JPH04177607A - 磁気ヘッドの研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＶＴＲ用磁気ヘッドの製造方法に係り、特に
磁気ヘッドのテープ摺動面を好適に研磨する方法に関す
るものである・ 〔従来の技術〕 従来磁気ヘッドの研磨装置は、特開昭５８−１３９７２
号に記載のように、磁気ヘッドを回転体に取り付は回転
シリンダからの突き出す場合の突き出し量および見掛は
上のテープ剛性を調整する方法については配慮されてお
らず、磁気ヘッドのチップの厚み方向の曲率の中心と磁
気へラドギャップ中心位置の差、すなわち、偏心量、テ
ープ走行方向の曲率半径、磁気ヘッドの厚み方向の曲率
半径などの精度バラツキが大きく、磁気ヘッドの磁気テ
ープへの接触不良等により出力特性を満足しないため再
研磨を行なうことがあり、研磨の時間的ロスが大きかっ
た。

すなわち、磁気ヘッドのテープ案内筒からの突き出し量
（以下突出量と称する、第２図参照）をΔｔ、磁気テー
プ走行方向の形状半径（以下走行方向半径と称する、第
９図参照）をＲｘ、磁気テープ走行方向と直角方向形状
半径（以下直角方向半径と称する、第９図参照）をＲｙ
とすると、これらの間の関係は、第６図に示すようにな
っている。この場合のテープ張力は１．９６Ｎとした。

この図は、突出量Δｔの増加にともない、走行方向半径
Ｒｘ、直角方向半径Ｒｙはともに減少傾向にあり、走行
方向半径Ｒｘ、直角方向半径Ｒａｙの形状精度を向上す
るためには、突出量△ｔを高精度に設定する必要がある
ことを示している。ＲｘとＲｙを総称して形状半径Ｒと
する。

第４図は、従来の磁気へラドラッピング装置による、磁
気ヘッドの研磨状態の一例を示す要部断面図、第５図ａ
〜第５図Ｃは、これによって研磨された磁気ヘッドの例
を示す略示図である。

第４図において、３０ａ、ｂは案内筒であって、これに
、ヘッドベース１３ｂにヘッドチップ１３ａを固定して
なる磁気ヘッド１３が、その外周から若干量だけ突出し
て取付けられている。そして、研磨テープ１によって、
磁気ヘッド１３のテープ摺動面Ｓを研磨するようになっ
ている。

しかし、この研磨中、研磨テープ１と案内筒との接触抵
抗の変動、テープ張力変動、ヘッドチップ１３ａと研磨
テープ１との接触変動等により、研磨テープ１が上下方
向へ移動するため、研磨テープ１の幅Ｗの中心に対する
ヘッドチップ１３ａの位置誤差が生じる。このことによ
り、研磨テープ１の中心に対してヘッドチップ１３ａが
上にある場合には、第５ｂ図に示すように、ベツドチッ
プ１３ａの幅方向の上方が凸になって、幅方向に傾斜が
生じた。これとは反対に、ヘッドチップ１３ａが下にあ
る場合は、第５ｃ図に示すように。

ヘッドチップ１３ａの幅方向の下方に凸になって、これ
も幅方向に傾斜が生じるものであった。

したがって、第５ａに示すような、テープ摺動面Ｓの所
望形状、すなわち、テープ走行方向と直交方向（ヘッド
チップ厚みｈ方向）の曲率半径Ｒｙが所定値であり、且
つその曲率中心が厚み中心（ｈ／２）に位置するような
形状を得ることが困難であり、また被加工物間の形状寸
法のバラツキも大きいものであった。このように従来技
術は、磁気ヘッドを回転体である、テープ案内筒に取り
付けた場合の磁気ヘッドのテープ案内筒がらの突出量の
調整、見掛は上のテープ剛性の調整、および研磨中の研
磨テープの位置変動について配慮がされておらず、磁気
ヘッドのテープ摺動面を所望形状に、しかも被加工物間
のバラツキを小さく研磨することができなかった。この
ため、磁気ヘッドの接触不良などを発生し、再研磨を行
なう必要があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の目的は、上記従来技術の難点を解消し。

磁気ヘッドのテープ摺動面をバラツキの少ない所望形状
に研磨することができる磁気ヘッドの研磨方法の提供に
ある。

〔課題を解決するための手段〕

上記本発明の目的を達成するため、本発明の磁気ヘッド
の研磨方法は、所定の間隙をもって、軸方向（磁気ヘッ
ド保持板の回転軸）に対向する、所定曲率半径のテープ
フォーミングガイドと称する円筒状内面に研磨テープ吸
着用スリットを設け、このテープフォーミングガイドに
設けた研磨テープ吸着用スリットにより、真空吸着させ
、走行しつつある研磨テープを、テープフォーミングガ
イドに案内するとともに、テープフォーミングガイドの
曲率より小さい曲率の研磨テープガイドを、テープフォ
ーミングガイドの研磨テープ走行面の内側に所定の間隙
をもって設置し、研磨テープが、テープフォーミングガ
イドから離脱するのを防止し、前記テープフォーミング
ガイドの円筒状内周面から所定量突出して前記、上下一
対のテープフォーミングガイドの間隙中に、テープフォ
ーミングガイドの曲率とほぼ同じ曲率になるように磁気
ヘッドのテープ摺動面を前記走行しつつある研磨テープ
で研磨する方法において、前記、テープフォーミングガ
イドの内周面に接して走行している研磨テープにより磁
気ヘッドのテープ摺動面を研磨するものである。研磨テ
ープのフォーミングガイドへの保持すなわち、吸着部分
は、研磨テープの幅方向にみて磁気ヘッド対向部分は、
除外されて、その上側および下側すなわち研磨テープの
両端側）の面である。さらに上記テープフォーミングガ
イドを振動させながら研磨すると、より良好な結果が得
られる。

また、上記、テープガイドの外周面（すなわち、テープ
フォーミングガイドの内周面との対向面）より空気を噴
出させることにより、加工屑の排除が良好になることよ
り、加工面が良好となる。またテープフォーミングガイ
ド内周面に沿った研磨テープの走行が良好となる。

テープフォーミングガイドを振動させる場合。

前記磁気ヘッドチップの厚さ方向の中心面内を中心軸と
する回転揺動かあるいは、テープフォーミングガイドシ
リンダの中心軸に向う方向の直線的な揺動をもちいるこ
とができる。

また、被加工物である磁気ヘッドをテープフォーミング
ガイドからの突出量を光学系を用いて非接触で位置決め
することにより高精度に加工できる。

〔作用〕

本発明の磁気ヘッドの研磨方法を用いる、本発明の磁気
ヘッド研磨装置の構成は、同一内径を有する２個１組の
テープフォーミングガイドと同軸心で回転するワーク支
持部を所定の時間間隙で正転、逆転方向へ交互に回転駆
動することができるシリンダ駆動部と、前記テープフォ
ーミングガイドの内周面に沿って研磨テープを走行させ
ることができるテープ走行系と、前記テープフォーミン
グガイドの間隔を所定値に設定する、テープフォーミン
グガイド部とを有するものであって、前記ワーク支持部
は、被加工物を、前記テープフォーミングガイドの間隔
にあって、その先端を、前記テープフォーミングガイド
の内周面から所定量だけ突出させた位置で、着脱可能に
保持することができるようにしたものである磁気ヘッド
研磨装置である。すなわち、上記目的を達成するため、
本発明の磁気ヘッド研磨装置は、所定の間隔をもって対
向する１対のテープフォーミングガイドの内周面で研磨
テープを案内しく研磨終了時など研磨テープの吸着解除
時に、研磨テープが、テープフォーミングガイドより離
脱を防止するためにテープフォーミングガイドの内周面
と所定の間隙を保ってテープガイドを設ける）前記テー
プフォーミングガイドの内周面から所定量突出させるよ
うにワーク支持部に保持した磁気ヘッドのテープ摺動面
を前記研磨テープで研磨する装置において、前記テープ
フォーミングガイド内周面に真空吸着しながら走行する
研磨テープを強性的に保持することにより研磨テープの
形状をコントロールできるようにしたものである。さら
には、ワーク支持部に磁気ヘッドを高精度に支持する（
第３図のθ。

Ｘ軸、Ｙ軸方向）ために、ワーク支持部の回転中心から
の磁気へラドテープ摺動面研磨位置を、干渉縞を検出し
、位置及び姿勢を高精度に位置合せできるようにしたも
のである。

さらにまた、テープフォーミングガイドを、前記磁気ヘ
ッドのチップの厚さ方向の中心を通る平面内を中心とし
て、回転揺動させる手段を設けるとより好ましい結果が
得られる。

ところで、本発明の上記方法と上記装置により得られた
本発明の磁気ヘッドは、磁気テープ摺動面の形状が、テ
ープ摺動方向に直角な断面において良好な対称性を有す
る（すなわち、上記断面に現れる直角方向半径Ｒｙに対
応する曲面が対称的である）。上記断面が磁気ヘッドの
作動ギャップのテープ摺動方向からみた中心から０．２
＋ｇｗ＋以内の範囲にあるとしたとき、テープ摺動方向
に直角方向にみた中心から０．０５＋ａｍ離れた位置で
の、両側の高さ（第１０図におけるａ、ｂ）の差が０゜
１μＩ以下である対称のよい磁気ヘッドが得られる。

テープフォーミングガイド部の全高さ（第２図のＷ　ｇ
　）は、研磨テープの幅＋２ｍ＋＋、１対のテープフォ
ーミングガイドのそれぞれの高さは、研磨テープ幅の１
　／　２　＋　１　ｍｎ以上、互に対向する１対のテー
プフォーミングガイド間の間隔は、０６５〜１５閣とす
る。各テープフォーミングガイド間の間隔が０．５ｍｍ
未満では、研磨テープの変形が過度に厳しくなり、１５
閣を越えると、テープフォーミングガイドを用いない従
来技術に近付き本発明の効果が薄れ好ましくない。テー
プフォーミングガイドの内周面の曲率半径は、被加工物
のテープ走行方向半径が８〜１２Ｈの場合、３０〜１５
Ｒとする。しかし被加工物のテープ走行方向半径Ｒｘと
ほぼ同等の曲率半径の円筒曲面をして案内されている限
り、テープフォーミングガイドの内周面の曲率半径は、
上記値に限定しなくてよい。

研磨テープのテープフォーミングガイド内周面への吸着
力は、研磨テープが容易に走行できる程度の吸着力とな
るように、吸着力をセットする。

磁気へラドチップのテープフォーミングガイドシリング
内周面からの突出量は５２０μｍ〜３００μｍ、研磨テ
ープのテープフォーミングガイドへの走行距離は、第１
図の角αで示す所とし、６０〜１２０°とするのがよい
。また、テープフォーミングガイド間の間隔は、第２図
に示すように磁気へラドチップの中心から上下に振分け
、それぞれＷａ、Ｗｂとすると、Ｗａ、Ｗｂは、いずれ
も０．２５〜７．５ｍとする。

本発明の磁気ヘッド研磨装置は、テープフォーミングガ
イド部を設けたので研磨テープの磁気ヘッドのテープ摺
動面に対する位置変動がなくなるため、磁気へラドチッ
プの厚み方向の曲率中心が、前記のＷａ、Ｗｂの位置を
変えること、すなわち、テープフォーミングガイド中心
と、磁気ヘッドチップ厚み中心を一致または、Ｗａ＞　
Ｗｂ、Ｗｂ＞Ｗａとすることにより、容易に移動できる
。また、研磨テープの見掛は上の剛性が向上するので、
研磨テープの張力テープフォーミングガイドの間隔を調
整すれば、前記曲率半径の大きさを容易に調整できる。

すなわち、研磨テープ押圧力を小さくすること、および
テープフォーミングガイド間の間隔を犬にすることによ
り、いずれも、磁気ヘッドのテープ摺動面の形状半径Ｒ
ｘ、Ｒｙを大きくする。研磨テープ押圧力は、研磨テー
プ張力および、磁気ヘッド突出量Δｔを大きくすること
により増大する。

また、磁気ヘッドを、ワーク支持部１２に取付けて、磁
気ヘッドのテープ摺動面Ｓと、磁気テープの間のみで、
加工が行なわれるため、ワーク支持部１２が、摩耗する
ことがないこと、および軽量化が図れるので、磁気ヘッ
ド研磨装置が長寿命化する。

本発明では、ワーク支持部の回転中心からの距離を一定
になるように、磁気へラドテープ摺動面を干渉縞により
、非接触で、突出量、姿勢を一定になるように、取付け
ることができるので、所定の走行方向半径Ｒｘ、と直角
方向半径Ｒｙにすることができる。また、ヘッド先端位
置を測定しながら加工できるので、磁気ヘッドの形状精
度向上が図れる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図を用いて説明
する。本実施例の磁気ヘッド研磨装置は、研磨テープ供
給部１ａ、研磨加工終了済み研磨テープ２を巻取るリー
ル部１ｂ、研磨テープ２を供給し、研磨ユニット部を通
り、研磨テープに張力を付与し、研磨テープを巻取るた
めの架台部および、磁気ヘッドを研磨するための研磨ユ
ニットがらなっている。まずテープ走行系について説明
する。研磨テープ供給リール１ａより、研磨テープ２が
繰出し用ピンチローラ３とキャブスターンローラ４の間
を通り、中間ローラ５．ガイドローラ６を通すテープフ
ォーミングガイド７ａ、７ｂおよびテープガイド８ａ、
８ｂの闇を通り、ガイドローラ１４、中間ローラ１５、
巻取りローラ１７およびキャブスターンローラ１６の間
を通って、巻取リリール１ｂに巻取られる。テープフォ
ーミングガイド７ａ、７ｂ、およびテープガイド８ａ。

８ｂは、加工中は、被加工物が、テープフォーミングガ
イド７ａ、７ｂの内周面からの所定の突出量△ｔになる
ように、図２のＫに示す位置まで移動（駆動方法は図示
せず）し、加工準備段階および終了時点では、図２のＤ
に示す位置に移動するようになっている。研磨テープ繰
出し側のピンチローラ３には、ピンチローラ駆動用ブレ
ーキモータが結合されており、研磨テープに張力を付与
するようになっている。テープ走行系は、テープ走行系
支持台（図示せず）に取付けられている。テープ走行系
支持台を、第１図に示す１紙面に対して研磨テープ供給
リール１ａ側を上昇または下降、巻取リール１ｂ側を下
降または上昇するように、走行系支持台を傾斜すること
により、研磨テープ２を、ワーク支持板１２の回転面に
対して、傾斜させて走行できるようになっている。つぎ
に、第２図により、本発明の主要部の構造について説明
する。ワーク支持板１２上に、磁気ヘッド１３を、第３
図に示す、ワーク取付装置により、磁気ヘッド１３のテ
ープ摺動面Ｓを正確に取付ける、すなわち、ワーク支持
板１２を、ワーク支持シャフト２１に取付はワーク支持
固定ボルト２２により固定する。つぎにワーク支持板の
端面の頂点△Ｓ面を干渉計２３により干渉縞を出し、Ｘ
−Ｘ、Ｙ−Ｙ方向に干渉計２３を移動させ、干渉計２３
からの像を、テレビカメラ２４を通し、モニタ２７上に
出し、ワーク支持板１２の端面△Ｓを位置合せをする。

つぎに、所定の磁気ヘッド突出量△Ｘに相当する位置ま
で干渉計２３をＸ−Ｘ方向。

ｚ−７方向に移動させる。（移動量検出計は図示せず）
この状態で、磁気ヘッドをワーク支持板１２に取付け、
干渉縞を、モニタ２７上に示すように、干渉縞２６ａ、
２６ｂが現れるように、磁気ヘッドをＸ、−Ｘ□、Ｙ□
−Ｙ工、θ□力方向移動させ磁気ヘッドを、磁気ヘッド
固定ボルト２９により固定する。（ＸニーＸ工、Ｙよ−
Ｙ工、θの移動装置は図示せず）つぎに、ワーク支持板
１２を、１８０’回転させ、磁気ヘッド１３−１も同様
に取付ける。このように、磁気ヘッド１３−１１３−■
を、取付けた、ワーク支持板１２を、第２図に示す、ワ
ーク支持板回転シャフト１ｏ上に取付け。

ワーク支持板支持シャフト１１がはまり合うようになっ
ている。ワーク支持板回転シャフト１０には駆動用モー
タ１０ａが結合されている。テープフォーミングガイド
７ａ、７ｂには、研磨テープ吸着用孔９ａ、９ｂが設け
られており、研磨テープ吸着孔９ａ、９ｂは、真空ポン
プｖ、Ｐに結合されている。テープフォーミングガイド
９ａ、９ｂには、・テープガイド８ａ、８ｂが取りつけ
られており、研磨テープは、テープフォーミングガイド
内周面に吸着されながら手前より紙面側に巻取られる。

テープフォーミングガイド７ａ、７ｂには、テープフォ
ーミングガイド間隔ＷＡ、ｗｂを調整するツマミ、テー
プフォーミングガイド７ａ。

７ｂと、磁気ヘッドの厚み方向の位置合せ用２ステージ
が取付けられている。

次にその動作を説明すると、ワーク支持板１２に未加工
の磁気ヘッド１３ａ、１３ｂを前述の図３に示す磁気ヘ
ッド突出量調整装置により取付けたものをワーク支持板
回転シャフトｌｏ上に装着し、ワーク支持板回転駆動部
を上昇させ、ワーク支持板支持シャフト１１と組合せる
。つぎに、所定のワーク突出量に相当する位置まで、テ
ープフォーミングガイド７ａ、７ｂを−Ｘ方向に移動さ
せるとともに真空ポンプｖ、Ｐが起動され研磨テープ２
をテープフォーミングガイド７ａ、７ｂの内周面に吸着
させ、研磨テープ駆動用モータを回転させることにより
研磨テープ２が、巻取リリール２により研磨テープが巻
取られ一定の張力が付与され、磁気ヘッドテープ摺動面
に所定の圧力で接触される。と同時にワーク支持板回転
用駆動モータ１０ａが所定の高速回転を始め、予め設定
されたタイマにより、正転、逆転を所定時間くり返す。

この状態が終了すると、テープフォーミングガイド７ａ
、７ｂが後退しワーク支持板回転用駆動モータ１０ａが
停止するとともにワーク支持板回転駆動部が下降、研磨
テープ巻取リモータが停止し、ワーク支持板を取り出す
ことにより、一連の動作を終了する６通常、加工時間を
短がくし、能率を上げるため初め荒い研磨テープを用い
、順次細い研磨テープを用い研磨面あらさを向上させて
ぃくことは、本方式においても同じである。この場合１
水量発方式のユニットをたとえば、荒、中、仕上げユニ
ットを設け、研磨テープをたとえば、荒加工ユニットで
は、＃４０００．中仕上げユニットでは、＃８０００．
仕上げユニットでは＃１００００を用いて、各ユニット
間は搬送手段によりワーク支持板を、各ユニットのワー
ク支持板回転シャフト１０上に移動し、前述の動作を繰
返し研磨を行なう。研磨テープの送りは、テープ走行系
支持台を傾斜させて走行させてもよく、あるいは、テー
プフォーミングガイド７ａ、７ｂに垂直方向に走行させ
てもよい。以上のようにすることにより本実施例によれ
ば、均一なヘッド形状を得ることができる。また自動化
できるため、能率がよい、また、磁気ヘッドの突出量を
精度よく。

取りつけることができる、また、研磨量を高精度に計測
できるため高精度な均一なヘッド形状を得ることなどの
効果がある。

上記研磨装置により加工すると、第７図、第８図に示す
ようにフォーミングガイドを用いない場合（従来値）に
くらべ、バラツキは大幅に低減し、また、フォーミング
ガイドを移動させると、移動量に比例して、精度よく、
磁気ヘッド先端曲率の中心が移動し、任意の加工形状が
得られる。

本実施例における方法の他の実施例について説明すると
、磁気ヘッドの姿勢を制御する他の方法として、光など
を用いて、磁気ヘッドのテープ摺動面の形状を非接触で
検出し、この値にもとすいて、磁気ヘッドのＸ、Ｙ、　
θ方向の姿勢を所定の値になるように取付ける。このと
き磁気ヘッド先端の形状を測定する方法として、光切断
方法を用いて、所定ピッチづつ検出器又は磁気ヘッドを
移動させる方法か又は、干渉縞を検出器により、データ
を取り込み、コンピュータ処理を行い、三次元形状又は
、磁気ヘッドのギャップ近傍の二次元形状のｘ、ｙ、θ
の位置が所定の位置になるようにすることにより、高精
度に位置決めするとともに、加工量をワーク保持具の基
準面からの磁気ヘッドのテープ摺動面Ｓまでの位置を加
工前後で計測できるため、高精度な加工ができる。この
形状測定や位置の測定は、加工機内で行なってもよく、
加工機外で行なってもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、以下の効果がある。

テープフォーミングガイドおよび磁気ヘッド突出量調整
装置により研磨テープの変形を強制することおよび、ヘ
ッド突出量を高精度に位置決めできることにより、磁気
ヘッドのテープ走行方向と直角方向の形状ばらつきを小
さくでき、またテープフォーミングガイドと磁気ヘッド
の間隔を任意に設定できるため、磁気ヘッドのギャップ
中心と、磁気ヘッドのテープ走行方向の形状の曲率の中
心を任意に加工でき、高精度な磁気ヘッドを提供できる
。さらに高精度な加工ができることより、ばらつきの少
ない高精能な磁気ヘッドを供給できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る方法を実施するための磁気へラ
ドラッピング装置の概略構成を示す平面図、第２図は第
１図における磁気ヘッド研磨装置の主要部（テープフォ
ーミングガイド部、ワーク支持板部とその近傍）を説明
する断面図、第３図は磁気ヘッドのワーク取付装置の構
成を示す説明図、第４図は従来の磁気ヘッド研磨装置に
おける磁気ヘッド研磨部周辺を示す断面図、第５ａ図〜
第５ｃ図は研磨された磁気へラドチップの研磨状態を示
す断面図、第６図は磁気ヘッドチップの研磨における、
チップの形状半径と磁気ヘッド突出量との関係を示すグ
ラフ、第７図は磁気ヘッドチップの形状半径と一対のテ
ープフォーミングガイド間の間隔との関係を示すグラフ
、第８図は磁気へラドチップの直角方向半径の中心の移
動量とテープフォーミングガイド部の上下方向移動量と
の関係を示すグラフ、第９図は磁気へラドチップを示す
斜視図、第１０図は磁気へラドチップを示す断面図であ
る。 １ａ・・・研磨テープ供給リール、１ｂ・・・研磨テー
プ巻取リリール、２・・・研磨テープ、３・・・研磨テ
ープ繰出し用ピンチローラ、４，１６・・・キャプスタ
ンローラ、５，１５・・・中間ローラ、６．１４・・・
ガイドローラ、１７・・・巻取りローラ、７ａ、７ｂ　
　・テープフォーミングガイド、８ａ、８ｂ・・・テー
プガイド、１３Ｉ、１３ｍ・・・磁気ヘッド、１３ａ・
ヘソドチッフ、　−”１３　ｂ・・・ヘッドベース、１
２・・ワーク保持板、１０・・ワーク支持板回転シャフ
ト、１１・・・ワーク支持板支持シャフト、２３・・干
渉計、２４・・・テレビカメラ、２５ａ、２５ｂ・・ワ
ーク位置合せ用基準線、２６ａ、ｂ・・・干渉縞、２７
・・テレビモニタ、２８・参照ミラー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、所定の間隙をもって軸方向に対向する１対のテープ
   ガイドの外周面で研磨テープを案内し、このテープガイ
   ドより０．５〜１ｍｍ大きい曲率半径の１対のテープフ
   ォーミングガイドの内周面に研磨テープ吸着用スリット
   又は、吸着穴を設け、双方のテープフォーミングガイド
   を所定の間隙をへだてて、軸方向に対向して設置すると
   ともに、研磨テープをテープフォーミングガイドの内周
   面のＲ面にそって吸着させながら走行させ、該１対のテ
   ープフォーミングガイドの内周面から所定量Δｔ突き出
   して、高速で正転又は正逆転を繰返しながら、該研磨テ
   ープにより磁気ヘッドの摺動面を研磨する方法であって
   、被加工物の取付用ディスクに、磁気ヘッドの突出量お
   よび姿勢を機上あるいは機外で非接触で検出し、すくな
   くとも１ケ以上の磁気ヘッドを、被加工物取付用ディス
   クに着脱自在に保持して、研磨することを特徴とする磁
   気ヘッドの研磨方法。 ２、請求項１記載の磁気ヘッドの研磨方法によって研磨
   された磁気ヘッド。 ３、磁気ヘッドの突出量および姿勢を機上あるいは機外
   で干渉縞を検出し、それにもとずいて、被加工物取付用
   ディスクに、すくなくとも１ケ以上の磁気ヘッドを保持
   して研磨することを特徴とする磁気ヘッドの研磨方法。