JPH04217171A - 電荷結合素子のmtf補正方法及び画像読み取り装置 - Google Patents

電荷結合素子のmtf補正方法及び画像読み取り装置

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JPH04217171A
JPH04217171A JP90411390A JP41139090A JPH04217171A JP H04217171 A JPH04217171 A JP H04217171A JP 90411390 A JP90411390 A JP 90411390A JP 41139090 A JP41139090 A JP 41139090A JP H04217171 A JPH04217171 A JP H04217171A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は、電荷結合素子のMTF補正方法
及び画像読み取り装置に関し、より詳細には、信号処理
、ディジタル信号処理、ディジタルフィルタに用いる電
荷結合素子のMTF補正方法及び画像読み取り装置に用
いる信号処理、ディジタル信号処理、ディジタルフィル
タに関する。例えば、イメージスキャナ、ディジタルコ
ピア、ファクシミリ等に適用されるものである。
【0002】
【従来技術】一般にディジタルコピア、ファクシミリ装
置に用いられる原稿画像入力部や、データ処理のために
、原稿に描かれた画像を入力するために用いられる原稿
読み取り装置は、原稿画像を主走査、副走査、各方向に
所定の解像度で画素に分解し、それをディジタルデータ
として、主走査方向にライン単位で時系列データとして
出力している。このような原稿読み取り装置では、ミラ
ー、結像系、電荷結合素子(CCD;Charge C
oupled Device)によって画像のMTF(
Modulation transfer funct
ion)が劣化して画像の高周波域が抑圧されてぼけた
画像となって入力される。従来はこれを抑制するために
劣化した画像データに対してオペレータマトリクスを作
用させて高域を強調する等の手法が用いられていた。
【0003】例えば、特開昭62−252260号公報
に提案されている「原稿読取装置」は、原稿画像を所定
間隔でサンプリングして画像データに変換する原稿読取
装置において、前記所定間隔に対応した周波数よりも小
さい周波数を中心周波数に設定したバンドパスフィルタ
を揃え、上記フィルタによって画像を補正するものであ
る。しかし、これらの方法では単に高域を強調するのみ
でCCDの有限転送効率によるMTFを根本的に除去す
るものではなかった。
【0004】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、電荷結合素子(CCD)の有限な転送効率によ
り制限されるMTF劣化を、他に起因する画像品質を落
とさず補正することができる電荷結合素子のMTF補正
方法を提案すること、また、CCDの有限な転送効率に
よるMTF劣化の影響を受けない高品位な画像読み取り
装置を提供することを目的としてなされたものである。
【0005】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、(1)
原稿画像を電荷結合素子(CCD)ラインイメージセン
サで読み取る画像読み取り装置において、前記電荷結合
素子(CCD)ラインイメージセンサの第i画素(i=
1,2,3,,,n:nは全画素数)に対応する出力に
対し、巡回型i次ディジタルフィルタリングを施し、こ
の出力を読み取り出力とすること、或いは、(2)画像
信号を電荷結合素子(CCD)ラインイメージセンサで
読み取る画像読み取り装置において、前記電荷結合素子
(CCD)ラインイメージセンサの第i画素(i=1,
2,3,,,n:nは全画素数)に対応する出力にεの
i乗分の1を乗じ、該乗算出力を正側入力とする減算を
行い、荷減算出力を1画素期間遅延させ、該遅延出力に
対して(1−ε)/ε・(i−1)を乗じ、該乗算出力
を前記減算の負側入力に導き、前記減算出力を読み取り
出力とすること、或いは、(3)画像信号を電荷結合素
子(CCD)ラインイメージセンサで読み取る画像読み
取り装置において、前記電荷結合素子(CCD)ライン
イメージセンサの第i画素(i=1,2,3,,,n:
nは全画素数)に対応する出力にεのi乗分の1を乗じ
る乗算手段と、該乗算手段の出力を正側入力とする減算
手段と、該減算出力を1画素期間遅延させる遅延手段と
、該遅延手段の出力に対して(1−ε)/ε・(i−1
)を乗ずる第2の乗算手段とから成り、該第2の乗算手
段の出力を前記減算手段の負側入力に導き、前記減算手
段の出力を読み取り出力とすることを特徴としたもので
ある。以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
【0006】イメージスキャナ等の原稿読み取り装置に
おいて、MTFが劣化する要因は主に、■光学系のMT
F、■受光素子のMTF等が考えられる。CCDイメー
ジセンサを使う場合、■受光素子のMTFはCCDの転
送効率が有限(≠100(%))であることに大きく係
わっている。通常、各方向の画素への分解はCCDライ
ンイメージセンサで副走査方向に読み取りラインを移動
することによって行われている。
【0007】図5(a)〜(c)は、代表的なCCDイ
メージセンサの構造図で、図中、21はシフト電極(S
H)、22は転送電極(φ1)、23は光シールド(A
l)、24はSiO2層、25はn層、26はp−Si
層、27はフォトダイオードである。図5(a)はCC
Dイメージセンサの感光部分の断面形状である。感光部
は光のエネルギーを電気信号に変換し、得られた信号電
荷を一時的に蓄積する機能を持っている。感光部はフォ
トダイオード27、MOS容量、シフト電極で構成され
る。入力光はフォトダイオード27で光電変換され光電
流となり、MOS容量に蓄積される。この信号はシフト
電極21の電位変化(図5(c))によって転送部に各
画素並列的に移送される(図5(b))。
【0008】移送された信号電荷はCCDアナログシフ
トレジスタによって直列的に転送され出力ゲートから逐
次読みだされる。転送は2相駆動方式が代表的である(
図6)。1つの電位井戸は電荷を蓄積する役割を果たし
、それに隣接する電位井戸は各画素の電荷を分離する役
割を果たす。この電位井戸に転送クロックパルスφ1と
φ2を転送電極から逆相(図6(b))で与えることに
よって図6(a)で示すように信号電荷が転送される。 この転送される電荷は電荷パケットなどと呼ばれている
【0009】ところで電荷パケットを転送する際に半導
体表面付近での電荷のトラップにより転送効率が低下す
る現象が生じる。図7は、転送チャンネル付近のデバイ
ス構造図で、図中、31は界面準位、32,33は移動
する電荷、34は転送チャンネル、35は転送電極、3
6は2酸化シリコン、37はSi基板、38はトラップ
された電荷、39は信号電荷、40はトラップである。
【0010】電荷が転送される際に電荷パケットが空の
界面準位31と遭遇するとこの準位は直ちに満たされる
。しかし電荷パケットが通過するとこの準位はずっと遅
い様々な時定数に従って空になる。トラップされた電荷
38の多くの移動する電荷32は、充分速く界面準位か
ら放出されてもとの電荷パケットに合流するが他の移動
する電荷33は後続の電荷パケットに流入する。このト
ラップされた電荷がもとの電荷パケットに再び合流する
割合を転送効率εと呼ぶ。すなわち転送効率が100(
%)の場合は界面準位にトラップされた電荷はすべて充
分速く放出されてもとの電荷パケットに合流する。従来
転送チャンネル34は転送電極35を張り付けたSiO
2層36とSi基板37との界面での電位井戸で行われ
ていた。
【0011】この欠点をなくすために、最近のデバイス
ではバルクチャンネル型(埋込みチャンネル型)CCD
が多く用いられている。図8は、埋込みチャンネルCC
Dの断面構成図で、図中、41は転送チャンネル、42
は転送電極、43はSiO2層、44はp型シリコン、
45はn型シリコン、46はn+層である。
【0012】これは界面に基板44と反対極性のエピタ
キシャル層、あるいはイオン注入層45を設け転送チャ
ンネル41をバイアスし、電位井戸の極大値を界面から
バルク中に移す構造をとる。これによって界面にトラッ
プされる電荷は緩和される。しかし、このような構造の
CCDでも転送効率はε=100(%)とはならず、画
素数が多いCCDになればなるほどεが累乗的に影響し
、結果として読み取り画像のMTF劣化を引き起こす。
【0013】隣接する電位井戸に電荷パケットを転送す
る効率(転送効率)が100(%)でない場合、電荷パ
ケットが転送される毎に電荷の送り残しが発生し、最終
段で取り出された電荷は歪を生じる。例えば、CCDの
ある一画素にのみ光が当たっている場合(インパルス入
力)、転送が100(%)でないと最終段でインパルス
がぼけを生じる(図9(a),(b))。これは転送効
率による歪のインパルスレスポンスである。インパルス
レスポンスがこのように広がりを持つということは、そ
のフーリエ変換(伝達関数)は高周波域で減少する関数
となる(図10)。これが有限な転送効率によるMTF
劣化を表す曲線である。
【0014】このMTF劣化の要因である前記■は、前
記■の光学系によるものが2次元的なものであるのに対
してCCD主走査方向にのみ広がりを持つ1次元関数で
ある。CCDの転送効率が既知であればこの劣化は復元
することができる。
【0015】CCDの有限な転送効率による転送波形の
ぼけを転送効率εを用いて定量的に導出する。いまCC
Dのある1画素に電荷Qがあるとする。それ以外の画素
の電荷はゼロとする。この電荷Qがn段転送されてきた
結果をQnとするとQnは次のようになる。
【0016】
【数1】
【0017】電荷Qがn段転送される際に転送し、残さ
れた電荷Qn−1,Qn−2,,,Qn−iは次のよう
に表わされる(図7)。
【0018】
【数2】
【0019】
【数3】
【0020】
【数4】
【0021】これは単一画素にのみ電荷が存在する場合
である。実際は注目する画素の電荷出力はこれよりも先
に転送された画素の電荷パケットの送り残しに影響を受
ける。図8にCCDの模式図を示す。いまCCD転送出
力ゲート側からn番目の画素の電荷パケットをXnとす
る。Xnは(n−1),(n−2),(n−3),,,
の各電位井戸に順に転出され出力ゲート41に達する。 パケットXnの転送出力は(n−1),(n−2),(
n−3),,,番目の電荷パケットの送り残しの影響を
受ける。すなわち、各電荷パケットの送り残しの和とし
て、パケットXnの転送出力Ynは(1)〜(4)式を
考慮すると
【0022】
【数5】
【0023】で与えられる。(5)式からわかるように
Ynは真値Xnのほかにそれより過去に転送されたXn
−i(i=1,,n)の影響を受けて歪を生じる。 (5)式からXnは次式で表わされるn次の差分方程式
で表わされる。
【0024】
【数6】
【0025】ところで一般にバルクチャンネル型CCD
のεは(ε=0.99997)程度の値である。したが
って、(6)式Σの(i=2)以降を無視すると次式で
与えられる。
【0026】
【数7】
【0027】(7)式により転送出力Ynを補正し、補
正出力Xnを求めればCCDの有限な転送効率によるM
TF劣化を除去した画像読み取り信号を得ることができ
る。
【0028】図1,図2は本発明によるMTF劣化を補
正する回路ブロック図で、図中、1は遅延素子群、2は
乗算器、3は加算器、4は乗算器、5は減算器、6はR
OMである。この回路ブロックは、前記(6),(7)
式によってMTF劣化を補正するもので、n次の巡回型
ディジタルフィルタを構成としている。CCDで転送さ
れた画像信号はフィルタの次数に応じて遅延素子群1で
遅延され係数
【0029】
【数8】
【0030】を乗算器2で乗算し帰還される。先に述べ
たようにεが(ε=0.99997)であるような場合
この巡回型フィルタは(6)式に従い図2のように1次
の帰還を持つ巡回型フィルタで構成される。実際は1次
のフィルタでかなりの効果が期待でき構成も簡易である
。εのn乗分の1(ε:転送効率)および乗算器2で乗
算させる係数(8)式、乗算器4で乗算される係数は、
あらかじめROM6に記憶させておき読み出される。
【0031】図3は、デュアルチャンネルCCDに対し
て1次のMTF補正フィルタを適用した例を示す。図中
、7は感光部、8は出力ゲート、9,10はCCDアナ
ログシフトレジスタ、11はサンプルホールド回路、1
2はA/D変換器、13は乗算器、14は減算器、15
は乗算器、16は遅延素子、17はROM、18はマル
チプレクサである。
【0032】デュアルチャンネルの場合、2列のCCD
アナロクシフトレジスタ9,10はそれぞれ奇数番号の
画素と偶数番目の画素の転送を行うものである。感光部
7で得られた画像信号電荷は偶数、奇数画素毎にCCD
アナログシフトレジスタ9,10に転送される。アナロ
グシフトレジスタで逐次転送され出力ゲート8から直列
的に読みだされる。εは依存する信号劣化はシフトレジ
スタによるものであるため、前述したMTF劣化補正は
デュアルチャンネルCCDの場合各アナログシフトレジ
スタ毎に行う。各出力はゼロクランプ、サンプルホール
ド回路11を介しA/D変換器12でディジタル信号に
変換される。この出力は各々1次の本願発明による巡回
型1次ディジタルフィルタでMTF補正を行う。この時
、(7)式第1項、第2項の係数のROM17から逐次
読みだされる。処理された偶数、奇数の画素信号はマル
チプレクサ18で畳み込まれ連続した画素の信号となる
【0033】図4は、インライン型のカラーCCDイメ
ージセンサに1次のMTF補正フィルタを適用して例を
示す。図中における符号は、図2に付したものと同様で
ある。インライン型カラーCCDはRGB各画素対応の
感光部が順番に配置されその信号電荷は同一のCCDア
ナログシフトレジスタ10に並列転送される。各色信号
電荷はアナログシフトレジスタで直列的に出力ゲート8
より読みだされる。各色共に同一のシフトレジスタで転
送されるため、εによる信号劣化は隣接する色に影響を
受けるため読みだされた信号は各色に分けられる前に補
正する必要がある。信号はゼロクランプ、サンプルホー
ルド回路11を介してA/D変換器12でディジタルデ
ータに変換される。このデータは1次の巡回型フィルタ
でMTF補正される。ここで隣接する色に影響される。 εによるMTF劣化が補正される。この信号はデマルチ
プレクサ18によって各色信号に分離され出力される。
【0034】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 (1)請求項1に対応する効果;CCDの有限な転送効
率により制限されるMTF劣化を、他に起因する画像品
質を落とさず補正することができる。 (2)請求項2,3に対応する効果;CCDの有限な転
送効率によるMTF劣化の影響を受けない高品位画像読
み取り装置が構築できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるMTF劣化を補正する回路ブロッ
ク図の一実施例を説明するための構成図で、n次の巡回
型ディジタルフィルタで構成した図である。
【図2】1次の帰還を持つ巡回型フィルタで構成した図
である。
【図3】ディジタルチャンネルCCDに対して1次のM
TF補正フィルタを適用した例を示す図である。
【図4】インライン型のカラーCCDイメージセンサに
1次のMTF補正フィルタを適用した例を示す図である
【図5】代表的なCCDイメージセンサの構造を示す図
である。
【図6】2相駆動の動作原理図である。
【図7】転送チャンネル付近のデバイス構造を示す図で
ある。
【図8】埋込みチャンネルCCDの断面構成図である。
【図9】転送効率を説明するための図である。
【図10】空間周波路と伝達関数の関係を示す図である
【符号の説明】
1  遅延素子群 2  乗算器 3  加算器 4  乗算器 5  減算器 6  ROM

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  原稿画像を電荷結合素子(CCD)ラ
    インイメージセンサで読み取る画像読み取り装置におい
    て、前記電荷結合素子(CCD)ラインイメージセンサ
    の第i画素(i=1,2,3,,,n:nは全画素数)
    に対応する出力に対し、巡回型i次ディジタルフィルタ
    リングを施し、この出力を読み取り出力とすることを特
    徴とする電荷結合素子のMTF補正方法。
  2. 【請求項2】  画像信号を電荷結合素子(CCD)ラ
    インイメージセンサで読み取る画像読み取り装置におい
    て、前記電荷結合素子(CCD)ラインイメージセンサ
    の第i画素(i=1,2,3,,,n:nは全画素数)
    に対応する出力にεのi乗分の1を乗じ、該乗算出力を
    正側入力とする減算を行い、荷減算出力を1画素期間遅
    延させ、該遅延出力に対して(1−ε)/ε・(i−1
    )を乗じ、該乗算出力を前記減算の負側入力に導き、前
    記減算出力を読み取り出力とすることを特徴とする電荷
    結合素子のMTF補正方法。
  3. 【請求項3】  画像信号を電荷結合素子(CCD)ラ
    インイメージセンサで読み取る画像読み取り装置におい
    て、前記電荷結合素子(CCD)ラインイメージセンサ
    の第i画素(i=1,2,3,,,n:nは全画素数)
    に対応する出力にεのi乗分の1を乗じる乗算手段と、
    該乗算手段の出力を正側入力とする減算手段と、該減算
    出力を1画素期間遅延させる遅延手段と、該遅延手段の
    出力に対して(1−ε)/ε・(i−1)を乗ずる第2
    の乗算手段とから成り、該第2の乗算手段の出力を前記
    減算手段の負側入力に導き、前記減算手段の出力を読み
    取り出力とすることを特徴とする画像読み取り装置。
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