JPH04194737A

JPH04194737A - 基板表面異物検査装置

Info

Publication number: JPH04194737A
Application number: JP32297890A
Authority: JP
Inventors: Yukio Uto; 幸雄宇都
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-11-28
Filing date: 1990-11-28
Publication date: 1992-07-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野］本発明は、フレキシブルなプリント基板表面の異物を検
査する基板表面異物検査装置に関する。

［従来の技術１プリント基板の配線パターンの製造において、フォトマ
スクに形成された回路パターンを、エポキシの両面に銅
箔とレジスト材がサンドイッチ構造となっている薄厚で
フレキシブルな基板表面に露光装置を用いて、両者を密
着、又は、わずかな間隙を設けて露光転写する際、フォ
トマスクや基板表面にある大きさ以上の異物が存在する
と、フォトマスクパターンへの損傷や基板に形成する回
路パターンに短絡、断線等の欠陥が生じる。

このため、フォトマスクのパターン表面、基板の両面は
露光前に異物の検査が必要となる。半導体製造において
も同様な理由により、露光前にフォトマスクやウェハ上
の異物検査が実施されているが、半導体製造で用いてい
るシリコンウェハは、剛性のある平坦なものであり、パ
ターンの焼付け（門片面のみ行われるので異物検査も片
面のみ行われる。

一方、プリント基板は基板の両面にそれぞれ形状の異な
ったパターンを焼付ける。基板は薄板でフレキシブルで
あるため、異物検査の際は基板を、例えば、真空吸着テ
ーブル表面になられせて平坦化し、固定する方式が考え
られる。同様の方式として、フレキシブルプリント基板
のパターン検査で提案されている。これには、例えば特
開平２−８７３１号公報が挙げられる。

［発明が解決しようとする課題］しかし、対象としているフレキシブル基板は、露光に先
立って両面の異物検査を行う必要があり、従来の真空吸
着テーブルの表面にフレキシブル基板をなられせて平坦
化し、固定する方式では、テーブルと基板表面が接触す
るため、テーブル表面に塵埃等が存在している場合、異
物検査を終えた基板表面と異物が接触する点について考
慮されておらず、異物が基板に再付着する問題があった
。

本発明の目的は、基板の検査終了面に異物か再付着しな
い構造の平坦化ステージを備えたフレキシブルな基板表
面の異物検査装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するために、薄板のフレキシブル基板の
外周部四辺について、対向する辺の端部を挾んで引張り
、更に、基板表面の異物検査部（測定部分）で、基板の
裏面に複数の微小噴出口を基板の引張り方向と直角方向
に等ピッチで配列したノズルを基板の裏面と噴出口が微
小間隙で平行になる様に設置し、ノズルの噴出口からの
エアー圧力により、基板裏面とノズルの噴出口の間隙を
非接触で一定に保つ様にした。

また、前記基板裏面に配置したノズルを異物検査の測定
位置と同期して移動可能にした。

［作用１薄板基板の引張り機構とエアーノズルによる薄板基板の
平坦化において、薄板基板の対向する端部を挾んで固定
し、基板の対向する端部方向に自在に平行移動可能な引
張り機構で基板を一定方向に引張って基板の自重による
たわみ量を安定させる。更に、薄板基板の裏面より複数
の微小噴出口を基板の引張り方向と垂直方向に等ピッチ
で配列したノズルを、薄板基板の裏面に対して平行に保
ち、ノズルの微小噴出口から吹き出すエアーの圧力を適
正圧にすることによって、薄板基板裏面とノズル上面（
噴出口）を均一な微小間隙が得られ薄板基板表面の異物
検査部は平坦化される。

また、異物検出手段とノズルを連結して薄板基板の引張
り方向と同方向に同期して移動することにより、薄板基
板表面の異物検査部を常時平坦化状態で、薄板基板表面
・裏面全面の異物検査が８来る。

［実施例］以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。まず
、全体構成を説明する。披検査物であるフレキシブルな
基板ｌは、引張り機構２の上に基板ｌの端部を載置し、
クランプ機構３でＸ方向に対向する基板ｌの端部を引張
り機構２に固定し、Ｘ方向に対向する基板ｌの端部はＸ
方向の対向する端部と同一平面を保持したまま、引張り
機構２の基板搭載面に搭載される（この時、基板ｌのＸ
方向の対向する端部は引張り機構２には固定されない）
。

引張り機構２はＸ方向に対向する二端部のうち、一方は
固定であり、他方は直線スライド機構４により、Ｘ方向
に平行移動が可能な移動ステー５を備え、移動ステー５
は、引張り機構２の上に固定しているアクチュエータ６
によりＸ方向に移動する。

異物検査部７は、Ｚステージ８上に設置し、Ｚステージ
８はＹステージ９に載置しており、Ｘ方向の送りねじ１
０とＹモータ１２によってＸ方向に移動可能となってい
る。Ｙステージ９は、ＸステージＩ４上に設置しており
、Ｘ方向の送りねじ１５とＸモータ１６によってＸ方向
に移動する。従って、異物検査部７はＸステージ１４と
Ｙステージ９の両ステージの移動によって、基板１の全
表面を矩形状に走査する。また、基板１の裏面の下方に
は複数の微小噴出口をＹ方向に等間隔で、直線状に設け
たノズル機構１３をもち、間隙調整ステージ２１を介し
てＸステージ１４上に設置しており、入方向に移動する
構造となっている。

第２図にノズル機構１３の詳細断面を示す。ノズル機構
１３のエアー噴出口を形成する表面は、なたらかな円弧
形状をしており、複数の噴出口１７は円周方向に等間隔
で、円弧の中心より放射状に形成している。また、ノズ
ル機構１３の断面は中空形状となっており、ミクロなフ
ィルタを通過してクリーン化された圧縮エアー１８ｂは
、微小噴出口１７のいずれからも均一な圧力、流量で噴
出する。

次に、第３図を用いて、本実施例における動作を説明す
る。まず、被検査物である薄厚でフレキシブルな基板１
を引張り機構２に搭載し、基板ｌのＸ方向の対向する端
部をクランプ機構３に設けたクランプ部１９で基板ｌを
引張り機構２の基板の搭載面２０に挾んで固定し、移動
ステー５をアクチュエータ６でＸ方向にわずかに引張り
基板ｌに張力を与え、−次的に保持する。基板ｌを引張
る張カシま同様の材質の基板ｌに対しては一定とするが
、基板ｌの端部の摩擦係数の変化に対応するため、基板
１を引張る時はクランプ部１９で基板１がスリップしな
い程度の張力を掛ける。アクチュエータ６には、このた
めの張力と基板１の伸びを測定する手段（図示せず）を
備えており、基板１の引張り時の伸びを検知しながら張
力が一定になる様に制御するが、基板ｌの板厚や材質が
変化した場合は張力条件をその都度変化することは言う
までもない。

ノズル機構１３は間隙調整ステージ２１の作動によって
、２方向の異物検査部７に近づく方向に上昇し、ノズル
機構１３の円弧部分の頂点と基板１の裏面が所定の間隙
になる様にする。この時、圧縮エアー１８ｂは、ノズル
機構１３に設けた全ての噴出口１７より噴出し、同時に
ノズル機構１３は基板１の裏面に近接するが、実際の手
法はノズル機構１３の噴出口１７より噴出する圧縮エア
ー１８ｂの圧力又は流量が、あらかじめ設定しである値
になる様に圧縮エアー１８ａを圧力計、又は、流量計等
を用いて検知して制御を行う。ここで、間隙調整ステー
ジ２１に設置している上限センサ２２は、ノズル機構１
３の円弧部分の頂点か、引張り機構２の基板の搭載面よ
りＸ方向に突畠しない様に検知し、下限センサ２３は基
板ｌの取外し交換の際、ノズル機構１３が最下降位置に
あることを検知するものである。

基板ｌが引張り機構２及びノズル機構１３の噴出口１７
より噴出する圧縮エアー１８ｂによって、平坦化の状態
になると、異物検査部７は基板ｌの検査位置表面が異物
検出部の合焦点位置になる所まてＺステージ８の駆動に
より下降し、合焦点位置に達した後、検査を開始する。

検査の間、ノズル機構１３は圧縮エアー１８ａの圧力、
又は、流量が一定になる様に制御され、異物検出部７も
被検査物の基板１の検査表面が常に検出部の合焦点位置
となる様にＸ方向に自動制御される。

検査が終了すると、ノズル機構１３は圧縮エアー１８ｂ
＠噴出した状態で下限センサ２３が検知する位置まで下
降する。基板１の表裏面を反転し、基板ｌの裏面を検査
する場合も、以上述べた手順で検査開始から終了まで同
様に行われる。

第４図は本実施例でのノズル機構１３の形状を示し、微
小噴出口１７が、Ｘ、Ｙ方向に等間隔で直線状に配置し
ているものであるが、他の例として、第５図に示す、微
小噴出口Ｉ７を直線状に配置する代りに、スリット状の
溝を形成した構造も考えられる。また、本実施例では基
板１を水平に設置しているが、他の実施例として第６図
に示す、基板１を縦形に設置することも可能である。こ
の場合、基板の自重によるたわみを軽減できるが、ステ
ージ走査部に重力の負荷がかかる。

［発明の効果］本発明によれば、フレキシブルな薄板で容易に平坦化す
ることが出来ない被検査物基板でも、検査位置のみを局
部的に安定して平坦化できるため、従来の真空吸着テー
ブルに基板をなられせて平坦化する方式でのテーブル表
面に存在する異物が基板に再付着するという問題を解消
できる。

また、異物検査部分と、被検査物基板の検査位置を平坦
化するためのノズル機構を連結し、同期して移動が行え
るので、被検査物基板全面にわたっての検査が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図はノズ
ル機構の断面図、第３図は本実施例の動作説明図、第４
図は本実施例のノズル機構の形状を示す斜視図、第５図
はノズル機構の他の実施例を示す斜視図、第６図は他の
実施例での断面図である。ｌ・・・基板、２・・・引張り機構、３・・・クランプ
機構、４・・・直線スライド機構、５・・・移動ステー
、６・・・アクチュエータ、７・・・異物検査部、１３
・・・ノズル機構、１７・・・噴出口、２１・・・間隙
調整ステージ。躬　１　ロアＹぐ／Ｘ躬　２　国閉　３国筋　４閉ｌ々第　Ｓ口

Claims

【特許請求の範囲】１、フレキシブルな薄板基板の表面の異物検査において
、前記薄板基板の平坦化の際、平坦化手段からの前記薄
板基板表面への異物の再付着を防ぐため、前記薄板基板
の外周の対向する端部を挾んで引張る機構と、前記薄板
基板の表面の異物検査部で、前記薄板基板の裏面に複数
の微小噴出口を前記薄板基板の引張り方向と直角方向に
等ピッチで配列したノズルを前記薄板基板の裏面と噴出
口が微小間隙で平行になる様に配置し、前記ノズルの噴
出口からのエアー圧力により、前記薄板基板の裏面と前
記ノズルの噴出口の間隙を非接触で一定に保つことによ
り、平坦化する機構を備えたことを特徴とする基板表面
異物検査装置。２、請求項１において、前記薄板基板の裏面に配置した
ノズルは前記薄板基板表面の異物検査の測定位置と同期
して移動する様にした基板表面異物検査装置。