JPH0419748A - 画像形成層 - Google Patents

画像形成層

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JPH0419748A
JPH0419748A JP2125149A JP12514990A JPH0419748A JP H0419748 A JPH0419748 A JP H0419748A JP 2125149 A JP2125149 A JP 2125149A JP 12514990 A JP12514990 A JP 12514990A JP H0419748 A JPH0419748 A JP H0419748A
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Kazuo Maemoto
一夫 前本
Koichi Kawamura
浩一 川村
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野〕 本発明は新規な画像形成層に関するものであり、更に詳
しくは露光することにより原画に対して感度よくネガ画
像が得られる画像形成層に関する。
〔従来技術〕
近年安全衛生上の問題から印刷版あるいはレジスト形成
工程において有機溶剤を主成分とする現像液による現像
に代り、水性アルカリ現像液を用いるアルカリ現像が採
用されるようになってきた。
そのため、アルカリ現像に適した感光層が要求され、バ
インダーとして多(のカルボキシル基を含有するポリマ
ーまたは樹脂が使用されている。しかしながら、露光、
現像後に残った画像部分は予め存在するカルボン酸によ
りアルカリ現像液で膨潤し、印刷版あるいはレジストと
して使用した場合、皮膜強度や支持体への接着力(付着
力)が十分ではないという本質的な問題を内在していた
本問題を解決する方法として、特開昭64−32255
号公報に記載されているような露光によりカルボン酸を
脱炭酸させて、カルボン酸を消失させる方法がある。し
かるに、この方法では感度が低く、また低露光時にはカ
ルボン酸が多く残存し、現像時に画像部が傷つきやすく
なるという問題がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
従って本発明の目的は、高感度であり、かつ現像時に画
像部が傷つきにくい画像形成層を提供することにある。
〔課題を解決するための手段] 上記目的を達成すべく種々検討した結果、下記一般式(
1)で示されるカルボン酸(塩)を有する構成成分及び
320nm以上にUV吸収を有する構成成分をともに同
一のポリマー中に導入することにより、上記目的を達成
できることを見出し、本発明に到った。
すなわち、本発明は、下記一般式(1)で示されるカル
ボキシル基を有する構成成分及び320n…以上にUV
吸収を有する構成成分を含むポリマーを含む画像形成層
である。
云−Y +−X  +CH2+−CロOT     −
−−−−−(I  )(式中、Xはイオウ、酸素、単結
合、C= ’vVあるいはN−Uを意味し、Wは酸素、
イオウを意味し、Uは置換基を有してもよいアリール基
、アルキル基、水素原子を意味し、Yは置換基を有して
もよいアルキレン、アリーレン、アラルキレン、2価の
複素環を意味し、Tは水素原子、アルカリ金属、(ここ
で、R1、R2、R3はそれぞれ同一であっても異なっ
ていてもよく、水素原子、置換基を有してもよいアルキ
ル基、アリール基を意味する。
またR’ 、R’ 、R3は連結し環を形成していても
よい。〉、Kは0あるいは1であり、βは0あるいは1
であり、K=OのときXはC=Wである。)。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明に用いられるポリマーには、上記一般式(1)で
示される光により脱炭酸するカルボキシル基を有する構
成成分(以下「カルボキシル基含存骨格」という。)及
び320nm以上にUV吸収を有する構成成分(以下「
増悪剤骨格」という。)が導入されている。
一般式(1)において、Uのアリール基としては炭素数
6〜20のアリール基が好ましく、例えばフェニル基、
ナフチル基が含まれる。また、Uのアルキル基としては
炭素数1〜20のものが好ましい。これらのアルキル基
又はアリール基の置換基としては弗素原子、塩素原子、
臭素原子、ヨウ素原子のようなハロゲン原子、シアノ基
、ニトロ基、水酸基、カルボキシル基、−OR,−CO
OR。
−0COR,−CONHR,−NIICOR(ここでR
は炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20の了
り−ル基を示す、)、アルキル基の置換基としてのアリ
ール基、アリール基の置換基としてのアルキル基が含ま
れる。また、Yのアルキレン基としては炭素数1〜20
のものが好ましく、アリーレン基としては炭素数6〜2
0のものが好ましく、アラルキレン基としては炭素数7
〜20のものが好ましく、2価の複素環基としてはカル
バゾール環、インドール環、ピラゾール環から誘導され
る2価の基が好ましい。更にこれらのアルキレン、アリ
ーレン、アラルキレン、2価の複素環の置換基としては
Uの所で説肋した置換基が含まれる。
またR1 、R2、Rjのアルキル基、アリール基、お
よびこれらに対する置換基としてはUについて説明した
ものが含まれる。
本発明に用いられるポリマーに導入されるカルボキシル
基含有骨格として、好ましくはインドール−3−酢酸、
フェノキシ酢酸、72−メチルフェノキシ酢酸、3−メ
トキシフェノキシ酢酸、2−ニトロフェノキシ酢酸、3
−クロロフェノキシ酢酸、4−メチルフェノキシ酢酸、
n−ブトキシ酢酸、チオフェノキシ酢酸、3−メトキシ
チオフェノキシ酢酸、2−クロルチオフェノキシ酢酸、
2−メチルチオフェノキシ酢酸、4−ニトロチオフェノ
キシ酢酸、n−ブチルチオ酢酸、フェニル酢12−二ト
ロフェニル酢酸、4−ニトロフェニル酢酸、2,4−ジ
ニトロフェニル酢酸、ベンゾイルギ酸、4−クロルベン
ゾイルギ酸、チオベンゾイルギ酸、ピルビン酸、N−フ
ェニルグリシン、N−(3−クロルフェニル)グリシン
、N−(2゜4−ジクロルフェニル)グリシン、N−(
4−アセチルフェニル)グリシン、N−(2−ニトロフ
ェニル)グリシン、N−(2,4−ジニトロフェニル)
グリシン、N−(4−シアノフェニル)グリシン、N−
(2−ブロモフェニル)グリシン、N−(2−メチルフ
ェニル)グリシン、N−(2−メトキシフェニル)グリ
シン、N−(2,4−ジメトキシフェニル)グリシン、
N−(n−ブチル)グリシン、N−メチル−N−(2−
メチルフェニル)グリシン、N−メチル−N−(2−ク
ロルフェニル)グリシン、N−メチル−N−(2−二ト
ロフェニル)グリシン、N−メチル−N−(2−メトキ
シフェニル)グリシン、N−(4−カルバモイルフェニ
ル)グリシン、N−(4−スルファモイルフェニル)グ
リシンなどの骨格を含む残基が挙げられる。これらのカ
ルボキシル基含有骨格を2種以上組み合わせて用いるこ
ともてきる。
これらのカルボン酸はカルボン酸塩であってもよい。カ
ルボン酸塩としては、アルカリ金属塩、アルカリ土類金
属塩、アンモニウム塩などがあるが、これらに限定され
たものではない。アンモニウム塩としてはモノ、ジ、又
はトリメチルアミン、モノ、ジ又はトリエチルアミン、
モノ、ジ又はトリイソプロピルアミン、n−ブチルアミ
ン、モノ、ジ又はトリエタノールアミン、モノ、ジ又は
トリイソプロパツールアミン、エチレンイミン、エチレ
ンジイミン、N、N−ジエチルアニリン、NN−ジメチ
ルアニリン等のアミンをもとに形成されるアンモニウム
塩などが挙げられるがこれらに限定されたものではない
また、カルボキシル基含有骨格は、前記一般式(I)に
おいてXがイオウ、酸素、単結合又はN−U(7)場合
、−x+CH2→−r(:OOT  はアリール核また
は芳香族複素環核に結合している場合が感度上好ましい
本発明に用いられるポリマーに導入される増感剤骨格と
して、好ましくはキサントン、フルオレノン、ベンゾフ
ェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、
2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサ
ントン、2.4−ジエチルチオキサントン、アセトフェ
ノン、ナフチルアセトン、4.4′−ビスジメチルアミ
ノベンゾフェノン、トリニトロフルオレノン、ジヘンゾ
スベロン、2.5−ビス−(4′−ジエチルアミノベン
ザル)シクロペンタノン、α、α−ジクロロ−4−フェ
ノキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシル
フェニルケトンなどの芳香族ケトン系化合物i4,4’
−ビスジメチルアミノチオベンゾフェノンなどの芳香族
チオケトン化合物;ベンゾキノン、ジクロルベンゾキノ
ン、テトラクロルベンゾキノン、ジクロルナフトキノン
、アントラキノン、フェンナントレンキノン、ジクロロ
アントラキノン、ジニトロアントラキノン、アリザリン
、ベンズアントラキノンなどのキノン系化合物;ニトロ
ベンゼン、1−ニトロビフェニル、4−ニトロビフェニ
ル、4−ニトロトルエン、1゜3−ジニトロベンゼン、
2,4.6−)!Jニトロアニリンなどの芳香族ニトロ
化合物;ナフタレンアントラセン、フェナントレン、ベ
ンズアントラセン、ベンズピレンなどの芳香族炭化水素
;トリフェニルピラゾリンなとのトリアリールピラゾリ
ン系化合物;テトラフェニルイミダゾール、トリフェニ
ルイミダゾールなどのモノイミダゾール系化合物;フル
オレセイン、エオシンY20−ズベンガル、エリトロシ
ンB1フロキシンなどのキサンチン系化合物;アクリフ
ラビン、リボフラビンアクリジン、9−フェニルアクリ
ジン、N−フェニルアクリジン、フェナジン、2.3−
ジフェニルキノキサリン、アセナフト(1,2−b)キ
ノキサリンなどのアクリジン系化合物;7−N、N−ジ
エチルアミノケトクマリン、3−ベンゾイル−7−シエ
チルアミノクマリン、3−ベンゾイル−7−メドキシク
マリン、3.3′−カルボニルビス(7−シエチルアミ
ノクマリン)などの米国特許第4,289.844号公
報に記載されたクマリン系化合物;チモールブルー、ブ
ロムチモールブルーブロムクレゾールグリーンなどのト
リフェニルメタン系化合物;2−メチル−3−ベンゼン
スルホニルオキシ−4(3H)−キナゾリノン、2−(
β−スチリル)−3−ベンゼンスルホニルオキシ−4(
3H)−キナゾリノン等のキナゾリノン系化合物などの
骨格を含む残基が挙げられる。上記増感剤骨格を2種以
上組み合わせて用いることもできる。
これらの増感剤骨格は、用いる光源の輝線にマツチング
した波長領域に吸収を有するものが好ましい。
上記カルボキシル基含有骨格及び増感剤骨格は連結基を
介して、又は介さずに、ポリマー主鎖と結合されている
。連結基としてはエーテル結合、アミド結合、エステル
結合、ウレタン結合、ウレイド結合又はそれらを含有す
る連結基である。なお、上記カルボン酸含有骨格及び増
感剤骨格の一部がポリマー主鎖に含まれていてもよい。
エーテル結合、アミド結合、エステル結合、ウレタン結
合、ウレイド結合を含有する連結基としては、下記一般
式(II)、(III)、(TV)、(V)で示される
ものが挙げられる。
−L−+R−L+r−R− (II) −L−+R−L→1−− (III) −R−+L−R+r−L−(IV) −R−←L−R→r−(V) ここで、Rはそれぞれ異っていてもよいアルキレン、ア
リーレン、アラルキレン、又は2価の複素環を表わし、
Lはそれぞれ異っていてもよいエーテル結合、アミド結
合、エステル結合、ウレタン結合、ウレイド結合を示す
、nはOあるいは1あるいは2である。
本発明に用いられるポリマーとしては、アクリル系樹脂
、ビニルアルコール系樹脂を含むビニル重合系樹脂、ポ
リウレタン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリビニルアセ
クール系樹脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ樹脂等が含
まれるが、これらに限定されたもので:′!ない。これ
らのポリマーのうち、合成上の見地からビニル重合系樹
脂が好ましい。
上記カルボキシル基含有骨格及び増感剤骨格をポリマー
に導入するには、ポリマーがビニル重合系樹脂の場合は
、例えば下記一般式(Vl)に示されるようなカルボキ
シル基含有骨格を有するモノマー、増感剤骨格及び重合
可能なエチレン性不飽和結合を有するモノマー、及び必
要に応じてこれらと共重合し得る他のモノマー(例えば
アクリル酸エステル、メタクリル酸エステルなど)を共
重合すればよい。
このように共重合させて得たポリマーは、ブロック体、
ランダム体、グラフト体等いずれであってもよい。
(式中、EはCH3あるいは水素原子を表わし、2は連
結基を表わす。連結基としては、アルキレン基、アリー
レン基、アラルキレン基、エーテル結合、アミド結合、
エステル結合、ウレタン結合又はこれらの基又:ま結合
を2以上含む基が含まれる。
X、 Y、 T、  j2及ヒkit各々、前記一般式
(I)に示されるものと同様である。) あるいは高分子反応を用いて、ビニル重合系樹脂ポリマ
ーにカルボキシル基含有骨格及び増感剤骨格を導入して
もよい。
上記増感剤骨格及び重合可能なエチレン性不飽和結合を
含むモノマーとしては下記構造式で示されるものが含ま
れる。
CH2=C−2−3 ! ここでEおよび2は一般式(VT)と同義であり、Sは
増感剤骨格を表わす。
具体的には以下のものが挙げられるが、これらに限定さ
れたものではない。
(S−3) CH2=CH す (S=4) C)Iff C)1.=c ■ (S−8) 上記必要に応じて共重合に用いられる他のモノマーとし
ては、例えばアクリル酸エステル類、アクリルアミド類
、メタクリル酸エステル類、メタクリルアミド類、アリ
ル化合物、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、スチ
レン類、クロトン酸エステル類などから選ばれる付加重
合性不飽和結合を1個有する化合物が挙げられる。具体
的には、例えばアクリル酸エステル類、例えばアルキル
(該アルキル基の炭素原子数は1〜10のものが好まし
い)アクリレート(例えばアクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、ア
クリル酸アミル、アクリル酸エチルヘキシル、アクリル
酸オクチル、アクリル酸−t−オクチル、クロルエチル
アクリレート、2.2−ジメチルヒドロキシプロピルア
クリレート、5−ヒドロキシペンチルアクリレート、ト
リメチロールプロパンモノアクリレート、ペンタエリス
リトールモノアクリレート、グリシジルアクリレート、
2−ヒドロキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレ
ート、メトキシベンジルアクリレート、フルフリルアク
リレート、テトラヒドロフルフリルアクリレートなど)
、アリールアクリレート(例えばフェニルアクリレート
など);メタクリル酸エステル類、例えば、アルキル(
該アルキル基の炭素原子数は1〜10のものが好ましい
)メタクリレート(例えばメチルメタクリレート、エチ
ルメタクリレート、プロピルメタクリレート、イソプロ
ピルメタクリレート、アミルメタクリレート、ヘキシル
メタクリレート、シクロへキシルメタクリレート、ベン
ジルメタクリレート、クロルベンジルメタクリレート、
オクチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルメタク
リレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、5−
ヒドロキシペンチルメタクリレート、2.2−ジメチル
−3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、トリメチロ
ールプロパンモノメタクリレート、ペンタエリスリトー
ルモノメタクリレート、グリシジルメタクリレート、フ
ルフリルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタ
クリレートなど)、アリールメタクリレート(例えば、
フェニルメタクリレート、タレジルメタクリレート、ナ
フチルメタクリレートなど);アクリルアミド類、例え
ばアクリルアミド、N−アルキルアクリルアミド(該ア
ルキル基としては、炭素原子数1〜lOのもの、例えば
メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、t−ブチ
ル基、ヘプチル基、オクチル基、シクロヘキシル基、ベ
ンジル基、ヒドロキシエチル基、ベンジル基などがある
。)、N−アリールアクリルアミド、p−ヒドロキシフ
ェニルアクリルアミド(該アリール基としては、例えば
フェニル基、トリル基、ニトロフェニル基、ナフチル基
、ヒドロキシフェニル基などがある。)、N。
N−ジアルキルアクリルアミド(該アルキル基としては
、炭素原子数1〜10のもの、例えばメチル基、エチル
基、ブチル基、イソブチル基、エチルヘキシル基、シク
ロヘキシル基などがある。)、N、N−アリールアクリ
ルアミド(該アリール基としては、例えばフェニル基な
どがある。)、N−メチル−N−フェニルアクリルアミ
ド、N−ヒドロキシエチル−N−メチルアクリルアミド
、N−2−アセトアミドエチル−N−アセチルアクリル
アミドなど;メタクリルアミド類、例えばメタクリルア
ミド、N−アルキルメタクリルアミド(該アルキル基と
しては、炭素原子数1〜10のもの、例えばメチル基、
エチル基、し−ブチル基、エチルヘキシル基、ヒドロキ
シエチル基、シクロヘキシル基などがある。)、N−ア
リールメタクリルアミド、p−ヒドロキシフェニルメタ
クリルアミド(核子り−ル基としては、フェニル基など
がある。)、N、N−ジアルキルメタクリルアミド(該
アルキル基としては、エチル基、プロピル基、ブチル基
などがある。)、N、N−ジアリールメタクリルアミド
(該アリール基としては、フェニル基などがある。)、
N−ヒドロキシエチル−N−メチルメタクリルアミド、
N−メチル−N−フェニルメタクリルアミド、N−エチ
ル−N−フェニルメタクリルアミドなど;アリル化合物
、例えばアリルエステル類(例えば酢酸アリル、カプロ
ン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パ
ルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリ
ル、アセト酢酸アリル、乳酸アリルなど)、アリルオキ
シエタノールなど;ビニルエーテル類、例えばアルキル
ビニルエーテル(例エバヘキシルビニルエーテル、オク
チルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘ
キシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル
、エトキシエチルビニルエーテル、クロルエチルビニル
エーテル、1−メチル−2,2−’;メチルプロピルビ
ニルエーテル、2−エチルブチルエーテル、ヒドロキシ
エチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエ
ーテル、ジメチルアミンエチルビニルエーテル、ジエチ
ルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビ
ニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロ
フルフリルビニルエーテルなど)、ビニルアリールエー
テル(例えばビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエ
ーテル、ビニルクロルフェニルエーテル、ビニル−2,
4−ジクロルフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテ
ル、ビニルアントラニルエーテルなど);ビニルエステ
ル類、例えばビニルブチレート、ビニルイソブチレート
、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテ
ート、ビニルバレート、ビニルカプロエート、ビニルク
ロルアセテート、ビニルジクロルアセテート、ビニルメ
トキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニル
フェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニル
ラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、ビニル
シクロへキシルカルボキシレート、安息香酸ビニル、サ
リチル酸ビニル、クロル安息香酸ビニル、テトラクロル
安息香酸ビニル、ナフトエ酸ビニルなど;スチレン類、
例えばスチレン、アルキルスチレン(例えばメチルスチ
レン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチル
スチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、
ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルス
チレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロルメ
チルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシ
メチルスチレン、アセトキシメチルスチレンなど)、ア
ルコキシスチレン(例えばメトキシスチレン、4−メト
キシ−3−メチルスチレン、ジメトキシスチレンなど)
、ハロゲンスチレン(例えばクロルスチレン、ジクロル
スチレン、トリクロルスチレン、テトラクロルスチレン
、ペンタクロルスチレン、ブロムスチレン、ジブロムス
チレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフル
オロスチレン、2−ブロム−4−トリフルオロメチルス
チレン、4−フルオロ−3−トリフルオロメチルスチレ
ンなど);クロトン酸エステル類、例えば、クロトン酸
アルキル(例えばクロトン酸ブチル、クロトン酸ヘキシ
ル、グリセリンモノクロトネートなど);イタコン酸ジ
アルキル類(例えばイタコン酸ジメチル、イタコン酸ジ
エチル、イタコン酸ジブチルなど);マレイン酸あるい
はフマール酸のジアルキル類(例えばジメチルマレエー
ト、ジブチルフマレートなど);アクロニトリル、メタ
クロニトリル等があるが、これらに限定されたものでは
ない。これらのモノマーを2種以上組み合わせて用いる
こともできる。
また、ポリマーがポリウレタン樹脂の場合は、例えば下
記一般式(■)に示されるようなカルボキシル基含有骨
格を有するジオール及び下記一般式(■)に示されるよ
うな増感剤骨格を含むジオールをジイソシアネートと反
応させることにより得ることができる。
(HOCHzCHz+T−N −Z−云Y←−X→CH
2す、 COOT(■) (式中、X、Y、T、f及びKは各々、前記一般式に示
されるものと同様である。Zは連結基を意味し、単結合
を含む。) (HOCH2CH2? N −Z −S      (
■)(式中、Zは連結基を意味し、単結合を含む。Sは
′増感剤骨格を意味する。) また、ポリマーがポリエステル樹脂の場合は、上記一般
式(■)に示されるようなジオール及び上記一般式(■
)に示されるようなジオールを両末端が酸クロライドと
なった化合物と反応させることにより得ることができる
本発明に用いられるポリマーの酸含量は6.0+eeq
/ g 〜0.01 +aeq/ gが好ましく、3.
Omeq/g 〜0.1 meq / gが特に好まし
い。0.01 meq/ gより低くなるにつれて、ア
ルカリ現像液による現像性が低下していき、他方、6.
 Omeq/ gよりも高くなるにつれて、皮膜強度、
支持体への接着力が低下するようになるからである。ま
た、これらの樹脂中のカルボン酸には光により脱炭酸し
ないものを付加的に含んでいてもよい。また、光により
脱炭酸するカルボン酸含有骨格が同一のポリマー中に2
種以上導入されていてもよい。
本発明に用いられるポリマーの分子量はゲルパーミェー
ションクロマトグラフィーより測定して重量平均分子量
で2000〜100万が適当であるが、好ましくは80
00〜20万である。8000よりも小さくなるにつれ
て、現像時に画像が傷つきやすくなり、20万より大き
くなると現像性が低下してい(からである。
更に上記ポリマーを2種以上使用したり、上記ポリマー
と、カルボキシル基含有骨格及び/又は増感剤骨格を有
しないポリマーとを混合して、使用してもよい。
この場合、他のポリマーを混合できる割合は全画像形成
層に対し95重量%以下である。他の樹脂の量が95重
量%よりも多くなるにつれて、本発明によるポリマーを
用いたことによる特長が減少するからである。混入され
るポリマーとしてはポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポ
リウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポ
リビニルアセクール樹脂等を挙げることができる。
−iに、本発明に用いられるポリマー中におけるカルボ
キシル基含有骨格の増感剤骨格に対するモル比は0.1
以上が好ましいが、特に0.5以上が好ましい。
また、ポリマーがビニル系重合樹脂の場合は、カルボキ
シル基含有骨格を有するモノマーはポリマー中に0.5
〜95モル%、増感剤骨格を有するモノマーはポリマー
中に0.5〜50モル%導入するのが好ましい。
また、本発明の画像形成層にはジアゾニウム化合物を添
加してもよい。本発明に用いられるジアゾニウム化合物
としては米国特許第3867147号記載のジアゾニウ
ム化合物、米国特許第2632703号明細書記載のジ
アゾニウム化合物などが挙げられるが、特に芳香族ジア
ゾニウム塩と活性なカルボニル基含有化合物(例えば、
ホルムアルデヒド)との縮合物で代表されるジアゾ樹脂
が有用である。
好ましいジアゾ樹脂には、例えばp−ジアゾジフェニル
アミンとホルムアルデヒド又はアセトアルデヒドの縮合
物のへキサフルオロリン酸塩、テトラフルオロホウ酸塩
、リン酸塩が含まれる。また、米国特許第330030
9号に記載されているようなp−ジアゾジフェニルアミ
ンとホルムアルデヒドとの縮合物のスルホン酸塩(例え
ば、p−トルエンスルホン酸塩、2−メトキシ−4−ヒ
ドロキシ−5−ベンゾイルベンゼンスルホン酸塩など)
ホスフィン酸塩(例えば、ベンゼンスルホン酸塩など)
、ヒドロキシ基含有化合物塩(例えば、24−ジヒドロ
キシベンゾフェノン塩など)、有機カルボン酸塩なども
好ましい。
更には特開昭58−27141号公報に示されているよ
うなジアゾ樹脂、特に3−メトキシ−4−ジアゾ−ジフ
ェニルアミンを4,4−ビス−メトキシ−メチル−ジフ
ェニルエーテルで縮合させメシチレンスルホン酸塩とし
たものなども適当である。
また特開平1−102457号、同1−254949号
、同2−66号、同2−29650号、同1−2452
46号の各公報に記載されたアルカリ可溶性基を有する
ジアゾニウム塩化合物であってもよい。
これらのジアゾニウム化合物の全画像形成層に対する添
加量は0.1〜50重量%が好ましく、より好ましくは
3〜15重量%である。1重量%より少ないと支持体と
の密着性が改良されず、一方、50重量%より多いと膜
質が悪化する。
さらに、本発明の画像形成層には染料を添加してもよい
。好適な染料としては、油溶性染料、例えば、C,1,
26105(オイルレッドRR)、C,1,21260
(オイルブルーレツト#30B)、C,1,74350
(オイルブルー)、C,1,52015(メチレンブル
ー)、C,1,42555(クリスタルバイオレット)
、C,1,42595(ビクトリアピュアブルー)など
が含まれる。
これらの染料の全画像形成層に対する添加量は0.01
〜20.0重量%が好ましい。
また、本発明の画像形成層には、特開昭64−3225
5号公報に記載の低分子増悪剤を添加してもよい。
更にまた、本発明の画像形成層にはエチレン性不飽和結
合を有する重合可能な化合物を添加してモヨイ。ここに
、エチレン性不飽和結合を有する重合可能な化合物とは
、その化学構造中に少なくとも1個のエチレン性不飽和
結合を有する化合物であって、モノマー、プレポリマー
、すなわち2量体、3量体および他のオリゴマーそれら
の混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態を
もつものである。それらの例としては不飽和カルボン酸
およびその塩、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコー
ル化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価
アミン化合物とのアミド等が挙げられる。
不飽和カルボン酸の具体例としては、アクリル酸、メタ
クリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、
マレイン酸などがある。
不飽和カルボン酸の塩としては、前述の酸のアルカリ金
属塩、たとえば、ナトリウム塩およびカリウム塩などが
ある。
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエ
ステルの具体例としてはアクリル酸エステルとして、エ
チレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコ
ールジアクリレート、1.3−ブタンジオールジアクリ
レート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プ
ロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリア
クリレート、1.4−シクロヘキサンジオールジアクリ
レート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ベ
ンクエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、
ジペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリト
ールへキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレー
ト、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペ
ンタアクリレート、ソルビトールへキサアクリレート、
ポリエステルアクリレートオリゴマー等がある。メタク
リル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジ
メタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレ
ート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ト
リメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリ
コールジメタクリレート、1.3−ブタンジオールジメ
タクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート
、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールジメタクリレート、ソルビトールトリア
クリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス
−(p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロ
ポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−(p−(メ
タクリルオキシエトキシ)フェニル]、ジメチルメタン
等がある。イタコン酸エステルとしては、エチレングリ
コールシイタコネート、プロピレングリコールシイタコ
ネート、1.3−ブタンジオールシイタコネート、1.
4−ブタンジオールシイタコネート、テトラメチレング
リコールシイタコネート、ペンタエリスリトールシイタ
コネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。
クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジク
ロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート
、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトール
テトラクロトネート等がある。イソクロトン酸エステル
としては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペ
ンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトール
テトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステル
としては、エチレングリコールシマレート、トリエチレ
ングリコールシマレート、ペンタエリスリトールシマレ
ート、ソルビトールテトラマレート等がある。
さらに、前述のエステルの混合物も挙げることができる
脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミド
の具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メ
チレンビス−メタクリルアミド、1.6−へキサメチレ
ンビス−アクリルアミド、1.6−へキサメチレンビス
−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアク
リルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレ
ンビスメタクリルアミド等がある。
その他の例としては、特公昭4B−41708号公報中
に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基
を有するポリイソシアネート化合物に、下記の一般式(
IX)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付
加せしめた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有
するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
C12−C(R)COOCHICH(R’)01((I
X)(ただし、RおよびR′はHあるいはCH,を示す
。)これらエチレン性不飽和結合を有する重合可能な化
合物の全画像形成層に対する添加量は1〜80重量%が
好ましく、より好ましくは5〜60重量%である。
以上の他に、本発明の感光性組成物には必要に応じて、
顔料、安定剤、充てん剤、界面活性剤、可塑剤、汚れ防
止剤、感脂化剤などを添加して性能の改良を図ることも
できる。
本発明の画像形成層は通常、溶剤に溶解した後、適当な
支持体に塗布し、乾燥して使用される。その塗布量は乾
燥重量で約0.01〜500 g/m2、好ましくは0
.1〜200g/m”である。
かかる’41NIとしては、例えばメタノール、エタノ
ール、イソプロパツール、n−ブタノール、t−ブタノ
ール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノー
ル、2−メトキシエチルアセテート、エチレングリコー
ル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメチルスルホ
キシド、N、N−ジメチルホルムアミド、アセトン、メ
チルエチルケトン、1−メトキシ−2−プロパツール、
2−メトキシ−1−プロパツール、1−メトキシ−2−
アセトキシプロパン、2−メトキシ−1−アセトキシプ
ロパン、酢酸エチル、酢酸メチル、トルエン、キシレン
など及びこれらの混合物が使用される。
本発明の画像形成層が塗布される支持体としては、例え
ば、紙、プラスチツクス(例えばポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ポリスチレンなど)がラミネートされた紙、
例えばアルミニウム(アルミニウム合金も含む。)、亜
鉛、銅などのような金属の板、例えば二酢酸セルロース
、三酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース、酪酸セ
ルロース、酢酸酪酸セルロース、硝酸セルロース、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン
、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリビニルアセ
タールなどのようなプラスチックのフィルム、上記の如
き金属がラミネート、もしくは蒸着された紙もしくはプ
ラスチックフィルムなどが含まれる。これらの支持体の
うち印刷版として用いる場合、アルミニウム板は寸度的
に著しく安定であり、しかも安価であるので特に好まし
い。
更に、特公昭4B−18327号公報に記されているよ
うなポリエチレンテレフタレートフィルム上にアルミニ
ウムシートが結合された複合体シートも好ましい。
金属、特にアルミニウムの表面を有する支持体の場合に
は、電解グレイン処理、複合グレイン処理、砂目立て処
理、珪酸ソーダ、弗化ジルコニウム酸カリウム、リン酸
塩等が水溶液への浸漬処理、あるいは陽極酸化処理など
の表面処理がなされていることが好ましい。好ましい陽
極酸化処理には、英国特許第1412,768号明細書
に記載されている硫酸中で高電流密度で陽極酸化する方
法および米国特許筒3,51L661号明細書に記載さ
れている燐酸を電解浴として陽極酸化する方法、特公昭
4643124号、特開昭52−103208号や、同
55−28400号の各公報に記載されているような燐
酸と硫酸の混酸中で陽極酸化する方法が含まれる。また
、砂目立てしたのちに珪酸ナトリウム水溶液に浸漬処理
されたアルミニウム板、特公昭47−5125号公報に
記載されているようにアルミニウム板を陽極酸化処理し
たのちに、アルカリ金属球°酸塩の水溶液に浸漬処理し
たものも好適に使用される。上記陽極酸化処理は、例え
ば、りん酸、クロム酸、硫酸、硼酸等の無機酸、若しく
は、蓚酸、スルファミン酸等の有機酸またはこれらの塩
の水溶液又は非水溶液の単独又は二種以上を組み合わせ
た電解液中でアルミニウム板を陽極として電流を流すこ
とにより実施される。
また砂重量て処理、陽極酸化後、封孔処理を施したもの
も好ましい。かかる封孔処理は珪酸ナトリウム水溶液、
ポリビニルホスホン酸水溶液、熱水及び無機塩又は有機
塩を含む熱水溶液への浸漬並びに水蒸気浴などによって
行われる。
また、米国特許第3,658,662号明細書に記載さ
れているようなシリケート電着も有効である。
支持体上に塗布された本発明の画像形成層は線画像、網
点画像等を有する透明原画を通して露光し、次いで水性
現像液で現像することにより、原画に対してネガのレリ
ーフ像を与える。
露光に使用される光源としてはカーボンアーク灯、水銀
灯、キセノンランプ、タングステンランプ、メタルハラ
イドランプ、アルゴンレーザーなどがあるが、それらに
限られない。
本発明に係る画像形成層の現像処理に用いられる現像液
は公知のいずれであっても良いが、好ましくは以下のも
のがよい。すなわち、本発明に係る画像形成層を現像す
る現像液は、少なくとも1種のアルカリ剤と、水とを必
須成分として含有する。
現像液中に必須成分として含有されるアルカリ剤として
は、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化カリウム、
水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、第二又は第三リン
酸のナトリウム又はアンモニウム塩、メタ珪酸ナトリウ
ム、炭酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ剤、
モノ、ジ、又はトリメチルアミン、モノ、ジ又はトリエ
チルアミン、モノ、ジ又はトリイソプロピルアミン、n
 −ブチルアミン、モノ、ジ又はトリエタノールアミン
、モノ、ジ又はトリイソプロパツールアミン、エチレン
イミン、エチレンジイミン等の有機アミン化合物等が挙
げられる。
これらアルカリ剤の現像液中における含有量は0.05
〜10重量%で、好ましくは0.5〜5重量%である。
0.05重量%より少ないと現像が不良となり、10重
量%を超えると現像時に画像が傷つきやすくなる。
本発明に係わる画像形成層を現像する現像液は、必要に
応して、特定の有機溶媒を含有していてもよい。
このような有機溶媒としては、現像液中に含有せしめた
とき上述の画像形成層の非露光部(非画像部)を溶解ま
たは膨潤することができ、しかも常温(20”C)にお
いて水に対する溶解度が10重量%以下の有機溶媒をい
う。このような有機溶媒としてはこのような特性を有す
るものでありさえすればなんでもよ(、次のものが挙げ
られるがこれらに限定されるものではない。即ち、例示
するならば、例えば酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブ
チル、酢酸アミル、酢酸ベンジル、エチレングリコール
モノブチルアセテート、乳酸ブチル、レブリン酸ブチル
のようなカルボン酸エステル;エチルブチルケトン、メ
チルイソブチルケトン、シクロヘキサノンのようなケト
ン類;エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレ
ングリコールヘンシルエーテル、エチレングリコールモ
ノフェニルエーテル、ベンジルアルコール、メチルフェ
ニルカルビノール、n−アミルアルコール、メチルアミ
ルアルコールのようなアルコール類;キシレンのような
アルキル置換芳香族炭化水素;メチレンジクロライド、
エチレンジクロライド、モノクロルベンゼンのようなハ
ロゲン化炭化水素などがある。これら有機溶媒は一種以
上用いてもよく、二種以上組み合わせて用いてもよい。
これら有機溶媒の中では、エチレングリコールモノフェ
ニルエーテルとベンジルアルコール力特に有効である。
また、これら有機溶媒の現像液中における含有量は、概
ね0〜20重量%であり、特に2〜10重量%のときよ
り好ましい結果を得る。
また、本発明に係わる画像形成層を現像する現像液は、
必要に応じて水溶性亜硫酸塩を含有しても良い。このよ
うな水溶性亜硫酸塩としては、亜硫酸のアルカリ又はア
ルカリ土類金属塩が好ましく、例えば亜硫酸ナトリウム
、亜硫酸カリウム、亜硫酸リチウム、亜硫酸マグネシウ
ムなどがある。
これらの亜硫酸塩の現像液組成物における含有量は0〜
4重量%で、好ましくは0.1〜1重量%である。
また、上記水溶性亜硫酸塩の代わりにアルカリ可溶性ピ
ラゾロン化合物、アルカリ可溶性チオール化合物、又は
メチルレゾルシン等のようなヒドロキシ芳香族化合物を
含有させてもよい。勿論、これらの化合物と水溶性亜硫
酸塩を併用することもできる。
上述の有機溶媒の水への溶解を助けるために一定の可溶
化剤を含有させることもできる。このような可溶化剤と
しては、本発明所定の効果を実現するため、用いる有機
溶媒より水易溶性で、低分子のアルコール、ケトン類を
用いるのがよい。
また、アニオン活性剤、両性活性側等も用いる事が出来
る。このようなアルコール、ケトン類としては、例えば
メタノール、エタノール、プロパツール、ブタノール、
アセトン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモ
ノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエー
テル、メトキシブタノール、エトキシブタノール、4−
メトキシ−4−メチルブタノール、N−メチルピロリド
ンなどを用いることが好ましい。また、活性剤としては
、例えばイソプロピルナフタレンスルホン酸ナトリウム
、n−ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、N−メ
チル−N−ペンタデシルアミノ酢酸ナトリウム、ラウリ
ルサルフェートナトリウム塩等が好ましい。これらアル
コール、ケトン等の可溶化剤の使用量は、一般に現像液
全体に対し約30重量%以下とすることが好ましい。
本発明の画像形成層は主には印刷版及びレジスト材料と
して用いられる。
〔発明の効果〕
本発明の画像形成層は高悪魔であり、かつ現像時に画像
部が傷つきにくい。
次に実施例により本発明を説明するが、本発明はこれら
に限定されるものではない。なお、実施例中の%は特に
指定のない限り重量%を意味する。
合成例 表1に示す各七ツマ−をテトラヒドロフラン(THF)
に溶解しくモノマー1molに対しTHF300IIl
l)、窒素気流下65°Cに昇温した。次に・アゾビス
イソブチロニトリルを加え撹拌を行った。(モノマー1
+++olに対しアゾビスイソブチロニトリルIg)。
10時間撹拌後、重合液を101の水に投入してポリマ
ーを析出させた。析出したポリマーをろ過した後乾燥し
た。
実施例1〜13 下記の感光液を調製し、ロッドコーターで25μ厚のポ
リエチレンテレフタレートフィルムに乾燥膜厚が10μ
になるように塗布して、80’Cのオーブン中で2分間
乾燥した。
玉友沃 2−メトキシエタノール     5gこうして得られ
た画像形成層を、富士写真フィルム■製ステップウェッ
ジを通して富士写真フィルム■製PSライトで1mの距
離から5分間画像露光し、次に示す現像液にて室温で1
分間浸漬した後、脱脂綿で軽くこすりながら水洗し、未
露光部を除去し、明るい黄色の画像を得た。
咀諏員 炭酸ナトリウム         5g2−メトキシエ
タノール     5g水 000g 結果を表2に示す。
比較例1.2 ポリマーNo、 14.15を含む下記の感光液を用い
たことを除いては、実施例1〜13と同様にして明るい
黄色の画像を得た。
感光液 フェナジン           0.1g2−メトキ
シエタノール     5g結果を表2に示す。
表 表2かられかるように、 本発明の画像は比較例 の画像に比べて感度がよく、 かつ現像時に画像が 傷つきにくい。
実施例14〜26 厚さ0.24 mmのアルミニウム板をナイロンブラシ
と400メツシユのパミストンの水性懸濁液を用いてそ
の表面を砂目室てした後、よく水で洗浄した。これを1
0%水酸化ナトリウム水溶液に70°Cで60秒間浸漬
してエツチングした後、流水で水洗後20%硝酸水溶液
で中和洗浄後、特開昭53−67507号公報記載の電
気化学的粗面化法、即ち、VA=12.7V、V、=9
.IV(7)正弦波交番波形電流を用い、1%硫酸水溶
液中で160クローン/ dm :lの陽極特電気量で
電解粗面化処理を行った。引き続き、30%の硫酸水溶
液中に浸漬し55°Cで2分間デスマットした後、7%
硫酸水溶液中で厚さが2.0g/m”になるように陽極
酸化処理を行った。その後70°Cの珪酸ナトリウムの
3%水溶液に1分間浸漬処理し、水洗、乾燥した。
以上のようにして得られたアルミニウム板に、次に示す
感光液をホイラーを用いて塗布し、80°Cで2分間乾
燥した。乾燥重量は2.0g/m2であった。
感光液 2−メトキシエタノール     8.5gこうして得
られた感光性平版印刷原版を富士写真フィルム■製PS
ライトで1mの距離からステップウェッジを通して10
分間画像露光し、次に示す現像液にて室温で1分間浸漬
した後、脱脂綿でこすりながら水洗し、未露光部を除去
し、明るい青色の画像の平版印刷版を得た。
−里復瓜−1 亜硫酸ナトリウム         5gベンジルアル
コール       30g炭酸ナトリウム     
      5g水                
   1000g結果を表3に示す。
比較例3.4 ポリマーN014.15を含む下記の感光液を用いたこ
とを除いては、実施例14〜26と同様にして明るい青
色の画像の平版印刷版を得た。
感光液 フェナジン 2−メトキシエタノール 結果を表3に示す。
0.2g 8.5g 表 表3かられかるように、 本発明の画像の平版印 刷版は、 比較例の画像の平版印刷版に比べて感度がよく、かつ現
像時に画像が傷つきにくい。
実施例27〜39 厚さ0.24−のアルミニウム板をナイロンブラシと4
00メツシユのパミストンの水性懸濁液を用いてその表
面を砂目室てした後、よく水で洗浄した。これを10%
水酸化ナトリウム水溶液に70°Cで60秒間浸漬して
エツチングした後、流水で水洗後20%硝酸水溶液で中
和洗浄後、特開昭53−67507号公報記載の電気化
学的粗面化法、即ち、VA=12.7V、■ゎ=9.1
■の正弦波交番波形電流を用い、1%硫酸水溶液中で1
60クローン/dIIlコの陽極特電気量で電解粗面化
処理を行った。引き続き30%の硫酸水溶液中に浸漬し
、55°Cで2分間デスマットした後、7%硫酸水溶液
中で厚さが2.0g/m2になるように陽極酸化処理を
行った。その後、70″Cの珪酸ナトリウムの3%水溶
液に1分間浸漬処理し、水洗、乾燥した。以上のように
して得られたアルミニウム板に次に示す感光液をホイラ
ーを用いて塗布し、80°Cで2分間乾燥した。乾燥重
量は2.0 g 7m”であった。
悠友戒 ポリマーNo、 1〜13の THF25 %?容液               
  2.0gビクトリアピュアブルー BOH0,018g テトラヒドロフラン       10g4−ジアゾジ
フェニルアミンと ホルマリンの縮合物のPF、塩    0.05 gこ
うして得られた感光性平版印刷原版を富士写真フィルム
■製PSライトで1mの距離からステップウェッジを通
して5分間画像露光し、次に示す現像液にて室温で1分
間浸漬した後、脱脂綿でこすりながら水洗し、未露光部
を除去し、明るい青色の画像の平版印刷版を得た。
一里鬼柩一 亜硫酸ナトリウム          5gベンジルア
ルコール       30g炭酸ナトリウム    
       5g水 000g 結果を表4に示す。
比較例5.6 ボリマーNo、 14.15を含む下記の感光液を用い
たことを除いては、実施例27〜39と同様にして明る
い青色の画像の平版印刷版を得た。
感光液 フェナジン テトラヒドロフラン 結果を表4に示す。
表 表4かられかるように、 本発明の画像の平版印 刷版は、 比較例の画像の平版印刷版に比べて感度がよく、かつ現
像時に画像が傷つきにくい。
実施例40〜52 表1に記載のポリマーNo、 1〜13を含み、他の要
素は同一の下記感光液を調製し、ロッドコーターで、2
5μ厚のポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥膜
厚が約50μになるように塗布し、100°Cのオーブ
ン中で5分間乾燥した。
2.4−ジメチルチオキサントン  0.3gP−ジメ
チルアミノ安息香酸エチル 0.33gトリブロモメチ
ルフェニルスルホン 0.4gロイコメチルバイオレッ ト 0.08 メチルセロソルブ        10g整面し、乾燥
した銅張積層板上に、上記塗膜面が銅表面に接触するよ
うに、A24型ラミネーター (Du Pont社製)
を用いて120°Cでラミネートした。配線パターン(
導体パターン(線幅100μ)が不透明背景上に透明部
分として現れている高コントラスト透明体画像)を通し
て露光した(2KW超高圧水銀灯ニジエツトライト(オ
ーク■製)を使用)。ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを剥ぎ取り、40°Cの1重量%炭酸ナトリウム水
溶液を1.51Cg/ctllで60秒間スプレーする
ことにより未露光部を除去した。得られるレジスト像の
画像の形成状況を観察した。
結果を表5に示す。
比較例7.8 ポリーマーNo、14.15を含む下記の感光液を用い
たことを除いては、実施例40〜52と同様にしてレジ
スト像の画像を得た。
感光液 24−ジメチルチオキサントン  0.3gP−ジメチ
ルアミノ安息香酸エチル 0.33 gトリブロモメチ
ルフェニルスルホン 0.4gロイコメチルハ゛イオレ
ット 0、08 g フェナジン メチルセロソルブ 結果を表5に示す。
g 0g 表 表5かられかるように、 本発明のレジスト画像 の譬は、 比較例のレジスト画像の質より優れている。
実施例53〜65 表1記載のポリマーNo、 1〜13を用いた下記感光
液を0.2μmのミクロフィルターを用いて濾過し、フ
ォトレジスト組成物を調製した。このフォトレジスト組
成物をスピンナーを用いてシリコンウェハーに塗布し、
窒素雰囲気下に対流オーブンで90°C130分間乾燥
して膜厚1.5μmのレジスト膜を得た。この膜に縮小
投影露光装置を用いて露光した後、下記現像液で1分間
現像し、30秒間水洗して乾燥した。
玉友鬼 ポリマーN01〜13        5g乳酸エチル
           15g反i截 ベンジルアルコール       15g炭酸ナトリウ
ム           5gイソプロピルナフタレン スルホン酸ナトリウム       12g水    
              1000gこの結果、得
られたすべてのレジスト画像の質は良好であった。
比較例9.10 ポリマーN014.15を含む下記の感光液を用いたこ
とを除いては、実施例53〜65と同様にしてレジスト
画像を得た。
感光液 ポリマー14.15        5gフェナジン 
           0.1g乳酸エチル     
      15gこの結果得られた画像の質は悪がっ
た。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 下記一般式( I )で示されるカルボキシル基を有する
    構成成分及び320nm以上にUV吸収を有する構成成
    分を含むポリマーを含む画像形成層。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (式中、Xはイオウ、酸素、単結合、C=WあるいはN
    −Uを意味し、Wは酸素、イオウを意味し、Uは置換基
    を有してもよいアリール基、アルキル基、水素原子を意
    味し、Yは置換基を有してもよいアルキレン、アリーレ
    ン、アラルキレン、2価の複素環を意味し、Tは水素原
    子、アルカリ金属、アルカリ土類金属、▲数式、化学式
    、表等があります▼を表わす。 (ここで、R^1、R^2、R^3はそれぞれ同一であ
    っても異なっていてもよく、水素原子、置換基を有して
    もよいアルキル基、アリール基を意味する。 またR^1、R^2、R^3は連結し環を形成していて
    もよい。)、Kは0あるいは1であり、lは0あるいは
    1であり、K=0のときXはC=Wである。)。
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