JPH04223830A - 移動案内装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、精密加工機、精密測定
器、半導体露光装置等に用いられる精密位置決め、高速
移動を繰り返す装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来セラミック材により構造物を構成す
る際、図８，図９に示すように金属の埋め金７を接着し
この金属材料にネジを切り、ボルト６により両部材２１
，２２を締結していた（図８）。８は接着層を示す。

【０００３】また、締結後の位置決めが必要な場合には
図９に示すようにピン９を打ち、接着等を行なっていた
。これにより２つのセラミック部材２１，２２を連結し
相互に固定していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来例では接着剤を介してネジあるいはピン打ち用の埋め
金を固定してるため、接着剤の剛性が構造体の剛性に直
接影響し、構造体の剛性が低下し制御に十分な周波数特
性が得られなかった。また、ボルトの締結トルクを上げ
過ぎると、埋め金が抜け落ち、衝撃等により締結部がず
れたり、接着剤の経年変化（剛性等の特性値の変化）に
より構造体の特性が変化する等の問題があった。

【０００５】また、ピン打ち、接着等を行なうと、分解
、再組立が困難になりメンテナンス性が悪くなる。

【０００６】さらに、構造体を例えばＸＹステージのＸ
ステージを構成するために図７のように上部１４ｃ、中
間部１４ａ、下部１４ｂに分割して構成すると締結する
ために必要な加工面が３面（ａ〜ｃ）必要になる。

【０００７】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされ
たものであって、ＸＹステージからなる構造体の剛性を
高め、衝撃や経年変化による変形や特性変化を防止し、
組立性や保守性を向上させた移動案内装置の提供を目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る移動案内装置は、定盤と、該定盤上に設
けたＹ方向案内手段と、該Ｙ方向案内手段に沿ってＹ方
向に移動するＹステージと、該Ｙステージ上に装着され
該Ｙステージに対しＹ方向と直角なＸ方向に移動するＸ
ステージとを具備し、前記ＹステージおよびＸステージ
の内少なくとも一方は、相互に垂直な面を有しかつ一体
形成された直交部材を含む。

【０００９】前記Ｙステージは、Ｘステージ案内用の２
本の平行な中間部材と、該中間部材の両端に直角に設け
た静圧軸受取付け部材とからなり、前記Ｘステージは、
前記Ｙステージの各中間部材に対面する側面部静圧軸受
取付け部材と、該側面部静圧軸受取付け部材の上面に直
角に設けた天板と、前記側面部静圧軸受取付け部材の下
面に前記定盤に対面して直角に設けた下部静圧軸受取付
け部材とからなる。

【００１０】

【作用】ＸステージまたはＹステージの構成部材を一体
成形することにより、構造体の剛性が高まり、衝撃や経
年変化による変形や特性変化が防止され、組立性および
保守性が向上する。

【００１１】

【実施例】図１〜図４は、本発明実施例の概略図である
。図１は位置決めステージ全体の斜視図、図２はＡ−Ａ
断面図、図３はＢ矢視図、図４は本発明要部の分解図で
ある。

【００１２】図において、１は定盤であり上面が基準面
となっている。２は固定ガイドであり側面を基準面とし
ている。３は移動体としてのＹステージであり、３部分
（３ａ，３ｂ，３ｃ）からなる。３ａは垂直方向及び横
方向の静圧軸受取付け板、３ｂは垂直方向の静圧軸受け
の取り付け板、３ｃはＸステージ４の横方向の案内であ
る。４は移動体としてのＸステージであり３部分（４ａ
，４ｂ，４ｃ）からなる。４ａは横方向の静圧空気軸受
けの取り付け板であり、天板４ｃと一体に形成される。 また４ｂは垂直方向の静圧空気軸受けの取付け板である
。５ａ〜５ｄは多孔質の静圧空気軸受けであり、５ａは
Ｙステージの横方向、５ｂはＹステージの垂直方向、５
ｃはＸステージの横方向、５ｄはＸステージの垂直方向
を各々案内している。

【００１３】図１〜図４に示すように本実施例において
、Ｙステージ３は静圧空気軸受け５ａ，５ｂに給気する
ことにより定盤１及び固定ガイド２より浮上させる。 またＸステージ４は静圧空気軸受け５ｃ，５ｄに給気す
ることにより定盤１およびＹステージ３より浮上させる
。

【００１４】本実施例の特徴として、Ｘステージ４の中
間部の側面静圧軸受取付け板４ａおよび天板４ｃを一体
構成とすることにより、例えばセラミックで構成した場
合に従来のようなセラミックへの衝撃等による４ａおよ
び４ｃ間の締結部のずれが全くなくなる。

【００１５】また、接着剤等を使用していないので剛性
が十分取れ接着剤の経年変化が発生しない。また、部品
点数が減少し、部品管理、組立作業性が向上する。さら
に加工面数を３面減少させ、また分解、組立等のメンテ
ナンス性が向上する。

【００１６】なお、Ｘステージ４およびＹステージ３の
構成材料としてアルミナセラミックまたは炭化珪素若し
くは窒化珪素からなるセラミックを用いることができる
。

【００１７】図５に第２の実施例を示す。この実施例で
は、図１のＹステージ３を構成する各部分３ａ，３ｂ，
３ｃを一体に形成している。その他の構成は第１の実施
例と同様である。したがって、本実施例において、Ｙス
テージ３は静圧空気軸受け５ａ、，５ｂ（図１）に給気
することにより定盤１および固定ガイド２より浮上させ
る。またＸステージ４は静圧空気軸受け５ｃ，５ｄに給
気することにより定盤１およびＹステージ３より浮上さ
せる。

【００１８】本実施例の特徴として第１の実施例の特徴
に加え加工面を更に４面減少させることができる。

【００１９】図６にさらに別の実施例を示す。この実施
例では、前記第１の実施例のＸステージ４の側面部およ
び下部の静圧軸受取付け板４ａおよび４ｂを一体形成し
ている。その他の構成は第１または第２の実施例と同様
である。したがって、Ｙステージ３は静圧空気軸受け５
ａ，５ｂに給気することにより定盤１および固定ガイド
２より浮上し、またＸステージ４は静圧空気軸受け５ｃ
，５ｄに給気することにより定盤１およびＹステージ３
より浮上する。

【００２０】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明ではセ
ラミック等の後加工が困難な材料で且つ精度、剛性が必
要な部分を一体構成とすることにより、セラミックへの
衝撃等による締結部のずれを防止し、接着剤等を使用し
ていないので剛性が十分取れ、また接着剤の経年変化に
よる変形や特性変化が発生しない。

【００２１】さらに材料の部品点数および加工面の数を
減少させ、分解、組立等のメンテナンス性を向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の全体斜視図である。

【図２】第１の実施例のＡ−Ａ断面図である。

【図３】第１の実施例のＢ矢視図である。

【図４】第１の実施例の要部分解図である。

【図５】第２の実施例の要部斜視図である。

【図６】第３の実施例の要部分解図である。

【図７】従来例の分解図である。

【図８】従来例の締結部説明図である。

【図９】従来例のピン打ち結合説明図である。

【符号の説明】

１　　定盤 ２　　固定ガイド ３　　Ｙステージ ４　　Ｘステージ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　定盤と、該定盤上に設けたＹ方向案内
   手段と、該Ｙ方向案内手段に沿ってＹ方向に移動するＹ
   ステージと、該Ｙステージ上に装着され該Ｙステージに
   対しＹ方向と直角なＸ方向に移動するＸステージとを具
   備し、前記ＹステージおよびＸステージの内少なくとも
   一方は、相互に垂直な面を有しかつ一体形成された直交
   部材を含むことを特徴とする移動案内装置。
2. 【請求項２】　　前記Ｙステージは、Ｘステージ案内用
   の２本の平行な中間部材と、該中間部材の両端に直角に
   設けた静圧軸受取付け部材とからなり、前記Ｘステージ
   は、前記Ｙステージの各中間部材に対面する側面部静圧
   軸受取付け部材と、該側面部静圧軸受取付け部材の上面
   に直角に設けた天板と、前記側面部静圧軸受取付け部材
   の下面に前記定盤に対面して直角に設けた下部静圧軸受
   取付け部材とからなることを特徴とする請求項１に記載
   した移動案内装置。
3. 【請求項３】　　前記Ｘステージの天板と側面部静圧軸
   受取付け部材とを一体成形したことを特徴とする請求項
   ２に記載した移動案内装置。
4. 【請求項４】　　前記Ｘステージの側面部および下部の
   両静圧軸受取付け部材を一体成形したことを特徴とする
   請求項２に記載した移動案内装置。
5. 【請求項５】　　前記Ｙステージの中間部材およびその
   両端の静圧軸受取付け部材とを一体成形したことを特徴
   とする請求項２，３または４に記載した移動案内装置。
6. 【請求項６】　　前記ＸステージおよびＹステージは、
   セラミック材料からなることを特徴する請求項１，２，
   ３，４または５に記載した移動案内装置。