JPH04175758A - 表面保護層を有する有機系感光体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、表面を粗面化した後に真空薄膜の表面保護層
を形成して感光体を製造する方法に関する。

従来技術および課題 近年、有機光導電性材料を結着樹脂に配合した有機系感
光体が広く用いられるにいたっている。

有機系感光体は、ディッピング法に代表されるような塗
布法によって製造可能である事から、歩留まり良く大量
生産可能である。また安価で無害な感光体であり、最近
では高速領域の複写機に搭載可能な感度を有する感光体
も提案されるに至っている。

しかし、有機系感光体は、元来、表面硬度が低いため耐
摩耗性に乏しく、感光体に高い機械的ストレスがかかる
高速領域の複写機に実装するためには表面保護層を設け
、耐久性を向上させる事が望まれている。

発明が解決しようとする課題 かかる表面保護層の１種として適当な化合物の真空薄膜
が提案されている。真空薄膜は、高度で透明な薄膜を比
較的容易に形成できる。

塗布法により作製された有機系感光体は、塗布性特有の
所謂レベリング効果により表面が極めて平滑であり、例
えば、Ｊ　ｌ５−Ｂ−０６０１で規定される十点平均粗
さＲｔで高々０．０３５μｍ程度の表面粗さが観測され
るに過ぎない。感光体作製に使用される基板表面が平滑
な場合は勿論の事、基板加工等の影響で基板表面が０．
５〜１μ肩程度の粗さを有するような場合においても、
その上に２０μｍ程度の感光層を塗布すると、感光１表
面の粗さは前述の如き粗さに収まってしまう。

このように平滑な表面を有する有機系感光層に直接真空
薄膜を設け、実際の複写プロセスにその感光体を適応し
た場合、残留電位の上昇、並びに、黒筋状の画像ノイズ
の発生という問題が生ずる。

本発明は、かかる事情に鑑みなされたものであって、従
来、極めて平滑な有機系感光層の表面に直接真空薄膜を
形成していたことに代え、予め、有機系感光層表面を微
細に粗面化し、その後、真空ＷＩ膜を形成することによ
り上記問題を解決しようとするものである。

なお、感光体の表面を粗面化した技術として、特開平２
ｉ３９５６６号公報あるいは特開昭５９−　］、　４６
０５７号公報等が知られているが、本発明の粗面化され
た感光体とは、粗面化の程度、粗面化の対象等が、本発
明と全く異なり、また目的、効果も異なるものである。

本発明は、４１機系感光層上１こ表面保Ｎ層と（、て真
空薄膜を形成して感光体を製造する方法において、該有
機系感光層を加熱しで軟化した状態で、凹凸部材を押圧
して、表面を粗面化［２、その後に真空薄膜を形成する
ことを特徴とする有機系感光体の製造方法に関する。

感光層は、自体公知の有機系感光層を導電性基板上に設
けたものであり、感光層の内部構造は、導電性基板上１
ご光導電性材料と電荷輸送材料を結着剤に配合した単層
型構成の感光層、導電性支持体上に電荷発生層と電荷輸
送層が順次形成されでいる機能分離型構成の感光層、あ
るいは導電性支持体−トに電荷輸送層と電荷発牙層が順
次形成されている機能分離型構成のいずれであってもよ
い。

もっとも、電荷発生層としてはフタ「Ｊシアニンの蒸着
膜のような結着樹脂を用いず電荷発生物質自体のみから
なるものも存在するが、このような電荷発生層で構成さ
ねていても、その上に樹脂分散型の電荷輸送層が設けら
れていれば本発明は有効である。

また、表面保護層を設ける場合、その保護層の下の感光
層がプラズマ中における電子あるいはイオンの衝撃、熱
等で劣化しないように感光層の上に一旦、樹脂層を設け
る構成の感光体が提案されているが（例えば特開平０１
−１３３０６３号公報等）、そのような薄膜の感光体の
場合、感光層が無機系、有機系いかなる種類のものであ
れ、本発明を適用することにより耐久性、残留電位の上
昇感度低下（黒筋発生）が改善される。

有機系感光層表面を粗面化するにはまず、該有機系感光
層を加熱して凹凸部材を押圧する。

加熱温度は、有機系感光層の表面側層を構成する結着樹
脂の種類により調整するべきもので、その樹脂が軟化す
る温度以上に加熱する。一般には、５０℃〜１５０°Ｃ
程度に加熱すれば充分である。

加熱温度が高すぎると感光体の静電特性に悪影響を及ぼ
す。加熱温度が低すぎると樹脂の軟化が起こらず所望の
表面粗さが得られない。

有機系感光層が軟化した状態で、外部から凹凸部材を押
圧し、その凹凸形状を感光層表面に転写する。本発明に
おいでは、結果的に形成される表面粗さが、最大粗さ（
Ｊ　ｌ５−ＢＯ６０１−１９８２）で表して、０．０５
〜０４μｍ程度になるように、凹凸部材を選択し押圧す
る。このような表面粗さを有する感光層表面に表面保護
層として真空薄膜を形成して得られた感光体は、残留電
位の上昇、黒筋等が発生し２ない。

凹凸部材としては、その凹凸形状がそのまま感光層表面
に転写されるようなものを使用してもよい。また加熱下
で凹凸部材抑圧後、感光層を常温に戻したとき、結着樹
脂の収縮にともない、押圧した凹凸による歪みが原因し
て、その凹凸よりさらに微細な荒れが表面に形成される
ことを利用する観点から選択してもよい。

具体的な凹凸部材としては、例えば、表面に凹凸形状を
有する熱収縮性チューブ、伸縮性網目状被覆材、例えば
メツ／ユ状のストッキング等、粗面化ローラー等積々の
ものを挙げることができる。

熱収縮性チューブを使用する場合、該チューブを感光体
にかぶせるときに、感光体を傷−つけないようにするた
めに、内径が感光体ドラム径より大きいものを使用し、
加熱処理による収縮により感光層に密着可能な収縮率を
有するものを使用する。

熱収縮チューブは、収縮前の内面の表面粗さが、結果と
して得られる感光層表面の粗さより粗いものを使用する
。具体的には最大高さで表して、０゜０８〜０．８μｍ
の表面粗さを有するものを使用すれば良い。熱収縮チュ
ーブの大きさ、収縮率等を考慮にいれれば、感光層表面
ｆこ所望の粗さを付与することができる。

熱収縮性チューブは、ポリエチレン、ポリオレフィン、
架橋ポリオレフィン、ポリ塩化ビニノ呟架橋ポリエチレ
ン、飽和ポリエステル、放射線架橋ナイロン、ポリアミ
ドエラストマー、フッ素樹脂ＰＦＡ、ンリコンゴム、放
射線架橋変性ンリコーン、低密度ポリエチレン、四フッ
化エチレン樹脂等積々の材質からなるものが知られてい
るが、感光層の結着樹脂を軟化させるに使用する加熱温
度よりも低い温度で収縮するものが好ましい。ポリオレ
フィン、架橋ポリオレフィン、ポリ塩化ビニール、低密
度ポリエチレンからなる熱収縮性チューブは、それらの
チューブが収縮する温度では、有機系感光層が劣化する
ことはないので、特に好ましい。

熱収縮性のチューブ内面の凹凸形状は、チューブの収縮
力ｌ二より感光層に押圧され、転写される。

表面粗さは、チューブの収縮率、結着樹脂の軟化の程度
、押圧時間、あるいはチューブの収縮力等に影響を受け
、さらに表面押圧後の感光層の冷却による結着樹脂収縮
の影響も加わる。

伸縮性網目状部材としては、耐熱性の観点からナイロン
系、ポリアクリル系、テフロン系、ポリエステル系の樹
脂からなるメツシュ状のもので、第１図に示したように
、開口部（図中、斜線部）は、２００μｌ１１２以下が
望ましい。これより開口部が広くなると、収縮力による
応力が分散されて、所望の粗さが得られない。メツシュ
の線径は２５μｍ以下が望ましい。線径がそれ以上、太
くなると、表面を所望の粗さに荒らすことができなくな
る。

伸縮性網目状部材を用いて感光層表面に凹凸を付与する
には、その部材を感光層に被覆し、結着樹脂が軟化する
温度以上で、アニール処理を施す。

通常の感光層を適用する限り、温度５０〜１５０℃の範
囲でアニール処理を施すことができる。アニール温度が
高すぎると感光体の静電特性が悪影響を受け、一方、低
すぎても満足な粗面化を行うことができない。

感光層表面への凹凸の付与は、伸縮性網目状部材の収縮
力により行うが、形成される凹凸形状は、メツシュの形
状がそのまま反映された形状ではなく、冷却時における
結着樹脂の収縮によりさらに細かい凹凸が形成される。

伸縮性網目状部材の別の使用態様としては、感光層をテ
ィッピング法により感光液から引き上げて、加熱乾燥に
際して、伸縮性網目状部材を感光層に被覆した状態で行
ってもよい。そうすることにより感光体製造の工程の簡
略化が可能となる。

ベルト状の感光層の表面に凹凸を付与するには、結着樹
脂が軟化した状態で、表面が所望の凹凸に荒らされた粗
面化ローラー間を圧力をかけながら通過させる等の方法
が挙げられる。

さらに結着樹脂が軟化した状態で感光層ドラムと、表面
が所望の凹凸に荒らされた粗面化ローラとを回転させな
がら互いに押圧する方法等も有効である。

以上のように表面を粗面化された有機系感光層の表面（
こは、真空薄膜を形成し、表面保護層とする。

このような表面保護層としてはプラズマ重合法で形成し
た非晶質炭化水素膜、または、Ａ１．Ｏ，、Ｂｉ、Ｏ，
、Ｃｅ、○１、Ｃｒ２Ｏ２、Ｉｎ、○１、ＭｇＯ。

Ｓｉｎ、５ｉ０２、ＳｎＯ，、Ｔａ、Ｏ，、Ｔｉｅ、Ｔ
ｉｅ２、ＺｒＯ２、Ｙ、Ｏ，等の金属酸化物、Ｓｉ、Ｎ
、％Ｔａ２Ｎなどの金属窒化物、ＭｇＦ　２、ＬｉＦ、
ＮｄＦ）、ＬａＦ、、ＣａＦ２、ＣｅＦ、等の金属弗化
物、ＳｉＣ。

ＴｉＣなどの金属炭化物、ＺｎＳ、ＣｄＳ、ＰｂＳなど
の金属硫化物等の金属化合物を蒸着法、スパッタリング
法、イオンブレーティング法などのいわゆる真空薄膜形
成技術を用いて形成した金属化合物膜が挙げられる。

表面保護層の厚さは、微細な凹凸のない鏡面状の表面に
形成したとした場合に換算して、０．Ｏ１〜・５μｍ１
好ましくは０．０４〜１μｍである。

この程度の膜厚であると、感光層表面の凹凸の形態は、
表面保護層上に、はとんとそのまま形状で現われる。

本発明による粗面化処理を施した感光層表面に真空薄膜
の表面保護層を形成すると、真空薄膜は、膜ストレスを
内包することになり、該薄膜中に無数のクラックか、膜
厚方向に入る。その結果、感光層表面は、無数の斑点が
島状にアイソレートされ、電荷の横流れ、残留電位の上
昇等が防止され、感光体の感度低下、残留電位上昇、黒
筋発生等の諸問題が解消されるものど考えられて（する
。

５μｍより厚いと、形成した真空薄膜に内部応力に基づ
くと考えられるクラックが形成されず、前記した問題が
依然解消されない。膜厚かＯＯｌｐｍより薄いと耐刷し
たどきに摩耗あるいは剥離し易くなる。

以１Ｓ、本発明を実施例を用いて説明する。

有機系感光層（ａ）の作製（負帯電用機能分離型）ビス
アゾ顔料クロロン゛アンプル＝（ＣＤＢ）ｌｆｆｉ量部
、ロムエステル樹脂（東洋紡績社製；Ｖ−２００）Ｉｆ
ｆｉ量部、ロムノクロへキガノン＋ｏｏｔｔ部の混合液
をサンドグラインダーにで１３時間分散Ｉ７だ。この分
散液を直径８０ｍｍｘ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミニ
ウム基板上にデイＩピングにて塗布し、乾燥して膜厚０
．３μｍの電荷発生ＩＩＩ・形成した。

別に、４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェニ
ルヒドラゾン（ＤＥＨ）１１を蓋部、及びポリカーボネ
ート（量大化成社製；に−１３００）１重量部をテトラ
ヒドロ７ラン（Ｔ　ＨＦ　）　６　ｆｆ１ｌｉｊ：ｍ溶
解し、この溶液を前記電荷発生層−Ｆｉ：を布、乾燥し
、乾燥後の膜厚が１５μｍの電荷輸送層を形成し、有機
系感光層（ａ）を得た。

負構（娶１贋劾火膿簑腎（正帯電用バインダー型）特殊
α型銅フタロ〕アニン（東洋インキ社製）２重量部、ア
クリルメラミン熱硬化型樹脂（大日本イ）ギ社製、Ａ−
４０５とスーパーベノカミ〉Ｊ８２０の混合物）５０重
量部、４−ジエチルアミノベンズアルデヒド−ジフェニ
ルヒドラゾ〉２５重量部および有機溶剤（キン１２７重
量部とブタノール３重量部の混合物）５００重量部の混
合液をボールミルで１０時間粉砕分散した。この分散液
を直径８０ｍｍｘ長さ３３０ｍｍの円筒状アルミニウム
基板上にデイ・ノビングにて塗布し、乾燥焼き（−１け
（１５０’Ｃで１時間）を行い、膜厚１５μｍの有機系
感光層（ｂ）を得た。

実施例１ （表面粗面化） 有機系感光層（ａ）を５０’Ｃの温度雰囲気下で３０分
間加熱し、５た。その後、すぐに、直ｇ１２０ｍｍ。

内側の表面粗さ（Ｒｔ）０．５８８μｍの熱収縮性チコ
ーブＮ５−Ｔｕｂｅ（材質、ポリ塩化ビニル、収縮率５
０％、Ｆ」集電下社製）を有機系感光体（ａ）にかぶせ
、チコーブの外側回りから９０℃の温度で１０分間加熱
した。

熱収縮性チューブを取り除いたところ、有機系感光層（
ａ）の表面粗さ（Ｒ［）は、０．０４８μｍであっなお
、表面粗さは、表面粗さ計す−フコｌ、５５０Ａ（東京
精密社製）により測定した。

次に有機系感光層（ａ）の表面上に、表面保護層として
以下に記載のごとく非晶質炭化水素膜（ＰＡＣ）を・形
成した。

（非晶質炭化水素膜の形成） 第２区１こ示ずグロー放電分解装置において、まず、反
応装置（７３３）の内部をｌ　Ｏ−”Ｔｏｒｒ程度の高
真空にした後、第１および第２＃１節弁（７０７および
７０８）を解放し、第１タンク（７０１）より水素ガス
、第２タンク（７０２）よりブタシュンガスを各々出力
圧１　、０　ｋｇ／　ｃｒｎ”の下で、第１および第２
流量制御器（７１３および７１４）内へ流入させた。そ
し、て、各流量制御器の目盛を調整して、水素ガスの流
量を３００　ｓｅｃｍ、ブタジェンガスの流量を３　Ｑ
　５ｃｃｉとなるように設定して、途中混合器（７３１
）を介して、主管（７３２）より反応室（７３３）内へ
流入Ｌ７た。各々の流Ｉ゛が安定し７た後に、反応室（
７３３）内の圧力がＱ、５Ｔｏｒｒとなるように圧力調
整弁（７４５）を調整した。一方、基板（７５２）とし
ては、前述の有機系感光層（ａ）を用いて、予め５０℃
に加熱しておき、ガス流量および圧力が安定した状態で
、予め接続選択スイッチ（７４４）により接続しておい
た低周波電源（７４１）を投入し、電力印加電極（７３
６）に１８０Ｗａｔｔの電力を周波数１００ＫＨｚの下
で印加して約１８０秒間のプラズマ重合反応を行ない、
基板（７５２）上に厚さ１２００人の非晶質炭素膜（Ｐ
ＡＣ膜）を表面保護層として形成した。成膜完成後は、
電力印加を停止し、調節弁を閉じ、反応室（７３３）内
を充分に排気した後、真空を破り本発明に係る感光体を
取り出した。

（感光体の評価） 得られた感光体を、感度低下、膜欠損および接着性の各
評価に供した。

感度低下の評価 得られた感光体を実機に搭載し、露光量を調整し、画像
濃度０．５０のハーフトーン画像を得た。

その後Ａ４紙１万枚のコピーをきった後、同一の露光量
にてハーフトーン画像を得、その画像濃度を求め、初期
の画像濃度０．５０との差を求めｔこ。

例えば一方杖コピー後の画像濃度が０．５５であれば、
その差０．０５を感度低下分とした。

実機の表面電位設定は６００　［Ｖ］、現像バイアス設
定はｌ　５０　［Ｖ］とした。

表１に下乙の評価基準にて感度低下の良否を示しｌこ。

尚、画像濃度の測定は、コニカ社製、温度計、サクラデ
ンントメータＰＤＡ６５（商品名）を用いｔこ。

膜欠損評価 一方杖コピー後の感光体表面を３００倍の光学顕微鏡（
視野面積０．０８＋ｎｍ’）で観察し、その映像をニレ
コ社製画像解析装置ルーゼソクス５０００（商品名）で
解析し、表面保護層の欠損部分の面積比率を算出した。

観察はドラム上任意の２０点で行ない。その中で最大の
値のものを採用しｌ：。

膜欠損比率を以下のごとくランク付しｔ；。

欠損比率　　　記号　　評　　価 ０〜２％　　　　○　　良好 ２％超〜５％　　△　　実用上問題無し５％超〜　　　
　×　　実用上不適当 結果を表１に示した。

接着性評価 ＪＩＳ−に５４００規格の基盤目試験を行ない表面保護
層の有機系感光層への接着性を評価し、以下のごとくラ
ンク付を行なった。

結果を表１に示した。

実施例２〜実施例６および比較例Ｌ　　２実施例１にお
いて、感光層の加熱温度を５０°Ｃとしたことに代えて
、４０°Ｃ（比較例１）、８０℃（実施例２）、１００
°Ｃ（実施例３）、１１０℃（実施例４）、１２０°Ｃ
（実施例５）、１５０°Ｃ（実施例６）、１６０°Ｃ（
比較例２）とした以外、実施例１と同様１：　ｌで感光
体を作製し、評価した。

表面粗さ（訂）、感度低下、膜欠損および接着付評価の
結果を表１１コ示しだ。

害簾貝７ｒ、、！！。

実施例１において、感光層を５０℃で３０分間加熱し７
たこと１７代えて、１１０°Ｃで、２０分間（実施例−
°）、４０分間（実施例８）および００分間（実施例９
）加熱しｔ―以外、実施例１と同様にして感光体を作製
し、評価し、また。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低ト、瞑欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

害−施例−１す。

実施例１において、有機系感光層（ａ）を用いたことに
代え、有機系感光層（ｂ）を使用し、該感光層をｌ　ｌ
　Ｏ’Ｃで加熱し７た以外、実施例１と同様にし、て感
光体を作製し、評価１７た。

表面粗さ（）と）、感度低↑、膜欠損および接着性評価
の結果を表１１：示した。

実施例１１ 感光層・の加熱温度を１１０’Ｃと１１、直径＋２０闘
、内側の表面粗さ（Ｒｔ）０．３１μｍの熱収縮性プコ
ーブ（祠質：ポリエチレ）・テレフタＬ−−−）、収縮
率３０％Ｎ）を使用し、実施例１と同様に感光体を作製
し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損Ｊ、Ｘよび接着性
評価の結果を表１に示した。

尤廓例−Ｌり− 感光層加熱温度をＩ　！、　０　Ｃと１表面保護層とし
て、以下に記載のごとく酸化アルミニウム膜（Ａｌｌ！
２０３膜）を形成した以外、実施例１と同様に感光体を
作製し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ　）、感度低下、摸欠損および接着性評
価の結果を表１に示した。

（Ａｏ、０．膜の作製〕 常用のスバ・ツタリング装置を用いて、下記条件： ターゲソ］・：八〇２０゜ 基板湿度　２５０℃ 放電間隔　：５０ｍｍ（ターゲットと基との距離）真空
度　　・２　Ｘ　Ｉ　Ｏ’−’Ｔｏｒｒ放電ガス　・Ａ
ｒ 放電電力　＋２．ＯＫＷ 放電周波数＋１３．５６ＭＨｚ 放電時間　１２分間 膜　　厚　＋　１．８００人 にてＡＱ、Ｏ，膜を形成した。

尤真例−１−，３− 感光層の加熱温度を１１０°Ｃどし、表面保護層と１７
で、以下に記載のごとく酸化ケイ素膜（Ｓ　ｉ　Ｏ膜）
を形成した以外、実施例１と同様に感光体を作製し５、
評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着硅評価
の結果を表１１コ示した。

（ＳｉＯ膜の形成） 常用の真空加熱法による蒸着装貢を用いて、−ト記条件
； 蒸着源　　：ＳｉＯ 基板温度　、５０℃ ボート温度、１２００℃ 真空度　　：　８　Ｘ　Ｉ　Ｏ−’Ｔｏｒｒ蒸着時間　
：５分間 層　膜　厚：１３００人 にでＳｉＯの薄膜を設けた。

乳鼻準１１−牟 有機系感光層（ａ）を、直径３０ｍｍ、長さ約４０Ｑｍ
ｍの６（５ヲイロン製の伸縮性円筒状、メノン、（線径
約２０ｐｍ、開口部約９０１ＩＩｌ＋２（平均））Ｔ′
覆い、温度８０°Ｃの雰囲気下で３０分間アニールする
こきにより表面粗面化を行った以外、実施例１と同様１
こ感光体を作製し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

害障例−↓−５−二実−Ｖ−１−７− アニール湿度をｌＯＯｏＣ（実施例１５）、１．１０’
ｃ（実施例１．６）、、　　１．２０°Ｃ（実施例１７
）として感光層表面を粗面化処理した以外、実施例１４
と同様にして感光体を作製し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示し、た。

実施例１４において、温度８０℃で３０分間アニール処
理したことに代えて、温度１１０°Ｃで、２０分間（実
施例１８）、４０分間（実施例１９）および６０分（実
施例２０）アニール処理し、感光層表面を粗面化処理し
た以外、実施例１４と同様にして感光体を作製し、評価
した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

実施例２１ 実施例１４において、有機系感光層（ａ）を用いたこと
に代え、有機系感光層（ｂ）を使用し、１１０°Ｃでア
ニール処理し、感光層表面を粗面化処理した以外、実施
例１と同様にして感光体を作製し、評価した。

表面粗さ（Ｒ【）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

実施例２２ 有機系感光層（ａ）を、直径３５ｍｍ、長さ約４００闘
のポリエステル製の伸縮性円筒状メソシュ（線径約２０
ｐｍ、開口部約１２０　ｐｍ２ｃ平均））で覆い、温度
１１０°Ｃの雰囲気下で３０分間アニールすることによ
り表面粗面化を行った以外、実施例１と同様に感光体を
作製し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

実施例２３ 感光層加熱温度をｌ　ｉ　ＯｏＣとし、表面保護層とし
て、実施例１２に記載の酸化アルミニウム膜（Ａ１２０
３膜）を形成した以外、実施例１４と同様に感光体を作
製し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

実施例２４ 感光層加熱温度を１００℃とし、表面保護層として、実
施例１３に記載の酸化ケイ素膜（ＳｉＯ膜）を形成した
以外、実施例１４と同様に感光体を作製し、評価した。

表面粗さ（Ｒｔ）、感度低下、膜欠損および接着性評価
の結果を表１に示した。

光盟ｐ激米 本発明によると、有機系感光体表面を安定して粗面化で
きる。

本発明の方法により、粗面化した有機系感光層の表面に
表面保護層として真空薄膜を設けた感光体は、感度低下
、黒筋発生、膜欠損等が発生しなしゝ。

【図面の簡単な説明】

第１図は、伸縮性網目状被覆部材の形状を模式的に示し
た区である。 第２図は、グロー放電分解装置の概略構成例を示す図で
ある。 特許出願人　ミノルタカメラ株式会社 代　理　人　弁理士　青　山　　葆はか１６箔１　ズ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、有機系感光層上に表面保護層として真空薄膜を形成
   して感光体を製造する方法において、該有機系感光層を
   加熱して軟化した状態で、凹凸部材を押圧して、表面を
   粗面化し、その後に真空薄膜を形成することを特徴とす
   る有機系感光体の製造方法。