JPH04189102A - 多層セラミック基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、多層セラミック基板の製造方法に関し、特に
、高い位置精度でグリーンシートを積層接着する場合に
好適な多層セラミック基板の製造方法に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

従来、多層セラミック基板の製造方法においては、積層
したセラミック材料の基板を焼結する前工程で、配線パ
ターンを印刷された複数のグリーンシートを積層して接
着するが、この場合の積層接着方法は、例えば、特開昭
６３−１３６６９号公報に記載されているように、熱間
プレスにより圧着する方法を用いて、多数枚を積層した
グリーンシートを圧着して接着している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記の従来の技術による多層セラミック基板の
製造方法においては、圧着する場合における圧力負荷の
均一化という点について配慮がされておらず、そのため
、グリーンシート積層体の密度が均一にならず、焼結収
縮の際に、局所的な収縮、即ち異形収縮変形を引き起こ
し、高い位置精度が得られないという問題がある。

本発明の目的は、グリーンシートの積層接着の際に均一
な圧力負荷を施して、積層体密度を均一化させ、焼結的
には等方的に焼結収縮させ、高い位置精度を得る多層セ
ラミック基板の製造方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明の多層セラミック基板
の製造方法では、グリーンシート一括積層法によって多
層のグリーンシートを積層して接着するする多層セラミ
ック基板の製造方法において、グリーンシートの積層接
着の際、グリーンシート積層体表面と積層治具界面との
間に、低摩擦係数を有する離型シートを挾み、グリーン
シート積層体を圧着することを特徴とする。

〔作用〕

これによれば、多層セラミック基板の製造方法において
、グリーンシートの積層接着の際、グリーンシート積層
体表面と積層治具界面との間に、低摩擦係数を有する離
型シートを挾み、グリーンシート積層体を圧着するため
に、積層体密度を均一化される。

すなわち、グリーンシートのセラミック材料の性質によ
り、グリーンシート積層接着の際の圧力の分布は、積層
体表面と積層治具界面の高い摩擦力によって、圧力の分
布は中央部で高く周辺部で低くなる摩擦圧という圧力分
布となる。しまたかって、ここでは、グリーンシート積
層体表面と積層治具界面との間に低摩擦係数を有する離
型シートを挿入することにより、グリーンシート積層体
を圧着する際の界面に作用する摩擦力を排除し圧力分布
を均一化させる。これにより、圧着されたグリーンシー
ト積層体は均一な積層体密度とされ、焼結の際に等方収
縮するため、高い位置精度を持つ多層セラミック基板を
得ることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。

第１図は、本発明の一実施例にかかる多層セラミック基
板の製造方法の積層接着方法を示す図である。

第］−図において、］はプレス熱盤、２は積層治具板、
３はマイラーフィルム、４は中間板、５はグリーンシー
トの積層体、６は低摩擦係数を有する離型シートである
。

グリーンシートを積層した積層体５に対し、低摩擦係数
を有する離型シー）・６を両面に配置して、圧着するた
め、厚さ１ｎ＋＋ｎ程度の金属板の中間板４の間にはさ
む。そして、中間板４の外側には冶二具ばらしを容易と
し、かつ、金属間の接触を避けるためにマイラフィルム
３を介して積層治具板２ではさみ込み、プレス熱盤１の
間に置いて熱間プレスを行う。

このように、グリーンシートの積層体５と積層治具２の
中間板４との界面に低摩擦係数を有する離型シート６を
挿入して圧着するだけで、グリーンシート積層体におけ
る圧力分布を均一に負荷することが可能である。

第２図は、第１図の方法により積層接着したセラミック
基板の積層体中心からの距離と焼結収縮率の関係を示し
たグラフである。第２図のグラフかられかるよう番二積
層体中心からの距離に関わらず焼結収縮率は一定の値を
示しており、等方的に収縮していることがわかる。

次に、本発明にかかε多層セラミック基板の製造方法に
おける積層接着方法の優位性を説明するため、同様な条
件で、低摩擦係数を有する離型シー１へを用いない積層
接着方法により製造した場合の多層セラミック基板の積
層体中心からの距離と焼結収縮率の関係を説明する。

第３図は、低摩擦係数を有する離型シート・を用いない
積層接着方法による多層セラミック基板の製造方法の積
層接着方法を示す図であり、また、第４図は、第３図の
方法により積層接着したセラミック基板の積層体中心か
らの距離と焼結収縮率の関係を示したグラフである。

低摩擦係数を有する離型シートを用いない積層接着方法
による多層セラミック基板の製造方法では、第３図に示
すように、グリーンシートの積層体５と中間板４が直接
に接触しており、界面の高い摩擦力によって不均一な圧
力分布を発生することになり、積層体の密度分布は不均
一となる。この場合、焼結を行うと、第４図の示すよう
に、積層接着したセラミック基板の積層体中心からの距
離と焼結収縮率の関係を示したグラフでは、積層体中心
からの距離が遠くなる程、焼結収縮率が大きくなってい
る。これは、積層体密度が、外周ｌ＼行くほど低くなる
ためであり、その結果が焼結後に異形変形となって発生
しているためである。

本発明による多層セラミック基板の製造方法を好適に実
施するために、低摩擦係数を有する離型シートの用い方
としては、例えば、次のようにして用いることが好まし
い。

（１）ポリイミド系の樹脂シートの片面に離型フィルム
等の特殊加工を施こし。

Ｎ）積層体側に離型面を向けて配置する。

（ｉｉ）中間板側に離型面を向けて配置する。

（ｉｉｉ）樹脂シートを２枚使用し離型面同士を接触さ
せて配置する。

（ＩＩ）ポリイミド系の樹脂シートの両面に離型フィル
ム等の特殊加工を施こし、 （ｉ）−枚挿入する。

（ｉｉ）二枚挿入する。

（ＩＩＩ）ポリイミド系の樹脂シートを二枚使用し、そ
の間に、油等の潤滑剤を用いて樹脂シート間の低摩擦化
を計る。

（ｒＶ）また、その他に、直接的には樹脂シートを個別
に用いず、中間板の表面にテフロン加工等を施こして、
離型シートと中間板とを一体化状態で低摩擦化する。

このように、本実施例によれば、特に、積層治工具等の
改良等を必要とせず、簡単に離型シートを設けることが
でき、本発明による多層セラミック基板の製造方法を好
適に実施することができ、高い位置精度の多層セラミッ
ク基板を得ることが出来る。

以上、本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが、
本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上、説明したように、本発明の多層セラミック基板の
製造方法によれば、多層セラミック基板の高いパターン
位置精度が得られるため、ビン密度が高いフリップチッ
プ等を高密度に表面実装を行える多層セラミック基板が
得られるという。

また、セラミック基板上に薄膜回路を形成する場合にも
、セラミック側のパッドと薄膜回路側のパッドの整合も
精度良く行えるので１歩留りが向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例にかかる多層セラミック基
板の製造方法の積層接着方法を示す図、第２図は、第１
図の方法により積層接着したセラミック基板の積層体中
心からの距離と焼結収縮率の関係を示したグラフ、 第３図は、低摩擦係数を有する離型シートを用いない積
層接着方法による多層セラミック基板の製造方法の積層
接着方法を示す図、 第４図は、第３図の方法により積層接着したセラミック
基板の積層体中心からの距離と焼結収縮率の関係を示し
たグラフである。 図中、１・・・プレス熱盤、２・・積層治具板、３・・
・マイラーフィルム、４・・・中間板、５・・・積層体
、６・・・低摩擦係数を有する離型シート。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．グリーンシート一括積層法によって多層のグリーン
   シートを積層して接着するする多層セラミック基板の製
   造方法において、グリーンシートの積層接着の際、グリ
   ーンシート積層体表面と積層治具界面との間に、低摩擦
   係数を有する離型シートを挾み、グリーンシート積層体
   を圧着することを特徴とする多層セラミック基板の製造
   方法。