JPH04220170A - 加熱用ツール - Google Patents

加熱用ツール

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JPH04220170A
JPH04220170A JP40132990A JP40132990A JPH04220170A JP H04220170 A JPH04220170 A JP H04220170A JP 40132990 A JP40132990 A JP 40132990A JP 40132990 A JP40132990 A JP 40132990A JP H04220170 A JPH04220170 A JP H04220170A
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Japan
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heating
heating tool
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heat
pressurizing
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Miho Hirota
弘田 実保
Masaaki Namatame
生田目 雅章
Goro Ideta
出田 吾郎
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、加熱用ツールに関し
、特に多端子かつ細密ピッチのLSIリードを基板上の
パッドに半田付け等の方法を用いて接合するためのもの
である。
【0002】
【従来の技術】TCP(Tape Carrier P
ackage) などの多端子かつ細密ピッチのリード
部品を基板上に実装する手段としては、例えば特開昭6
3−313662号広報などに示されたものがある。こ
れは加熱用ツールに通電し、抵抗発熱で温度上昇したツ
ールからの熱伝達で、予め基板パッド上に供給された半
田を溶融し、リードとパッドを接合するものである。図
7は従来の加熱用ツールを用いてリードとパッドを接合
する様子を示す断面図である。図において、1は加熱用
ツール、2は抵抗加熱電源、3はTCP、4はリード、
5は半田、6はパッド、7は基板を示す。
【0003】抵抗加熱電源2に通電すると、加熱用ツー
ル1は抵抗発熱で温度上昇する。この温度上昇した加熱
用ツール1からの熱伝達で、予め基板7上のパッド6に
供給された半田5を溶融する。このようにして、リード
4とパッド6を接合する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の加
熱用ツールでは、部品の多端子化に伴って発生する問題
として、加熱用ツール1に温度分布が発生し、均一加熱
性を阻害するという問題がある。即ちツール1の中央部
に比べて端部の温度が低くなるため、中央部のリード4
は充分に半田付けが達成されても、端部では入熱不足の
ため半田付け不良となる。逆に端部に充分に熱を投与す
るために電流を上げると、中央部において入熱条件過大
となり、リード4及びパッド6と半田5の間で異常拡散
が発生する。
【0005】この発明は上記のような不具合を発生させ
ず、全てのリード4に対し、均一な接合状態を安定に確
保するための加熱用ツールを提供することを目的とする
ものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る加熱用ツ
ールは、第1部材と第2部材を加圧し、通電による抵抗
発熱で加熱することにより第1部材と第2部材を接合す
る加熱用ツールにおいて、加熱用ツール本体の加圧面と
その反対側の面に、熱伝導率が加熱用ツール本体の20
倍以上の材質による部材を設けたことを特徴とするもの
である。
【0007】
【作用】この発明における加熱用ツールは、ツール本体
に低熱伝導率材を用い、その加圧面に高熱伝動率材を設
けており、加圧面における温度分布を均一にできる。さ
らに、加圧裏面にも高熱伝導率材を設けており、加熱用
ツールに発生する反りを防止できる。
【0008】
【実施例】実施例1. 図1はこの発明の一実施例による加熱用ツールを示す断
面図である。図において、1aは熱伝導率の低い材質で
形成された加熱用ツール本体で、例えば熱伝導率が16
W/m・kであるTi合金で形成されている。また、1
bは加熱用ツール本体1aの加圧面に設けた均熱のため
の部材であり、例えば熱伝導率が600W/m・kであ
るBNで形成されている。1cは加熱用ツール本体1a
の加圧裏面に設けた補助部材であり、均熱部材1bと同
様の材料で形成されている。この部材1b、1cは加熱
用ツール本体1aに例えばろう付けにより接合されてい
る。各部分の長さは、1a=1.0mm程度、1b=2
0mm程度であり、図1のII−II線断面図を示す図
2においては、1c=1.5mm程度、1d=1.0m
m程度、1e=1.0mm程度、1f=0.3mm程度
に構成している。均熱部材1bと補助部材1cは同一形
状のものが望ましいが、不可能な場合には、体積比をで
きるだけ1に近づけるようにする。
【0009】図3は、従来用いられているMoツールと
この実施例による加熱用ツールにおける均一加熱性を比
較評価したものであり、横軸に時間(sec)、縦軸に
温度(℃)、を示している。点線曲線はMo、実線曲線
はBNを有するTi合金の変化であり、各々Aは図4に
示すように中央部の温度変化であり、Bはエッジから3
mm内側の温度変化である。
【0010】図3から明らかなように、点線曲線で示さ
れる従来のものは、中央部Aと中央部Bとでは80℃程
度の温度差がある。これに対し、この実施例のものはそ
の温度差が20℃程度に抑えられる。
【0011】図5は加熱用本体1aと均熱部材1bの熱
伝導率比と均熱性の関係を実測値に基いてプロットした
グラフで、横軸は熱伝導率比(1b/1a)、縦軸は1
b=20mmの加熱用ツールの中央部Aと端部Bの温度
差(℃)を示している。この場合の加熱用ツール本体1
aとしてはTiとMo、均熱部材1bとしてはBNダイ
ヤモンドを用い、組み合わせを変えて評価した。半田付
けの品質確保のためには温度差を30℃以下に抑えるこ
とが必要であるが、その条件を満足するためには、熱伝
導率比(1b/1a)を20以上とする必要があること
が分かる。
【0012】即ち、加圧面には高熱伝導材を均熱部材1
bとして用い、瞬時に熱を分散し、温度の均一化を図り
、かつ加熱用ツール本体1aとしては低熱伝導材を用い
て、ツール上部への熱の逸散を抑制する作用をしている
【0013】さらにこの効果を安定に発生させ、かつ均
一化までの時間を短縮化する上では、均熱部材1bとし
ては熱伝導率が400W/m・k以上のものが望ましい
【0014】図6(a) 、(b) はそれぞれ半田付
け後の接合部を拡大して示す断面図である。この実施例
による加熱用ツールを用いた場合、多端子(200ピン
以上)を有するTCP等においても、全てのリードが均
一に加熱され、図5(a) に示すような健全な半田付
け結果が得られる。これに対し、従来の加熱用ツールの
場合には入熱不足の部分は図5(b) に示すように半
田5が溶融せず、リード4とパッド6が接合されないと
いう不良部分が発生することがある。
【0015】また、加圧面に均熱部材1bのみを設けた
場合には、加熱用ツール本体1aと均熱部材1bの熱膨
張率差に基く反りに伴なって、均一加圧が確保できず、
加圧不足で入熱が不十分となった部分は図5(b) に
示すような半田付け不良を発生する。この実施例では、
加圧面と反対側の面に補助部材1cを設けているので、
反りを防止することができる。
【0016】なお、上記実施例では半田付けを例に説明
したが、金と銅などの組み合わせの熱圧着や、異方性導
電膜等に対しても適用することができる。
【0017】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、第1
部材と第2部材を加圧し、通電による抵抗発熱で加熱す
ることにより第1部材と第2部材を接合する加熱用ツー
ルにおいて、加熱用ツール本体の加圧面とその反対側の
面に、熱伝導率が加熱用ツール本体の20倍以上の材質
による部材を設けたことにより、高い均一加熱性が得ら
れ、多端子を有するTCP等のLSIを基板上に高品質
に接合できる加熱用ツールが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1を示す断面図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】加熱用ツールの各部分の温度上昇の様子を時間
に対して示すグラフである。
【図4】図3の各部分を説明するための加熱用ツールの
構成図である。
【図5】この発明の実施例1に係り、加熱用ツール本体
1aと均熱部材1bの熱伝導比(1b/1a)と、加熱
用ツールの中央部と端部の温度差(℃)の関係を示した
グラフである。
【図6】半田付け後の接合部の様子を拡大して示す断面
図である。
【図7】従来の加熱用ツールを用いて接合する様子を示
す断面図である。
【符号の説明】
1  加熱用ツール 1a  加熱用ツール本体 1b  均熱部材 1c  補助部材

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  第1部材と第2部材を加圧し、通電に
    よる抵抗発熱で加熱することにより第1部材と第2部材
    を接合する加熱用ツールにおいて、加熱用ツール本体の
    加圧面とその反対側面に、熱伝導率が上記加熱用ツール
    本体の20倍以上の材質による部材を設けたことを特徴
    とする加熱用ツール。
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JPH04220170A true JPH04220170A (ja) 1992-08-11
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