JPH03245963A

JPH03245963A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH03245963A
Application number: JP4307490A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kuwabara; 隆桑原
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1990-02-23
Filing date: 1990-02-23
Publication date: 1991-11-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、被加工部材に研磨用パッドを面接触きせてな
る研磨装置に関する。

（ロ）　従来の技術本発明に先行する特公昭５５−３７３８２号公報に記載
された従来の研磨装置では、粗研削用カッタを有する研
磨用パッドを被加工部材に接触させているが、前記研削
用パッドと前記被加工部材との互いの位置関係を正確に
決定できない場合には前記被加工部材が偏摩耗する欠点
、また前記被加工部材の偏摩耗を防止するためには研磨
途中で被加工部材を研磨加工装置から外して研磨面を測
定する必要がありそのための被加工部材の着脱作業及び
測定作業の分だけ作業能率の悪いものになる等の欠点が
ある。

（ハ）発明が解決しようとする課題本発明は前述の欠点を解消し、研磨作業を正確且つ能率
良く行ない得る研磨装置を提供するものである。

（二〉　　課題を解決するための手段本発明は、被加工部材を保持して回転させる回転主軸と
、前記被加工部材の研磨面に当接する研磨用パッドと、
該研磨用パッドを保持してテープルに固定された固定手
段と、を備えてなるものであって、前記研磨用パッドに自動調心玉軸受を設け、研磨面に対
するパッド面の片当りを防止すると共に、前記固定手段に圧力センサーを設け、該圧力センサーに
よりインプロセスでパッド面の押し付け圧を測定して調
整してなるものである。

（ホ）作　用本発明によれば、研磨用パッドと被加工部材との位置関
係に誤差を生じた場合にもこの誤差を解消する方向で自
動調心玉軸受が動作するようになり、よって被加工部材
は自動的に片当りによる偏摩耗が防止されるようになり
、また、前記研磨用パッドのパッド面の押し付け圧が圧力
センサーによりインプロセスで測定して調整されること
で、この押し付け圧のパターンが安定化し、よって被加
工部材は表面粗さについて安定するようになり、従って被加工部材は研磨途中の取り外し点検作業を不要
として正確に研磨諮れるようになる。

（へ）実施例次に本発明の一実施例について説明する。

第１図において、（１）は被加工部材で、その表面に無
寛解Ｎ１−ｐめっき層（２）が形成され、この硬質金属
素材のめっき層（２）が研磨されるものである。（３）
は被加工部材（１）を保持して回転させる回転主軸で、
モータ（図示しない）により駆動されると共に、静圧ス
ピンドルを使用して形成され、且つ前記被加工部材（１
）を真空吸着している。（４〉は送りテーブルで、手動
または電動の送り機構（図示しない）を有して矢印Ａ方
向で往復移動するよう構成されている。（５〉は前記被
加工部材（１）を研磨加工する研磨用パッド、（６）は
前記研磨用パッドく５）を保持して押し付け用テーブル
〈７）に固定された固定手段である。前記研磨用パッド
（５）は、パッド部（８）と、該パッド部（８）を保持
した状態で前記固定手段（６）に対して摺動するスライ
ド部（９〉等から形成されている。また、パッド部（８
）は、第２図に示すように表面にアルミナ系の砥粒の接
着された直径５ｏｎ程度のウレタン製のパッド（１０）
と、該パッド（１０）を貼着した貼りつけ用治具（１１
）と、から形成されている。

而して前記研磨用パッドく５〉は、そのパッド部（８）
とスライド部（９）との間に、自動調心玉軸受（１２）
を介設している。前記自動調心玉軸受（１２）は、前記
スライド部（９）の中心線（Ｂ）に対して前記貼りつけ
用治具（１１）が±３．５°の範囲で傾き回動できるよ
うに構成しである。

また、前記固定手段く６）は、直動軸受（１３）を有し
、この直動軸受（１３）により前記スライド部（９）を
数ｍのストロークで摺動させる。更に固定手段（６〉は
、圧力センサー（１４）を有し、この圧力センサー（１
４）によってコイルバネ（１５）を介してインプロセス
でパッド面（１０ａ）の押し付け圧を測定して調整する
ように構成しである。前記固定手段（６）では、具体的
に、環状溝（１６）の底部に圧力センサー（１４）を配
設し、前記コイルバネ（１５〉の圧接力がリング部材（
１７）を介して圧力センサー（１４〉に伝達するように
構成しである。また前記固定手段（６〉は、圧力センサ
ー（１４）の検出信号をコンピュータ（１８）に入力し
、更にこのコンピュータ（１８）を押し付け用テーブル
（７）のコントローラ（１９）に接続することで閉ルー
プの制御系を構成しである。前記コンピュータ（１８）
は、押し付け圧のパターンに関して、研磨開始時に押し
付け圧を大きく、研磨終了時に押し付け圧を小さくすべ
く、プログラム構成すると共に、前記圧力センサー（１
４）の出力信号をインプロセスで測定し、押し付け用テ
ーブル（７）のコントローラフ１９）を制御しながら送
りテーブル（４）を往復動させて研磨加工すべく構成し
である。

前記研磨装置では、その研磨加工時においては研磨用パ
ッド（８）は送りテーブル（４）とともに往復動作して
回転中の被加工部材（１）に接触するようになる。この
研磨装置では、スピンドル回転数１００ｒｐｍ、テーブ
ル送り速度０．２８１ａ／秒で研磨加工した場合、第３
図及び第４図にそれぞれ、横軸に被加工部材（１）の平
面、縦軸のその凹凸寸法（紳）をとって示すように、こ
の研磨装置による第３図のものは同一加工条件の第４図
の従来例のものと比較して非常に平面度の良くなること
が確認されている。更に、この研磨装置では、第５図に
おいて、横軸に被加工部材（１）の表面粗キＲＩＩＩａ
ｘ　（ｊｔｎ　）、縦軸に研磨の度数（研磨実験回数）
をとって示すように、この研磨装置による研磨の度数分
布（特性線Ｃで示す）は同一加工条件の従来例のもの（
特性線りで示す）と比較して非常に良化することが確認
きれている。尚、この度数分布の測定実験についても、
前記平面度の測定実験と同一のスピンドル回転数及びテ
ーブル送り速度の条件下で行なった。

（ト）発明の効果本発明は以上のように構成したから、研磨用パッドと被加工部材との位置関係に誤差を生じた
場合にもこの誤差を解消する方向で自動調心玉軸受が動
作するようになり、よって被加工部材の偏摩耗を防止で
き、また、前記研磨用パッドのパッド面の押し付け圧が圧力
センサーによりインプロセスで測定して調整されること
で、この押し付け圧のパターンが安定化し、よって被加
工部材の表面粗さについても安定化でき、従って被加工部材を、研磨途中の取り外し点検作業を不
要として正確に研磨できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は動実施例
に備えた研磨用パッドの縦断面図、第３図は同実施例の
平面度の研磨加工状態の説明図、第４図は従来例の平面
度の研磨加工状態の説明図、第５図は本発明の一実施例
の表面粗さの研磨加工状態の説明図である。（１）・・・被加工部材、（３）・・・回転主軸、（５
）・・・研磨用パッド、（６）・・・固定手段、（７〉
・・・押し付け用テーブル、（１０ａ）・・・パッド面
、（１２〉・・・自動調心玉軸受、（１４）・・・圧力
センサー

Claims

【特許請求の範囲】１）被加工部材を保持して回転させる回転主軸と、前記
被加工部材の研磨面に当接する研磨用パッドと、該研磨
用パッドを保持してテーブルに固定された固定手段と、
を備えてなるものであって、前記研磨用パッドに自動調心玉軸受を設け、研磨面に対
するパッド面の片当りを防止すると共に、前記固定手段に圧力センサーを設け、該圧力センサーに
よりインプロセスでパッド面の押し付け圧を測定して調
整してなることを特徴とする研磨装置。