JP3225401B2 - ドーナツ形ガラス板の研削装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パソコンなどの記
憶装置に使用されるハードディスク用ガラス板で代表さ
れるドーナツ形ガラス板の内径又は内外径周縁を研削す
ることのできる研削装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワークをワーク把持部で把持して回動さ
せるように作動する主軸を備えた主軸台に対し、ワーク
の内孔周縁を研削するための研削ホイールを備えた内径
研削ホイール台を、機台上に、軌道部材を介して前後左
右方向への相対変位可能に設け、さらにワーク把持面で
吸引把持されたワークをワーク把持面へ向けて押圧する
ものとしたワーク押さえの支持機構を内径研削ホイール
台側に形成してなるドーナツ形ガラス板の研削装置は既
に存在している。

【０００３】この既存の研削装置に於いて、上記研削ホ
イールはワーク押さえの中心部に位置されている。また
ワーク押さえの支持機構が内径研削ホイール側に形成さ
れている関係上、内径研削ホイール台を前後左右へ案内
するための軌道部材は研削ホイールの回転駆動軸から水
平方向へ大きく離れて形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の研削装
置に於いては、内径研削ホイール台の研削ホイールがこ
れを支持した軌道部材から大きく離れているため、この
研削ホイールの支持機構の剛性が十分なものとなってお
らず、加工条件によってはいわゆるビビリが生じてワー
クのチッピングの原因をなすのであり、また上記研削ホ
イールの周囲に常にワーク押さえが存在するため、狭隘
な作業空間の下でこの研削ホイールの交換装着を行うこ
とを余儀なくされ、多くの手間を要することは避けられ
ず、このことが研削装置の稼働率を大きく低下させるも
のとなっている。

【０００５】本発明は、上記した問題点を解消してドー
ナツ形ガラス板を品質良好にしかも能率的に研削するこ
と可能とした研削装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の研削装置では、
請求項１に記載したようにワークをワーク把持面により
吸引把持して回動させるように作動する主軸を備えた主
軸台と、ワークの内孔周縁を研削するための研削ホイー
ルを備えた内径研削ホイール台とを機台上に前後左右方
向への相対変位可能に設けると共に、ワーク把持面によ
り吸引把持されたワークをワーク把持面へ向けて押圧す
るものとしたワーク押さえを設けたドーナツ形ガラス板
の研削装置に於いて、特殊構成のワーク押さえを主軸台
に支持させた構成となす。

【０００７】この際、内径研削ホイール台は主軸台に対
し軌道部材を介することにより前後左右方向へ移動可能
となし、且つ、内径研削ホイール台の研削ホイールの回
転駆動軸の略直下に前記軌道部材を配設する。

【０００８】この研削装置によれば、内径研削ホイール
台の研削ホイールの近傍にこれを支持するための軌道部
材１４、１５が位置しているため、この研削ホイールは
前記軌道部材から大きく水平方向へ外れて位置するもの
とならないのであり、このことが前記研削ホイールの支
持構造の剛性を簡易構造により十分に大きくなして、前
記研削ホイールの振動に基づくビビリ現象を阻止するも
のとなる。またワーク押さえが主軸台に支持されるた
め、主軸台と内径研削ホイール台とをこれらが離れる方
向へ相対変位させると、内径研削ホイール台の研削ホイ
ールはワーク押さえや主軸台から大きく離れて周囲に何
も存在しなくなり、前記研削ホイールを交換装着するた
めの大きな作業空間が形成されるものとなる。

【０００９】本発明の研削装置は次のように具体化す
る。即ち、主軸台に左右方向の一定範囲内の変位自在
で、しかも圧縮スプリング或いは空気圧で内径研削ホイ
ール台側へ向け付勢された支持摺動棒３６を張り出し状
に設け、この支持摺動棒３６の先端にワーク押さえを固
定し、一方では内径研削ホイール台に左右方向の一定範
囲内の変位自在で、しかも特定大きさの空気圧で主軸台
側へ押圧された押圧体を左右方向の張り出し状に設け、
研削加工時にはワーク押さえが押圧体に押されて主軸台
側へ移動され、ワーク把持面に吸引把持されたワークの
内径研削ホイール台側の片面を押圧する構成となす。こ
れによれば、ワーク押さえが簡易な機構を介して作動さ
れるものとなって、ワーク把持面にワークを一定力で確
実に押し付けるものとなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る研削装置を示
す平面図、図２は図１のＡ−Ａ部を示す側面矢視図、図
３は前記研削装置の正面視説明図、図４は前記研削装置
の外径研削ホイール台の研削ホイール周辺を示す断面
図、図５は前記研削装置の一部を示すもので、Ａは研削
ホイールの部分拡大図で、Ｂは研削ホイールの周面の部
分拡大図である。

【００１１】図１及び図２に於いて、１は機台であり、
この機台１上には外径研削ホイール台２、内径研削ホイ
ール台３及びワーク把持移動回転用の主軸台４が設けら
れている。

【００１２】外径研削ホイール台２は機台１上の軌道部
材５を介して前後方向Ｘの送り移動可能となされたもの
で、モータ６と、このモータ６から回転を伝達される回
転駆動軸７を装設されている。この際、回転駆動軸７は
図４に示すようにボールベアリング８を介して特定位置
での回転自在となされ且つ、一端にモータ６の回転を入
力されるプーリ９を固定され、他端に大径の研削ホイー
ル１０を固定されたものとなす。７Ａは回転駆動軸７を
回転自在に支持した軸受ケース部で、研削ホイール台２
本体部に上下左右位置の微調整可能にボルト固定されて
いる。

【００１３】上記研削ホイール１０の固定構造は次のよ
うになしてある。即ち、回転駆動軸７の先部に半径面部
７ａとテーパ面部７ｂとを設け、一方では研削ホイール
１０の回転中心部にテーパ孔１０ａと、このテーパ孔１
０ａ中心線ｃ１に直交した、研削ホイール１０の一方の
側端面１０ｂとを形成するほか、研削ホイール１０の他
方の側端面１０ｃにナット孔１０ｄを設ける。回転駆動
軸７の先端部には締結手段１１を形成するのであり、こ
の締結手段１１は回転駆動軸７の先端部に形成された雄
ネジ１２と、この雄ネジ１２に螺合されるナット体１３
からなるものとなす。そしてテーパ面部７ｂにテーパ孔
１０ａを外嵌させた状態で、ナット体１３を締結するこ
とにより、テーパ面部７ｂにテーパ孔１０ａを圧密状に
接触させると共に前記側端面１０ｂを半径面部７ａに圧
接させる。これにより、テーパ孔１０ａはテーパ面部７
ｂに適当圧で接触して強固に支持され、また側端面１０
ｂは半径面部７ａとの圧接により回転駆動軸７方向の位
置を正確に特定される。

【００１４】研削ホイール１０の外周面１０ｅには、図
５Ａに示すように、複数の環状研削部ｍ１、ｍ２が形成
されている。各環状研削部はテーパ孔１０ａの中心線ｃ
１と同心となされ且つ各断面を図５Ｂに示すような台形
溝となされている。これら環状研削部ｍ１、ｍ２のう
ち、左側の５つのものａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅは粗研削用
で、右側の５つのものｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊは仕上研削用
である。各環状研削部ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、
ｈ、ｉ、ｊの表面にはニッケルメッキが施され、このメ
ッキ層を介して、ダイヤモンド粒が単層状に固着されて
いる。

【００１５】内径研削ホイール台３は機台１上の下軌道
部材１４を介して左右方向Ｙの送り移動可能となされ且
つ、この下軌道部材１４に支持された状態の上軌道部材
１５を介して前後方向Ｘの移動可能となされたもので、
モータ１６と、このモータ１６の回転を伝達され特定位
置で回転するものとした回転駆動軸１７と、後述のワー
ク押さえを空気圧を介して押圧するものとした押圧手段
１８が装設されたものとなされている。この際、下軌道
部材１４及び上軌道部材１５は内径研削ホイール台３の
回転駆動軸１７のほぼ真下に配置し、回転駆動軸１７が
下機動部材１４や上機動部材１５から前後左右方向へ出
来るだけ外れない構造とする。回転駆動軸１７には図３
等に示すように小径の研削ホイール１９が固定されてお
り、この研削ホイール１９は前記研削ホイール１０と同
一構成で単にその径寸法を小さくなされたものとなされ
る。

【００１６】上記押圧手段１８は次のようになすのであ
って、即ち、図３等に示すように内径研削ホイール台３
本体部に空気シリンダ室２０を形成し、このシリンダ室
２０に押圧体２１を左右方向Ｙの摺動変位自在に嵌入
し、一方では内径研削ホイール台３本体部の一部でシリ
ンダ室２０よりも右側部位に形成された左右向きの透孔
にロッド部材２２を内挿し、ロッド部材２２の先端を押
圧体２１の後端に結合させると共にこのロッド部材２２
の後端には係止部材２３を固定して、押圧体２１の左右
移動範囲を一定範囲内に制限させ、さらにシリンダ室２
０内には適所に設置した圧力調整手段２４により一定圧
に調整された空気が空気供給ライン２５を経て常時、供
給されるように構成する。

【００１７】主軸台４は機台１上の軌道部材２６を介し
て左右方向Ｙの送り移動可能となされたものであり、こ
の主軸台４上には主軸モータ２７と、このモータ２７か
ら回転を伝達される回転主軸２８とが装設されている。
回転主軸２８の先端部には円板状のワーク把持部２９が
固定してあり、このワーク把持部２９は外方側の端面を
ワーク把持面ｓ（図５Ｂ参照）となされ、この把持面ｓ
の回転中心部に凹み孔ｎを有し且つこの凹み孔ｎを取り
囲む環状範囲部分に、真空圧を付与される図示しない多
数の開口を形成されたものとなしてある。上記ワーク把
持面ｓに把持されるワークｗはドーナツ形をしているの
であって、前記凹み孔ｎの径はワークｗの内孔のそれよ
りも大きくなし、またワーク把持面ｓの外径はワークｗ
のそれよりも小さくなす。また回転主軸２８の後端部に
は、図５等に示すように、ワーク把持面ｓの図示しない
開口に空気路２８ａを経て真空圧を付与するものとした
真空付与手段３０を、主軸台４と同体状に且つ回転主軸
２８の回転を許容した状態に装設している。

【００１８】主軸台４の下部にはワーク把持面ｓに関連
して配置されるリング状のワーク押さえ３１が設けてあ
る。このワーク押さえ３１は図１及び図３に示すように
主軸台４に組み込まれた可動支持手段３２を介して支持
されるリング形押さえ支持体３３と、この押さえ支持体
３３に軸受３４を介して回動自在に支持されるリング形
押さえ体３５とを備えてなる。

【００１９】この際、上記可動支持手段３２は、主軸台
４の一部で回転主軸２８の下側の前後箇所に左右向きの
一対の透孔４ａを形成し、これら透孔４ａのそれぞれに
支持摺動棒３６を左右摺動自在に内挿し、各支持摺動棒
３６の後端に係止部材３７を固定してこれら支持摺動棒
３６の左右移動範囲を制限すると共に二本の支持摺動棒
３６の前端にリング形押さえ支持体３３の下部を固定
し、この押さえ支持体３３と、主軸台４の本体部の右端
面との間の各支持摺動棒３６部分に圧縮スプリング３８
を外嵌し、このスプリング３８の弾力で二本の支持摺動
棒３６が右側へ付勢される構成となす。

【００２０】そして、リング形押さえ支持体３３は右端
面の下部を前記押圧体２１で押されるように配置され、
またリング形押さえ体３５は回転主軸２８と同心に配置
され且つその内孔の径を前記ワーク把持面ｓの凹み孔ｎ
の径とほぼ同一となされる。

【００２１】上記ワーク把持部２９の近傍には、そのワ
ーク把持面ｓに未研削のワークｗを搬入したり、このワ
ーク把持面ｓから研削済みのそれを搬出するものとした
図示しないワーク搬入搬出ロボットが設けられる。図
中、３９は外径研削ホイール台２を前後方向Ｘへ送り移
動させるためのサーボモータ、そして４０は内径研削ホ
イール台３を前後方向Ｘへ送り移動させるためのサーボ
モータである。

【００２２】上記研削装置により研削されるべきワーク
としてのハードディスク用ガラス板ｗはガラス素板をコ
ア抜き処理することによりドーナツ状に作成されるもの
であり、例えば２．５インチ又は３．５インチの記憶装
置用ハードディスクに対応した寸法となされる。

【００２３】このコア抜き直後のハードディスク用ガラ
ス板ｗの内外径端面は加工誤差や面粗度の大きいものと
なっているため、この誤差を修正したり面粗度を小さく
する必要があり、さらには内外径端面を特定形状に成形
することも必要となる。

【００２４】これらの必要性から、コア抜き処理された
ハードディスク用ガラス板ｗを上記研削装置により研削
するのであるが、この際の研削処理は具体的には次のよ
うに実施する。即ち、未研削のハードディスク用ガラス
板ｗを研削装置の近傍に連続的に供給できるように準備
すると共に研削装置を作動状態とする。これにより、モ
ータ６、１６が回転し、この回転が回転駆動軸７、１７
に伝達され、研削ホイール１０、１９はその対応する回
転駆動軸７、１７回りに回転するものとなる。

【００２５】また作動開始時には図１中、外径研削ホイ
ール台２は研削処理時位置よりも後側へ移動され、また
内径研削ホイール台３は研削処理時位置よりも前側でし
かも右側に適当距離だけ移動される。さらに主軸台４は
研削処理時位置よりも左側へ移動される。

【００２６】この状態の下でワーク板搬入搬出ロボット
が特定位置に供給されているハードディスク用ガラス板
ｗを、研削処理時位置の近傍で図３Ｂに示すワーク把持
部２９とワーク押さえ３１との間に搬入する。次に主軸
台４が右方ｆ１へ移動して、ワーク把持部２９のワーク
把持面ｓにより、この搬入されたハードディスク用ガラ
ス板ｗを真空吸着する。この吸着に関連してワーク板搬
入搬出ロボットがそのガラス板ｗを解放し、元位置に帰
還する。

【００２７】この後、主軸台４が必要に応じてさらに右
向ｆ１へ移動し、ワーク把持部２９に吸着されたハード
ディスク用ガラス板ｗの左右方向Ｙ上の位置を、研削ホ
イール１０の粗研削用の第一の環状研削部ａの中央に正
対させる。一方では、内径研削ホイール台３が前後方向
Ｘ及び左右方向Ｙへ移動されることにより研削処理時位
置に移動され、研削ホイール１９の粗研削用の第一の環
状研削部を、ワーク把持面ｓに吸着されたハードディス
ク用ガラス板ｗの内孔内に位置させ且つこのガラス板ｗ
の左右方向Ｙ上特定位置に正対させる。このとき適当な
一定空気圧により左方ｆ２の制限位置まで押し出された
状態の押圧体２１が内径研削ホイール台３と同体状に移
動されてワーク押さえ支持体３３の左側面部を左方ｆ２
へ押すことにより、ワーク押さえ３１を圧縮スプリング
３８の付勢力に抗して左方ｆ２へ変位させるのであり、
これによりワーク把持部２９及びワーク押さえ３１はハ
ードディスク用ガラス板ｗの両側面をその外径縁部と内
径縁部を露出させた状態に挟み付けるものとなる。この
際、ハードディスク用ガラス板ｗの挟み付け力は空気シ
リンダ室２０内の空気圧による左向きの力から圧縮スプ
リング３８の弾力による右向きの力を差し引いた大きさ
となる。この時点では、研削ホイール１０は未だハード
ディスク用ガラス板ｗの内径端面に接触しない状態に保
持される。

【００２８】次に主軸台４の回転主軸２８がモータ２７
により回転されることによりハードディスク用ガラス板
ｗが回転主軸２８と同体状に送り回転され、また外径研
削ホイール台２が前方ｆ３へ送り移動されると共に内径
研削ホイール台３が後方ｆ４へ送り移動される。この作
動により、ハードディスク用ガラス板ｗの内径端面が研
削ホイール１９の粗研削用の第一の環状研削部に当接さ
れ、一方では外径端面が研削ホイール１０の粗研削用の
第一の環状研削部ａに当接され、内外径何れの端面も漸
次研削されるものとなる。

【００２９】この際、大径の研削ホイール１０はテーパ
孔１０ａを左右方向Ｙへ長いテーパ面部７ｂで強力に支
持されるため、回転駆動軸７方向の回転振れを生じるも
のとならず、また一方の側端面１０ｂを半径面部７ａで
回転駆動軸７方向の誤差なく支持されるものとなる。従
って、第一の環状研削部ａの中央に当接されたハードデ
ィスク用ガラス板ｗはその外径端面を図５Ｂに示すよう
な面取り形状に精度良く粗研削されるのであり、この研
削は一定時間が経過した後、停止される。この停止に関
連して外径研削ホイール台２は後方ｆ４へ、そして内径
研削ホイール台３は前方ｆ３へ移動され、それらの前後
方向Ｘ送り移動軌跡上の特定位置に停止される。

【００３０】この後、主軸台４が特定寸法だけ右方ｆ１
へ移動されるのであり、これによりワーク把持部２９に
吸着されたハードディスク用ガラス板ｗの左右方向Ｙ上
の位置は二つの研削ホイール１０、１９の仕上げ研削用
の第一の環状研削部に正対した状態となる。この際、ワ
ーク押さえ３１は空気シリンダ室２０の空気圧で押され
た押圧体２１によりワーク把持部２９へ向け押圧され続
ける。従って、ワーク把持部２９に吸着されたハードデ
ィスク用ガラス板ｗはワーク押さえ３１による押圧力が
必要である期間中、ワーク把持部２９とワーク押さえ３
１とで挟圧されるものとなる。

【００３１】次に二つの研削ホイール１０、１９の環状
研削部が、ワーク把持部２９に吸着されたハードディス
ク用ガラス板ｗの内外径端面に当接するように、外径及
び内径研削ホイール台２、３が、先の粗研削の場合と同
様に、前後方向Ｘへ漸次送り移動される。これにより、
ハードディスク用ガラス板ｗの内外径端面は二つの研削
ホイール１０、１９により仕上げ研削されるものとな
る。この仕上げ研削が予め設定された一定時間、実施さ
れると、外径及び内径研削ホイール台２、３は前後方向
Ｘの送り移動を停止される。これにより、ハードディス
ク用ガラス板ｗの内外径端面は正確に仕上げ研削された
状態となる。

【００３２】上記した粗研削や仕上げ研削に於いて、内
径研削ホイール台３の研削ホイール１９がこれのほぼ直
下に存在している下軌道部材１４や上軌道部材１５によ
り支持されることは研削ホイール１９の支持構造に於け
る支持基礎部（特に下軌道部材１４）からの張り出し量
を小さくなして支持構造の剛性を増大させる上で寄与す
るのであり、これにより、研削ホイール１９はハードデ
ィスク用ガラス板ｗを振動の規制された状態の下で安定
的に研削するものとなる。

【００３３】次いで外径及び内径研削ホイール台２、３
がハードディスク用ガラス板ｗの内外径端面から離れる
ように前後方向Ｘへ移動され、しかも内径研削ホイール
台３については右方ｆ１にも移動され、最終的に、これ
ら研削ホイール台２、３は送り移動の開始位置まで移動
されて停止状態となり、次の研削に備える。

【００３４】一方、主軸台４は、二つの研削ホイール１
０、１９がワーク把持部２９に吸着されたハードディス
ク用ガラス板ｗの内外径端面から離れた後に、左方ｆ２
へ移動される。この移動や、内径研削ホイール台３の右
方ｆ１への移動により、主軸台４と内径研削ホイール台
３との距離が一定大きさ以上になると、押圧体２１の先
端が左方ｆ２の制限位置に達した後、ワーク押さえ３１
の右側端面から離れるのであり、これに関連して、ワー
ク押さえ３１が圧縮スプリング３８の弾力で支持摺動棒
３６の移動範囲の右方ｆ１の制限位置まで移動されてそ
の位置を保持されるものとなり、この保持状態の下で、
ワーク押さえ３１はワーク把持部２９に吸着されたハー
ドディスク用ガラス板ｗから最大限に離れた状態とな
る。

【００３５】主軸台４は左方ｆ２の特定位置まで移動さ
れた時、一時的に停止されるのであり、この停止状態の
下で、ワーク搬入搬出ロボットがワーク把持部２９に吸
着されたハードディスク用ガラス板ｗを吸着し、一方で
はワーク把持部２９がハードディスク用ガラス板ｗの吸
着を解放することによりワーク搬入搬出ロボットはこの
ハードディスク用ガラス板ｗを受け取り、その後、特定
場所まで搬出する。

【００３６】この搬出の後、ワーク搬入搬出ロボットは
次に研削すべきハードディスク用ガラス板ｗを先と同様
に研削処理位置の近傍に搬入する。この後、主軸台４及
び、外径及び内径研削ホイール台２、３が先と同様に作
動して、この搬入されたハードディスク用ガラス板ｗを
研削する。そして、ワーク搬入搬出ロボットが研削処理
済みのハードディスク用ガラス板ｗを、先と同様に特定
場所まで搬出する。

【００３７】このような処理が多数のハードディスク用
ガラス板ｗについて実施されることにより、研削ホイー
ル１０、１９の第一環状研削部ａの研削能力が一定程度
以下に低下したときは、図示しない操作盤を操作する等
して主軸台４の左右方向Ｙの送り移動制御を変更させ、
今度は先の第一の環状研削部ａ、ｆに代えて、第二の環
状研削部ｂ、ｇで研削処理を実施するのであり、この処
理においても第二の環状研削部ｂ、ｇの研削能力が一定
程度以下に低下したときは、第二の環状研削部ｂ、ｇに
代えて、第三の環状研削部ｃ、ｈで次の研削処理を実施
するのである。

【００３８】こうして、第一から第五までの全ての環状
研削部の研削能力が一定程度以下に低下したとき、その
研削ホイール１０、１９を回転駆動軸７、１７から取り
外し、新しい研削ホイール１０、１９を装着する。

【００３９】外径研削ホイール台２の研削ホイール１０
は前後方向Ｘの任意位置でその周囲に広い作業空間が存
在するものとなり、従って外径研削ホイール台２の任意
位置で狭い思いをすることなく交換装着される。しか
し、狭隘な空間で作動するものとなる研削ホイール１９
では事情が異なるのであり、その交換装着に於いては、
内径研削ホイール台３を最大限に右方ｆ１へ移動させた
状態で行う。この状態では研削ホイール１９は周囲を他
の構造物で囲まれない状態となり、能率的に交換装着さ
れるものとなる。このような研削ホイール１０、１９の
交換装着により、ハードディスク用ガラス板ｗは枚数の
制限なく研削される。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、内径研削ホイール台の
研削ホイール又は、主軸台の主軸が、内径研削ホイール
台又は主軸台の前後左右方向への相対移動を案内するた
めの軌道部材から水平方向へ大きく外れるのを回避で
き、内径研削ホイール台の研削ホイール又は主軸の支持
機構の剛性を簡易構造により十分に大きくなし得るもの
となり、これにより研削加工時のビビリ現象を効果的に
阻止して高品質な研削が行えるものとなる。またワーク
押さえが主軸台に支持されるため、内径研削ホイール台
を主軸台から離れるように移動させることにより、この
研削ホイール台の研削ホイールの周囲にこの研削ホイー
ルを交換装着するための大きな作業空間が形成されるも
のとなり、この研削ホイールの交換装着が簡易迅速に行
え、能率的な研削作業が可能となる。

【００４１】一方、内径研削ホイール台の研削ホイール
が内径研削ホイール台の前後左右方向への移動を案内す
るための軌道部材１４から水平方向へ大きく外れるのを
回避できて、内径研削ホイール台の研削ホイールの支持
機構の剛性を簡易構造により十分に大きくなし得るもの
となり、これにより研削加工時のビビリを効果的に阻止
して高品質な研削が行えるものとなる。

【００４２】他方、簡易な構造によりワーク押さえを故
障の生じがたい状態で作動させることができ、このよう
に作動されるワーク押さえによりワークをワーク把持面
に一定力で確実に押し付けることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る研削装置を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ部を示す側面矢視図である。

【図３】前記研削装置の正面視説明図で、Ａはワークの
研削中を示しており、Ｂはワークを供給するときの状態
を示している。

【図４】前記研削装置の外径研削ホイール台の研削ホイ
ール周辺の構造を示す断面図である。

【図５】前記研削装置の一部を示すもので、Ａは研削ホ
イールの一部を示す拡大図で、Ｂは研削ホイールの周面
の一部を示す拡大図である。

【符号の説明】

１ 機台 ３ 内径研削ホイール台 ４ 主軸台 １４ 下軌道部材 １５ 上軌道部材 １９ 研削ホイール ２１ 押圧体 ２８ 主軸 ３１ ワーク押さえ ３６ 支持摺動棒 ３８ 圧縮スプリング ｓ ワーク把持面 ｗ ワーク（ハードディスク用ガラス板） Ｘ 前後方向 Ｙ 左右方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 5/12,9/00 B24B 9/08,41/06

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークをワーク把持面により吸引把持し
   て回動させるように作動する主軸を備えた主軸台と、ワ
   ークの内孔周縁を研削するための研削ホイールを備えた
   内径研削ホイール台とを機台上に前後左右方向への相対
   変位可能に設けると共に、ワーク把持面に吸引把持され
   たワークをワーク把持面へ向けて押圧するものとしたワ
   ーク押さえを設けた研削装置に於いて、主軸台に左右方
   向の一定範囲内の変位自在で、しかも圧縮スプリング或
   いは空気圧で内径研削ホイール台側へ向け付勢された支
   持棒を張り出し状に設け、この支持棒の先端にワーク押
   さえを固定し、一方では内径研削ホイール台に左右方向
   の一定範囲内の変位自在で、しかも特定大きさの空気圧
   で主軸台側に押圧された押圧体を左右方向の張り出し状
   に設け、研削加工時にはワーク押さえが押圧体に押され
   て主軸台側へ移動され、ワーク把持面により吸引把持さ
   れたワークの内径研削ホイール台側の片面を押圧する構
   成としたことを特徴とするドーナツ形ガラス板の研削装
   置。