JPH04160024A - 蛍光表示管の製造方法 - Google Patents
蛍光表示管の製造方法Info
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- JPH04160024A JPH04160024A JP28249490A JP28249490A JPH04160024A JP H04160024 A JPH04160024 A JP H04160024A JP 28249490 A JP28249490 A JP 28249490A JP 28249490 A JP28249490 A JP 28249490A JP H04160024 A JPH04160024 A JP H04160024A
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- Japan
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- glass
- discharge hole
- layer
- low melting
- exhaust hole
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 18
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 9
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 1
- 239000010922 glass waste Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は蛍光表示管の製造方法に間し、特に陽極基板に
超硬ドリルにて排気孔を設けた蛍光表示管の製造方法に
間する。
超硬ドリルにて排気孔を設けた蛍光表示管の製造方法に
間する。
従来このタイプの蛍光表示管は、第４図に示す様に、ま
ず、ガラス基板１に超硬ドリルにて真空排気用の直径２
．０ｍｍの排気孔２を設け、このガラス基板１上にＡρ
スパッタ膜を施しホトリソグラフィ法にて配線層３を形
成する。
ず、ガラス基板１に超硬ドリルにて真空排気用の直径２
．０ｍｍの排気孔２を設け、このガラス基板１上にＡρ
スパッタ膜を施しホトリソグラフィ法にて配線層３を形
成する。
次に、コンタクト用スルーホール４を除いて遮光性絶縁
ガラスがちなる絶縁層５をスクリーン印刷にて形成する
。
ガラスがちなる絶縁層５をスクリーン印刷にて形成する
。
次に、蛍光体層７の下地となるグラファイトからなる電
極層６をスクリーン印刷にて形成する。
極層６をスクリーン印刷にて形成する。
次に、Ｚｎ○：Ｚｎ系等の蛍光体層７をスクリーン印刷
にて電極層６上に形成する。
にて電極層６上に形成する。
更に、ガラス基板１の周囲部に低融点ガラスをスクリー
ン印刷にて形成する。
ン印刷にて形成する。
こうして得られたガラス基板ｌに、グリッドｌＯ、フィ
ラメント１１を配設し、カバーガラス１２と封着用シー
ル層８にて封着して、真空チャンバ中にて排気孔２を通
じて排気し、あらかじめ低融点ガラスを塗布した蓋部材
１３にて封止することにより製造されていた。
ラメント１１を配設し、カバーガラス１２と封着用シー
ル層８にて封着して、真空チャンバ中にて排気孔２を通
じて排気し、あらかじめ低融点ガラスを塗布した蓋部材
１３にて封止することにより製造されていた。
従来の製造方法によると、ガラス基板に超硬ドリルにて
形成した直径２．０ｍｍの排気孔のパリや微小クラック
がガラス基板形成時の熱履歴、更には、カバーガラスと
の封着後の熱履歴により進行剥離し、蛍光表示管となっ
た際にこの剥離による微小なガラスぐずが、蛍光体層上
或いはグリッド上に付着し、その付着部分が表示パター
ンのかけ、黒点及びむらとして観察されると言う不具合
が発生するという問題点があった。
形成した直径２．０ｍｍの排気孔のパリや微小クラック
がガラス基板形成時の熱履歴、更には、カバーガラスと
の封着後の熱履歴により進行剥離し、蛍光表示管となっ
た際にこの剥離による微小なガラスぐずが、蛍光体層上
或いはグリッド上に付着し、その付着部分が表示パター
ンのかけ、黒点及びむらとして観察されると言う不具合
が発生するという問題点があった。
この不具合を解消するために、遮光性絶縁層をスクリー
ン印刷にて形成する際に排気孔の壁面まで絶縁層が入る
様絶縁層パターンのインク抜は部を排気孔と同等或いは
排気孔より０，１〜０．２ｍｍ拡大することも考えられ
たが、連続印刷を行う中で排気孔が絶縁層でふさがって
しまう等の不具合が発生し実用となるものではなかった
。
ン印刷にて形成する際に排気孔の壁面まで絶縁層が入る
様絶縁層パターンのインク抜は部を排気孔と同等或いは
排気孔より０，１〜０．２ｍｍ拡大することも考えられ
たが、連続印刷を行う中で排気孔が絶縁層でふさがって
しまう等の不具合が発生し実用となるものではなかった
。
本発明の目的は、ガラスぐずの発生がなく、表示パター
ンのかけ、黒点及びむらのない表示品位の高い蛍光表示
管を提供することにある。
ンのかけ、黒点及びむらのない表示品位の高い蛍光表示
管を提供することにある。
本発明は、超硬ドリルにて真空排気用の排気孔を設けた
ガラス基板上に少なくとも配線層、絶縁層、電極層、蛍
光体層を形成してなる陽極基板を有する蛍光表示管の製
造方法において、前記排気孔と少なくとも同一寸法の形
のくりぬき部を有する低融点ガラスと、低融点ガラスと
有機バインダの混合物とのうちのいずれか一方の加圧成
形物を、前記排気孔と前記くりぬき部の中心を一致させ
て配設し焼成して前記排気孔の周囲及び内壁の一部に低
融点ガラスからなる層を形成する工程を含んで構成され
ている。
ガラス基板上に少なくとも配線層、絶縁層、電極層、蛍
光体層を形成してなる陽極基板を有する蛍光表示管の製
造方法において、前記排気孔と少なくとも同一寸法の形
のくりぬき部を有する低融点ガラスと、低融点ガラスと
有機バインダの混合物とのうちのいずれか一方の加圧成
形物を、前記排気孔と前記くりぬき部の中心を一致させ
て配設し焼成して前記排気孔の周囲及び内壁の一部に低
融点ガラスからなる層を形成する工程を含んで構成され
ている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の第１の実施例の要部断面図、第２図（
ａ）、（ｂ）は第１図の蛍光表示管に使用す・る加圧成
形物の平面図及び断面図である。
ａ）、（ｂ）は第１図の蛍光表示管に使用す・る加圧成
形物の平面図及び断面図である。
第１の実施例は、第１図に示すように、まず、ガラス基
板１に超硬ドリルにて排気孔２を設ける。
板１に超硬ドリルにて排気孔２を設ける。
次に、このガラス基板１上にＡＪスパッタ膜を施しホト
リソグラフィ法にて配線層３を形成する。
リソグラフィ法にて配線層３を形成する。
次に、コンタクト用スルーホール４を除いて遮光性絶縁
ガラスからなる絶縁層５をスクリーン印刷にて形成する
。 −次に、蛍光体層７の下地とな
るグラファイトからなる電極層６をスクリ−ン印刷法に
て形成する。 − 更に、ＺｎＯ： Ｚｎ系蛍光体からなる蛍光体層７をス
クリーン印刷法にて電極層６上に形成した。
ガラスからなる絶縁層５をスクリーン印刷にて形成する
。 −次に、蛍光体層７の下地とな
るグラファイトからなる電極層６をスクリ−ン印刷法に
て形成する。 − 更に、ＺｎＯ： Ｚｎ系蛍光体からなる蛍光体層７をス
クリーン印刷法にて電極層６上に形成した。
次に、第２図に示す低融点ガラスを内径が排気孔２の直
径２．０ｍｍと同じ寸法のリング状に加圧成形した加圧
成形物３１をガラス基板１の排気孔２に配設し、約５０
０℃にて焼成することにより、排気孔２の周囲及び内壁
表面に低融点ガラス層２１を形成しな。
径２．０ｍｍと同じ寸法のリング状に加圧成形した加圧
成形物３１をガラス基板１の排気孔２に配設し、約５０
０℃にて焼成することにより、排気孔２の周囲及び内壁
表面に低融点ガラス層２１を形成しな。
更に、ガラス基板１の周囲に封着用低融点ガラスをスク
リーン印刷法にて塗布した。
リーン印刷法にて塗布した。
こうして得られたガラス基板１にグリッド１０、フィラ
メント１１を配設し、カバーガラス１２と封着用シール
層８にて封着して真空チャンバ内を排気孔２を通じ排気
し、あらかじめ低融点ガラスを塗布した蓋部材１３にて
封止し製造する。
メント１１を配設し、カバーガラス１２と封着用シール
層８にて封着して真空チャンバ内を排気孔２を通じ排気
し、あらかじめ低融点ガラスを塗布した蓋部材１３にて
封止し製造する。
こうして製造した蛍光表示管は、超硬ドリルで形成した
排気孔２の壁面を低融点ガラスで覆ったことにより、排
気孔２形成時に出来た孔壁面のパリや微小クラックの進
行剥離による微小ガラス片の発生が全くなく、表示機能
上の不具合、例えば、かけ、黒点及びむらが皆無となっ
た。
排気孔２の壁面を低融点ガラスで覆ったことにより、排
気孔２形成時に出来た孔壁面のパリや微小クラックの進
行剥離による微小ガラス片の発生が全くなく、表示機能
上の不具合、例えば、かけ、黒点及びむらが皆無となっ
た。
第３図は本発明の第２の実施例の要部断面図である。
第２の実施例は、第３図に示すように、排気管１４を用
いた蛍光表示管の例で−ある。
いた蛍光表示管の例で−ある。
本実施例は、第１図の蓋部材１３のかわりに排気管１４
を取付けた以外は第１の実施例と同じであり、第１の実
施例と同じ効果が得られる。
を取付けた以外は第１の実施例と同じであり、第１の実
施例と同じ効果が得られる。
又、第２図（ａ）、（ｂ）に示す加圧成形物３１は、低
融点ガラスのみでなく、成形を容易にするために有機バ
インダを添加したものでも効果は同じである。
融点ガラスのみでなく、成形を容易にするために有機バ
インダを添加したものでも効果は同じである。
以上説明したように本発明は、ガラス基板に排気用の排
気孔を設けたタイプの蛍光表示管の製造方法において、
排気孔と同一径もしくはそれ以上の直径のくりぬき部を
有する低融点ガラス或いは低融点ガラスと有機バインダ
とからなる加圧成形物を排気孔と該くりぬき部の中心を
一致させ配設し焼成せしめ、この排気孔の周囲及び内壁
の一部に低融点ガラスからなる層を形成する工程を含む
ことにより、排気孔形成時に出来た孔壁面のパリや微小
クラックの進行剥離による微小ガラス片の発生がなく、
従来の本微小ガラス片による表示機能上の不具合例えば
、かけ、黒点及びむらが皆無となり、歩留的にも品質的
にも優れた蛍光表示管を製造出来る効果がある。
気孔を設けたタイプの蛍光表示管の製造方法において、
排気孔と同一径もしくはそれ以上の直径のくりぬき部を
有する低融点ガラス或いは低融点ガラスと有機バインダ
とからなる加圧成形物を排気孔と該くりぬき部の中心を
一致させ配設し焼成せしめ、この排気孔の周囲及び内壁
の一部に低融点ガラスからなる層を形成する工程を含む
ことにより、排気孔形成時に出来た孔壁面のパリや微小
クラックの進行剥離による微小ガラス片の発生がなく、
従来の本微小ガラス片による表示機能上の不具合例えば
、かけ、黒点及びむらが皆無となり、歩留的にも品質的
にも優れた蛍光表示管を製造出来る効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の要部断面図、第２図（
ａ）、（ｂ）は第１図の蛍光表示管に使用する加圧成形
物の平面図及び断面図、第３図は本発明の第２の実施例
の要部断面図、第４図は従来の製造方法による蛍光表示
管の一例の要部断面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・排気孔、３・・・配線層
、４・・・スルーホール、５・・・絶縁層、６・・・電
極層、７・・・蛍光体層、８・・・封着用シール層、１
ｏ・・・グリッド、１１・・・フィラメント、１２・・
・カバーガラス、１３・・・蓋部材、１４・・・排気管
、２１・・・低融点ガラス層。
ａ）、（ｂ）は第１図の蛍光表示管に使用する加圧成形
物の平面図及び断面図、第３図は本発明の第２の実施例
の要部断面図、第４図は従来の製造方法による蛍光表示
管の一例の要部断面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・排気孔、３・・・配線層
、４・・・スルーホール、５・・・絶縁層、６・・・電
極層、７・・・蛍光体層、８・・・封着用シール層、１
ｏ・・・グリッド、１１・・・フィラメント、１２・・
・カバーガラス、１３・・・蓋部材、１４・・・排気管
、２１・・・低融点ガラス層。
Claims (1)
- 超硬ドリルにて真空排気用の排気孔を設けたガラス基板
上に少なくとも配線層、絶縁層、電極層、蛍光体層を形
成してなる陽極基板を有する蛍光表示管の製造方法にお
いて、前記排気孔と少なくとも同一寸法の形のくりぬき
部を有する低融点ガラスと、低融点ガラスと有機バイン
ダの混合物とのうちのいずれか一方の加圧成形物を、前
記排気孔と前記くりぬき部の中心を一致させて配設し焼
成して前記排気孔の周囲及び内壁の一部に低融点ガラス
からなる層を形成する工程を含むことを特徴とする蛍光
表示管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28249490A JPH04160024A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 蛍光表示管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28249490A JPH04160024A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 蛍光表示管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04160024A true JPH04160024A (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=17653174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28249490A Pending JPH04160024A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 蛍光表示管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04160024A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5797780A (en) * | 1996-02-23 | 1998-08-25 | Industrial Technology Research Institute | Hybrid tubeless sealing process for flat panel displays |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP28249490A patent/JPH04160024A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5797780A (en) * | 1996-02-23 | 1998-08-25 | Industrial Technology Research Institute | Hybrid tubeless sealing process for flat panel displays |
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