JPS6152653A - 電子写真用感光体 - Google Patents
電子写真用感光体Info
- Publication number
- JPS6152653A JPS6152653A JP17543784A JP17543784A JPS6152653A JP S6152653 A JPS6152653 A JP S6152653A JP 17543784 A JP17543784 A JP 17543784A JP 17543784 A JP17543784 A JP 17543784A JP S6152653 A JPS6152653 A JP S6152653A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- evaporation
- deposited
- vapor deposition
- teo2
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/14—Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、複写機、プリンタ等の電子写真応用機器に用
いられるセレン・テルル系感光層を有する電子写真用感
光体に関する。
いられるセレン・テルル系感光層を有する電子写真用感
光体に関する。
感光体の耐刷性能を向上させ、表面きずによる画像白抜
は等の発生を防止するため樹脂からなる保護膜によって
表面を被覆する手段は公知である。 しかしこの場合浸漬法で樹脂膜を形成した場合は１００
０人程度炉腹厚制御の限界であり、また、スピンコード
法によった場合も５００人程炉腹膜厚制御の限界である
。カールソン法で使用する場合は、感光体は暗中で電荷
を保持すると共に、露光を受けた際には速やかに光減衰
し、φ電位に収束する必要がある。しかし５００Å以上
の樹脂即ち絶縁物により被覆された場合は、光減衰時残
留電位が上昇し、現像を行ワた際白紙部において地汚れ
が発生するという不具合が起こる。また、一般に樹脂と
無機物である５ｅ−Ｔｅ系感光層とは密着性が悪く、た
とえ５００Å以下の樹脂被覆が可能な場合でも、クリー
ニング部のブレード等による機械的応力によって被覆し
た膜の剥離が僅か５００枚程度の連続コピーで発生する
。 そこで表面保護膜として酸化テルル膜を利用する事が考
えられる。すでにＳｓ −Ｔｅ系感光体において、蒸着
後の加熱処理、光照射、コロナ放電印加に依る０、酸化
、湿中放置等の処理のエージング処理を行う事に依り、
最表面においてＴｓを酸化せしめ、即ちＴｅｎｔに変化
させる事が知られている。これは、５ｓ−Ｔｏ系悪感光
体関し、特性の早期安定化という事で、所謂「ブレーク
イン処理」として現実に適応されている事である。 Ｔ
ｅのエネルギーギヤツデは約０．７ ｅＶＳＴｅＯｘの
エネルギーギャップは約２． ＯｅＶＳＳｅのそれは約
２．４ｅＶであり、 Ｔｅが酸化され、Ｔｅ０ｍ化する
事で表面の１！荷ブロツキング性は改善される。しかし
第３図にＥＳＣＡによる表面からの解析結果が２０００
Ｉｔ ｘの光を１時間照射した場合を曲！３１． ６
時間照射した場合を曲線３２．２４時間照射した場合を
曲線３３によって示されているように、表面のＴｏｏ化
速度はＴｅ濃度に対し依存性を持っており、表面Ｔｅ濃
度が高い程同−条件では酸化しにくい、従って表面Ｔｅ
濃度が高い程、すなわち光悪魔が早いものほど安定した
酸化膜の形成が龍しい、さらにこのようにして形成した
Ｔｏｏｌ膜は膜厚が薄く、複写機やプリンタにおける
機械的歪力に十分に抗し得ないため、連続コピ一時の画
像白抜けが生じ、保護膜として役立たない。
は等の発生を防止するため樹脂からなる保護膜によって
表面を被覆する手段は公知である。 しかしこの場合浸漬法で樹脂膜を形成した場合は１００
０人程度炉腹厚制御の限界であり、また、スピンコード
法によった場合も５００人程炉腹膜厚制御の限界である
。カールソン法で使用する場合は、感光体は暗中で電荷
を保持すると共に、露光を受けた際には速やかに光減衰
し、φ電位に収束する必要がある。しかし５００Å以上
の樹脂即ち絶縁物により被覆された場合は、光減衰時残
留電位が上昇し、現像を行ワた際白紙部において地汚れ
が発生するという不具合が起こる。また、一般に樹脂と
無機物である５ｅ−Ｔｅ系感光層とは密着性が悪く、た
とえ５００Å以下の樹脂被覆が可能な場合でも、クリー
ニング部のブレード等による機械的応力によって被覆し
た膜の剥離が僅か５００枚程度の連続コピーで発生する
。 そこで表面保護膜として酸化テルル膜を利用する事が考
えられる。すでにＳｓ −Ｔｅ系感光体において、蒸着
後の加熱処理、光照射、コロナ放電印加に依る０、酸化
、湿中放置等の処理のエージング処理を行う事に依り、
最表面においてＴｓを酸化せしめ、即ちＴｅｎｔに変化
させる事が知られている。これは、５ｓ−Ｔｏ系悪感光
体関し、特性の早期安定化という事で、所謂「ブレーク
イン処理」として現実に適応されている事である。 Ｔ
ｅのエネルギーギヤツデは約０．７ ｅＶＳＴｅＯｘの
エネルギーギャップは約２． ＯｅＶＳＳｅのそれは約
２．４ｅＶであり、 Ｔｅが酸化され、Ｔｅ０ｍ化する
事で表面の１！荷ブロツキング性は改善される。しかし
第３図にＥＳＣＡによる表面からの解析結果が２０００
Ｉｔ ｘの光を１時間照射した場合を曲！３１． ６
時間照射した場合を曲線３２．２４時間照射した場合を
曲線３３によって示されているように、表面のＴｏｏ化
速度はＴｅ濃度に対し依存性を持っており、表面Ｔｅ濃
度が高い程同−条件では酸化しにくい、従って表面Ｔｅ
濃度が高い程、すなわち光悪魔が早いものほど安定した
酸化膜の形成が龍しい、さらにこのようにして形成した
Ｔｏｏｌ膜は膜厚が薄く、複写機やプリンタにおける
機械的歪力に十分に抗し得ないため、連続コピ一時の画
像白抜けが生じ、保護膜として役立たない。
本発明は、上記の欠点を除去して最表面に安定で十分な
膜厚を有し、機械的歪力に十分抗することができる酸化
テルル膜を有する３１Ｂ−Ｔｅ系電子写真用感光体を提
供することを目的とする。
膜厚を有し、機械的歪力に十分抗することができる酸化
テルル膜を有する３１Ｂ−Ｔｅ系電子写真用感光体を提
供することを目的とする。
本発明は、Ｓｅ −Ｔｅ系感光層の表面が真空蒸着によ
って被着された酸化テルル層によって覆われていること
によりて上記の目的を達成する。
って被着された酸化テルル層によって覆われていること
によりて上記の目的を達成する。
第１図は本発明に基づく感光体の一実施例の層構成を示
し、アルミニウム基体１の上に５８μ調のが２０人の厚
さに蒸着されている。 このような感光体は、一つの真空槽内に二つの連続蒸発
源と一つのフラッシュ蒸発源を備えた真空蒸着ｖｔ″Ｉ
により製造することができる。真空槽内にアルミニウム
基体１を６０℃に温度制御された支持体上に固定し、真
空槽の圧力を１０−’ Ｔｏｒｒにし、例えば４原子％
の低Ｔｅｔ１度のＳｅ −Ｔｅ合金を収容した蒸発源を
３３０℃迄加熱してキャリア輸送層２の蒸着を行い、次
に９．５原子％の高Ｔｅｔ１度の５ｅ−Ｔ。 合金を収容した蒸発源を３４５℃に加熱し、キャリア発
生層３を蒸着し、これらの蒸着が終了した後５８０℃に
加熱したフラッシュ蒸発源にＴｅａｓを落として、フラ
ッシュ薄着によりＴｅａｍ層４を形成する。 以上と同様な方法で、感光層の表面Ｔｅｆｉ度が４〜２
３原子％の範囲にあり、最表面の被覆Ｔｅａｓ層が程々
の厚さを有する５ｓ−Ｔｏｏ光体を作製し、複写機に取
り付けて連続コピーを行った。連続コピー条件は、Ａ４
判で４０枚／分の複写機を用い（感光体の回転速度は１
．２ ｒｐｓ）、通常３０ｇ／ａｍのブレード圧を４５
ｇ／ｃＩＩに強め、かつ現像剤に研摩剤の一種′である
酸化セリウムを重量比で１０％加えて行うというもので
あワた。ＦＩｌち、研摩効果を強め、機械的歪力をあげ
た条件で連続２０００枚コピーを行った。 第２図はその結果を示し、ＴｅＯ□膜８Å以上において
画像白抜けの発生しないものがあり、特に１５Å以上で
は全く画像白抜けは発生しない、またこの場合の感光層
は、上述のように異なるＴ’ｓ濃度を持っているため、
その感度が色温度２８５０ Ｋの白色光を用いた場合の
８００ｖからの半減衰露光量として０．６〜３．５ｊｘ
−３の範囲にばらついたものであったが、画像品質
の良否は感度に依存せず、ＴｅＯ！膜厚にのみ依存して
いた。
し、アルミニウム基体１の上に５８μ調のが２０人の厚
さに蒸着されている。 このような感光体は、一つの真空槽内に二つの連続蒸発
源と一つのフラッシュ蒸発源を備えた真空蒸着ｖｔ″Ｉ
により製造することができる。真空槽内にアルミニウム
基体１を６０℃に温度制御された支持体上に固定し、真
空槽の圧力を１０−’ Ｔｏｒｒにし、例えば４原子％
の低Ｔｅｔ１度のＳｅ −Ｔｅ合金を収容した蒸発源を
３３０℃迄加熱してキャリア輸送層２の蒸着を行い、次
に９．５原子％の高Ｔｅｔ１度の５ｅ−Ｔ。 合金を収容した蒸発源を３４５℃に加熱し、キャリア発
生層３を蒸着し、これらの蒸着が終了した後５８０℃に
加熱したフラッシュ蒸発源にＴｅａｓを落として、フラ
ッシュ薄着によりＴｅａｍ層４を形成する。 以上と同様な方法で、感光層の表面Ｔｅｆｉ度が４〜２
３原子％の範囲にあり、最表面の被覆Ｔｅａｓ層が程々
の厚さを有する５ｓ−Ｔｏｏ光体を作製し、複写機に取
り付けて連続コピーを行った。連続コピー条件は、Ａ４
判で４０枚／分の複写機を用い（感光体の回転速度は１
．２ ｒｐｓ）、通常３０ｇ／ａｍのブレード圧を４５
ｇ／ｃＩＩに強め、かつ現像剤に研摩剤の一種′である
酸化セリウムを重量比で１０％加えて行うというもので
あワた。ＦＩｌち、研摩効果を強め、機械的歪力をあげ
た条件で連続２０００枚コピーを行った。 第２図はその結果を示し、ＴｅＯ□膜８Å以上において
画像白抜けの発生しないものがあり、特に１５Å以上で
は全く画像白抜けは発生しない、またこの場合の感光層
は、上述のように異なるＴ’ｓ濃度を持っているため、
その感度が色温度２８５０ Ｋの白色光を用いた場合の
８００ｖからの半減衰露光量として０．６〜３．５ｊｘ
−３の範囲にばらついたものであったが、画像品質
の良否は感度に依存せず、ＴｅＯ！膜厚にのみ依存して
いた。
本発明によれば、５ｅ−Ｔｏ系悪感光体最表面に同質材
料の酸化Ｔｅを蒸着し、保護膜とすることによって耐刷
性に対して十分な機械的強度を与えるが光減衰時残留電
位の上昇しない膜厚に制御でき、密着性に冨んだ画像白
抜けの発生の少ない感光体を得ることができた。特に従
来は、感度の早い感光体は画像白抜けが発生しやすいと
いう問題があったが本発明によればそのような問題はな
い、その上、本発明による酸化Ｔｅの蒸着は感光層の蒸
着と同一装置で引きつづき行うことができるので経済的
であり、本発明により得られる効果は極めて大きい。
料の酸化Ｔｅを蒸着し、保護膜とすることによって耐刷
性に対して十分な機械的強度を与えるが光減衰時残留電
位の上昇しない膜厚に制御でき、密着性に冨んだ画像白
抜けの発生の少ない感光体を得ることができた。特に従
来は、感度の早い感光体は画像白抜けが発生しやすいと
いう問題があったが本発明によればそのような問題はな
い、その上、本発明による酸化Ｔｅの蒸着は感光層の蒸
着と同一装置で引きつづき行うことができるので経済的
であり、本発明により得られる効果は極めて大きい。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図はＴｅａｓ
膜厚と連続コピ一時の画像品質の関係を示す線図、第３
図は５ｅ−Ｔｅ合金層表面のＴｅ酸化状態とＴｅ濃度と
の関係線図である。 １ニアルミニウム基体、２：キャリア輸送層、３：キャ
リア発生層、４ ｊ ＴｅＯｘ層。 第１図 第２図
膜厚と連続コピ一時の画像品質の関係を示す線図、第３
図は５ｅ−Ｔｅ合金層表面のＴｅ酸化状態とＴｅ濃度と
の関係線図である。 １ニアルミニウム基体、２：キャリア輸送層、３：キャ
リア発生層、４ ｊ ＴｅＯｘ層。 第１図 第２図
Claims (1)
- １）セレン・テルル系感光層を有するものにおいて、感
光層の表面が真空蒸着によって被着された酸化テルル層
によって覆われたことを特徴とする電子写真用感光体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17543784A JPS6152653A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 電子写真用感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17543784A JPS6152653A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 電子写真用感光体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6152653A true JPS6152653A (ja) | 1986-03-15 |
Family
ID=15996075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17543784A Pending JPS6152653A (ja) | 1984-08-23 | 1984-08-23 | 電子写真用感光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6152653A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7877895B2 (en) * | 2006-06-26 | 2011-02-01 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
-
1984
- 1984-08-23 JP JP17543784A patent/JPS6152653A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7877895B2 (en) * | 2006-06-26 | 2011-02-01 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
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