JPH04191576A - 高圧流体用ダイアフラムシール弁 - Google Patents
高圧流体用ダイアフラムシール弁Info
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- JPH04191576A JPH04191576A JP31655290A JP31655290A JPH04191576A JP H04191576 A JPH04191576 A JP H04191576A JP 31655290 A JP31655290 A JP 31655290A JP 31655290 A JP31655290 A JP 31655290A JP H04191576 A JPH04191576 A JP H04191576A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 48
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- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 4
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- Diaphragms And Bellows (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は金属製ダイアフラムシール弁に関し、特に高圧
流体配管に用いるのに適した金属製ダイアフラムシール
弁のダイアフラムに関する。
流体配管に用いるのに適した金属製ダイアフラムシール
弁のダイアフラムに関する。
[従来の技術]
従来のダイアフラムシール弁は、例えば実開昭62−1
70881号公報に開示されており、これを第2図に断
面図で示す。
70881号公報に開示されており、これを第2図に断
面図で示す。
このダイアフラムシー・ル弁は弁本体100とダイアフ
ラム110とフタ120と弁棒130とピストン140
とシリンダー150とコイルバネ160 、!からなっ
ている。
ラム110とフタ120と弁棒130とピストン140
とシリンダー150とコイルバネ160 、!からなっ
ている。
弁本体100は流入口+01 、上向流路102、上部
凹部103、下向流路104、および流出口105を流
体の流れに沿ったこの順序で有している。ダイアフラム
110は金属製の、例えばステンレス鋼の薄板で弁本体
100の上部凹部103内に固定される。そしてダイア
フラム110はほぼ同形のもの複数枚、例え□ ば3〜
7枚を重ね合わせたものである。
凹部103、下向流路104、および流出口105を流
体の流れに沿ったこの順序で有している。ダイアフラム
110は金属製の、例えばステンレス鋼の薄板で弁本体
100の上部凹部103内に固定される。そしてダイア
フラム110はほぼ同形のもの複数枚、例え□ ば3〜
7枚を重ね合わせたものである。
フタ120は弁本体100の上部凹部103を覆いかぶ
さるようにそれに固定される。フタ120を弁本体+0
0に固定するとき、ダイアフラム110も同時に固定す
るがこのとき、上部凹部103の側面に形成した断差止
面と押えリング170の下面とでダイアフラム110を
挟着し、さらに押えリング170をフタ120の下面で
押さえつける。
さるようにそれに固定される。フタ120を弁本体+0
0に固定するとき、ダイアフラム110も同時に固定す
るがこのとき、上部凹部103の側面に形成した断差止
面と押えリング170の下面とでダイアフラム110を
挟着し、さらに押えリング170をフタ120の下面で
押さえつける。
弁棒130はフタ120の中央にあいた開口を貫通し、
この下端面がダイアフラム110の中央部、上面に接し
ている。また弁棒130はフタ120の上面より突出し
、この突出した弁棒・130の上部にピストン140が
固定されている。そしてピストン+40とフタ120と
の間にコイルバネ160が設けて、ある。
この下端面がダイアフラム110の中央部、上面に接し
ている。また弁棒130はフタ120の上面より突出し
、この突出した弁棒・130の上部にピストン140が
固定されている。そしてピストン+40とフタ120と
の間にコイルバネ160が設けて、ある。
シリンダー150は一端がメクラの筒状でこの筒状他端
部の内周面とフタ120の外周側面とが接するようにし
てそれらを固定する。シリンダー150の上部には空気
口15+がおいている。
部の内周面とフタ120の外周側面とが接するようにし
てそれらを固定する。シリンダー150の上部には空気
口15+がおいている。
次に以上説明した従来のダイアフラムシール弁の開閉動
作について説明する。まずこのダイアフラムシール弁は
ノーマルオープン型で通常時には開である。そして第2
図はその開の状態を示している。
作について説明する。まずこのダイアフラムシール弁は
ノーマルオープン型で通常時には開である。そして第2
図はその開の状態を示している。
第1にこのダイアフラムシール弁のシリンダー+50の
空気口151より、シリンダー150内圧縮空気を送入
するとピストン140が下がり、これに固定した弁棒1
30が下がる。
空気口151より、シリンダー150内圧縮空気を送入
するとピストン140が下がり、これに固定した弁棒1
30が下がる。
第2に、弁棒130が下がるとこの下端面に接している
ダイアフラム110の中央部が下がり、弁本体100、
上部凹部103の上向流路102まわりに固定した弁座
に当接して、このダイアフラムシール弁は閉となる。
ダイアフラム110の中央部が下がり、弁本体100、
上部凹部103の上向流路102まわりに固定した弁座
に当接して、このダイアフラムシール弁は閉となる。
第3に、シリンダー150内の圧縮空気を空気口151
より逃がすとコイルバネ160ツカによりピストン!4
0が上がり、そして弁棒130も上がる。ダイアフラム
110はこの弾性力によって弁棒130の十端面に追随
して中央部が上がり開となる。
より逃がすとコイルバネ160ツカによりピストン!4
0が上がり、そして弁棒130も上がる。ダイアフラム
110はこの弾性力によって弁棒130の十端面に追随
して中央部が上がり開となる。
[発明が解決しようとする課題]
以上説明した従来のダイアフラムシール弁を高圧流体配
管に使用すると、ダイアフラム110が高圧流体と弁棒
130とで強く圧縮され、特に弁棒130とダイアフラ
ム110との接触面積が小さいので、ダイアフラム11
0中央部に大きな圧縮応力がかがる。そして、ダイアフ
ラム110は金属製薄板を複数枚重ね合せたものであり
、かつ中央部に大きな圧縮応力がかかった状態で、中央
部が上下方向に移動するので、ダイアフラム110の金
属製薄板同志がこすり合い、長時間使用すると金属製薄
板にキズがつき、最後にクラックを発生する等の問題点
があった。すなわち、ダイアフラム110の寿命の短い
課題があった。
管に使用すると、ダイアフラム110が高圧流体と弁棒
130とで強く圧縮され、特に弁棒130とダイアフラ
ム110との接触面積が小さいので、ダイアフラム11
0中央部に大きな圧縮応力がかがる。そして、ダイアフ
ラム110は金属製薄板を複数枚重ね合せたものであり
、かつ中央部に大きな圧縮応力がかかった状態で、中央
部が上下方向に移動するので、ダイアフラム110の金
属製薄板同志がこすり合い、長時間使用すると金属製薄
板にキズがつき、最後にクラックを発生する等の問題点
があった。すなわち、ダイアフラム110の寿命の短い
課題があった。
本発明の目的は高圧流体配管に使用してもダイアフラム
の寿命の長いダイアフラムシール弁を提供することであ
る。
の寿命の長いダイアフラムシール弁を提供することであ
る。
[課題を解決するための手段]
本発明は、流体の流路を有する弁本体と、この弁本体の
流路とこの流路の外部とをシールする金属製薄板を複数
枚重ね合せたダイアフラムとを有するダイアフラムシー
ル弁において、前記ダイヤフラムはその金属製薄板の何
枚かに延性金属をメッキしたことを特徴とするダイアフ
ラムシール弁である。
流路とこの流路の外部とをシールする金属製薄板を複数
枚重ね合せたダイアフラムとを有するダイアフラムシー
ル弁において、前記ダイヤフラムはその金属製薄板の何
枚かに延性金属をメッキしたことを特徴とするダイアフ
ラムシール弁である。
[作用]
以上説明した本発明によるダイアフラムシール弁は、ダ
イアフラムが複数枚重ね合せた金属製薄板のうち何枚か
に延性金属をメッキしであるので、金属製薄板同志が大
きな圧縮応力のかかったままこすり合ってもキズ等がつ
き難くく、クラック等の発生が抑えられる。従ってダイ
アフラムの寿命が長い効果がある。
イアフラムが複数枚重ね合せた金属製薄板のうち何枚か
に延性金属をメッキしであるので、金属製薄板同志が大
きな圧縮応力のかかったままこすり合ってもキズ等がつ
き難くく、クラック等の発生が抑えられる。従ってダイ
アフラムの寿命が長い効果がある。
[実施例]
本発明による実施例のダイアフラムシール弁はダイアフ
ラムに特徴があり、このダイアフラムの断面を第1図に
示す。本実施例のダイアフラムシール弁は、第2図に断
面図で示すダイアフラムシール弁のダイアフラム110
を第1Jに示すダイアフラム]80にしたものである。
ラムに特徴があり、このダイアフラムの断面を第1図に
示す。本実施例のダイアフラムシール弁は、第2図に断
面図で示すダイアフラムシール弁のダイアフラム110
を第1Jに示すダイアフラム]80にしたものである。
すなわちダイアフラム以外は第2図に示し、従来の技術
の欄で簡単に説明したダイアフラムシール弁と同様であ
る。
の欄で簡単に説明したダイアフラムシール弁と同様であ
る。
従って、本実施例のダイアフラムシール弁については、
ダイアフラムのみを以下に説明する。
ダイアフラムのみを以下に説明する。
本実施例のダイアフラム180は金属製薄板を5枚重ね
合せたものであり、これらの金属製薄板は各々はぼ同形
状で、曲率の大きい部分球殻形状とこの外周部の平面部
とからなっている。
合せたものであり、これらの金属製薄板は各々はぼ同形
状で、曲率の大きい部分球殻形状とこの外周部の平面部
とからなっている。
量ね合わせた5枚の金属製薄板の下かう上までを金属製
薄板1、金属製薄板2、金属製薄板3、金属製薄板4、
および金属製薄板5とする。ここで金属製薄板lと金属
製薄板3と金属製薄板5とは同じ形状、材質のもので、
金属製薄板2と金属製薄板4とは同じ形状、材質のもの
である。金属製薄板】、3および5は例えばステラ・レ
ス鋼製薄板で、およそ0.1〜0.15論の厚さである
。
薄板1、金属製薄板2、金属製薄板3、金属製薄板4、
および金属製薄板5とする。ここで金属製薄板lと金属
製薄板3と金属製薄板5とは同じ形状、材質のもので、
金属製薄板2と金属製薄板4とは同じ形状、材質のもの
である。金属製薄板】、3および5は例えばステラ・レ
ス鋼製薄板で、およそ0.1〜0.15論の厚さである
。
金属製薄板2および4は、金属製薄板1と同じものの両
面、全面に延性を有する金属、例えば金あるいは銀ある
いは銅を0.3〜0.5umの厚さでメッキしたもので
ある。すなわちメッキ層21、メッキ層41を形成した
ものである。ここでメッキする延性金属の金、銀、銅の
うち、銀、および銅より金は錆が発生し難い点で秀れて
いる。
面、全面に延性を有する金属、例えば金あるいは銀ある
いは銅を0.3〜0.5umの厚さでメッキしたもので
ある。すなわちメッキ層21、メッキ層41を形成した
ものである。ここでメッキする延性金属の金、銀、銅の
うち、銀、および銅より金は錆が発生し難い点で秀れて
いる。
ステンレス鋼製薄板のメッキする面は、ステンレス鋼性
薄板を複数枚重ね合わせたとき、これらの間にメッキ相
が存在するようにした面であるので、各々のステンレス
鋼製薄板の片面に1枚だけ除いてメッキしてもよい。
薄板を複数枚重ね合わせたとき、これらの間にメッキ相
が存在するようにした面であるので、各々のステンレス
鋼製薄板の片面に1枚だけ除いてメッキしてもよい。
また、ダイアフラムは金属製薄板3枚角重ね合わせたも
のであってもよく、この場合は真ん中の金属製薄板がこ
の両面にメッキしたものであって、この両側はメッキし
ていない金属製薄板である。
のであってもよく、この場合は真ん中の金属製薄板がこ
の両面にメッキしたものであって、この両側はメッキし
ていない金属製薄板である。
以上説明した実施例のダイアフラムシール弁のダイアフ
ラムは金属製薄板に延性金属のメッキがしであるので、
高圧流体配管に使用してダイアフラムに大きな圧縮荷重
がかかった状態で、この中央部が上下移動してもクラッ
クが発生し難く、寿命が長い効果がある。
ラムは金属製薄板に延性金属のメッキがしであるので、
高圧流体配管に使用してダイアフラムに大きな圧縮荷重
がかかった状態で、この中央部が上下移動してもクラッ
クが発生し難く、寿命が長い効果がある。
次に第3図はノーマルクローズ型の、すなわち通常時に
は閉のダイアフラムシール弁の縦断面図で、開の状態を
示している。
は閉のダイアフラムシール弁の縦断面図で、開の状態を
示している。
このダイアフラムシール弁はダイアプラム110で直接
、開閉を行わず弁体190の弁体層191が直接開閉し
、ダイアフラム110は流体の流路をシールするためだ
けのものである。
、開閉を行わず弁体190の弁体層191が直接開閉し
、ダイアフラム110は流体の流路をシールするためだ
けのものである。
次にこのダイアフラムシール弁の開閉動作について説明
する。
する。
第1に、第3図はシリンダー150の空気口151よリ
レリンダ−150内に圧縮空気の入った状態で、ピスト
ン140がコイルバネ160の荷重に逆らって上昇端に
位置している。このとき弁棒130も上昇端に位置して
おり、弁体190がコイルバネ200の荷重によって上
昇しており開である。
レリンダ−150内に圧縮空気の入った状態で、ピスト
ン140がコイルバネ160の荷重に逆らって上昇端に
位置している。このとき弁棒130も上昇端に位置して
おり、弁体190がコイルバネ200の荷重によって上
昇しており開である。
第2にシリンダー150内の圧縮空気を空気口15]よ
り抜くとコイルバネ16(lの荷重によりピストン1=
7− 40が下降端に位置し、弁棒130も同じく下降端に位
置して、弁体190がコイルバネ200の荷重に逆らっ
て下降し閉となる。
り抜くとコイルバネ16(lの荷重によりピストン1=
7− 40が下降端に位置し、弁棒130も同じく下降端に位
置して、弁体190がコイルバネ200の荷重に逆らっ
て下降し閉となる。
以上説明した第3図のダイアフラムシール弁のダイアフ
ラム110を第1図に示したダイアフラム180にした
ものが第2実施例である。すなわち、ダイアフラム18
0はシールするためだけのものであって、ダイアフラム
180が直接開閉しない形式でノーマルクローズのダイ
ヤフラムシール弁である。
ラム110を第1図に示したダイアフラム180にした
ものが第2実施例である。すなわち、ダイアフラム18
0はシールするためだけのものであって、ダイアフラム
180が直接開閉しない形式でノーマルクローズのダイ
ヤフラムシール弁である。
この第2実施例のダイアフラムシール弁も高圧流体配管
に使用すると、弁棒140と弁体190とでダイアフラ
ム1’80が強く圧縮され、かつダイアフラム180の
中央部が上下移動するが、以前に説明したものと同様の
効果がある。
に使用すると、弁棒140と弁体190とでダイアフラ
ム1’80が強く圧縮され、かつダイアフラム180の
中央部が上下移動するが、以前に説明したものと同様の
効果がある。
[発明の効果コ
以上説明したとおり、本発明によるダイアフラムシール
弁は特に高圧流体配管に使用した場合、そのダイアフラ
ムの寿命が長い効果がある。
弁は特に高圧流体配管に使用した場合、そのダイアフラ
ムの寿命が長い効果がある。
第1図は本実施例のダイアフラムの断面図、第2図およ
び第3図はダイアフラムシール弁の断面図である。 100・・・弁本体、11O1180・・・ダイアフラ
ム。 120・・・) タ、130・・・弁 棒。 +50・・・シリンダー、160.200・・・コイル
バネ170・・・押えリング、190・・・弁 体。 手続補正書(自発) 平成4年り月/2日
び第3図はダイアフラムシール弁の断面図である。 100・・・弁本体、11O1180・・・ダイアフラ
ム。 120・・・) タ、130・・・弁 棒。 +50・・・シリンダー、160.200・・・コイル
バネ170・・・押えリング、190・・・弁 体。 手続補正書(自発) 平成4年り月/2日
Claims (1)
- 流体の流路を有する弁本体と、この弁本体の流路とこの
流路の外部とをシールする金属製薄板を複数枚重ね合せ
たダイアフラムとを有するダイアフラムシール弁におい
て、前記ダイアフラムはその金属製薄板の何枚かに延性
金属をメッキしたことを特徴とするダイアフラムシール
弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2316552A JP2788342B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 高圧流体用ダイアフラムシール弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2316552A JP2788342B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 高圧流体用ダイアフラムシール弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04191576A true JPH04191576A (ja) | 1992-07-09 |
JP2788342B2 JP2788342B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=18078371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2316552A Expired - Fee Related JP2788342B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 高圧流体用ダイアフラムシール弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2788342B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09133101A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Mitsubishi Motors Corp | 油圧系の脈動吸収装置 |
KR20010102936A (ko) * | 2000-05-08 | 2001-11-17 | 다까다 요시유끼 | 실린더 조작형 복합밸브 |
JP2006153230A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Neriki:Kk | 流体制御器用ダイヤフラム及びこれを用いたバルブ装置 |
DE102005059661A1 (de) * | 2005-12-12 | 2007-06-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Trennmembran, Druckmessvorrichtung mit Trennmembran, Druckmittler mit Trennmembran und Druckmessvorrichtung mit einem solchen Druckmittler |
JP2008128278A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Neriki:Kk | ダイヤフラムバルブとバルブ用シートアセンブリ |
JP2011503448A (ja) * | 2007-11-05 | 2011-01-27 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 制御弁と共に使用されるダイヤフラム |
WO2012147477A1 (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-01 | シーケーディ株式会社 | 複層ダイアフラム |
JP2019152257A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁及び流体制御装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4943054A (ja) * | 1972-08-29 | 1974-04-23 | ||
JPS5310058U (ja) * | 1977-07-07 | 1978-01-27 | ||
JPS62292965A (ja) * | 1986-06-13 | 1987-12-19 | Nhk Spring Co Ltd | 圧力容器における気室と液室の隔離用仕切り膜 |
JPH02266171A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-30 | Koujiyundo Kagaku Kenkyusho:Kk | ダイヤフラムバルブ |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP2316552A patent/JP2788342B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4943054A (ja) * | 1972-08-29 | 1974-04-23 | ||
JPS5310058U (ja) * | 1977-07-07 | 1978-01-27 | ||
JPS62292965A (ja) * | 1986-06-13 | 1987-12-19 | Nhk Spring Co Ltd | 圧力容器における気室と液室の隔離用仕切り膜 |
JPH02266171A (ja) * | 1989-04-03 | 1990-10-30 | Koujiyundo Kagaku Kenkyusho:Kk | ダイヤフラムバルブ |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09133101A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Mitsubishi Motors Corp | 油圧系の脈動吸収装置 |
KR20010102936A (ko) * | 2000-05-08 | 2001-11-17 | 다까다 요시유끼 | 실린더 조작형 복합밸브 |
JP2006153230A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Neriki:Kk | 流体制御器用ダイヤフラム及びこれを用いたバルブ装置 |
DE102005059661A1 (de) * | 2005-12-12 | 2007-06-14 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Trennmembran, Druckmessvorrichtung mit Trennmembran, Druckmittler mit Trennmembran und Druckmessvorrichtung mit einem solchen Druckmittler |
JP2008128278A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Neriki:Kk | ダイヤフラムバルブとバルブ用シートアセンブリ |
JP2011503448A (ja) * | 2007-11-05 | 2011-01-27 | フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー | 制御弁と共に使用されるダイヤフラム |
WO2012147477A1 (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-01 | シーケーディ株式会社 | 複層ダイアフラム |
JP5189227B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2013-04-24 | Ckd株式会社 | 複層ダイアフラム |
US8807014B2 (en) | 2011-04-27 | 2014-08-19 | Ckd Corporation | Multi-layer diaphragm |
JP2019152257A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 株式会社堀場エステック | 流体制御弁及び流体制御装置 |
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