JPH04207591A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH04207591A
JPH04207591A JP2336067A JP33606790A JPH04207591A JP H04207591 A JPH04207591 A JP H04207591A JP 2336067 A JP2336067 A JP 2336067A JP 33606790 A JP33606790 A JP 33606790A JP H04207591 A JPH04207591 A JP H04207591A
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    • H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/73—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors using interline transfer [IT]

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （発明の技術分野） 本発明は固体撮像装置に関するもので、特に素子の微細
化及び多画素化に好適な構造に関する。
（従来の技術） 電荷転送装置を用いた固体撮像装置のうち、高解像度を
得ることのできるＣ’ＣＤエリアセンサとして、コライ
ンを構成する２画素の信号電荷を発生ずる感光素子を列
方向（垂直方向）に隣接させて配置したものが知られて
いる。しかし、一般に民生用として用いられるＣＣＤエ
リアセンサにおいては、小型化の要求から広い面積を必
要とする転送段を減少させるために列方向に隣接する２
画素分の信号電荷を加算して読み出すようにしている。
第５図に従来の固体撮像装置の平面構成図を示す。６個
の感光素子１−６よりなる感光素子列１１．１２、・・
１８か設けられており、これらの感光素子列に隣接して
３つの転送段７．８．９からなる列転送装置２１．２２
．２３．２４．２５．２６．２７．２８が設けられてい
る。転送段７は感光素子５．６に、転送段８は感光素子
３．４に、転送段９は感光素子１．２に対応している。
また、Ｓ１１．、　　Ｓ２１．・・・Ｓ６１は第１の感
光素子列１１に蓄積された信号電荷、Ｓ］２．　　Ｓ２
２・・・Ｓ６２は第２の感光素子列１２に蓄積された信
号電荷、以下同様にして５１８．　３２ｇ・・５６ｇは
第８列の感光素子列１８に蓄積された信号電荷を示す。
これらの感光素子列及び列方同方向装置の第１図下方に
は行方向（紙面の右から左へ進む方向）への転送を行う
行方同方向装置］０か設けられており、この行方同方向
装置１０は転送段３１〜３８を有している。行方同方向
装置］０の最終転送段３ユには８力回路３つが接続され
ており、この出力回路３つは信号電荷を外部に読み出す
。
この固体撮像装置では列方向（紙面の上下方向）に隣接
する２つの感光素子の信号電荷を加算して転送し外部に
読み出すことて第１フイールド信号を形成し、列方向に
隣接し第１フールドとは異なる組合せて２つの感光素子
の信号を加算して転送し出力して第２フイールドの信号
を形成し、２つのフィールドの信号をインクレース合成
して］フレーム信号を得る。このようなモードはフィー
ルド蓄積モードと称される。
以下１つのフィールドにたけにる目してその動作を説明
する。
第１行の信号電荷Ｓ１１．、　　Ｓ１２・・Ｓ１ｇと第
２行の信号電荷５２１．　　Ｓ２２・・Ｓ２Ｂ、第３行
の信号電荷５３１、　　Ｓ３２・・Ｓ３ｇと第４行の信
号電荷Ｓ４１．　　Ｓ４２・・Ｓ４８、第５行の信号電
荷５５１．　　Ｓ５２・・・Ｓ５ｇと第６行の信号電荷
５６１．　　Ｓ６２・・・Ｓ６８はそれぞれ対応する転
送段に移送され、加算される。続いてこのようにして加
算された信号電荷のうち第１行のもの５１１＋　５２１
．　　Ｓ　１２＋　Ｓ　２２．・・Ｓ１８＋Ｓ２ｇは行
方向電荷転送装置１０の対応する転送段３１〜３８に並
列転送される。行方向電荷転送装置１０の行方同方向に
よって信号電荷は出力回路３９に順次転送され、外部に
出力される。
次に加算電荷の第２行Ｓ３１＋Ｓ４１．　　Ｓ３２＋Ｓ
４２゜・・・Ｓ３ｇ＋８４８及び第３行Ｓ５１＋３６１
．　・・・Ｓ５８＋ＳＢ８か同様の動作によって出力さ
れる。このようにして全信号電荷を出力することができ
る。
（発明が解決しようとする課題） ところで、このような電荷転送装置では各列転送装置２
１〜２８に連結するように行方同方向装置の転送段３１
〜３８が形成されるため、その１転送段の行方向寸法は
感光素子の行方向配設ピッチと等しく形成されなければ
ならない。
さらに、一般的には行転送装置は４相駆動が行われるた
め、］転送段は４つの電極からなり、このため、１つの
電極の寸法は画素ピッチの１７４以下になってしまう。
従って微細化あるいは多画素化のために画素ピッチか小
さくなると行方同方向装置を形成するのに高度な微細加
工技術か必要になる。
一方、行方向の感光素子数か増加すると、テレビ方式に
従った所定の時間内に一行の電’６：ｔを読み出すため
に要求される転送速度は高くなる。即ち、感光素子列数
に比例して行方同方向装置は高周波で動作しなければな
らす、転送パルス供給ドライバの負担が増大し、消費電
力の増加を招くという問題がある。
本発明は前記従来技術の欠点を解決するためになされた
もので、行方同方向装置の′；′Ｊ法を拡大でき、かつ
転送パルス周波数を低減した新しい構造の固体撮像装置
を提供するものである。
〔発明の構成〕
（課題を解決するための手段） 本発明にかかる固体撮像装置においては、複数の感光素
子を有する感光素子列が行方向に複数個配設された感光
部と、奇数番目の感光素子列に隣接して配置され、この
感光素子列に含まれる感光素子で発生した第１の信号電
荷を第１の方向に転送する第１の列方同方向手段と、偶
数番目の感光素子列に隣接して配置され、この感光素子
列に含まれる感光素子で発生した第２の信号電荷を前記
第１の方向とは逆の第２の方向に転送する第２の列方同
方向手段と、前記第１の列方同方向手段の各列に対応し
て転送段が設けられ、前記第１の列方同方向手段の最終
転送段から前記第１の信号電荷を受け取って行方向に転
送する第１の行方同方向手段と、前記第２の列方同方向
手段の各列に対応して転送段が設けられ、前記第２の列
方同方向手段の最終転送段から前記第２の信号電荷を受
け取って行方向に転送する第２の行方同方向手段と、前
記第１の行方同方向手段で転送された前記第１の信号電
荷を外部に出力する第１の出力回路と、前記第２の行方
同方向手段で転送された前記第２の信号電荷を外部に出
力する第２の出力回路とを備え、前記第１の列方同方向
手段と第コの行方同方向手段との間、および前記第２の
列方同方向手段と第２の行方同方向手段との間のいずれ
かに、転送される信号電荷束を所定期間貯蔵するととも
にその転送順序を変換する電荷転送順序変換機能を有す
る電荷貯蔵手段が設けられたことを特徴としている。
第１のおよび第２の列方同方向手段と第１および第２の
行方同方向１段との間にそれぞれ電荷貯蔵手段が設けら
れ、それらの少なくとも一方は転送される信号電荷の順
序を変換する電荷転送順序変換機能を有するものである
とよい。
また、電荷転送順序変換機能を有する電荷貯蔵手段はそ
の転送路が巡回する構造を有し、各転送段を構成する転
送電極に印加する電圧を制御することにより、時計方向
及び反時計方向の転送を選択可能なサイクリック転送装
置であるとよい。
第１の列転送手段と第２の列転送手段を構造する転送電
極のうち、同一位相制御電圧が印加される電極は前記感
光素子列の素子間領域において一体化され、且つ隣接す
る他の位相電圧が印加される電極と絶縁膜を介して交互
に形成されているとよい。
第１および第２の行方同方向手段の電極か、これらによ
り転送されて前記各出力回路から出力される信号電荷の
位相が、互いに１８０°異なるように配置されていると
よい。
第１および第２の出力回路は一体化されるとともにこの
一体化された出力回路に対して信号電荷を転送する第１
および第２の拡張転送路が前記第１および第２の行方同
方向手段にそれぞれ結合されており、前記一体化された
出力回路から時系列的に合成された画像信号として出力
されるように電極配置がされている出よい。
第１および第２の行方同方向手段はそれぞれ平行配置さ
れた２行ずつの第１および第２の行方同方向路からなり
、前記各列方同方向手段により転送された信号電荷は第
１および第２の前記行方同方向路に交互に転送されると
よい。
第１および第２の列方同方向手段は各感光素子列の各感
光素子で発生し７た信号電荷あるいは隣接する２画素分
の感光素子で発生した信号電荷を加算したものを転送す
るものであるとよい。
（作　用） 感光素子列ごとに設けられた列方同方向手段は奇数列と
偶数列で転送方向が反対となっており、この列方同方向
手段の少くとも一方の最終転送段には転送順序変換手段
が連結されているので、列ごとに反対方向に転送された
信号電荷を２つの行方同方向手段で同じ方向に転送して
出力することか可能となる。
このため、行方同方向手段の転送段の寸法を拡大できる
結果、行方同方向手段の加工が容易となり、かつ各行方
同方向手段では転送段を減少できるため、転送パルス周
波数を低減することが可能となる。
（発明の実施例） 第１図は本発明の第１の実施例を示す平面構成図である
。
この実施例では第１列から第８列までの８つの感光素子
列４１〜４８とこれらの感光素子列の感光素子の信号電
荷を転送する第１から第８番目の列方同方向装置５１〜
５８が設けられている。各感光素子列は感光素子１０１
〜１０８よりなっている。また、列方同方向装置のうち
奇数列に属する列方同方向装置５１．５Ｂ、５５．５７
は紙面下方から上方に電荷を転送する第１の列方同方向
装置であり、偶数番号に属する列方同方向装置５２．５
４．５６．５８は紙面下方から下方に電荷を転送する第
２の列方同方向装置である。これらの第１の列方同方向
装置は転送段１５１〜１５４を、第２の列方同方向装置
は転送段を１５５〜１５８をそれぞれ有している。
これらの感光素子列および列方同方向装置の上下には第
１および第２の電荷貯蔵装置１］５および１］６がそれ
ぞれ設けられている。第１の電荷貯蔵装置１］５は転送
順序変換機能を有する転送段１］１〜］］４を有する。
すな４つち、この転送段は時旧方向（右まわり）転送と
反時射方向（左まわり）転送か可能なサイクリック転送
路を形成しており、列方同方向装置の転送段１５４に第
１の電荷貯蔵装置１］５の転送段１１１か連結されてい
る。
また、第２の電荷貯蔵装置］］６は転送段］２１〜１２
４を有しており、これらは必すしも転送順序変換機能を
有する必要はない。この転送段１２１には第２の列方同
方向装置の転送段１５５が連結されている。
各列の第１の電荷貯蔵装置１１５の転送段１１２の対向
位置には制御ケート１１７を介して第１の行方同方向装
置１］９の各転送段１３１〜１３４が設けられている。
この行方同方向装置１］９は、第１の電荷貯蔵装置］］
５で貯蔵および転送され制御ケ−１−１１７を開くこと
によって移送された信号電荷を転送段］３４から］３］
の方へ信号電荷を転送するもので、転送段１３１には出
力回路］４５が接続されている。
同様に、各列の第２の電荷貯蔵装置１１６の転送段１２
２の対向位置には制御ゲート１１８を介して第２の行方
同方向装置１２０の各転送段１４１〜コ４４が設けられ
ている。この行方同方向装置１２０は、第２の電荷貯蔵
装置１１６て貯蔵および転送され制御ゲート１１８を開
くことによって移送された信号電荷を転送段１４４がら
１４１の方へ信号電荷を転送するもので、転送段１４１
には出力回路１４６が接続されている。
次に本発明装置の１フイールドにおける動作原理を説明
する。
感光素子で所定期間蓄積された信号電荷Ｓｍｎ（ｍ−１
〜８、ｎ−１〜８）は従来技術と同様にして各々対応す
る転送段１５１〜１５８に移送される。この場合、従来
例と同様な列方向に隣接する２つの感光素子の電荷が加
算され、第１、第２の各列方同方向段に蓄積される。続
いて第１の列方同方向装置によって電荷束Ｓ　８ｎ＋　
Ｓ　７ｎ、　　Ｓ　６ｎ＋Ｓ５ｎ、Ｓ４ｎ十Ｓ３ｎ、　
　Ｓ２ｎ＋５Ｉｎ（ｎ−１，３，５゜７）は第１図中下
から上へ転送され、第１の電荷貯蔵装置］１５に同順序
で転送される。同時に第２の列方同方向装置によって電
荷束Ｓ　１ｎ＋　Ｓ　２ｎ。
Ｓ３ｎ十Ｓ４ｎ、Ｓ５ｎ＋Ｓ６ｎ、Ｓ７ｎ＋５８ｎ（ｎ
−２゜４．６．８）は第１図中の上から下へ転送され、
第２の電荷貯蔵装置１１６に同順序で転送される。
第１の電荷転送装置］１５では電荷束が移送される都度
サイクリックな転送か行われ、転送段１１２にＳ　ｌｎ
＋Ｓ　２ｎ、　１１−．３にＳ　３ｎ＋　Ｓ　４ｎ。
ユ１４にＳ５ｒ＋十５（ｉｒ＋Ｓ１１１にＳ７ｎ＋５８
ｎ（ｎ−１、３，５，７）か貯蔵された状態で転送が終
了する。
同様に、第２の電荷転送装置］］６内では１２２にＳＩ
ｎ＋Ｓ２ｎ、　１２１にＳ　３ｎ＋　Ｓ　４ｎ。
１２４にＳ５ｎ＋５（ｉｎ、　１２３にＳ７ｎ＋５８ｎ
（ｎ＝２、４．　６．８）が貯蔵されるようにサイクリ
ックな転送が行われる。
次に制御ゲート１１７に制御電圧が印加され、ゲートが
開くと、各列の第１の電荷貯蔵装置１］５の転送段１１
２がら電荷束ＳＩＩ＋Ｓ２１゜Ｓ１３＋Ｓ２３．Ｓ］、
５＋Ｓ２５．Ｓ１７＋Ｓ２７がそれぞれ第１の行方同方
向装置１１９の転送段１３１〜１３４に転送され、これ
らか紙面左方に順次行方同方向されることにより出力回
路１４５から読み出される。同様に制御ケート１１８に
制御電圧が印加され、ゲートが開くと、各列の第２の電
荷貯蔵装置１１６の転送段１２２から電荷束Ｓ１２＋Ｓ
２２．Ｓ１４＋Ｓ２４．Ｓ１３＋Ｓ２３．Ｓ１８＋３２
８かそれぞれ第２の行方同方向装置１２０の転送段１４
１〜１４４に転送され、これらが紙面左方に順次行方同
方向されることにより出力回路１４５から読み出される
。次に、第１の電荷貯蔵装置］コ５では反時計方向の転
送が行われる結果、転送段１１２にはそれまで転送段１
１３に貯蔵されていた電荷束が転送され、これらか行方
同方向装置に転送されて読み出される。また、第２の電
荷貯蔵装置１１６では時計方向の転送か行われる結果、
転送段１２２にはそれまで転送段１２１に貯蔵されてい
た電荷束が転送され、これらが行方同方向装置に転送さ
れて読み出される。
以下同様に、第１の電荷貯蔵装置１］５の転送段１１４
，１．１．１に貯蔵されていた信号電荷束が反時計方同
方向され、また、第２の電荷貯蔵装置１１６の転送段１
２４，１２３に貯蔵されていた信号電荷束が時計方同方
向されて読み出される。
このような動作を１フイ一ルド期間にくり返すことによ
って全信号電荷を外部に読み出すことができる。
なお、行方向の感光素子の並び順序に対して２つの出力
回路から出力される信号電荷の時系列を一致させるため
に、出力部］４６から出力されるタイミングを出力１４
５の出力タイミングに対し、１８０９位相を遅らせるよ
うに制御することもできる。
また、電荷貯蔵装置のうち反転を行わないものについて
は図示したようなサイクリック転送路の他、直線状の転
送を行うものであってもよい。また、逆転可能なサイク
リック転送路の動作に合わせて他方側の行方同方向装置
の転送段の数を調整することにより、他方側では電荷貯
蔵装置を設けないようにすることもできる。
このように本発明にかかる固体撮像装置では感光素子で
発生した信号電荷を２つの行方同方向装置１１９，１２
０に振り分けて移送することができるので、各行方同方
向装置の１段あたりの寸法は従来のそれに対し２イ８に
することができる。このため、微細加工の困難さが大幅
に緩和され、製造技術あるいは設計技術上の障壁を取り
除くことができる。さらに１つの行方同方向装置の転送
段数が１７２になるので、多画素化に伴なう動作周波数
も１／２に低減させることができ、動作及び信号処理が
容易になるばかりでなく、動作電圧供給源としての周辺
ドライバ回路の負担が小さくなり、低消費電力化、回路
の簡易化が可能となる。
第２図は第１図に示した実施例における第１および第２
の列転送装置の平面構造を示す部分構造図である。
同図においては一般的な２層重ね合わせ電極構造の４相
駆動電荷結合装置（ＣＣＤ）が用いられている。この転
送装置においては、第１相の転送パルスφ１か印加され
る電極端部１６０，１６４、第２相の転送パルスφ２が
印加される電極端部１６１．１６５、第３相の転送パル
スφ３か印加される電極端部１６２．１６３は第４相の
転送パルスφ４が印加される電極端部を有している。転
送ハルスφ２．φ４が供給される電極は第１層目の導電
物質、例えばポリシリコンからなり、また、転送パルス
φ１．φ３が供給される電極は第２層目の導電物質から
なる。
同図においては感光素子１９４〜１９９がマトリクス配
置されており、これらの感光素子列間に列方同方向路１
９０〜１９３が設けられており、一体に形成された転送
電極１６６〜］６９には電極端部］６０からφｌか供給
される。同様に、−体に形成された転送電極１７０〜１
７３には電極端部１６１からφ２か供給され、一体に形
成された転送電極１７４〜］７７には電極端部１６２か
らφ３が、一体に形成された転送電極］７８〜１８１に
は電極端部１６３からφ４が、一体に形成された転送電
極１８２〜１８５には電極端部］６４からφ１が、一体
に形成された転送電極１８６〜］８９にはφ２がそれぞ
れ供給される。
このような構成において転送路１９０、］９２は紙面下
方から上方にφ１．φ２．φ３．φ４の順番で転送電極
が連なり、信号電荷を紙面へ転送する。一方、転送路１
９］、１９３は紙面上方から下方にφ１．φ２．φ３．
φ４の順番で転送電極が連なり、信号電荷を下方に転送
する。このように隣接転送装置間でφ１．φ２の印加さ
れる電極を交互に配置させ、またφ３．φ４の印加され
る電極を交互に配置させることで、互いに転送方向が逆
の第１、第２の列方同方向装置を容易に実現することか
できる。
第３図に本発明にかかる固体撮像装置の第２の実施例を
示す。
感光素子と第１、第２の列方同方向装置を含む部分２０
０の上下には、第１、第２の電荷貯蔵装置２０１，２０
２が設けられている。これらの電荷貯蔵装置の少くとも
その一方は転送順序変換機能を有する。第１、第２の電
荷貯蔵装置に隣接して平行に第１、第２の行方同方向装
置２０３　。
２０４が設けられ、これらの終端点には拡張転送路２０
５，２０６が結合されており、これらは行方同方向装置
２０３および２０４から電荷を受け取って単一の出力回
路２０７へ転送するものである。
拡張転送路２０５から出力回路２０７への転送と、拡張
転送路２０６から出力回路２０７への転送はそれらの転
送タイミングの位相か１８０°異なるように制御されて
おり、この結果両者が加算されることなく時系列的に合
成される。これは例えば両経路において２相クロツクパ
ルスの互いに逆相パルスによって電荷を２０７に転送す
れば容易である。
第４図に本発明の第３の実施例を示す。
第３図で２００として表わした感光素子部分と同様の構
成の部分２０８の上下には第１、第２の電荷貯蔵装置２
０９．２１０かそれぞれ設けられており、第１の電荷貯
蔵装置２０９は転送順序変換機能を有する。
第１図に示した実施例と異なり、第１の電荷貯蔵装置２
０９に隣接して設けられた第１の行方同方向装置は平行
に配置された２本の行方同方向路２１．１．２１２を有
しており、また第２の行方同方向装置は平行に配置され
た２本の行方同方向路２１３．２１４を備えている。な
お、各行方同方向路の終端部には転送された電荷を出力
する４つの出力回路２１５〜２１８が設けられている。
この実施例においては４本の行方同方向路で行方同方向
を行うようにしているので、１転送段の行方向寸法を従
来の４倍、転送周波数を１７４にすることができるとい
う特徴を有する。
以上の実施例においては列方同方向装置は列方向に隣接
した２画素分の感光素子で発生した信号電荷を加算して
転送するようにしているが、各感光素子で発生した信号
電荷を別々に順次転送するものであってもよい。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明によれば、感光素子列で発生した
信号電荷を２つの行方同方向装置に振り分けて移送する
ようにしているので、各行方同方向装置の１段あたりの
寸法は従来のそれに対し２倍にすることができる。この
ため、微細加工の困難さが大幅に緩和され、製造技術あ
るいは設計技術上の障壁を取り除くことかできる。さら
に１つの行方同方向装置の転送段数がＩ７２になるので
、多画素化に伴なう動作周波数も１／２に低減させるこ
とができ、動作及び信号処理か容品になるばかりでなく
、動作電圧供給源としての周辺ドライバ回路の負担が小
さくなり、低消費電力化、回路の簡易化が可能となって
、微細化あるいは多画素化に適した固体撮像装置を提供
することかできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１の実施例にかかる固体撮像装置の
平面構成図、第２図は本発明の第１、第２の列方同方向
装置の詳細な平面構造図、第３図は本発明の第２の実施
例の固体撮像装置の平面構成図、第４図は本発明の第３
の実施例の固体撮像装置の平面構成図、第５図は従来の
固体撮像装置の東面構成図である。 ５１．５Ｂ、５５．５７・・・第１の列方同方向装置、
５２．５４，５６．５８・・第２の列方同方向装置、１
０１〜１　ｆ−１８・・・感光素子、１〕５゜］］６．
２０１，２０２．２０９，２１０・・・電荷貯蔵装置、
１１９，１２０．２０３，２０４．２１１〜２１４・・
・行方同方向装置、］、　１１〜１コ４．１２１〜１２
４・・・電荷貯蔵装置の転送段、１３１〜１３４．１４
１〜］４４・・・行方同方向装置の転送段、１．４５．
１４６．２０７．２１５〜２１８・・・出力回路、２０
５，２０６・・・拡張転送路。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 死５図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、複数の感光素子を有する感光素子列が行方向に複数
    個配設された感光部と、 奇数番目の感光素子列に隣接して配置され、この感光素
    子列に含まれる感光素子で発生した第１の信号電荷を第
    １の方向に転送する第１の列方向転送手段と、 偶数番目の感光素子列に隣接して配置され、この感光素
    子列に含まれる感光素子で発生した第２の信号電荷を前
    記第１の方向とは逆の第２の方向に転送する第２の列方
    向転送手段と、 前記第１の列方向転送手段の各列に対応して転送段が設
    けられ、前記第１の列方向転送手段の最終転送段から前
    記第１の信号電荷を受け取って行方向に転送する第１の
    行方向転送手段と、 前記第２の列方向転送手段の各列に対応して転送段が設
    けられ、前記第２の列方向転送手段の最終転送段から前
    記第２の信号電荷を受け取って行方向に転送する第２の
    行方向転送手段と、 前記第１の行方向転送手段で転送された前記第１の信号
    電荷を外部に出力する第１の出力回路と、前記第２の行
    方向転送手段で転送された前記第２の信号電荷を外部に
    出力する第２の出力回路とを備え、 前記第１の列方向転送手段と第１の行方向転送手段との
    間、および前記第２の列方向転送手段と第２の行方向転
    送手段との間のいずれかに、転送される信号電荷を所定
    期間貯蔵するとともにその転送順序を変換する電荷転送
    順序変換機能を有する電荷貯蔵手段が設けられた固体撮
    像装置。 ２、複数の感光素子を有する感光素子列が行方向に複数
    個配設された感光部と、 奇数番目の感光素子列に隣接して配置され、この感光素
    子列に含まれる感光素子で発生した信号電荷を結合した
    第１の信号電荷を第１の方向に転送する第１の列方向転
    送手段と、 偶数番目の感光素子列に隣接して配置され、この感光素
    子列に含まれる感光素子で発生した第２の信号電荷を前
    記第１の方向とは逆の第２の方向に転送する第２の列方
    向転送手段と、 前記第１の列方向転送手段の各列に対応して転送段が設
    けられ、前記第１の列方向転送手段の最終転送段から前
    記第１の信号電荷を受け取って貯蔵する第１の電荷貯蔵
    手段と、 前記第２の列方向転送手段の各列に対応して転送段が設
    けられ、前記第２の列方向転送手段の最終転送段から前
    記第２の信号電荷を受け取って貯蔵する第２の電荷貯蔵
    手段と、 前記第１の電荷貯蔵手段から前記第１の信号電荷を受け
    取って行方向に転送する第１の行方向転送手段と、 前記第２の電荷貯蔵手段から前記第２の信号電荷を受け
    取って行方向に転送する第２の行方向転送手段と、 前記第１の行方向転送手段で転送された前記第１の信号
    電荷を外部に出力する第１の出力回路と、前記第２の行
    方向転送手段で転送された前記第２の信号電荷を外部に
    出力する第２の出力回路とを備え、 前記第１および第２の電荷貯蔵手段のうち少なくとも一
    つは転送される信号電荷の順序を変換する電荷転送順序
    変換機能を有する電荷貯蔵手段とされた固体撮像装置。 ３、前記電荷転送順序変換機能を有する電荷貯蔵手段は
    その転送路が巡回する構造を有し、各転送段を構成する
    転送電極に印加する電圧を制御することにより、時計方
    向及び反時計方向の転送を選択可能なサイクリック転送
    装置であることを特徴とする請求項１または２に記載の
    固体撮像装置。 ４、第１の列転送手段と第２の列転送手段を構成する転
    送電極のうち、同一位相制御電圧が印加される電極は前
    記感光素子列の素子間領域において一体化され、且つ隣
    接する他の位相電圧が印加される電極と絶縁膜を介して
    交互に形成されていることを特徴とする請求項１ないし
    ３のいずれかに記載の固体撮像装置。 ５、前記第１および第２の行方向転送手段の電極か、こ
    れらにより転送されて前記各出力回路から出力される信
    号電荷の位相が、互いに １８０°異なるように配置されていることを特徴とする
    請求項１または２に記載の固体撮像装置。 ６、前記第１および第２の出力回路は一体化されるとと
    もにこの一体化された出力回路に対して信号電荷を転送
    する第１および第２の拡張転送路が前記第１および第２
    の行方同方向装置にそれぞれ結合されており、前記一体
    化された出力回路から時系列的に合成された画像信号と
    して出力されるように電極配置がされていることを特徴
    とする請求項１または２に記載の固体撮像装置。 ７、前記第１および第２の行方同方向装置はそれぞれ平
    行配置された２行ずつの第１および第２の行方向転送路
    からなり、前記各列方向転送装置により転送された信号
    電荷は第１および第２の前記行方向転送路に交互に転送
    されることを特徴とする請求項１または２に記載の固体
    撮像装置。 ８、前記第１および第２の列方向転送手段は各感光素子
    列の各感光素子で発生した信号電荷を順次転送するもの
    である請求項１または２に記載の固体撮像装置。 ９、前記第１および第２の列方向転送手段は各感光素子
    列の感光素子のうち列方向に隣接する２画素分の感光素
    子で発生した信号電荷を加算したものを順次転送するも
    のである請求項１または２に記載の固体撮像装置。
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