ配
置されてこの棒7の端が機械的に接触すると、
前記摩擦連結手段8によつて前記ナツト2の運
動は停止させないが前記棒7の運動は停止させ
る静止素子9,10を備え、前記棒7の端と前
記静止素子9,10との接触が断たれるのを電
気的に感知することによりナツト2が実際に動
き出し始めたことを検知する接触感知装置と からなつている。更にこの実施例では、棒7およ
び静止素子9,10も導電性材料より造られてい
て、棒7と静止素子9,10との接触が断たれる
と前記ナツト2が逆方向に実際に動き始めたこと
を示す電気信号を出す構造になされている。
例では、 (a) ナツト2(被測定物体)に装着された摩擦連
結手段8並びに、この摩擦連結手段8を前記ナ
ツトの運動経路と平行に貫通して延びて前記運
動経路方向に運動が制限されない限り、前記ナ
ツト2と共に運動する棒7(摩擦相対的移動素
子)と、 (b) 前記棒7の各端に隣接、対向して一つずつ配
置されてこの棒7の端が機械的に接触すると、
前記摩擦連結手段8によつて前記ナツト2の運
動は停止させないが前記棒7の運動は停止させ
る静止素子9,10を備え、前記棒7の端と前
記静止素子9,10との接触が断たれるのを電
気的に感知することによりナツト2が実際に動
き出し始めたことを検知する接触感知装置と からなつている。更にこの実施例では、棒7およ
び静止素子9,10も導電性材料より造られてい
て、棒7と静止素子9,10との接触が断たれる
と前記ナツト2が逆方向に実際に動き始めたこと
を示す電気信号を出す構造になされている。
棒7はナツト2の運動方向に、ナツト2の全運
動範囲を越えて、延びている。この棒7はナツト
2の運動方向においてナツト2に対して相対的に
動きうるように摩擦連結手段8を介してナツト2
に担持されている。摩擦連結手段8はナツト2の
運動に伴つて棒7を運動させるが、棒7が前記静
止素子9,10に機械的に接触すると、棒7の運
動を停止させるがナツト2の運動は許容する機能
を有している。
動範囲を越えて、延びている。この棒7はナツト
2の運動方向においてナツト2に対して相対的に
動きうるように摩擦連結手段8を介してナツト2
に担持されている。摩擦連結手段8はナツト2の
運動に伴つて棒7を運動させるが、棒7が前記静
止素子9,10に機械的に接触すると、棒7の運
動を停止させるがナツト2の運動は許容する機能
を有している。
棒7の一端がそれに対向する静止素子9,10
から離れている距離は、最大でも測定素子3の最
小目盛に対応するナツト2の運動距離よりも小さ
くなされている。
から離れている距離は、最大でも測定素子3の最
小目盛に対応するナツト2の運動距離よりも小さ
くなされている。
この実施例では、棒7および静止素子9,10
からの三本の線が電子信号処理ユニツト5に接続
されていてナツト2がいずれの方向に動き出した
かを感知して制御信号を電子信号処理ユニツト5
のコントロールインプツトへ供給するようになつ
ている。このことをより具体的に説明すると、棒
7がどちらか一方の静止素子9,10から離れた
時にナツト2が他方の静止素子9,10の方へ動
き出したと判断するようになつている。それまで
は電子信号処理ユニツト5はパルス発生装置4か
らパルスをカウントしないようにしている。同じ
ことの繰り返しになるがねじ棒1の回転方向が逆
転したとき、棒7が今まで対接していた静止素子
から離れるまではナツト2は逆方向に動き始めて
はいないので、測定素子3が既に逆回転してパル
ス発生装置4がパルスを電子信号処理ユニツト5
に送つているにもかかわらず、電子信号処理ユニ
ツト5はパルスの数をカウントすることが出来な
いようになつている。
からの三本の線が電子信号処理ユニツト5に接続
されていてナツト2がいずれの方向に動き出した
かを感知して制御信号を電子信号処理ユニツト5
のコントロールインプツトへ供給するようになつ
ている。このことをより具体的に説明すると、棒
7がどちらか一方の静止素子9,10から離れた
時にナツト2が他方の静止素子9,10の方へ動
き出したと判断するようになつている。それまで
は電子信号処理ユニツト5はパルス発生装置4か
らパルスをカウントしないようにしている。同じ
ことの繰り返しになるがねじ棒1の回転方向が逆
転したとき、棒7が今まで対接していた静止素子
から離れるまではナツト2は逆方向に動き始めて
はいないので、測定素子3が既に逆回転してパル
ス発生装置4がパルスを電子信号処理ユニツト5
に送つているにもかかわらず、電子信号処理ユニ
ツト5はパルスの数をカウントすることが出来な
いようになつている。
なお、静止素子9,10は、棒7の端に対向し
て配置した圧電形の感圧素子で構成しうることは
理解されよう。
て配置した圧電形の感圧素子で構成しうることは
理解されよう。
第2図は本発明による運動感知装置の第2実施
例を示す。遊びが発生する機械部分である実際の
送り機構やリンク装置は第2図には示されてな
い。その理由は、遊びが発生する機械的部分の構
造は本発明の要旨を構成せず、また多くの異なる
形式のものを採用することが可能であるからであ
る。
例を示す。遊びが発生する機械部分である実際の
送り機構やリンク装置は第2図には示されてな
い。その理由は、遊びが発生する機械的部分の構
造は本発明の要旨を構成せず、また多くの異なる
形式のものを採用することが可能であるからであ
る。
さて、第2図の実施例において、摩擦相対的移
動素子である棒13は被測定物体12に摩擦連結
手段11を介して担持されている。棒13の一端
にはこの長手方向軸線、即ち棒13の運動方向に
対して直角に延びる二つの脚15および16を有
する二股装置14が取付けられている。これら脚
15と16との間には硬質の舌片17の一端が配
置されている。この舌片はその他端が機械の固定
部分に固着されている。舌片17は棒13の運動
を制限する静止素子の別の具体例である。かかる
舌片17の上記一端の付近に、低酸化傾向を有す
る導電性材料(例えば金)で造られたボール状の
一つの接点装置18が舌片17の両側に露出して
設けられている。各脚15,16には接点装置1
8に対向した位置に接点部分19,20が設けら
れている。接点装置18と接点部分19および2
0とは電子信号処理ユニツト21のコントロール
インプツトに接続されていて、この電子信号処理
ユニツト21は本質的には第1図の実施例におけ
る電子信号処理ユニツト5と同種のものであつ
て、機能も同一である。接点部分19および20
は、好ましくは二股装置14を、電気絶縁材料か
ら製造することによつて相互に絶縁されている。
動素子である棒13は被測定物体12に摩擦連結
手段11を介して担持されている。棒13の一端
にはこの長手方向軸線、即ち棒13の運動方向に
対して直角に延びる二つの脚15および16を有
する二股装置14が取付けられている。これら脚
15と16との間には硬質の舌片17の一端が配
置されている。この舌片はその他端が機械の固定
部分に固着されている。舌片17は棒13の運動
を制限する静止素子の別の具体例である。かかる
舌片17の上記一端の付近に、低酸化傾向を有す
る導電性材料(例えば金)で造られたボール状の
一つの接点装置18が舌片17の両側に露出して
設けられている。各脚15,16には接点装置1
8に対向した位置に接点部分19,20が設けら
れている。接点装置18と接点部分19および2
0とは電子信号処理ユニツト21のコントロール
インプツトに接続されていて、この電子信号処理
ユニツト21は本質的には第1図の実施例におけ
る電子信号処理ユニツト5と同種のものであつ
て、機能も同一である。接点部分19および20
は、好ましくは二股装置14を、電気絶縁材料か
ら製造することによつて相互に絶縁されている。
接点装置18とそれぞれの接点部分19,20
との間の距離は図では説明上拡大して示したが、
実際には接点装置18が一方の接点部分19から
他方の接点部分20へ移動できるのはほんの3ミ
クロメータに過ぎない。なお、この間隔は普通の
リンク伝動装置の遊びよりずつと小さい隙間であ
る。第2図の実施例は第1図に示した実施例より
好ましい。その理由は第2図の実施例では棒13
の温度変化による伸縮は問題ではなくなり、運動
方向への接点装置18の膨張量が小さいので第1
図の実施例より温度に対する感度が低いためであ
る。接点装置18や接点部分19,20は第1図
の実施例の静止素子9,10について説明したの
と同様、感圧素子、例えば圧電形感圧素子で構成
しうること言うに及ばない。
との間の距離は図では説明上拡大して示したが、
実際には接点装置18が一方の接点部分19から
他方の接点部分20へ移動できるのはほんの3ミ
クロメータに過ぎない。なお、この間隔は普通の
リンク伝動装置の遊びよりずつと小さい隙間であ
る。第2図の実施例は第1図に示した実施例より
好ましい。その理由は第2図の実施例では棒13
の温度変化による伸縮は問題ではなくなり、運動
方向への接点装置18の膨張量が小さいので第1
図の実施例より温度に対する感度が低いためであ
る。接点装置18や接点部分19,20は第1図
の実施例の静止素子9,10について説明したの
と同様、感圧素子、例えば圧電形感圧素子で構成
しうること言うに及ばない。
本発明は特許請求の範囲を逸脱することなく
種々の変形実施が可能であることは理解されよ
う。
種々の変形実施が可能であることは理解されよ
う。
第1図は本発明の位置測定装置の第1の実施例
を示し、第2図は本発明の位置測定装置の第2実
施例を示し、第3図は従来の位置測定装置の遊び
補償装置の要部を示す。 図において、1は機械的伝動装置、2,12は
被測定物体、3は測定素子、4はパルス発生装
置、7,13は摩擦相対的移動素子、5,21は
電子信号処理ユニツト、8,11は摩擦連結手
段、9,10,17は静止素子、14は二股装
置、15,16は二股装置14の脚、18は接点
装置、19,20は接点部分である。
を示し、第2図は本発明の位置測定装置の第2実
施例を示し、第3図は従来の位置測定装置の遊び
補償装置の要部を示す。 図において、1は機械的伝動装置、2,12は
被測定物体、3は測定素子、4はパルス発生装
置、7,13は摩擦相対的移動素子、5,21は
電子信号処理ユニツト、8,11は摩擦連結手
段、9,10,17は静止素子、14は二股装
置、15,16は二股装置14の脚、18は接点
装置、19,20は接点部分である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 機械的伝動装置1を有する駆動装置から所定
の運動経路に沿つて往復せしめられる被測定物体
2,12の前記運動経路に沿つた位置を前記駆動
装置から被測定物体2,12までの間の遊びを補
償して測定する位置測定装置であつて、前記駆動
装置に機械的に結合された測定素子3、この測定
素子3の運動を感知してその運動量に応じた数の
パルスを発生するパルス発生装置4、このパルス
発生装置4からのパルスを受けてパルス数をカウ
ントし、位置測定値を出力する電子信号処理ユニ
ツト5,21、および前記駆動装置の駆動方向が
逆転する時に前記被測定物体2,12が実際に逆
方向に動き出したことを感知して制御信号を前記
電子信号処理ユニツト5,21に送る運動感知装
置を備え、前記電子信号処理ユニツト5,21は
前記駆動装置の駆動方向が逆転した時、前記制御
信号を受けるまでは前記パルスのカウントを停止
しているが、前記制御信号を受けた時には前記パ
ルスを逆方向にカウントし始めるようにした位置
測定装置において、 前記運動感知装置は、 (a) 前記被測定物体2,12に装着された摩擦連
結手段8,11と、この摩擦連結手段8,11
を前記被測定物体2,12の運動経路と平行に
貫通して延びて前記運動経路方向に運動が制限
されない限り、前記被測定物体2,12と共に
運動する摩擦相対的移動素子7,13と、 (b) 前記摩擦相対的移動素子7,13の運動経路
中に配置されてこの摩擦相対的移動素子7,1
3の一部が機械的に接触すると前記摩擦連結手
段8,11によつて、前記被測定物体2,12
の運動は停止させないが前記摩擦相対的移動素
子7,13の運動は停止させる静止素子9,1
0;17,18を備え、前記摩擦相対的移動素
子7,13の前記静止素子9,10;17,1
8との接触が断たれるのを電気的に感知するこ
とにより前記被測定物体2,12が逆方向に動
き始めたことを検知して前記電子信号処理ユニ
ツト5,21へ前記制御信号を送る接触感知装
置と からなることを特徴とする位置測定装置。 2 前記接触感知装置は、前記摩擦相対的移動素
子13の運動方向に対して直角に延びた両脚1
5,16を有し前記摩擦相対的移動素子13の運
動方向の一端に装着された二股装置14,15,
16を備え、前記静止素子は前記二股装置14,
15,16の両脚15,16の間に配置されかつ
静止して装着された舌片17から構成されてお
り、前記接触感知装置は更に前記両脚15,16
の各々に設けられた接点部分19,20と前記舌
片17の各側に配置された接点装置18を備えて
いることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記
載の位置測定装置。 3 前記二股装置14,15,16の各脚15,
16は互いに向き合つた面においてそれぞれ接点
部分19,20を有し、これらの接点部分19,
20は相互に電気的に絶縁されており、前記舌片
17には前記各脚15,16の前記接点部分1
9,20に対向して一つの接点装置18が設けら
れており、前記の二つの接点部分19,20と前
記接点装置18とが前記電子信号処理ユニツト
5,21に電気接続され、前記制御信号を前記電
子信号処理ユニツト5,21に送るようになされ
ていることを特徴とする特許請求の範囲第2項に
記載の位置測定装置。 4 前記摩擦相対的移動素子が棒7であり、前記
静止素子9,10は前記棒7の各端に隣接、対向
して一つずつ設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載の位置測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE8504911A SE450172B (sv) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | Anordning for att kompensera for glapp i ett metsystem |
SE8504911-2 | 1985-10-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62100607A JPS62100607A (ja) | 1987-05-11 |
JPH0422449B2 true JPH0422449B2 (ja) | 1992-04-17 |
Family
ID=20361833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61246443A Granted JPS62100607A (ja) | 1985-10-18 | 1986-10-16 | 位置測定装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4738030A (ja) |
EP (1) | EP0226559B1 (ja) |
JP (1) | JPS62100607A (ja) |
AT (1) | ATE58237T1 (ja) |
DE (1) | DE3675511D1 (ja) |
ES (1) | ES2019299B3 (ja) |
GR (1) | GR3001444T3 (ja) |
SE (1) | SE450172B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3383229B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2003-03-04 | 株式会社ミツトヨ | マイクロメータ |
JP4763914B2 (ja) * | 2001-05-17 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 回転角度検出装置 |
JP4826592B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2011-11-30 | 市光工業株式会社 | 車両用灯具 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53120574A (en) * | 1977-03-30 | 1978-10-21 | Hitachi Ltd | Revolving direction detector |
JPS5830609A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-23 | Mutoh Ind Ltd | 工作機械等の送り量デイジタル計測装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3478436A (en) * | 1967-08-22 | 1969-11-18 | Clair E Barnes | Jig master |
US4091541A (en) * | 1974-10-07 | 1978-05-30 | Itek Corporation | Linear measuring apparatus |
US4528682A (en) * | 1980-03-14 | 1985-07-09 | Mutoh Industry Ltd. | Digital measuring instruments |
JPS58169001A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-05 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 2方向タツチセンサ |
IT1156686B (it) * | 1982-10-18 | 1987-02-04 | Finike Italiana Marposs | Testa per il controllo di dimensioni lineari |
-
1985
- 1985-10-18 SE SE8504911A patent/SE450172B/sv not_active IP Right Cessation
-
1986
- 1986-10-08 US US06/916,635 patent/US4738030A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-10-09 AT AT86850345T patent/ATE58237T1/de not_active IP Right Cessation
- 1986-10-09 EP EP86850345A patent/EP0226559B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-09 DE DE8686850345T patent/DE3675511D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-09 ES ES86850345T patent/ES2019299B3/es not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-16 JP JP61246443A patent/JPS62100607A/ja active Granted
-
1991
- 1991-02-07 GR GR90401151T patent/GR3001444T3/el unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53120574A (en) * | 1977-03-30 | 1978-10-21 | Hitachi Ltd | Revolving direction detector |
JPS5830609A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-23 | Mutoh Ind Ltd | 工作機械等の送り量デイジタル計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GR3001444T3 (en) | 1992-09-25 |
EP0226559A2 (en) | 1987-06-24 |
JPS62100607A (ja) | 1987-05-11 |
SE8504911L (sv) | 1987-04-19 |
SE450172B (sv) | 1987-06-09 |
ES2019299B3 (es) | 1991-06-16 |
ATE58237T1 (de) | 1990-11-15 |
SE8504911D0 (sv) | 1985-10-18 |
EP0226559B1 (en) | 1990-11-07 |
US4738030A (en) | 1988-04-19 |
EP0226559A3 (en) | 1988-10-12 |
DE3675511D1 (de) | 1990-12-13 |
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