JP2007524552A - ホットプレスセラミックの歪み制御 - Google Patents
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Abstract
Description
少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体を設けるステップと、
局所的な周辺切り溝区域および外部周辺切り溝区域を有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシートを設けるステップと、
前記第1の連続した非高密度化構造体を、前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記局所的な周辺切り溝区域上に置くステップと、
前記第1の連続した非高密度化構造体を有する前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートを、パーソナル化されたグリーンシートのスタック中に置くステップと、
グリーンセラミック積層体を形成するために、パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記スタックを積層するステップであって、前記第1の連続した非高密度化構造体は、積層中に前記グリーンセラミック積層体の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
多層セラミック基板を形成するために、前記グリーンセラミック積層体を荷重下で焼結するステップであって、前記第1の連続した非高密度化構造体は、焼結中に前記多層セラミック基板の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、を含む方法を提供することによって達成された。
第2の連続した非高密度化構造体を設けるステップと、
前記第2の連続した非高密度化構造体を、積層前に前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記外周切り溝区域上に置くステップであって、前記第2の連続した非高密度化構造体は、積層中に前記グリーンセラミック積層体の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
前記グリーンセラミック積層体を焼結前サイジングし、それによって焼結前に前記第2の連続した非高密度化構造体を前記グリーンセラミック積層体から分離するステップとをさらに含み得る。
少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体を設けるステップと、
局所的な切り溝区域により分離された複数の製品試料を有し、周辺外部切り溝区域を有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシートを設けるステップと、
前記第1の連続した非高密度化構造体を、前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記局所的な切り溝区域上に置くステップと、
前記第1の連続した非高密度化構造体を有する前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートを、パーソナル化されたグリーンシートのスタック中に置くステップと、
マルチアップグリーンセラミック積層体を形成するために、パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記スタックを積層するステップであって、前記第1の連続した非高密度化構造体は、積層中に前記マルチアップグリーンセラミック積層体の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
マルチアップ多層セラミック基板を形成するために、前記グリーンセラミック積層体を荷重下で焼結するステップであって、前記第1の連続した非高密度化構造体は、焼結中に前記マルチアップ多層セラミック基板の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップとを含む方法が提供される。
少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体を設けるステップと、
前記第2の連続した非高密度化構造体を、積層前に前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記外部周辺切り溝区域上に置くステップであって、前記第2の連続した非高密度化構造体は、積層中に前記マルチアップグリーンセラミック積層体の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
前記マルチアップグリーンセラミック積層体を焼結前サイジングし、それによって焼結前に前記第2の連続した非高密度化構造体を前記マルチアップグリーンセラミック積層体から分離するステップとをさらに含み得る。
複数の積層セラミックグリーンシートと、
局所的な周辺切り溝区域と外部周辺切り溝区域とを有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシートと、
前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記局所的な周辺切り溝区域上に置かれた少なくとも1つの連続した非高密度化構造体とを含む、多層セラミック積層構造体が提供される。
複数の積層セラミックグリーンシートと、
局所的な周辺切り溝区域により分離された複数の製品試料を有し、周辺外部切り溝区域を有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシートと、
前記パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記局所的な切り溝区域上に置かれた少なくとも1つの連続した非高密度化構造体とを含む、マルチアップ多層セラミック積層構造体が提供される。
Claims (25)
- 荷重下で焼結される多層セラミック基板の焼結後寸法を制御する方法であって、
少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を設けるステップと、
局所的な周辺切り溝区域(30)および外部周辺切り溝区域(20)を有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)を設けるステップと、
前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を、前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)の前記局所的な周辺切り溝区域(30)上に置くステップと、
前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を有する前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)を、パーソナル化されたグリーンシートのスタック中に置くステップと、
グリーンセラミック積層体(100)を形成するために、パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記スタックを積層するステップであって、前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)は、積層中に前記グリーンセラミック積層体(100)の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
多層セラミック基板を形成するために、前記グリーンセラミック積層体(100)を荷重下で焼結するステップであって、前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)は、焼結中に前記多層セラミック基板の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップとを含む方法。 - 前記多層セラミック基板を焼結後サイジングし、それによって前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を前記多層セラミック基板から分離するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)を設けるステップと、
前記少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)を、積層前に前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)の前記外部周辺切り溝区域(20)上に置くステップであって、前記少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)は、積層中に前記グリーンセラミック積層体(100)の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
前記グリーンセラミック積層体(100)を焼結前サイジングし、それによって焼結前に前記少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)を前記グリーンセラミック積層体(100)から分離するステップとをさらに含む請求項1に記載の方法。 - 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、金属、セラミック、重合体、またはそれらの組み合わせである請求項3に記載の方法。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、モリブデン、ニッケル、銅、タングステン、ステンレス鋼およびジルコニアから成る群から選ばれる金属である請求項3に記載の方法。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、約0.0003インチ(0.000762cm)〜0.001インチ(0.00254cm)の厚さおよび0.5mmを超える幅を有する請求項3に記載の方法。
- マルチアップグリーンセラミック積層体として荷重下で積層および焼結される多層セラミック基板の焼結後寸法を制御する方法であって、
少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を設けるステップと、
局所的な切り溝区域(30)により分離された複数の製品試料(35)を有し、外部周辺切り溝区域(20)を有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)を設けるステップと、
前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を、前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)の前記局所的な切り溝区域(30)上に置くステップと、
前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を有する前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)を、パーソナル化されたグリーンシートのスタック中に置くステップと、
マルチアップグリーンセラミック積層体(100)を形成するために、パーソナル化されたセラミックグリーンシートの前記スタックを積層するステップであって、前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)は、積層中に前記マルチアップグリーンセラミック積層体(100)の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
マルチアップ多層セラミック基板を形成するために、前記グリーンセラミック積層体(100)を荷重下で焼結するステップであって、前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)は、焼結中に前記マルチアップ多層セラミック基板の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップとを含む方法。 - 個々の多層セラミック基板を形成するために前記マルチアップ多層セラミック基板を焼結後サイジングし、それによって前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)を前記個々の多層セラミック基板から分離するステップをさらに含む請求項7に記載の方法。
- 少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)を設けるステップと、
前記少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)を、積層前に前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)の前記外部周辺切り溝区域(20)上に置くステップであって、前記少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)は、積層中に前記マルチアップグリーンセラミック積層体(100)の前記寸法を少なくとも部分的に制御するステップと、
前記マルチアップグリーンセラミック積層体(100)を焼結前サイジングし、それによって焼結前に前記少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)を前記マルチアップグリーンセラミック積層体(100)から分離するステップとをさらに含む請求項7に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)は、前記製品試料(35)内部の局所的歪みを制御するために調整された形状(51)をさらに含む請求項7に記載の方法。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、金属、セラミック、重合体、またはそれらの組み合わせである請求項9に記載の方法。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、モリブデン、ニッケル、銅、タングステン、ステンレス鋼およびジルコニアから成る群から選ばれる金属である請求項9に記載の方法。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、約0.0003インチ(0.000762cm)〜0.001インチ(0.00254cm)の厚さおよび0.5mmを超える幅を有する請求項9に記載の方法。
- 多層セラミック積層構造体であって、
複数の積層セラミックグリーンシートと、
局所的な周辺切り溝区域(30)と外部周辺切り溝区域(20)とを有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)と、
前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)の前記局所的な周辺切り溝区域(30)上に置かれた少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)とを含む多層セラミック積層構造体。 - 前記外部周辺切り溝区域(20)上に置かれた少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)をさらに含む請求項14に記載の多層セラミック積層構造体。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、金属、セラミック、重合体、またはそれらの組み合わせである請求項15に記載の多層セラミック積層構造体。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、モリブデン、ニッケル、銅、タングステン、ステンレス鋼およびジルコニアから成る群から選ばれる金属である請求項15に記載の多層セラミック積層構造体。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、約0.0003インチ(0.000762cm)〜0.001インチ(0.00254cm)の厚さおよび0.5mmを超える幅を有する請求項15に記載の多層セラミック積層構造体。
- マルチアップ多層セラミック積層構造体であって、
複数の積層セラミックグリーンシートと、
局所的な周辺切り溝区域(30)により分離された複数の製品試料(35)を有し、外部周辺切り溝区域(20)を有する少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)と、
前記少なくとも1つのパーソナル化されたセラミックグリーンシート(10)の前記局所的な切り溝区域(30)上に置かれた少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)とを含むマルチアップ多層セラミック積層構造体。 - 前記外部周辺切り溝区域(20)上に置かれた少なくとも1つの第2の連続した非高密度化構造体(60)をさらに含む請求項19に記載のマルチアップ多層セラミック積層構造体。
- 前記少なくとも1つの第1の連続した非高密度化構造体(40)は、前記製品試料(35)内部の局所的歪みを制御するために調整された形状(51)をさらに含む請求項19に記載のマルチアップ多層セラミック積層構造体。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、金属、セラミック、重合体、またはそれらの組み合わせである請求項20に記載のマルチアップ多層セラミック積層構造体。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、モリブデン、ニッケル、銅、タングステン、ステンレス鋼およびジルコニアから成る群から選ばれる金属である請求項20に記載のマルチアップ多層セラミック積層構造体。
- 前記第1および第2の連続した非高密度化構造体は、約0.0003インチ(0.000762cm)〜0.001インチ(0.00254cm)の厚さおよび0.5mmを超える幅を有する請求項20に記載のマルチアップ多層セラミック積層構造体。
- 前記多層セラミック積層構造体の内部の局所的歪みを制御するためのディスクリートな調整された形状をさらに含む請求項14に記載の多層セラミック積層体構造体。
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