JPH042021U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH042021U JPH042021U JP4182690U JP4182690U JPH042021U JP H042021 U JPH042021 U JP H042021U JP 4182690 U JP4182690 U JP 4182690U JP 4182690 U JP4182690 U JP 4182690U JP H042021 U JPH042021 U JP H042021U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- loading
- wafer
- vapor phase
- phase growth
- growth apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 12
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の第１の実施例にウエハーを装
填し横型減圧気相成長装置の炉芯管に納めた状態
を示す断面図、第２図は第１図の部分拡大断面図
、第３図は本考案の第２実施例にウエハーを装填
し縦型気相成長装置の炉芯管に納めた状態の断面
図、第４図は従来のウエハー装填治具を炉芯管に
納めた状態の断面図である。 １，１１……炉芯管、２……反応気体注入口、
３……排気口、４，７，１４……ウエハー装填治
具、５……ウエハー支持溝、６……支持角、８…
…半導体ウエハー。
填し横型減圧気相成長装置の炉芯管に納めた状態
を示す断面図、第２図は第１図の部分拡大断面図
、第３図は本考案の第２実施例にウエハーを装填
し縦型気相成長装置の炉芯管に納めた状態の断面
図、第４図は従来のウエハー装填治具を炉芯管に
納めた状態の断面図である。 １，１１……炉芯管、２……反応気体注入口、
３……排気口、４，７，１４……ウエハー装填治
具、５……ウエハー支持溝、６……支持角、８…
…半導体ウエハー。
Claims (1)
- 減圧気相成長装置の炉芯管内に被膜形成対象の
多数の半導体ウエハーを装填して納めるウエハー
装填治具において、前記ウエハーを装填支持する
ウエハー装填面にはこの装填面に対し４５°〜８
０°の角度範囲内の一定角度で前記ウエハーを装
填支持するための支持溝が設けられていることを
特徴とする減圧気相成長装置のウエハー装填治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4182690U JPH042021U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4182690U JPH042021U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042021U true JPH042021U (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=31552827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4182690U Pending JPH042021U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042021U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524528U (ja) * | 1975-06-25 | 1977-01-13 |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP4182690U patent/JPH042021U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524528U (ja) * | 1975-06-25 | 1977-01-13 |