JP2001006166A - ハードディスク用ガラス板の研削方法と、その装置 - Google Patents
ハードディスク用ガラス板の研削方法と、その装置Info
- Publication number
- JP2001006166A JP2001006166A JP11174100A JP17410099A JP2001006166A JP 2001006166 A JP2001006166 A JP 2001006166A JP 11174100 A JP11174100 A JP 11174100A JP 17410099 A JP17410099 A JP 17410099A JP 2001006166 A JP2001006166 A JP 2001006166A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- grinding wheel
- hard disk
- glass plate
- drive shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000010129 solution processing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 研削ホイール10を回転駆動軸7の特定位置
に正確、確実且つ迅速に交換装着することができるよう
にする。またハードディスク用ガラス板wの端縁をチッ
ピング等を生じさせることなく高い精度で能率的に研削
できるようにする。 【解決手段】 特定位置で回転する回転駆動軸7の先部
に半径面部7aとテーパ面部7bとを設け、これら二つ
の面部に研削ホイール10の回転中心部を拘束させ、回
転駆動軸7による研削ホイール10の駆動回転中、研削
ホイール10の周面に形成された環状研削面部にハード
ディスク用ガラス板wの端縁を圧接させるように実施す
る。
に正確、確実且つ迅速に交換装着することができるよう
にする。またハードディスク用ガラス板wの端縁をチッ
ピング等を生じさせることなく高い精度で能率的に研削
できるようにする。 【解決手段】 特定位置で回転する回転駆動軸7の先部
に半径面部7aとテーパ面部7bとを設け、これら二つ
の面部に研削ホイール10の回転中心部を拘束させ、回
転駆動軸7による研削ホイール10の駆動回転中、研削
ホイール10の周面に形成された環状研削面部にハード
ディスク用ガラス板wの端縁を圧接させるように実施す
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パソコンなどの記
憶装置に使用されるハードディスク用ガラス板の研削方
法と、その装置に関する。
憶装置に使用されるハードディスク用ガラス板の研削方
法と、その装置に関する。
【0002】
【従来の技術】特定位置での回転可能となされた回転駆
動軸に固定された研削ホイールと、このホイールの周面
に形成された環状研削面部にハードディスク用ガラス板
の端縁を圧接させるものとしたワーク把持移動部とを備
えたハードディスク用ガラス板の研削装置は存在してい
る。
動軸に固定された研削ホイールと、このホイールの周面
に形成された環状研削面部にハードディスク用ガラス板
の端縁を圧接させるものとしたワーク把持移動部とを備
えたハードディスク用ガラス板の研削装置は存在してい
る。
【0003】上記回転駆動軸に研削ホイールを固定させ
るには、回転駆動軸にテーパ面部を設け、このテーパ面
部に研削ホイールのテーパ孔を圧密状に外嵌させるよう
にするか、或いは回転駆動軸にこの軸方向の同径ストレ
ート面部と、この同径ストレート面部よりも大きな径の
半径面部とを設け、同径ストレート面部に研削ホイール
のストレート孔を密状に外嵌させ、半径面部に研削ホイ
ールの一側面を密状に圧接させるようになす。
るには、回転駆動軸にテーパ面部を設け、このテーパ面
部に研削ホイールのテーパ孔を圧密状に外嵌させるよう
にするか、或いは回転駆動軸にこの軸方向の同径ストレ
ート面部と、この同径ストレート面部よりも大きな径の
半径面部とを設け、同径ストレート面部に研削ホイール
のストレート孔を密状に外嵌させ、半径面部に研削ホイ
ールの一側面を密状に圧接させるようになす。
【0004】上記研削装置によりハードディスク用ガラ
ス板を研削する際は、このガラス板をワーク把持部に把
持させた後、このワーク把持部を機械的に動作させてハ
ードディスク用ガラス板の端縁を研削ホイールの環状研
削面部に近接させ、このガラス板を回転させつつその端
縁を圧接させるようにする。これにより、ハードディス
ク用ガラス板はその端縁を研削され所定形状となされ
る。
ス板を研削する際は、このガラス板をワーク把持部に把
持させた後、このワーク把持部を機械的に動作させてハ
ードディスク用ガラス板の端縁を研削ホイールの環状研
削面部に近接させ、このガラス板を回転させつつその端
縁を圧接させるようにする。これにより、ハードディス
ク用ガラス板はその端縁を研削され所定形状となされ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記したハードディス
ク用ガラス板の研削処理に於いて、研削ホイールを回転
駆動軸にテーパ面部を介して固定する場合には、次のよ
うな問題がある。即ち、研削ホイールのテーパ孔を機械
加工する場合にその精度に限界があり、その加工誤差
が、回転駆動軸に外嵌固定された状態の研削ホイールの
回転駆動軸方向位置についての無視できないバラツキを
生じさせる。このバラツキによる研削ホイールの位置誤
差はハードディスク用ガラス板の加工精度を損なうため
修正しなければならないが、この修正には試し研削を繰
り返し行うことが必要となって手間がかかるのであり、
特に多数の研削装置を設置して作業する場合はその手間
は多大なものとなる。
ク用ガラス板の研削処理に於いて、研削ホイールを回転
駆動軸にテーパ面部を介して固定する場合には、次のよ
うな問題がある。即ち、研削ホイールのテーパ孔を機械
加工する場合にその精度に限界があり、その加工誤差
が、回転駆動軸に外嵌固定された状態の研削ホイールの
回転駆動軸方向位置についての無視できないバラツキを
生じさせる。このバラツキによる研削ホイールの位置誤
差はハードディスク用ガラス板の加工精度を損なうため
修正しなければならないが、この修正には試し研削を繰
り返し行うことが必要となって手間がかかるのであり、
特に多数の研削装置を設置して作業する場合はその手間
は多大なものとなる。
【0006】また研削ホイールを同径ストレート面部及
び半径面部を介して回転駆動軸に固定する場合には、次
のような問題がある。即ち、同径ストレート面部と研削
ホイールとの嵌合部のすきまがあるため、研削ホイール
の回転時にこの研削ホイールに回転駆動軸方向の回転振
れが生じ易くなる。この回転振れは研削装置への振動発
生源となり、ハードディスク用ガラス板の加工面にチッ
ピング等を生じさせて加工面の面粗度を損ねたり真円度
を低下させることから、これを解消させる必要がある
が、この解消処理も実際上手間のかかるものとなってい
る。
び半径面部を介して回転駆動軸に固定する場合には、次
のような問題がある。即ち、同径ストレート面部と研削
ホイールとの嵌合部のすきまがあるため、研削ホイール
の回転時にこの研削ホイールに回転駆動軸方向の回転振
れが生じ易くなる。この回転振れは研削装置への振動発
生源となり、ハードディスク用ガラス板の加工面にチッ
ピング等を生じさせて加工面の面粗度を損ねたり真円度
を低下させることから、これを解消させる必要がある
が、この解消処理も実際上手間のかかるものとなってい
る。
【0007】本発明は、上記問題点を解消してハードデ
ィスク用ガラス板を能率的且つ品質良好に研削できるよ
うにすることを目的とする。
ィスク用ガラス板を能率的且つ品質良好に研削できるよ
うにすることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のハードディスク
用ガラス板の研削方法では、請求項1に記載したよう
に、特定位置で回転する回転駆動軸の先部に半径面部と
テーパ面部とを設け、これら二つの面部に研削ホイール
の回転中心部を拘束させ、回転駆動軸による研削ホイー
ルの駆動回転中、研削ホイールの周面に形成された環状
研削面部にハードディスク用ガラス板の端縁を圧接させ
るように実施する。
用ガラス板の研削方法では、請求項1に記載したよう
に、特定位置で回転する回転駆動軸の先部に半径面部と
テーパ面部とを設け、これら二つの面部に研削ホイール
の回転中心部を拘束させ、回転駆動軸による研削ホイー
ルの駆動回転中、研削ホイールの周面に形成された環状
研削面部にハードディスク用ガラス板の端縁を圧接させ
るように実施する。
【0009】さらに具体的には、請求項2に記載したよ
うに、ハードディスク用ガラス板を把持したワーク把持
部の作動により圧接させる。また請求項3に記載したよ
うに、二つの面部に研削ホイールの回転中心部を拘束さ
せるための締結手段を回転駆動軸の先端部に設け、この
締結手段の締結操作により、研削ホイールのテーパ孔を
テーパ面部に、そして研削ホイールの一方の側端面を半
径面部に圧接させる。この際、締結手段は請求項4に記
載したようにネジナット機構となすのがよい。また請求
項5に記載したように、研削ホイールのテーパ孔をテー
パ面部に圧接させることにより、研削ホイールのテーパ
孔の周壁部を弾性変形させるのがよいのであり、このよ
うにすれば研削ホイールがテーパ面上で振動して例えば
テーパ孔の一部がテーパ面部から離れようとしても、テ
ーパ孔部分が縮径方向へ弾性変形してテーパ孔とテーパ
面部の密接を保持するようになる。
うに、ハードディスク用ガラス板を把持したワーク把持
部の作動により圧接させる。また請求項3に記載したよ
うに、二つの面部に研削ホイールの回転中心部を拘束さ
せるための締結手段を回転駆動軸の先端部に設け、この
締結手段の締結操作により、研削ホイールのテーパ孔を
テーパ面部に、そして研削ホイールの一方の側端面を半
径面部に圧接させる。この際、締結手段は請求項4に記
載したようにネジナット機構となすのがよい。また請求
項5に記載したように、研削ホイールのテーパ孔をテー
パ面部に圧接させることにより、研削ホイールのテーパ
孔の周壁部を弾性変形させるのがよいのであり、このよ
うにすれば研削ホイールがテーパ面上で振動して例えば
テーパ孔の一部がテーパ面部から離れようとしても、テ
ーパ孔部分が縮径方向へ弾性変形してテーパ孔とテーパ
面部の密接を保持するようになる。
【0010】本発明のハードディスク用ガラス板の研削
装置は、請求項6に記載したように、特定位置で回転可
能となされた回転駆動軸に固定された研削ホイールと、
このホイールの周面に形成された環状研削面部にハード
ディスク用ガラス板を移動させてその端縁を圧接させる
ものとしたワーク把持部とを備えたものであって、回転
駆動軸の先部に半径面部とテーパ面部とを設け、これら
二つの面部に研削ホイールの回転中心部を拘束させたも
のとなす。
装置は、請求項6に記載したように、特定位置で回転可
能となされた回転駆動軸に固定された研削ホイールと、
このホイールの周面に形成された環状研削面部にハード
ディスク用ガラス板を移動させてその端縁を圧接させる
ものとしたワーク把持部とを備えたものであって、回転
駆動軸の先部に半径面部とテーパ面部とを設け、これら
二つの面部に研削ホイールの回転中心部を拘束させたも
のとなす。
【0011】さらに具体的には、請求項7に記載したよ
うに、回転駆動軸をこの駆動軸方向の位置変更調整可能
となされた研削ホイール台に装設されたものとなし、ま
た請求項8に記載したように、回転駆動軸の先端部に設
けたネジナット機構により、研削ホイールのテーパ孔を
テーパ面部に、そして研削ホイールの一方の側端面を半
径面部に圧接させた構成となす。
うに、回転駆動軸をこの駆動軸方向の位置変更調整可能
となされた研削ホイール台に装設されたものとなし、ま
た請求項8に記載したように、回転駆動軸の先端部に設
けたネジナット機構により、研削ホイールのテーパ孔を
テーパ面部に、そして研削ホイールの一方の側端面を半
径面部に圧接させた構成となす。
【0012】上記した本発明の研削方法又は研削装置に
よれば、半径面部が研削ホイールの回転駆動軸方向の位
置決めを簡易となし、またテーパ面部が研削ホイールの
テーパ面締結ですきまがゼロとなることにより支持して
研削ホイールの振れを生じさせないように作用する。
よれば、半径面部が研削ホイールの回転駆動軸方向の位
置決めを簡易となし、またテーパ面部が研削ホイールの
テーパ面締結ですきまがゼロとなることにより支持して
研削ホイールの振れを生じさせないように作用する。
【0013】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る研削装置を示
す平面図、図2は図1のA−A部を示す側面矢視図、図
3は前記研削装置の要部を示す断面図、図4は前記研削
装置の一部を示すもので、Aは研削ホイールの部分拡大
図で、Bは研削ホイールの周面の部分拡大図である。
す平面図、図2は図1のA−A部を示す側面矢視図、図
3は前記研削装置の要部を示す断面図、図4は前記研削
装置の一部を示すもので、Aは研削ホイールの部分拡大
図で、Bは研削ホイールの周面の部分拡大図である。
【0014】図1及び図2に於いて、1は機台であり、
この機台1上には第一研削ホイール台2、第二研削ホイ
ール台3及びワーク把持移動台4が設けられている。
この機台1上には第一研削ホイール台2、第二研削ホイ
ール台3及びワーク把持移動台4が設けられている。
【0015】第一研削ホイール台2は機台1上の軌道部
材5を介して縦方向Xの送り移動可能となされたもの
で、モータ6と、このモータ6から回転を伝達される回
転駆動軸7を装設されている。この際、回転駆動軸7は
図3に示すようにボールベアリング8を介して特定位置
での回転自在となされ且つ、一端にモータ6の回転を入
力されるプーリ9を固定され、他端に弾性変形材からな
る大径の研削ホイール10を固定されたものとなす。7
Aは回転駆動軸7を回転自在に支持した軸受ケース部
で、研削ホイール台2の本体部に上下左右位置の微調整
可能にボルト固定されている。
材5を介して縦方向Xの送り移動可能となされたもの
で、モータ6と、このモータ6から回転を伝達される回
転駆動軸7を装設されている。この際、回転駆動軸7は
図3に示すようにボールベアリング8を介して特定位置
での回転自在となされ且つ、一端にモータ6の回転を入
力されるプーリ9を固定され、他端に弾性変形材からな
る大径の研削ホイール10を固定されたものとなす。7
Aは回転駆動軸7を回転自在に支持した軸受ケース部
で、研削ホイール台2の本体部に上下左右位置の微調整
可能にボルト固定されている。
【0016】上記研削ホイール10の固定構造は次のよ
うになしてある。即ち、回転駆動軸7の先部に半径面部
7aとテーパ面部7bとを設け、一方では研削ホイール
10の回転中心部にテーパ孔10aと、このテーパ孔1
0a中心線c1に直交した、研削ホイール10の一方の
側端面10bとを形成するほか、研削ホイール10の他
方の側端面10cにナット孔10dを設ける。回転駆動
軸7の先端部には締結手段11を形成するのであり、こ
の締結手段11は回転駆動軸7の先端部に形成された雄
ネジ12と、この雄ネジ12に螺合されるナット体13
からなるものとなす。そしてテーパ面部7bにテーパ孔
10aを外嵌させた状態で、ナット体13を締結するこ
とにより、テーパ面部7bにテーパ孔10aを弾性変形
による圧密状に接触させると共に前記側端面10bを半
径面部7aに圧接させる。これにより、テーパ孔10a
はテーパ面部7bに適当圧で接触して強固に支持され、
また側端面10bは半径面部7aとの圧接により回転駆
動軸7方向の位置を正確に特定される。
うになしてある。即ち、回転駆動軸7の先部に半径面部
7aとテーパ面部7bとを設け、一方では研削ホイール
10の回転中心部にテーパ孔10aと、このテーパ孔1
0a中心線c1に直交した、研削ホイール10の一方の
側端面10bとを形成するほか、研削ホイール10の他
方の側端面10cにナット孔10dを設ける。回転駆動
軸7の先端部には締結手段11を形成するのであり、こ
の締結手段11は回転駆動軸7の先端部に形成された雄
ネジ12と、この雄ネジ12に螺合されるナット体13
からなるものとなす。そしてテーパ面部7bにテーパ孔
10aを外嵌させた状態で、ナット体13を締結するこ
とにより、テーパ面部7bにテーパ孔10aを弾性変形
による圧密状に接触させると共に前記側端面10bを半
径面部7aに圧接させる。これにより、テーパ孔10a
はテーパ面部7bに適当圧で接触して強固に支持され、
また側端面10bは半径面部7aとの圧接により回転駆
動軸7方向の位置を正確に特定される。
【0017】研削ホイール10の外周面10eには、図
4Aに示すように、複数の環状研削部m1、m2が形成
されている。各環状研削部はテーパ孔10aの中心線c
1と同心となされ且つ各断面を図4Bに示すような台形
溝となされている。これら環状研削部m1、m2のう
ち、左側の5つのものa、b、c、d、eは粗研削用
で、右側の5つのものf、g、h、i、jは仕上研削用
である。各環状研削部a、b、c、d、e、f、g、
h、i、jの表面にはニッケルメッキが施され、このメ
ッキ層を介して、ダイヤモンド粒が単層状に固着されて
いる。
4Aに示すように、複数の環状研削部m1、m2が形成
されている。各環状研削部はテーパ孔10aの中心線c
1と同心となされ且つ各断面を図4Bに示すような台形
溝となされている。これら環状研削部m1、m2のう
ち、左側の5つのものa、b、c、d、eは粗研削用
で、右側の5つのものf、g、h、i、jは仕上研削用
である。各環状研削部a、b、c、d、e、f、g、
h、i、jの表面にはニッケルメッキが施され、このメ
ッキ層を介して、ダイヤモンド粒が単層状に固着されて
いる。
【0018】第二研削ホイール台3は機台1上の下軌道
部材14を介して横方向Yの送り移動可能となされ且
つ、この下軌道部材14に支持された状態の上軌道部材
15を介して縦方向Xの移動可能となされたもので、モ
ータ16と、このモータ16の回転を伝達されて特定位
置で回転するものとした回転駆動軸17とを装設されて
いる。回転駆動軸17には小径の研削ホイール18が固
定されており、この研削ホイール18は前記研削ホイー
ル10と同一構成で単にその径寸法を小さくなしたもの
である。
部材14を介して横方向Yの送り移動可能となされ且
つ、この下軌道部材14に支持された状態の上軌道部材
15を介して縦方向Xの移動可能となされたもので、モ
ータ16と、このモータ16の回転を伝達されて特定位
置で回転するものとした回転駆動軸17とを装設されて
いる。回転駆動軸17には小径の研削ホイール18が固
定されており、この研削ホイール18は前記研削ホイー
ル10と同一構成で単にその径寸法を小さくなしたもの
である。
【0019】ワーク把持移動台4は機台1上の軌道部材
23を介して横方向Yの送り移動可能となされたもので
あり、この移動台4上には主軸モータ24と、このモー
タ24から回転を伝達される回転主軸25が装設されて
いる。回転主軸25の先端部には円板状のワーク把持部
26が固定してあり、このワーク把持部26は外方側の
端面をワーク把持面となされ、この把持面の回転中心部
に凹み孔nを有し且つこの凹み孔nを取り囲む環状範囲
部分に、真空圧を付与される図示しない多数の吸着孔を
形成されたものとなしてある。上記ワーク把持面に把持
されるワークwはドーナツ形をしているのであって、前
記凹み孔nの径はワークwの内孔のそれよりも大きくな
し、またワーク把持面の外径はワークwのそれよりも小
さくなす。
23を介して横方向Yの送り移動可能となされたもので
あり、この移動台4上には主軸モータ24と、このモー
タ24から回転を伝達される回転主軸25が装設されて
いる。回転主軸25の先端部には円板状のワーク把持部
26が固定してあり、このワーク把持部26は外方側の
端面をワーク把持面となされ、この把持面の回転中心部
に凹み孔nを有し且つこの凹み孔nを取り囲む環状範囲
部分に、真空圧を付与される図示しない多数の吸着孔を
形成されたものとなしてある。上記ワーク把持面に把持
されるワークwはドーナツ形をしているのであって、前
記凹み孔nの径はワークwの内孔のそれよりも大きくな
し、またワーク把持面の外径はワークwのそれよりも小
さくなす。
【0020】上記ワーク把持部26の近傍には、そのワ
ーク把持面に未研削のワークwを搬入したり、このワー
ク把持面から研削済みのそれを搬出するものとした図示
しないワーク搬入搬出ロボットが設けてある。図中、3
1は第一研削ホイール台2を縦方向Xへ送り移動させる
ためのサーボモータ、32は第二研削ホイール台3を縦
方向Xへ送り移動させるためのサーボモータである。
ーク把持面に未研削のワークwを搬入したり、このワー
ク把持面から研削済みのそれを搬出するものとした図示
しないワーク搬入搬出ロボットが設けてある。図中、3
1は第一研削ホイール台2を縦方向Xへ送り移動させる
ためのサーボモータ、32は第二研削ホイール台3を縦
方向Xへ送り移動させるためのサーボモータである。
【0021】上記研削装置により研削されるべきワーク
としてのハードディスク用ガラス板wはガラス素板をコ
ア抜き処理することによりドーナツ状に作成されるもの
であり、例えば2.5インチ又は3.5インチの記憶装
置用ハードディスクに対応した寸法となされる。
としてのハードディスク用ガラス板wはガラス素板をコ
ア抜き処理することによりドーナツ状に作成されるもの
であり、例えば2.5インチ又は3.5インチの記憶装
置用ハードディスクに対応した寸法となされる。
【0022】このコア抜き直後のハードディスク用ガラ
ス板wの内外径端面は加工誤差や面粗度の大きいものと
なっているため、この誤差を修正したり面粗度を小さく
する必要があり、さらには内外径端面を特定形状に成形
することも必要となる。
ス板wの内外径端面は加工誤差や面粗度の大きいものと
なっているため、この誤差を修正したり面粗度を小さく
する必要があり、さらには内外径端面を特定形状に成形
することも必要となる。
【0023】これらの必要性から、コア抜き処理された
ハードディスク用ガラス板wを上記研削装置により研削
するのであるが、この際の研削処理は具体的には次のよ
うに実施する。即ち、未研削のハードディスク用ガラス
板wを研削装置の近傍に連続的に供給できるように準備
すると共に研削装置を作動状態とする。これにより、モ
ータ6、16が回転し、この回転が回転駆動軸7、17
に伝達され、研削ホイール10、18はその対応する回
転駆動軸7、17回りに回転するものとなる。
ハードディスク用ガラス板wを上記研削装置により研削
するのであるが、この際の研削処理は具体的には次のよ
うに実施する。即ち、未研削のハードディスク用ガラス
板wを研削装置の近傍に連続的に供給できるように準備
すると共に研削装置を作動状態とする。これにより、モ
ータ6、16が回転し、この回転が回転駆動軸7、17
に伝達され、研削ホイール10、18はその対応する回
転駆動軸7、17回りに回転するものとなる。
【0024】また作動開始時には図1中、第一研削ホイ
ール台2は研削処理時位置よりも上側へ移動され、また
第二研削ホイール台3は研削処理時位置よりも下側でし
かも右側に適当距離だけ移動される。さらにワーク把持
移動台4は研削処理時位置よりも左側へ移動される。
ール台2は研削処理時位置よりも上側へ移動され、また
第二研削ホイール台3は研削処理時位置よりも下側でし
かも右側に適当距離だけ移動される。さらにワーク把持
移動台4は研削処理時位置よりも左側へ移動される。
【0025】この状態の下でワーク板搬入搬出ロボット
が特定位置に供給されているハードディスク用ガラス板
wを研削処理時位置の近傍に搬入する。次にワーク把持
移動台4が横方向Yの右方f1へ移動して、ワーク把持
部26のワーク把持面により、この搬入されたハードデ
ィスク用ガラス板wを真空吸着する。この吸着に関連し
てワーク板搬入搬出ロボットがそのガラス板wを解放
し、元位置に帰還する。
が特定位置に供給されているハードディスク用ガラス板
wを研削処理時位置の近傍に搬入する。次にワーク把持
移動台4が横方向Yの右方f1へ移動して、ワーク把持
部26のワーク把持面により、この搬入されたハードデ
ィスク用ガラス板wを真空吸着する。この吸着に関連し
てワーク板搬入搬出ロボットがそのガラス板wを解放
し、元位置に帰還する。
【0026】この後、ワーク把持移動台4が必要に応じ
てさらに右向f1へ移動し、ワーク把持部26に吸着さ
れたハードディスク用ガラス板wの横方向Y上の位置
を、研削ホイール10の粗研削用の第一の環状研削部a
の中央に正対させる。一方では、第二研削ホイール台3
が縦方向X及び横方向Yへ移動して研削処理時位置に移
動されて、研削ホイール18の粗研削用の第一の環状研
削部を、ワーク把持部面に吸着されたハードディスク用
ガラス板wの内孔内に位置させ且つこのガラス板wの横
方向Y上の位置に正対させる。この時点では、研削ホイ
ール10、18はそれぞれハードディスク用ガラス板w
の外径、内径端面に未だ接触しない状態に保持される。
てさらに右向f1へ移動し、ワーク把持部26に吸着さ
れたハードディスク用ガラス板wの横方向Y上の位置
を、研削ホイール10の粗研削用の第一の環状研削部a
の中央に正対させる。一方では、第二研削ホイール台3
が縦方向X及び横方向Yへ移動して研削処理時位置に移
動されて、研削ホイール18の粗研削用の第一の環状研
削部を、ワーク把持部面に吸着されたハードディスク用
ガラス板wの内孔内に位置させ且つこのガラス板wの横
方向Y上の位置に正対させる。この時点では、研削ホイ
ール10、18はそれぞれハードディスク用ガラス板w
の外径、内径端面に未だ接触しない状態に保持される。
【0027】次にワーク把持移動台4の主軸25がモー
タ24により回転されることによりハードディスク用ガ
ラス板wが主軸25と同体状に回転され、また第一研削
ホイール台2が縦方向Xの下方f3へ送り移動されると
共に第二研削ホイール台3が縦方向Xの上方f4へ送り
移動される。この作動により、ハードディスク用ガラス
板wの内径端面が研削ホイール18の粗研削用の第一の
環状研削部に当接され、一方では外径端面が研削ホイー
ル10の粗研削用の第一の環状研削部aに当接され、内
外径何れの端面も漸次研削されるものとなる。
タ24により回転されることによりハードディスク用ガ
ラス板wが主軸25と同体状に回転され、また第一研削
ホイール台2が縦方向Xの下方f3へ送り移動されると
共に第二研削ホイール台3が縦方向Xの上方f4へ送り
移動される。この作動により、ハードディスク用ガラス
板wの内径端面が研削ホイール18の粗研削用の第一の
環状研削部に当接され、一方では外径端面が研削ホイー
ル10の粗研削用の第一の環状研削部aに当接され、内
外径何れの端面も漸次研削されるものとなる。
【0028】この際、大径の研削ホイール10はテーパ
孔10aを横方向Yへ長いテーパ面部7bで強力に支持
されるため、回転駆動軸7方向の回転振れを生じるもの
とならず、また一方の側端面10bを半径面部7aで回
転駆動軸7方向の誤差なく支持されるものとなる。従っ
て、第一の環状研削部aの中央に当接されたハードディ
スク用ガラス板wはその外径端面を図4Bに示すような
面取り形状に精度良く粗研削されるのであり、この研削
は一定時間が経過した後、停止される。この停止に関連
して第一研削ホイール台2は縦方向Xの上方f4へ、そ
して第二研削ホイール台3は縦方向Xの下方f3へ移動
され、それらの縦方向送り移動奇跡上の特定位置に停止
される。
孔10aを横方向Yへ長いテーパ面部7bで強力に支持
されるため、回転駆動軸7方向の回転振れを生じるもの
とならず、また一方の側端面10bを半径面部7aで回
転駆動軸7方向の誤差なく支持されるものとなる。従っ
て、第一の環状研削部aの中央に当接されたハードディ
スク用ガラス板wはその外径端面を図4Bに示すような
面取り形状に精度良く粗研削されるのであり、この研削
は一定時間が経過した後、停止される。この停止に関連
して第一研削ホイール台2は縦方向Xの上方f4へ、そ
して第二研削ホイール台3は縦方向Xの下方f3へ移動
され、それらの縦方向送り移動奇跡上の特定位置に停止
される。
【0029】この後、ワーク把持移動台4が特定寸法だ
け横方向Yの右方f1へ移動されるのであり、これによ
りワーク把持部26に吸着されたハードディスク用ガラ
ス板wの横方向Y上の位置は二つの研削ホイール10、
18の仕上げ研削用の第一の環状研削部に正対した状態
となる。
け横方向Yの右方f1へ移動されるのであり、これによ
りワーク把持部26に吸着されたハードディスク用ガラ
ス板wの横方向Y上の位置は二つの研削ホイール10、
18の仕上げ研削用の第一の環状研削部に正対した状態
となる。
【0030】次に二つの研削ホイール10、18の環状
研削部が、ワーク把持部26に吸着されたハードディス
ク用ガラス板wの内外径端面に当接するように、第一及
び第二研削ホイール台2、3が、先の粗研削の場合と同
様に、縦方向Xへ漸次送り移動される。これにより、ハ
ードディスク用ガラス板wの内外径端面は二つの研削ホ
イール10、18により仕上げ研削されるものとなる。
この仕上げ研削が予め設定された一定時間、実施される
と、第一及び第二研削ホイール台2、3は縦方向Xの送
り移動を停止される。これにより、ハードディスク用ガ
ラス板wの内外径端面は正確に仕上げ研削された状態と
なる。次いで第一及び第二研削ホイール台2、3がハー
ドディスク用ガラス板wの内外径端面から離れるように
縦方向Xへ移動され、しかも第二研削ホイール台3につ
いては縦方向Xの右方f1にも移動され、最終的に、こ
れら研削ホイール台2、3は送り移動の開始位置まで移
動されて停止状態となり、次の研削に備える。
研削部が、ワーク把持部26に吸着されたハードディス
ク用ガラス板wの内外径端面に当接するように、第一及
び第二研削ホイール台2、3が、先の粗研削の場合と同
様に、縦方向Xへ漸次送り移動される。これにより、ハ
ードディスク用ガラス板wの内外径端面は二つの研削ホ
イール10、18により仕上げ研削されるものとなる。
この仕上げ研削が予め設定された一定時間、実施される
と、第一及び第二研削ホイール台2、3は縦方向Xの送
り移動を停止される。これにより、ハードディスク用ガ
ラス板wの内外径端面は正確に仕上げ研削された状態と
なる。次いで第一及び第二研削ホイール台2、3がハー
ドディスク用ガラス板wの内外径端面から離れるように
縦方向Xへ移動され、しかも第二研削ホイール台3につ
いては縦方向Xの右方f1にも移動され、最終的に、こ
れら研削ホイール台2、3は送り移動の開始位置まで移
動されて停止状態となり、次の研削に備える。
【0031】またワーク把持移動台4は、二つの研削ホ
イール10、18がワーク把持部26に吸着されたハー
ドディスク用ガラス板wの内外径端面から離れた後、横
方向Yの左方f2へ移動される。
イール10、18がワーク把持部26に吸着されたハー
ドディスク用ガラス板wの内外径端面から離れた後、横
方向Yの左方f2へ移動される。
【0032】ワーク把持移動台4は横方向Yの左方f2
の特定位置まで移動された時、一時的に停止されるので
あり、この停止状態の下で、ワーク搬入搬出ロボットが
ワーク把持部26に吸着されたハードディスク用ガラス
板wを吸着し、一方ではワーク把持部26がハードディ
スク用ガラス板wの吸着を解放することによりワーク搬
入搬出ロボットはこのハードディスク用ガラス板wを受
け取り、その後、特定場所まで搬出する。
の特定位置まで移動された時、一時的に停止されるので
あり、この停止状態の下で、ワーク搬入搬出ロボットが
ワーク把持部26に吸着されたハードディスク用ガラス
板wを吸着し、一方ではワーク把持部26がハードディ
スク用ガラス板wの吸着を解放することによりワーク搬
入搬出ロボットはこのハードディスク用ガラス板wを受
け取り、その後、特定場所まで搬出する。
【0033】この搬出の後、ワーク搬入搬出ロボットは
次に研削すべきハードディスク用ガラス板wを先と同様
に研削処理位置の近傍に搬入する。この後、ワーク把持
移動台4及び、第一及び第二研削ホイール台2、3が先
と同様に作動して、この搬入されたハードディスク用ガ
ラス板wを先と同様に研削する。そして、ワーク搬入搬
出ロボットが研削処理済みのハードディスク用ガラス板
wを、先と同様に特定場所まで搬出する。
次に研削すべきハードディスク用ガラス板wを先と同様
に研削処理位置の近傍に搬入する。この後、ワーク把持
移動台4及び、第一及び第二研削ホイール台2、3が先
と同様に作動して、この搬入されたハードディスク用ガ
ラス板wを先と同様に研削する。そして、ワーク搬入搬
出ロボットが研削処理済みのハードディスク用ガラス板
wを、先と同様に特定場所まで搬出する。
【0034】このような処理が多数のハードディスク用
ガラス板wについて実施されることにより、研削ホイー
ル10、18の第一環状研削部aの研削能力が一定程度
以下に低下したときは、図示しない操作盤を操作する等
してワーク把持移動台4の横方向Yの送り移動制御を変
更させ、今度は先の第一の環状研削部a、fに代えて、
第二の環状研削部b、gで研削処理を実施するのであ
り、この処理においても第二の環状研削部b、gの研削
能力が一定程度以下に低下したときは、第二の環状研削
部b、gに代えて、第三の環状研削部c、hで次の研削
処理を実施するのである。
ガラス板wについて実施されることにより、研削ホイー
ル10、18の第一環状研削部aの研削能力が一定程度
以下に低下したときは、図示しない操作盤を操作する等
してワーク把持移動台4の横方向Yの送り移動制御を変
更させ、今度は先の第一の環状研削部a、fに代えて、
第二の環状研削部b、gで研削処理を実施するのであ
り、この処理においても第二の環状研削部b、gの研削
能力が一定程度以下に低下したときは、第二の環状研削
部b、gに代えて、第三の環状研削部c、hで次の研削
処理を実施するのである。
【0035】こうして、第一から第五までの全ての環状
研削部の研削能力が一定程度以下に低下したとき、その
研削ホイール10、18を回転駆動軸7、17から取り
外し、新しい研削ホイール10、18を装着する。大径
の研削ホイール10の取外しに於いては、ナット体13
を回転駆動軸7のネジ部12から取り外した後、研削ホ
イール10を回転駆動軸7から引き抜くように行う。こ
の際、半径面部7aがテーパ面部7bへの過度な嵌入を
規制しているため、研削ホイール10の引抜きに過度に
大きな引抜き力を要するものとならない。またテーパ面
部7bとテーパ孔10aの嵌合は、研削ホイール10を
回転駆動軸7から僅かに引き抜くことにより、研削ホイ
ール10が回転駆動軸7から容易に抜け出ることを可能
となす。
研削部の研削能力が一定程度以下に低下したとき、その
研削ホイール10、18を回転駆動軸7、17から取り
外し、新しい研削ホイール10、18を装着する。大径
の研削ホイール10の取外しに於いては、ナット体13
を回転駆動軸7のネジ部12から取り外した後、研削ホ
イール10を回転駆動軸7から引き抜くように行う。こ
の際、半径面部7aがテーパ面部7bへの過度な嵌入を
規制しているため、研削ホイール10の引抜きに過度に
大きな引抜き力を要するものとならない。またテーパ面
部7bとテーパ孔10aの嵌合は、研削ホイール10を
回転駆動軸7から僅かに引き抜くことにより、研削ホイ
ール10が回転駆動軸7から容易に抜け出ることを可能
となす。
【0036】一方、新しい研削ホイール10の装着に於
いては、テーパ孔10aをテーパ面部7bに外嵌させた
後、ナット体13をネジ部12に螺着する。この際、ナ
ット体13の締結により、テーパ孔10aはテーパ面部
7bに相互の接触圧で弾性変形しながら回転駆動軸7方
向へ押し込まれるが、テーパ孔10aの側端面10bが
半径面部7aに当接されると、テーパ孔10aの回転駆
動軸7方向の変位は直ちに規制され、研削ホイール10
は回転駆動軸7の長手方向特定位置に正確に固定される
ものとなる。またテーパ孔10aはその加工精度に多少
のバラツキがあってもテーパ面部7bに必要圧力で密接
するものとなるのであり、これにより研削ホイール10
は回転駆動軸7にこの軸方向の横振れが生じないように
確実に支持される。
いては、テーパ孔10aをテーパ面部7bに外嵌させた
後、ナット体13をネジ部12に螺着する。この際、ナ
ット体13の締結により、テーパ孔10aはテーパ面部
7bに相互の接触圧で弾性変形しながら回転駆動軸7方
向へ押し込まれるが、テーパ孔10aの側端面10bが
半径面部7aに当接されると、テーパ孔10aの回転駆
動軸7方向の変位は直ちに規制され、研削ホイール10
は回転駆動軸7の長手方向特定位置に正確に固定される
ものとなる。またテーパ孔10aはその加工精度に多少
のバラツキがあってもテーパ面部7bに必要圧力で密接
するものとなるのであり、これにより研削ホイール10
は回転駆動軸7にこの軸方向の横振れが生じないように
確実に支持される。
【0037】新しい研削ホイール10を装着した後、既
述と同様に、ハードディスク用ガラス板wの研削を実施
する。この際、研削ホイール10は回転駆動軸7の特定
位置に正確に固定されてその軸方向の許容限度を超える
回転振れを生じないため、ハードディスク用ガラス板w
はチッピング等を生じることなく高い精度で研削され
る。なお、小径の研削ホイール18も大径の研削ホイー
ル10と同様な構造により回転駆動軸17に装着するの
が好ましいが、研削ホイール18は径が小さいため研削
ホイール10に於けるような回転振れ等はほとんど問題
とならず、その装着構造は任意に選択し得るものであ
る。このような研削ホイール10、18の交換装着によ
り、ハードディスク用ガラス板wは枚数の制限なく研削
されるものとなる。
述と同様に、ハードディスク用ガラス板wの研削を実施
する。この際、研削ホイール10は回転駆動軸7の特定
位置に正確に固定されてその軸方向の許容限度を超える
回転振れを生じないため、ハードディスク用ガラス板w
はチッピング等を生じることなく高い精度で研削され
る。なお、小径の研削ホイール18も大径の研削ホイー
ル10と同様な構造により回転駆動軸17に装着するの
が好ましいが、研削ホイール18は径が小さいため研削
ホイール10に於けるような回転振れ等はほとんど問題
とならず、その装着構造は任意に選択し得るものであ
る。このような研削ホイール10、18の交換装着によ
り、ハードディスク用ガラス板wは枚数の制限なく研削
されるものとなる。
【0038】
【発明の効果】上記した本発明によれば、研削ホイール
をテーパ面部及び半径面部を介して回転駆動軸の特定位
置に正確、確実且つ迅速に交換装着することができ、こ
れによりハードディスク用ガラス板wの端縁をチッピン
グ等を生じさせることなく高い精度で能率的に、しかも
良好な面粗度で研削することが可能となる。そして、交
換装着される研削ホイールのテーパ孔は回転駆動軸に於
けるこの軸方向の位置を直接に規制するものではないた
め、その精度は格別な厳密性を要求されなくなる。
をテーパ面部及び半径面部を介して回転駆動軸の特定位
置に正確、確実且つ迅速に交換装着することができ、こ
れによりハードディスク用ガラス板wの端縁をチッピン
グ等を生じさせることなく高い精度で能率的に、しかも
良好な面粗度で研削することが可能となる。そして、交
換装着される研削ホイールのテーパ孔は回転駆動軸に於
けるこの軸方向の位置を直接に規制するものではないた
め、その精度は格別な厳密性を要求されなくなる。
【0039】また締結手段を回転駆動軸の先端部に設け
ることは回転駆動軸への研削ホイールの固定構造を簡易
となすほか、研削ホイールを便利に交換装着することを
可能となす。
ることは回転駆動軸への研削ホイールの固定構造を簡易
となすほか、研削ホイールを便利に交換装着することを
可能となす。
【0040】また締結手段をネジナット機構とした場
合、研削ホイールと回転駆動軸の嵌合をネジ作用により
強力且つ確実に締結することができる。
合、研削ホイールと回転駆動軸の嵌合をネジ作用により
強力且つ確実に締結することができる。
【0041】さらに、研削ホイールのテーパ孔をテーパ
面部に圧接させることにより研削ホイールのテーパ孔の
周壁部を弾性変形させることは、研削ホイールが振動等
してテーパ孔がテーパ面部から離れようとしたとき、テ
ーパ孔を縮径する方向へ変形させてテーパ孔とテーパ面
部の密接を保持させるものとなる。
面部に圧接させることにより研削ホイールのテーパ孔の
周壁部を弾性変形させることは、研削ホイールが振動等
してテーパ孔がテーパ面部から離れようとしたとき、テ
ーパ孔を縮径する方向へ変形させてテーパ孔とテーパ面
部の密接を保持させるものとなる。
【図1】本発明に係る研削装置を示す平面図である。
【図2】図1のA−A部を示す側面矢視図である。
【図3】前記研削装置の要部を示す断面図である。
【図4】前記研削装置の一部を示すもので、Aは研削ホ
イールの一部を示す拡大図で、Bは研削ホイールの周面
の一部を示す拡大図である。
イールの一部を示す拡大図で、Bは研削ホイールの周面
の一部を示す拡大図である。
7 回転駆動軸 7a 半径面部 7b テーパ面部 10 研削ホイール 10a テーパ孔 10b 側端面 11 締結手段 26 ワーク把持部 w ハードディスク用ガラス板
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年7月6日(1999.7.6)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】上記した本発明の研削方法又は研削装置に
よれば、半径面部が研削ホイールの回転駆動軸方向の位
置決めを簡易となし、またテーパ面部が研削ホイールの
テーパ面締結ですきまがゼロとなることにより研削ホイ
ールの振れを生じさせないように作用する。
よれば、半径面部が研削ホイールの回転駆動軸方向の位
置決めを簡易となし、またテーパ面部が研削ホイールの
テーパ面締結ですきまがゼロとなることにより研削ホイ
ールの振れを生じさせないように作用する。
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
Claims (8)
- 【請求項1】 特定位置で回転する回転駆動軸の先部に
半径面部とテーパ面部とを設け、これら二つの面部に研
削ホイールの回転中心部を拘束させ、回転駆動軸による
研削ホイールの駆動回転中、研削ホイールの周面に形成
された環状研削面部にハードディスク用ガラス板の端縁
を圧接させるように実施することを特徴とするハードデ
ィスク用ガラス板の研削方法。 - 【請求項2】 特定位置で回転する回転駆動軸の先部に
半径面部とテーパ面部とを設け、これら二つの面部に研
削ホイールの回転中心部を拘束させ、回転駆動軸による
研削ホイールの駆動回転中、研削ホイールの周面に形成
された環状研削面部にハードディスク用ガラス板の端縁
を、このガラス板を把持したワーク把持部の作動により
圧接させるように実施することを特徴とするハードディ
スク用ガラス板の研削方法。 - 【請求項3】 二つの面部に研削ホイールの回転中心部
を拘束させるための締結手段を回転駆動軸の先端部に設
け、この締結手段の締結操作により、研削ホイールのテ
ーパ孔をテーパ面部に、そして研削ホイールの一方の側
端面を半径面部に圧接させることを特徴とする請求項1
又は2記載のハードディスク用ガラス板の研削方法。 - 【請求項4】 締結手段がネジナット機構であることを
特徴とする請求項3記載のハードディスク用ガラス板の
研削方法。 - 【請求項5】 研削ホイールのテーパ孔をテーパ面部に
圧接させることにより、研削ホイールのテーパ孔の周壁
部を弾性変形させることを特徴とする請求項1、2、3
又は4記載のハードディスク用ガラス板の研削方法。 - 【請求項6】 特定位置で回転可能となされた回転駆動
軸に固定された研削ホイールと、このホイールの周面に
形成された環状研削面部にハードディスク用ガラス板を
移動させてその端縁を圧接させるものとしたワーク把持
部とを備えたものであって、回転駆動軸の先部に半径面
部とテーパ面部とを設け、これら二つの面部で研削ホイ
ールの回転中心部が拘束されることを特徴とするハード
ディスク用ガラス板の研削装置。 - 【請求項7】 回転駆動軸が、この駆動軸方向の位置変
更調整可能となるように研削ホイール台に装設されてい
ることを特徴とする請求項6記載のハードディスク用ガ
ラス板の研削装置。 - 【請求項8】 回転駆動軸の先端部に設けたネジナット
機構により、研削ホイールのテーパ孔をテーパ面部に、
そして研削ホイールの一方の側端面を半径面部に圧接さ
せたことを特徴とする請求項6又は7記載のハードディ
スク用ガラス板の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11174100A JP2001006166A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | ハードディスク用ガラス板の研削方法と、その装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11174100A JP2001006166A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | ハードディスク用ガラス板の研削方法と、その装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001006166A true JP2001006166A (ja) | 2001-01-12 |
Family
ID=15972657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11174100A Pending JP2001006166A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | ハードディスク用ガラス板の研削方法と、その装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001006166A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005014176A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Tateno Kikai Seisakusho:Kk | ガラス円盤の内外周面研削加工システム |
US8033893B2 (en) | 2007-01-18 | 2011-10-11 | Showa Denko K.K. | Grinding method of a disk-shaped substrate and grinding apparatus |
CN103350380A (zh) * | 2013-06-19 | 2013-10-16 | 俞晓东 | 圆形金属板料边缘成型设备 |
CN107971882A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-05-01 | 郭斌 | 一种用于汽车整车制造的汽车配件打磨装置 |
-
1999
- 1999-06-21 JP JP11174100A patent/JP2001006166A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005014176A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Tateno Kikai Seisakusho:Kk | ガラス円盤の内外周面研削加工システム |
US8033893B2 (en) | 2007-01-18 | 2011-10-11 | Showa Denko K.K. | Grinding method of a disk-shaped substrate and grinding apparatus |
CN103350380A (zh) * | 2013-06-19 | 2013-10-16 | 俞晓东 | 圆形金属板料边缘成型设备 |
CN103350380B (zh) * | 2013-06-19 | 2015-07-29 | 俞晓东 | 圆形金属板料边缘成型设备 |
CN107971882A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-05-01 | 郭斌 | 一种用于汽车整车制造的汽车配件打磨装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4455750B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5788304B2 (ja) | 研削装置 | |
JP3991648B2 (ja) | 被加工物の保持装置 | |
JP6459524B2 (ja) | 複合研削盤および研削方法 | |
KR102507675B1 (ko) | 웨이퍼의 가공 방법 | |
KR20100092873A (ko) | 렌즈의 가공방법 및 연삭장치 | |
CN108326699B (zh) | 磨削装置 | |
JP2015150642A (ja) | 研削研磨装置 | |
KR20180044810A (ko) | 연삭 장치 | |
JP2001006166A (ja) | ハードディスク用ガラス板の研削方法と、その装置 | |
JP2009297882A (ja) | 加工装置 | |
JP2010194625A (ja) | ワークチェンジャ、加工ユニット、及び加工装置 | |
JP2018027594A (ja) | 研削装置 | |
JPH11347953A (ja) | ウェーハ面取り砥石 | |
JP3173144B2 (ja) | ドーナツ形板状材の内外周加工法および装置 | |
JP7170748B2 (ja) | 基板処理装置、および基板処理方法 | |
JP3225401B2 (ja) | ドーナツ形ガラス板の研削装置 | |
JP4142604B2 (ja) | 回転電機のシャフト、シャフトの製造方法、及びシャフトの研削装置 | |
JP2637435B2 (ja) | 芯取機のレンズ芯出し方法と装置 | |
JP2001259977A (ja) | ガラス板の面取り方法及びその装置 | |
JP4331341B2 (ja) | 切削装置の切削工具取付け機構 | |
JPH11347901A (ja) | ツルーイング工具及びツルーイング工具付きウェーハ面取り装置 | |
JP5841798B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2018039070A (ja) | ウエーハの加工方法及び研削装置 | |
JPS63191535A (ja) | 薄板加工装置 |