JPH04199312A - 薬液希釈装置 - Google Patents
薬液希釈装置Info
- Publication number
- JPH04199312A JPH04199312A JP33255190A JP33255190A JPH04199312A JP H04199312 A JPH04199312 A JP H04199312A JP 33255190 A JP33255190 A JP 33255190A JP 33255190 A JP33255190 A JP 33255190A JP H04199312 A JPH04199312 A JP H04199312A
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- Japan
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- flow rate
- dilution water
- dilution
- flowmeter
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- Pending
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- 239000012895 dilution Substances 0.000 title claims abstract description 73
- 238000010790 dilution Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 67
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 45
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 67
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 67
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 25
- 238000007865 diluting Methods 0.000 claims description 4
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003113 dilution method Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、濃度の高い薬液を一定濃度の希釈液にして使
用する薬液希釈装置に関する。
用する薬液希釈装置に関する。
（従来の技術）
従来、薬液の希釈装置は薬液貯留槽と、薬液希釈槽と、
薬液注入弁と、希釈水注入弁と、撹拌機と、希釈液移送
ポンプと希釈液移送弁と、希釈液貯留槽と各種のレベル
計と制御装置、とより構成されており、希釈方法は、薬
液希釈槽とのレベルが低水位以下になった時、希釈液移
送弁を閉め、薬液を一定斌注入し、次に希釈水を一定斌
注入し、撹拌機にて撹拌し希釈完了とし希釈液移送弁開
としていた。
薬液注入弁と、希釈水注入弁と、撹拌機と、希釈液移送
ポンプと希釈液移送弁と、希釈液貯留槽と各種のレベル
計と制御装置、とより構成されており、希釈方法は、薬
液希釈槽とのレベルが低水位以下になった時、希釈液移
送弁を閉め、薬液を一定斌注入し、次に希釈水を一定斌
注入し、撹拌機にて撹拌し希釈完了とし希釈液移送弁開
としていた。
（発明が解決しようとする課題）
従来の技術では、希釈液貯留槽がある場合、一定濃度の
希釈液を希釈槽で作り、それを希釈液貯留槽に留めてお
くことにより希釈液の連続的な供給が可能であったが、
希釈液貯留槽が設けられず、希釈槽から直接希釈液を連
続供給しなければならない場合、即ち希釈液供給弁を閉
められない場合、薬液、希釈水を一定景ずつ順番に希釈
槽に注入すると、最初は濃度が高く、除々に低くなると
いうように、安定した一定濃度の希釈液供給を行なえず
又は、薬液、希釈水を同時に注入した場合も注入量が違
うため同時に注入が終らず、一定濃度の希釈液供給を行
なえないという不具合があった・ 本発明は希釈液貯留槽を持たず、一定Ｓ度の希釈薬液の
連続供給を可能とする薬液希釈装置を提供することを目
的とする。
希釈液を希釈槽で作り、それを希釈液貯留槽に留めてお
くことにより希釈液の連続的な供給が可能であったが、
希釈液貯留槽が設けられず、希釈槽から直接希釈液を連
続供給しなければならない場合、即ち希釈液供給弁を閉
められない場合、薬液、希釈水を一定景ずつ順番に希釈
槽に注入すると、最初は濃度が高く、除々に低くなると
いうように、安定した一定濃度の希釈液供給を行なえず
又は、薬液、希釈水を同時に注入した場合も注入量が違
うため同時に注入が終らず、一定濃度の希釈液供給を行
なえないという不具合があった・ 本発明は希釈液貯留槽を持たず、一定Ｓ度の希釈薬液の
連続供給を可能とする薬液希釈装置を提供することを目
的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は薬液貯留槽と薬液希釈槽とを結ぶ配管に設けら
れて薬液注入流量を調節する薬液注入流量調節弁と、こ
の薬液注入流量調節弁と直列に接続されて薬液注入流量
を計１ｌ１１すする薬液注入流量計と、希釈水源と前記
薬液希釈槽とを結ぶ配管に設けられて希釈水の注入流量
を調節する希釈水注入流量調節弁と、この希釈水注入量
調節弁と直列に接続されて希釈水注入流量を計測する希
釈水注水流量計と、この希釈水注水流量計及び薬液注入
流量計の信号により希釈液供給ポンプ及び希釈液供給弁
を制御する制御装置と、を具備してなる薬液希釈装置で
ある。
れて薬液注入流量を調節する薬液注入流量調節弁と、こ
の薬液注入流量調節弁と直列に接続されて薬液注入流量
を計１ｌ１１すする薬液注入流量計と、希釈水源と前記
薬液希釈槽とを結ぶ配管に設けられて希釈水の注入流量
を調節する希釈水注入流量調節弁と、この希釈水注入量
調節弁と直列に接続されて希釈水注入流量を計測する希
釈水注水流量計と、この希釈水注水流量計及び薬液注入
流量計の信号により希釈液供給ポンプ及び希釈液供給弁
を制御する制御装置と、を具備してなる薬液希釈装置で
ある。
（作 用）
薬液注入流量計と希釈水注入流量計により測定された流
量比が所望の感度に相当する比になる様に、薬液注入流
量調節弁と希釈水注水流量計節づｒを制御する。
量比が所望の感度に相当する比になる様に、薬液注入流
量調節弁と希釈水注水流量計節づｒを制御する。
（実施例）
次に本発明の一実施例を説明する。第１図は薬液貯留４
！１と薬液希釈）ｉ４Ｊ２とを結ぶ配管に設けられて薬
液注入流量を調節する薬液注入流量調節弁１４と、薬液
注入流量調節弁１４と直列に接続されて薬液注入流量を
計測する薬液注入流量計１３と、希釈水源と薬液希釈槽
２とを結ぶ配管に設けられて希釈水の注入流量を調節す
る希釈水注入流量調節弁１６と、希釈水注入流Ｍ、調節
弁１６と直列に接続されて希釈水注入Ａ量を計測する希
釈水注水流量計１５と、希釈水注水流量計１５及び薬液
注入流量計１４の信号により希釈液供給ポンプ１２及び
希釈液供給弁１１を制御する制御装置１０と、を具備し
てなる薬液希釈装置を示している。
！１と薬液希釈）ｉ４Ｊ２とを結ぶ配管に設けられて薬
液注入流量を調節する薬液注入流量調節弁１４と、薬液
注入流量調節弁１４と直列に接続されて薬液注入流量を
計測する薬液注入流量計１３と、希釈水源と薬液希釈槽
２とを結ぶ配管に設けられて希釈水の注入流量を調節す
る希釈水注入流量調節弁１６と、希釈水注入流Ｍ、調節
弁１６と直列に接続されて希釈水注入Ａ量を計測する希
釈水注水流量計１５と、希釈水注水流量計１５及び薬液
注入流量計１４の信号により希釈液供給ポンプ１２及び
希釈液供給弁１１を制御する制御装置１０と、を具備し
てなる薬液希釈装置を示している。
即ち、薬液貯留槽１と、薬液希釈槽２と、各種のレベル
計９と制御装置１０と、薬液注入流量計１３と薬液注入
流量ｉＡ節弁１４と、希釈水注入流量計１５と希釈水注
入流量調節弁１６より構成される。
計９と制御装置１０と、薬液注入流量計１３と薬液注入
流量ｉＡ節弁１４と、希釈水注入流量計１５と希釈水注
入流量調節弁１６より構成される。
次に、第２図において、薬液希釈槽２のレベル計９によ
りレベル低と判断した時希釈開始とし、希釈水注入流量
調節弁１６を全開にする。その時、希釈水注入流量計１
５により測定された希釈水注入流量に対し、必要とされ
る希釈液濃度となるような係数を乗じた流量を薬液の目
標注入流量とし、薬液注入流量計１３及び薬液注入流量
調節弁１４により薬液注入流量を制御する。薬液注入流
量調節弁１４を全開としても目標注入流量が達成されな
い時は、逆に薬液注入流量調節弁全開時の薬液注入流量
に必要とされる薬液希釈濃度となるような前述とは別の
係数を乗した流量を希釈水の目標注入流量とし、希釈水
注入流量計１５及び希釈水注入流量調節弁１６により、
希釈水注入流量を制御する。薬液希釈槽のレベル９によ
りレベル高と判断した時希釈終了とし希釈水注入流量調
節弁１６及び薬液注入流量調節弁１４をいずれも全閉と
する。
りレベル低と判断した時希釈開始とし、希釈水注入流量
調節弁１６を全開にする。その時、希釈水注入流量計１
５により測定された希釈水注入流量に対し、必要とされ
る希釈液濃度となるような係数を乗じた流量を薬液の目
標注入流量とし、薬液注入流量計１３及び薬液注入流量
調節弁１４により薬液注入流量を制御する。薬液注入流
量調節弁１４を全開としても目標注入流量が達成されな
い時は、逆に薬液注入流量調節弁全開時の薬液注入流量
に必要とされる薬液希釈濃度となるような前述とは別の
係数を乗した流量を希釈水の目標注入流量とし、希釈水
注入流量計１５及び希釈水注入流量調節弁１６により、
希釈水注入流量を制御する。薬液希釈槽のレベル９によ
りレベル高と判断した時希釈終了とし希釈水注入流量調
節弁１６及び薬液注入流量調節弁１４をいずれも全閉と
する。
上記作用により本装置では薬液希釈槽２に注入される時
点で所望の希釈液濃度となり、希釈液供給ポンプ１２を
連続的に運転していても常時安定した濃度の希釈液を供
給することができる。
点で所望の希釈液濃度となり、希釈液供給ポンプ１２を
連続的に運転していても常時安定した濃度の希釈液を供
給することができる。
又濃度の管理を制御装置内に持つ係数により行なうため
、必要どされる希釈液感度の変更にも容易に対応するこ
とが可能となる。
、必要どされる希釈液感度の変更にも容易に対応するこ
とが可能となる。
本発明によれば希釈液の貯留槽を持つ必要がなく、かつ
濃度の安定した希釈液を連続的に供給することが可能と
なる。
濃度の安定した希釈液を連続的に供給することが可能と
なる。
第１図は本発明の一実施例を示す薬液希釈装置の構成図
、第２図は他の実施例を示す構成図である。 １０・・制御装置 Ｉ３・・薬液注入流量計 Ｉ４・・・薬液注入流景調節弁 １５・・・希釈水注入流量計 １６・・・希釈水注入流量調節弁 代理人 弁理士 大 胡 典 夫 第 １ 図
、第２図は他の実施例を示す構成図である。 １０・・制御装置 Ｉ３・・薬液注入流量計 Ｉ４・・・薬液注入流景調節弁 １５・・・希釈水注入流量計 １６・・・希釈水注入流量調節弁 代理人 弁理士 大 胡 典 夫 第 １ 図
Claims (1)
- 薬液貯留槽と薬液希釈槽とを結ぶ配管に設けられて薬液
注入流量を調節する薬液注入流量調節弁と、この薬液注
入流量調節弁と直列に接続されて薬液注入流量を計測す
る薬液注入流量計と、希釈水源と前記薬液希釈槽とを結
ぶ配管に設けられて希釈水の注入流量を調節する希釈水
注入流量調節弁と、この希釈水注入流量調節弁と直列に
接続されて希釈水注入流量を計測する希釈水注水流量計
と、この希釈水注水流量計及び前記薬液注入流量計の信
号により希釈液供給ポンプ及び希釈液供給弁を制御する
制御装置と、を具備してなる薬液希釈装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33255190A JPH04199312A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 薬液希釈装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33255190A JPH04199312A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 薬液希釈装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04199312A true JPH04199312A (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=18256187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33255190A Pending JPH04199312A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 薬液希釈装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04199312A (ja) |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP33255190A patent/JPH04199312A/ja active Pending
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