JPH04170042A - プロービング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェーハの面に縦横に並べて形成された集積
回路領域（以下単にベレットと呼ぶ）の電気的特性を測
定する（以下Ｐ／Ｗチエツクと呼ぶ）プロービング装置
に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のプロービング装置は、図面には示さない
が、ウェーハを塔載するステージと、ウェーハのベレッ
トの入出力端子に接触させるプローブと、このプローブ
より得られる信号によりベレットの良品を制定する装置
本体と、ベレットが不良と判定したとき、ベレットにイ
ンク捺印するインクマーカと、前記ステージにウェーハ
を移載するウェーハ搬送部とを有していた。

このプロービング装置で、ウェーハのＰ／Ｗチエツクを
行う際は、まず、ウェーハー搬送部によりウェーハをス
テージに移載する０次に、ウェーハをステージを回転す
ることによりアライメントをとる０次に、ウェーハのベ
レットにプローブを接触させ、ベレット内の集積回路の
電気特性を測定する。このとき、電気特性が良好であれ
ば、ステージは１ベレット部移動し、再びプローブでベ
レットに接触させ、特性を測定する。ここで、もし、こ
のベレットが不良であればインクマーカでそのベレット
でインク捺印する。再び、ステージを移動し、次のベレ
ットを測定する。このような動作を繰返し行い、−枚の
ウェーハのＰ／Ｗチエツクを行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のプロービング装置では、しばしば、ベレ
ットに塗布したインクよりプローブが汚れることがある
。インクで汚れたプローブでＰ／Ｗチエツクを行うと、
良品と判定されたベレットにもインクが転写され、不良
品と見なされる欠点がある。さらに、インクで汚れたプ
ローブで測定する際に、接触不良を起し、安定した測定
値が得られないという欠点がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消するプロービング装
置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のプロービング装置は、−面に縦横に並べて複数
の集積回路領域が形成されたウェーハを塔載するステー
ジと、前記第　積回路領域の入出力端子と接触するプロ
ーブをもつプローブカードと、プローブカードと接続さ
れるとともに前記集積回路領域の特性良否を判定する本
体と、前記集積回路領域の集積回路の特性が不良である
とき、該集積回路領域にインクを塗布するインクマーカ
とを備えるプロービング装置において前記プローブカー
ドのプローブの汚れを観察する手段と、汚れがある場合
には前記プローブカードを取外す手段と、汚れた前記プ
ローブカードを搬送する手段と、汚れた前記プローブカ
ードを洗浄する手段と、洗浄された前記プローブカード
を再装慎する手段とを備えることを特徴としている。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明によるプロービング装置の一実施例を示
す断面図である。このプロービング装置は、同図に示す
ように、ステージ９の移動する方向に並べて配置される
とともにプロービングカード６のプロービングを洗浄す
る蓋付きの洗浄槽１２と、ソケット７よりプローブカー
ド６を離脱させたり、装着させたりする着脱部４及びモ
ータ付き歯車５と、プローブの汚れを観察するＣＣＤカ
メラ３と、離脱されたプローブカード６を吸着する吸着
パッド１０と、洗浄槽１２の上にあって、プローブカー
ド６を装慎し、洗浄槽１２にプローブカード６を浸す装
着部１１とを設けたことである。それ以外は従来例と同
である。また、洗浄槽１２の蓋は開閉用モータ１３によ
り開閉を行っている。

次にその動作を説明する。まず、Ｐ／Ｗチエツク中にＣ
ＣＤカメラ３を用いて常にプローブカード６のプローブ
の汚れ状態を観察し、その撮像信号を制御装置に送る。

次に、インク汚れが認識された場合は、Ｐ／Ｗチエツク
を中断し、装着部１１がプローブカード６の下に移動す
る。次にモータ付き歯車５を回転させることにより、巷
説部４凹転し、下降する。この下降する着脱部４により
プローブカード６をソケット７より外し、プローブカー
ド６を装着部１１に装慎される。次に、モータ付き歯車
５を逆回転させることにより、着脱部４が上昇し、元の
位置に復帰する。

次に、装着部１１は洗浄槽１２上に移動する。

次に、プローブカード６は吸着バッド１０に吸収され、
装着部１１は洗浄槽１２の上より他に移動する。

次に、洗浄槽１２の蓋を開閉用モータ１３を回転させる
ことにより開け、吸着バッド１０を下降することにより
プローブカード６を洗浄槽１２の洗浄液に浸す、このこ
とにより、付着したインクの汚れは除去される０次に、
洗浄が終了したならば、吸着パッド１０を上昇させプロ
ーブカード６を上げる０次に、開閉用モータ１３を逆回
転させることにより洗浄槽１２の蓋を閉める０次に、外
側に移動していた装着部１１が洗浄槽１２上に移動し、
吸着パッド１０の真空を解放することにより、プローブ
カード６は装着部１１に装置される。次に、装着部１１
が移動し、ソケット７の下で停止する。次に、装着部１
１を押し上げることにより、プローブカード６をソケッ
ト７に取り付ける。再び、Ｐ／Ｗチエツクを再開する。

このように、プローブカードのプローブが汚れていれば
、事前に検査し、自動的にプローブカードを洗浄する。

第２図は本発明によるプロービング装置の他の実施例を
示すプロービング装置の断面図である。

洗浄装置として、前述の実施例で示した洗浄槽の代りに
ジェット噴射のノズル１３と、ノズル１３に洗浄液を供
給する液槽１４と設け、容器！２ａにあるプローブカー
ド６にメチルエチルケトンを吹き付け、インク汚れを洗
浄することである。その他は前述の実施例と同じである
。この実施例では短時間でよりきれいに洗浄できるとい
う利点と、蓋開閉用モータが不用となるため、よりコン
パクトにできるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、プローブカードのインク
汚れを自動的に認識する手段と、汚れを洗浄する洗浄手
段を設けることによって、ベレットを汚し、歩留りを低
下させることなく、かつ安定して試験の出来るプロービ
ング装置が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプロービング装置の一実施例を示す断
面図、第２図は本発明のプロービング装置の他の実施例
を示す断面図である。 １・・・ベース、２・・・インクマーカ、３・・・ＣＣ
Ｄカメラ、４・・・着脱部、５・・・モータ付き歯車、
６・・・プローブカード、７・・・ソケット、８・・・
ウェーハ、９・・・ステージ、１０・・・吸着パッド、
１１・・・装着部、１２・・・洗浄槽、１３・・・開閉
用モータ、１４・・・液槽、１５・・・ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　一面に縦横に並べて複数の集積回路領域が形成された
   ウェーハを塔載するステージと、前記集積回路領域の入
   出力端子と接触するプローブをもつプローブカードと、
   プローブカードと接続されるとともに前記集積回路領域
   の特性良否を判定する本体と、前記集積回路領域の集積
   回路の特性が不良であるとき、該集積回路領域にインク
   を塗布するインクマーカとを備えるプロービング装置に
   おいて、前記プローブカードのプローブの汚れを観察す
   る手段と、汚れがある場合には前記プローブカードを取
   外す手段と、汚れた前記プローブカードを搬送する手段
   と、汚れた前記プローブカードを洗浄する手段と、洗浄
   された前記プローブカードを再装慎する手段とを備える
   ことを特徴とするプロービング装置。