JP4334808B2 - 平面研削方法及び平面研削装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水平回転する砥石によって被研削物の上面を研削加工する平面研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の上記平面研削装置は、一般的に、ベッドと、ベッド上に設けられたコラムと、鉛直上下方向に移動可能に前記コラムに支持された砥石台と、鉛直方向に沿って配設され、中心軸回りに回転自在に前記砥石台に保持されるとともに、砥石を支持して該砥石を水平回転せしめる砥石軸と、前記砥石台を鉛直上下方向に移動させる送り手段と、前記砥石軸を回転させる砥石軸駆動手段と、前記砥石軸の下方位置で、垂直軸回りに回転自在に配設され、被研削物をその上面が前記砥石の下面に対向した状態に把持するクランプ手段と、このクランプ手段を回転させる回転駆動手段とを備えた構造となっている。
【０００３】
この平面研削装置では、クランプ手段によって被研削物を把持した後、回転駆動手段によりクランプ手段を回転させて、当該被研削物を回転させるとともに、砥石軸駆動手段によって砥石軸及び砥石を回転させた状態で、送り手段により砥石台を下方に移動させることで、被研削物の上面に砥石が接触して当該被研削物の上面が研削加工される。
【０００４】
尚、前記クランプ手段には、通常、コレットチャック，ダイヤフラムチャック，マグネットチャックやバキュームチャックなどが用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来の平面研削装置では、被研削物をクランプ手段により把持して回転させる構造となっているため、以下に説明するような問題があった。
【０００６】
即ち、クランプ手段によって被研削物を把持すると、その際に、当該被研削物が取付基準面から浮き上がったり、或いは被研削物にクランプ歪を生じるといった不都合を引き起こす場合があり、このような場合には、被研削面の平坦度や基準面に対する平行度といった研削精度を所定の範囲内に収めることができない。
【０００７】
また、研削加工の間、クランプ手段は、常に、加工によって生じた研削くずや砥粒、或いは研削液などにさらされている。このため、当該クランプ手段の動作部分に研削くずや砥粒が侵入しやすく、同動作部分が磨耗，損傷してクランプ手段が故障するといった事態を招きやすい。このため、機械の稼働率が低下するなど、生産性の向上を図ることができなかった。
【０００８】
本発明は以上の実情に鑑みなされたものであって、研削加工精度の低下を防ぐことが可能であり、しかも故障の少ない被研削物回転機構を備えた平面研削装置の提供を、その目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記課題を解決するための本発明は、被研削物を、垂直軸回りに回転する回転体上に、摩擦体を介在させ且つ自由状態で載置し、前記被研削物の自重により前記摩擦体と被研削物との間に生じる静摩擦力によって前記被研削物を前記垂直軸回りに回転せしめ、しかる後、同じく垂直軸回りに回転せしめられる研削砥石の下面を前記被研削物の上面に当接させて、前記研削砥石の当接により前記被研削物に作用する垂直方向の研削力と、前記被研削物の自重との合力によって、前記摩擦体と被研削物との間に前記合力に応じた静摩擦力を生じさせ、生じた該静摩擦力により前記被研削物の回転を維持しつつ、前記研削砥石によって前記被研削物の上面を研削加工するようにした平面研削方法であって、前記摩擦体は、前記回転体の上面に固設された金属板、又は前記回転体の上面に直接的若しくは間接的に接着されたダイヤモンド粒から構成されるとともに、該摩擦体と前記被研削物との間の静摩擦係数が０．１以上０．２以下となるように構成されてなることを特徴とする平面研削方法に係る。
【００１０】
また、この平面研削方法は、以下の平面研削装置に係る装置発明によってこれを好適に実施することができる。即ち、この平面研削装置は、ベッドと、ベッド上に設けられたコラムと、コラムに支持された砥石台と、鉛直方向に沿って配設され、中心軸回りに回転自在に前記砥石台に保持されるとともに、砥石を支持して該砥石を回転せしめる砥石軸と、砥石軸を回転させる砥石軸駆動手段と、砥石軸の下方に配設されて、垂直軸回りに回転する回転体と、ベッドに支持され、回転体を回転自在に保持する回転体保持手段と、砥石軸と回転体とを鉛直方向に相対移動させて、相互に接近／離反せしめる送り手段と、前記回転体の上面に固設された金属板、又は前記回転体の上面に直接的若しくは間接的に接着されたダイヤモンド粒から構成され、被研削物が載置される摩擦体であって、該摩擦体と前記被研削物との間の静摩擦係数が０．１以上０．２以下となるように構成された摩擦体と、回転体を回転させる回転体駆動手段とを設けて構成したことを特徴とする。
【００１１】
この平面研削装置では、まず、被研削物を前記摩擦体上に載置せしめた後、回転体駆動手段により前記回転体及び摩擦体を回転せしめる。被研削物と摩擦体との間には、被研削物の重量に応じた静摩擦力が作用しており、被研削物はこの静摩擦力により摩擦体とともに回転する。
【００１２】
次いで、砥石軸駆動手段によって砥石軸及び砥石を回転させた状態で、送り手段により砥石軸と回転体とを相互に接近せしめて、砥石が所定の切り込み量で被研削物の上面に押し付けられた状態にする。これにより、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、被研削物Ｋには、砥石Ｔの回転接線方向の接線研削力（これをＦｔという）及び垂直方向の垂直研削力（これをＦｎという）が作用することになる。尚、この垂直研削力Ｆｎは被研削物Ｋを摩擦体Ｍに押し付ける力である。
【００１３】
また、被研削物Ｋと摩擦体Ｍとの間には、被研削物Ｋの自重Ｗと前記垂直研削力Ｆｎとを加えた作用力に、被研削物Ｋと摩擦体Ｍとの間の静摩擦係数μを乗じて得られる静摩擦力Ｆｒが作用する。即ち、
Ｆｒ＝（Ｗ＋Ｆｎ）×μ …（１）
【００１４】
一方、被研削物Ｋは、前記接線研削力Ｆｔによって研削加工されるとともに、その回転成分として当該被研削物Ｋの回転方向と逆方向の作用力（即ち、被研削物Ｋの回転を止めようとする抗力であって、これを、Ｆｓという）を受ける。したがって、次式、
Ｆｒ＝（Ｗ＋Ｆｎ）×μ＞Ｆｓ …（２）
即ち、
μ＞Ｆｓ／（Ｗ＋Ｆｎ） …（３）
を、被研削物Ｋと摩擦体Ｍとの間の静摩擦係数μ（０．１以上０．２以下）が満足すれば、砥石Ｔが被研削物Ｋに接触した後も当該被研削物Ｋを回転させることができ、その上面を研削加工することができる。
【００１５】
一般に、前記接線研削力Ｆｔと垂直研削力Ｆｎとは、次式、
Ｆｎ＝（２〜３）×Ｆｔ …（４）
の関係となることが知られており、また、前記作用力Ｆｓと垂直研削力Ｆｎとは、次式、Ｆｓ＝（０．０３〜０．０５）×Ｆｎ …（５）
の関係となることが知られている。
【００１６】
したがって、上式（３）は、次式、
μ＞（０．０３〜０．０５） …（６）
となる。本発明では、被研削物Ｋと摩擦体Ｍとの間の静摩擦係数μが０．１以上０．２以下となるように摩擦体Ｍを構成しており、上式（６）を満足するので、砥石Ｔが被研削物Ｋに接触した後も当該被研削物Ｋを回転させることができ、その上面を研削加工することができる。但し、被研削物Ｋの自重Ｗは垂直研削力Ｆｎに対して無視できるほどに小さいものとする。また、静摩擦係数μを０．１以上としているのは、加工の安定性を考慮したためである。
【００１７】
尚、摩擦体Ｍに金属板を用いる場合、上記静摩擦力を生じるのであれば、前記被研削物Ｋとの当接面が比較的滑らかなものであっても良いが、より大きな静摩擦力を生じさせるためには、当該当接面に凹凸を形成するのが好ましい。また、摩擦体Ｍにダイヤモンド粒を用いる場合、これを回転体の上面に接着した態様や、適宜金属板表面に接着した当該金属板を前記回転体上面に固設した態様を採ることができる。
【００１８】
このように、本発明に係る平面研削方法及び平面研削装置では、被研削物Ｋを把持することなく、砥石Ｔの研削力によって被研削物Ｋと摩擦体Ｍとの間に作用する静摩擦力により、当該被研削物Ｋを回転させるようにしているので、上記従来例のように、被研削物Ｋが取付基準面から浮き上がったり、或いは被研削物Ｋにクランプ歪を生じるといった不都合を生じることがなく、被研削面の平坦度や基準面に対する平行度などを高精度に仕上げることができる。
【００１９】
また、従来のクランプ手段のような動作部分が無いため、研削くずや砥粒にさらされることによって生じる故障部分が少なく、機械の稼働率を高めることができる。更に、クランプ手段が不要である分、装置の製造コストを低減することができ、また、クランプ動作が不要である分、加工に要する時間を短縮することができる。
【００２０】
上記平面研削装置において、研削加工の自動化を図る場合には、前記被研削物Ｋを前記摩擦体Ｍ上に供給し、該摩擦体Ｍ上から前記被研削物Ｋを排出する供給／排出装置を設けると良い。
【００２１】
そして、前記供給／排出装置は、水平回転する移送部材と、該移送部材の下方に配設される支持円板と、前記移送部材を回転させる駆動手段とを備えて構成され、前記支持円板が、その端部に貫通穴を備え、該貫通穴に前記摩擦体Ｍ、又は前記摩擦体Ｍ及び前記回転体の上端部が挿入され、且つその上面が前記摩擦体Ｍの上面とほぼ同一平面状に位置するように配設され、前記移送部材が、前記支持円板の貫通穴と合致する回転ピッチ円上であって、１８０度対称位置に、上下に貫通した保持穴を備えて、該保持穴内に前記被研削物Ｋを収容，保持するように構成され、前記移送部材の保持穴内に保持された被研削物Ｋが、該移送部材の回転により前記支持円板上を滑動して、待機位置から前記摩擦体Ｍ上の研削位置に供給され、該研削位置から前記待機位置に排出されるように構成されたものであっても良い。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態について添付図面に基づき説明する。図１は、本実施形態に係る平面研削装置の概略構成を示した側面図であり、図２は、図１における矢示Ａ−Ａ方向の断面図であり、図３は、図１における矢示Ｂ方向の平面図である。また、図４は、図３における矢示Ｃ−Ｃ方向の断面図である。
【００２３】
図１乃至図４に示すように、本例の平面研削装置１は、ベッド１０と、このベッド１０上に固設されたコラム１１と、矢示Ｚ軸方向に移動可能に前記コラム１１に支持された砥石台１２と、矢示Ｚ軸方向に沿って配設され、中心軸回りに回転自在に前記砥石台１２に保持されるとともに、砥石１３を支持して水平回転せしめる砥石軸１４と、前記ベッド１０上に配設された基台１５と、前記砥石軸１４の下方に配設されて、Ｚ軸回りに回転する回転体２０と、前記基台１５に支持され、前記回転体２０を回転自在に保持する回転体保持手段３０と、前記回転体２０の上端面に固設され、被研削物Ｋが載置される摩擦体３３などを備える。
【００２４】
また、前記平面研削装置１は、前記砥石台１２を矢示Ｚ軸方向に移動させる送り手段（図示せず）と、前記砥石軸１４を回転させる砥石軸駆動手段１６と、前記回転体２０を回転させる回転体駆動手段４０と、前記被研削物Ｋを前記摩擦体３３上に供給するとともに、この摩擦体３３上から前記被研削物Ｋを排出する供給／排出装置５０などを備える。
【００２５】
前記摩擦体３３には、鉄製の円板を用いており、その表面と被研削物Ｋとの間の静摩擦係数μは０．１５〜０．２となっている。かかる摩擦体３３としては、この他にダイヤモンド粒を用いることができ、これを直接回転体２０の上面に接着したり、或いは、これを適宜金属板表面に接着したものを回転体２０の上面に固設した態様とすることができる。また、鉄製の円板を用いる場合に、その表面に凹凸を形成しても良い。
【００２６】
前記送り手段（図示せず）は、サーボモータ１７やボールねじ（図示せず）などからなり、前記駆動手段１６は、駆動モータなどからなる。また、前記基台１５には、その上面から下面に貫通する２つの貫通穴１５ａ，１５ｂが形成されている。
【００２７】
前記回転体２０は、Ｚ軸方向に沿って配設され、下部に回転軸プーリ２１を備えた回転軸２２と、この回転軸２２の上面に固設された上部部材２３などから構成されており、この上部部材２３の上面に前記摩擦体３３が固設されている。
【００２８】
前記回転体保持手段３０は、適宜所定間隔を隔てて設けられた３つのベアリング３１と、ベアリング３１を支持する中空の保持部材３２などから構成されており、このベアリング３１によって前記回転軸２２が回転自在に保持されている。また、前記保持部材３２は、その下部が前記貫通穴１５ａから下側に突出するように、前記基台１５に支持されている。
【００２９】
前記回転体駆動手段４０は、前記ベッド１０に設けられた駆動モータ４１と、この駆動モータ４１の出力軸に設けられた出力軸プーリ４２と、この出力軸プーリ４２及び前記回転軸プーリ２１に掛け回された駆動ベルト４３などから構成される。
【００３０】
斯くして、前記駆動モータ４１の回転動力が、前記出力軸プーリ４２，駆動ベルト４３及び回転軸プーリ２１を介して前記回転軸２２に伝達され、これにより、前記回転軸２２，上部部材２４及び摩擦体３３が一体的に回転する。
【００３１】
前記供給／排出装置５０は、水平回転可能に設けられた移送部材５１と、この移送部材５１の下方に配設された円形の支持円板５２と、この支持円板５２が載置，固定されるほぼ矩形の支持台５３と、前記移送部材５１を回転させる移送部材駆動手段６０などから構成される。
【００３２】
前記支持円板５２には、その端部に上面から下面に貫通した貫通穴５２ａと、その中心位置に上面から下面に貫通した貫通穴５２ｂとが形成されており、この貫通穴５２ａに前記摩擦体３３が挿入される。また、前記支持円板５２は、その上面と前記摩擦体３３の上面とがほぼ同一平面となるように構成されている。
【００３３】
前記移送部材５１には、前記支持円板５２の貫通穴５２ａと合致する回転ピッチ円上であって、図３に示すように、上面から下面に貫通した２つの貫通穴５１ａが形成されており、各貫通穴５１ａに保持部材５４がそれぞれ嵌挿，固定されている。
【００３４】
また、前記保持部材５４には、上面から下面に貫通した保持穴５４ａが形成されており、この保持穴５４ａ内に前記被研削物Ｋが収容され、保持される。
【００３５】
前記移送部材駆動手段６０は、Ｚ軸方向に沿って配設された回転軸６１と、この回転軸６１の上端部に固設されるとともに、上部が前記支持円板５２の貫通穴５２ｂに挿入されたカバー体６２と、このカバー体６２の上面に固設されるとともに、前記移送部材５１に連結された連結部材６３と、この連結部材６３との協働によって前記移送部材５１を挟持する押え部材６４などからなる。
【００３６】
また、前記移送部材駆動手段６０は、適宜所定間隔を隔てて設けられた２つのベアリング６５，６６と、このベアリング６５，６６を支持する中空の保持部材６７などを備えており、このベアリング６５，６６によって前記回転軸６１が回転自在に保持されている。また、前記保持部材６７は、その下部が前記貫通穴１５ｂから下側に突出するように、前記基台１５に支持されており、その下端部には、出力軸６９が前記回転軸６１の下端部と係合した駆動モータ６８が配設されている。
【００３７】
斯くして、前記駆動モータ６８の回転動力が前記回転軸６１に伝達され、これにより、前記回転軸６１，カバー体６２，連結部材６３及び移送部材５１が一体的に回転せしめられる。
【００３８】
そして、前記移送部材５１が回転すると、前記保持部材５４の保持穴５４ａ内に収容，保持された前記被研削物Ｋが、この保持部材５４によって案内されながら前記支持円板５２上を滑動して、待機位置から前記摩擦体３３上の研削位置に供給され、この研削位置から前記待機位置に排出される。
【００３９】
但し、本例では、前記移送部材５１は、１８０度ずつ回転するように構成されているものとし、前記砥石１３の下方位置を前記研削位置と、これから１８０度回転した位置を前記待機位置とする。
【００４０】
尚、前記平面研削装置１には、位置調整ボルト７０が設けられており、この位置調整ボルト７０を締めたり、緩めたりすることで、前記基台１５を前記ベッド１０に対して相対的に矢示Ｅ方向に移動させることができる。これにより、被研削物Ｋの大きさや加工範囲などに合わせて、前記研削位置における被研削物Ｋと砥石１３との位置関係を調整することができる。
【００４１】
以上のように構成された本例の平面研削装置１によれば、まず、待機位置にある保持部材５４の保持穴５４ａ内に被研削物Ｋをそれぞれ収容，保持させた後、駆動モータ６８を駆動させると、この駆動モータ６８の回転動力が回転軸６１に伝達され、これにより回転軸６１，カバー体６２，連結部材６３及び移送部材５１が一体的に回転せしめられる。
【００４２】
こうして、前記被研削物Ｋは、前記保持部材５４によって案内されながら、待機位置から研削位置に向けて支持円板５２上を滑動し、前記移送部材５１が１８０度回転すると、前記被研削物Ｋが摩擦体３３上に載置せしめられる。
【００４３】
そして、駆動モータ４１を駆動させると、この駆動モータ４１の回転動力が、前記出力軸プーリ４２，駆動ベルト４３及び回転軸プーリ２１を介して前記回転軸２２に伝達され、これにより、前記回転軸２２，上部部材２４及び摩擦体３３が一体的に回転せしめられる。前記被研削物Ｋと摩擦体３３との間には、被研削物Ｋの重量に応じた静摩擦力が作用しており、被研削物Ｋはこの静摩擦力により摩擦体３３とともに回転する。
【００４４】
次いで、砥石軸駆動手段１６によって砥石軸１４及び砥石１３を回転させた状態で、送り手段（図示せず）により砥石台１２を矢示Ｚ軸方向下方に移動させて、砥石１３を所定の切り込み量で被研削物Ｋの上面に押し付けられた状態にする。これにより、図５に示すように、被研削物Ｋには、砥石１３の回転接線方向の接線研削力Ｆｔ及び垂直方向の垂直研削力Ｆｎが作用することになる。尚、この垂直研削力Ｆｎは被研削物Ｋを摩擦体３３の上面に押し付ける力である。
【００４５】
また、被研削物Ｋと摩擦体３３との間には、被研削物Ｋの自重Ｗと垂直研削力Ｆｎとを加えた作用力に、被研削物Ｋと摩擦体３３との間の静摩擦係数μ（＝０．１５〜０．２０）を乗じて得られる静摩擦力Ｆｒが作用する。即ち、
Ｆｒ＝（Ｗ＋Ｆｎ）×μ …（７）
【００４６】
一方、被研削物Ｋは、接線研削力Ｆｔによって研削加工されるとともに、その回転成分として当該被研削物Ｋの回転方向と逆方向の作用力Ｆｓを受ける。尚、作用力Ｆｓは、次式、
Ｆｓ＝（０．０３〜０．０５）×Ｆｎ …（８）
となる。
【００４７】
被研削物Ｋの自重Ｗが垂直研削力Ｆｎに対して無視できるほどに小さいものとすると、上式（７）と（８）とから明らかなように、静摩擦力Ｆｒと作用力Ｆｓとは、次式、
Ｆｒ＞Ｆｓ …（９）
の関係となる。したがって、砥石１３が被研削物Ｋに接触した後も前記摩擦体３３との間に生じた静摩擦力Ｆｒによって当該被研削物Ｋを回転させることができ、その上面を研削加工することができる。
【００４８】
そして、被研削物Ｋに対する所定の研削加工が完了すると、砥石台１２を矢示Ｚ軸方向上方に移動させた後、前記移送部材５１を再び回転させて、研削位置にある被研削物Ｋを待機位置に、待機位置にある被研削物Ｋを研削位置にそれぞれ移動させる。以後、待機位置に移送された研削加工後の被研削物Ｋは、同位置の保持部材５４内から取り出され、同保持部材５４内に未加工の新たな被研削物Ｋが装着される一方、研削位置に移送された被研削物Ｋは、上記と同様にして研削加工される。
【００４９】
このように、本例の平面研削装置１では、被研削物Ｋを把持することなく、砥石１３の研削力によって被研削物Ｋと摩擦体３３との間に作用する静摩擦力により、被研削物Ｋを回転させるようにしているので、上記従来例に係る平面研削装置のように、被研削物Ｋが取付基準面から浮き上がったり、或いは被研削物Ｋにクランプ歪を生じるといった不都合を生じることがなく、被研削面の平坦度や基準面に対する平行度などを高精度に仕上げることができる。
【００５０】
また、従来のクランプ手段のような動作部分が無いため、研削くずや砥粒にさらされることによって生じる故障部分が少なく、機械の稼働率を高めることができる。更に、クランプ手段が不要である分、装置の製造コストを低減することができ、また、クランプ動作が不要である分、加工に要する時間を短縮することができる。
【００５１】
更に、被研削物Ｋを研削位置及び待機位置に移動させる供給／排出装置５０を備えているので、効率的に被研削物Ｋを加工することができる。
【００５２】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限定されるものではない。
【００５３】
上述の例では、摩擦体３３として、その表面と被研削物Ｋとの間の静摩擦係数μが０．１５〜０．２である鉄製の円板を例示したが、静摩擦係数μが０．１以上０．２以下であれば、他の金属板であっても良く、また、ダイヤモンド粒を用いたものでも良い。尚、静摩擦係数μは、上式（６）から明らかなように理論的には０．０５より大きければ構わないが、これを０．１以上としているのは、加工の安定性を考慮したためである。
【００５４】
また、上述の例では、１個の被研削物Ｋを研削加工する態様を例示したが、複数個の被研削物Ｋを同時に研削加工する態様としても良い。
【００５５】
更に、上述の例では、被研削物Ｋの片面のみを研削加工する場合について説明したが、これに限られるものではなく、その両面（上面及び下面）を研削加工するように構成することもできる。例えば、被研削物Ｋの一方面の研削加工が完了し、研削位置から待機位置に移動せしめられた被研削物Ｋを、この待機位置に適宜配設された反転装置によりその上下面を反転させ、その後、再び研削位置に移動させて、被研削物Ｋの他面を研削加工するようにすれば良い。
【００５６】
また、待機位置にある保持部材５４への被研削物Ｋの着脱は、人手による態様でも、ロボットやローダーなど自動着脱装置を用いた態様でもいずれでも良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態に係る平面研削装置の概略構成を示した側面図である。
【図２】 図１における矢示Ａ−Ａ方向の断面図である。
【図３】 図１における矢示Ｂ方向の平面図である。
【図４】 図３における矢示Ｃ−Ｃ方向の断面図である。
【図５】 （ａ）及び（ｂ）は、本発明の作用を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１ 平面研削装置
１０ ベッド
１１ コラム
１２ 砥石台
１３ 砥石
１４ 砥石軸
１５ 基台
２０ 回転体
３０ 回転体保持手段
３３ 摩擦体
４０ 回転体駆動手段
５０ 供給／排出装置
５１ 移送部材
５１ａ 貫通穴
５２ 支持円板
５４ 保持部材
５４ａ 保持穴
６０ 移送部材駆動手段
７０ 位置調整ボルト

Claims (4)

1. 被研削物を、垂直軸回りに回転する回転体上に、摩擦体を介在させ且つ自由状態で載置し、前記被研削物の自重により前記摩擦体と被研削物との間に生じる静摩擦力によって前記被研削物を前記垂直軸回りに回転せしめ、
   しかる後、同じく垂直軸回りに回転せしめられる研削砥石の下面を前記被研削物の上面に当接させて、
   前記研削砥石の当接により前記被研削物に作用する垂直方向の研削力と、前記被研削物の自重との合力によって、前記摩擦体と被研削物との間に前記合力に応じた静摩擦力を生じさせ、生じた該静摩擦力により前記被研削物の回転を維持しつつ、前記研削砥石によって前記被研削物の上面を研削加工するようにした平面研削方法であって、
   前記摩擦体は、前記回転体の上面に固設された金属板、又は前記回転体の上面に直接的若しくは間接的に接着されたダイヤモンド粒から構成されるとともに、該摩擦体と前記被研削物との間の静摩擦係数が０．１以上０．２以下となるように構成されてなることを特徴とする平面研削方法。
2. ベッドと、
   前記ベッド上に設けられたコラムと、
   前記コラムに支持された砥石台と、
   鉛直方向に沿って配設され、中心軸回りに回転自在に前記砥石台に保持されるとともに、砥石を支持して該砥石を回転せしめる砥石軸と、
   前記砥石軸を回転させる砥石軸駆動手段と、
   前記砥石軸の下方に配設されて、垂直軸回りに回転する回転体と、
   前記ベッドに支持され、前記回転体を回転自在に保持する回転体保持手段と、
   前記砥石軸と回転体とを鉛直方向に相対移動させて、相互に接近／離反せしめる送り手段と、
   前記回転体の上面に固設された金属板、又は前記回転体の上面に直接的若しくは間接的に接着されたダイヤモンド粒から構成され、被研削物が載置される摩擦体であって、該摩擦体と前記被研削物との間の静摩擦係数が０．１以上０．２以下となるように構成された摩擦体と、
   前記回転体を回転させる回転体駆動手段とを設けて構成したことを特徴とする平面研削装置。
3. 前記被研削物を前記摩擦体上に供給するとともに、該摩擦体上から前記被研削物を排出する供給／排出装置を更に設けたことを特徴とする請求項２記載の平面研削装置。
4. 前記供給／排出装置は、水平回転する移送部材と、該移送部材の下方に配設される支持円板と、前記移送部材を回転させる駆動手段とを備えて構成され、前記支持円板が、その端部に貫通穴を備え、該貫通穴に前記摩擦体、又は前記摩擦体及び前記回転体の上端部が挿入され、且つその上面と前記摩擦体の上面とが同一平面となるように設けられ、前記移送部材が、前記支持円板の貫通穴と合致する回転ピッチ円上であって、１８０度対称位置に、上下に貫通した保持穴を備えて、該保持穴内に前記被研削物を収容，保持するように構成され、前記移送部材の保持穴内に保持された被研削物が、該移送部材の回転により前記支持円板上を滑動して、待機位置から前記摩擦体上の研削位置に供給され、該研削位置から前記待機位置に排出されるように構成されてなることを特徴とする請求項３記載の平面研削装置。

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