JP3260797B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電空間を区画する隔
壁を有したＡＣ駆動形式のプラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）に関する。
壁を有したＡＣ駆動形式のプラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）に関する。
【０００２】表示電極を誘電体層で被覆したＡＣ駆動形
式のＰＤＰの内、例えば蛍光体によるカラー表示に適し
た面放電型のＰＤＰなどでは、放電の拡がりを単位発光
領域内に制限するための隔壁が設けられている。
式のＰＤＰの内、例えば蛍光体によるカラー表示に適し
た面放電型のＰＤＰなどでは、放電の拡がりを単位発光
領域内に制限するための隔壁が設けられている。
【０００３】
【従来の技術】図２（ａ）及び（ｂ）は従来のＰＤＰ１
ｊの要部の構造を示す部分断面図である。なお、図２
（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面に対応する。
ｊの要部の構造を示す部分断面図である。なお、図２
（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面に対応する。
【０００４】ＰＤＰ１ｊは、３電極構造を有するＡＣ駆
動形式の面放電型のＰＤＰである。ＰＤＰ１ｊでは、一
対のガラス基板１１，２１の一方（図では下側）のガラ
ス基板２１の内面上に、互いに平行に延びた一対の電極
Ｘ，Ｙからなる複数の電極対２２が設けられ、各電極対
２２は誘電体層２５によって被覆されている。
動形式の面放電型のＰＤＰである。ＰＤＰ１ｊでは、一
対のガラス基板１１，２１の一方（図では下側）のガラ
ス基板２１の内面上に、互いに平行に延びた一対の電極
Ｘ，Ｙからなる複数の電極対２２が設けられ、各電極対
２２は誘電体層２５によって被覆されている。
【０００５】誘電体層２５の上には、放電空間３０を電
極Ｘ，Ｙの延長方向に単位発光領域毎に区画する帯状の
隔壁２７ｊが設けられており、誘電体層２５及び隔壁２
７ｊの表面はＭｇＯからなる保護膜２８によって被覆さ
れている。
極Ｘ，Ｙの延長方向に単位発光領域毎に区画する帯状の
隔壁２７ｊが設けられており、誘電体層２５及び隔壁２
７ｊの表面はＭｇＯからなる保護膜２８によって被覆さ
れている。
【０００６】また、他方のガラス基板１１の内面上に
は、隔壁２７ｊとの当接によって放電空間３０の間隙寸
法を規定する隔壁１７が設けられている。そして、各隔
壁１７の間に、それぞれ単位発光領域を選択的に発光さ
せるためのアドレス電極１２と所定発光色の蛍光体１８
とが配置されている。
は、隔壁２７ｊとの当接によって放電空間３０の間隙寸
法を規定する隔壁１７が設けられている。そして、各隔
壁１７の間に、それぞれ単位発光領域を選択的に発光さ
せるためのアドレス電極１２と所定発光色の蛍光体１８
とが配置されている。
【０００７】電極Ｘ，Ｙに所定の駆動電圧を印加する
と、誘電体層２５の表面方向の放電（面放電）が起こ
り、このとき生じた紫外線によって蛍光体１８が励起さ
れて発光する。
と、誘電体層２５の表面方向の放電（面放電）が起こ
り、このとき生じた紫外線によって蛍光体１８が励起さ
れて発光する。
【０００８】以上の構成のＰＤＰ１ｊの製造に際して
は、各ガラス基板１１，２１について別個に所定の構成
要素を設けた後、ガラス基板１１，２１を対向配置して
周囲の封止を行う。
は、各ガラス基板１１，２１について別個に所定の構成
要素を設けた後、ガラス基板１１，２１を対向配置して
周囲の封止を行う。
【０００９】このとき、ガラス基板２１側において、誘
電体層２５及び隔壁２７ｊは、低融点ガラスペーストの
焼成によって形成される。すなわち、まず、電極対２２
を設けたガラス基板２１上に、一様に低融点ガラスペー
ストを塗布し、例えば５６０℃程度の温度の熱処理を加
えて２０〜３０μｍ程度の厚さの誘電体層２５を形成す
る。
電体層２５及び隔壁２７ｊは、低融点ガラスペーストの
焼成によって形成される。すなわち、まず、電極対２２
を設けたガラス基板２１上に、一様に低融点ガラスペー
ストを塗布し、例えば５６０℃程度の温度の熱処理を加
えて２０〜３０μｍ程度の厚さの誘電体層２５を形成す
る。
【００１０】次に、帯状の開口パターンを有したスクリ
ーンマスクを用いて、焼成時の型崩れを防止するために
無機フィラーを多めに混合した低融点ガラスペーストを
塗布する。そして、誘電体層２５中への隔壁２７ｊの埋
没を避けるため、誘電体層２５が溶融しない５００℃程
度の温度の熱処理を加え、１００μｍ程度の厚さ（高
さ）の隔壁２７ｊを形成する。
ーンマスクを用いて、焼成時の型崩れを防止するために
無機フィラーを多めに混合した低融点ガラスペーストを
塗布する。そして、誘電体層２５中への隔壁２７ｊの埋
没を避けるため、誘電体層２５が溶融しない５００℃程
度の温度の熱処理を加え、１００μｍ程度の厚さ（高
さ）の隔壁２７ｊを形成する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来においては、図２
（ｂ）に示すように、本来は一様な帯状となるべき隔壁
２７ｊが、空隙部５０を有した隔壁（すなわち、不特定
の箇所で切れるか又は一部の高さが他より極端に低くな
った形状不良の隔壁）になることがあり、そのために、
局所的に放電が不要に拡がって表示が乱れるという問題
があった。
（ｂ）に示すように、本来は一様な帯状となるべき隔壁
２７ｊが、空隙部５０を有した隔壁（すなわち、不特定
の箇所で切れるか又は一部の高さが他より極端に低くな
った形状不良の隔壁）になることがあり、そのために、
局所的に放電が不要に拡がって表示が乱れるという問題
があった。
【００１２】また、隔壁２７ｊの形状不良が著しい場合
には、隔壁２７ｊの形成を終了した段階のガラス基板２
１又は組み立てを完了したＰＤＰ１ｊが廃棄され、その
ために製造の歩留りが低下するという問題があった。
には、隔壁２７ｊの形成を終了した段階のガラス基板２
１又は組み立てを完了したＰＤＰ１ｊが廃棄され、その
ために製造の歩留りが低下するという問題があった。
【００１３】なお、空隙部５０の生じる原因を検討した
結果、空隙部５０は、隔壁２７ｊとなる低融点ガラスペ
ーストが焼成に際して収縮するとき（つまり、バインダ
などの蒸発により体積が減少するとき）、軟化状態の誘
電体層２５の表層部が収縮中の低融点ガラスペーストに
引きずられる形で変形し、そのために収縮の進行が急激
になるために生じると考えられる。
結果、空隙部５０は、隔壁２７ｊとなる低融点ガラスペ
ーストが焼成に際して収縮するとき（つまり、バインダ
などの蒸発により体積が減少するとき）、軟化状態の誘
電体層２５の表層部が収縮中の低融点ガラスペーストに
引きずられる形で変形し、そのために収縮の進行が急激
になるために生じると考えられる。
【００１４】そこで、誘電体層２５の材質として、低融
点ガラスに代えてアルミナや二酸化珪素などの無機絶縁
物を用いることが考えられる。しかし、その場合には形
成手法として蒸着などの成膜法を用いる必要があり、十
分に厚い誘電体層２５を得るために長時間を要すること
から、ＰＤＰの生産性の上で不利となる。
点ガラスに代えてアルミナや二酸化珪素などの無機絶縁
物を用いることが考えられる。しかし、その場合には形
成手法として蒸着などの成膜法を用いる必要があり、十
分に厚い誘電体層２５を得るために長時間を要すること
から、ＰＤＰの生産性の上で不利となる。
【００１５】本発明は、上述の問題に鑑み、放電空間を
区画する隔壁の形状の適正化を図り、表示の乱れの発生
を抑えることを目的としている。
区画する隔壁の形状の適正化を図り、表示の乱れの発生
を抑えることを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る製
造方法は、放電電極を覆う誘電体層の上でパターニング
した隔壁材料層を焼成することによって隔壁を形成する
プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記
誘電体層の上に当該誘電体層よりも軟化点が高くて隔壁
形成工程の焼成に際して軟化しない絶縁体層を設け、当
該絶縁体層の上に前記パターニングした隔壁材料層を形
成して焼成することによって前記隔壁を形成するもので
ある。
造方法は、放電電極を覆う誘電体層の上でパターニング
した隔壁材料層を焼成することによって隔壁を形成する
プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記
誘電体層の上に当該誘電体層よりも軟化点が高くて隔壁
形成工程の焼成に際して軟化しない絶縁体層を設け、当
該絶縁体層の上に前記パターニングした隔壁材料層を形
成して焼成することによって前記隔壁を形成するもので
ある。
【００１７】
【００１８】
【作用】熱処理によって隔壁２７を形成するとき、誘電
体層２５が軟化したとしても、隔壁２７と誘電体層２５
との間に固形状態を保った絶縁層２６が介在するので、
隔壁２７となる部材の収縮（熱収縮）が穏やかに進行す
る。
体層２５が軟化したとしても、隔壁２７と誘電体層２５
との間に固形状態を保った絶縁層２６が介在するので、
隔壁２７となる部材の収縮（熱収縮）が穏やかに進行す
る。
【００１９】これにより、隔壁２７は、収縮過程で局部
的に変形することなく、所定の適正な形状となる。
的に変形することなく、所定の適正な形状となる。
【００２０】
【実施例】図１は本発明に係るＰＤＰ１の要部の構成を
示す部分断面図である。なお、図１において、図２と同
一の機能を有する構成要素には同一の符号を付し、その
説明を省略又は簡略化する。
示す部分断面図である。なお、図１において、図２と同
一の機能を有する構成要素には同一の符号を付し、その
説明を省略又は簡略化する。
【００２１】ＰＤＰ１は、マトリクス表示の各単位発光
領域に電極対２２とアドレス電極１２とを対応づけた３
電極構造の面放電型ＰＤＰであり、蛍光体１８によって
放電ガスの発光色以外の色の表示を行うように構成され
ている。
領域に電極対２２とアドレス電極１２とを対応づけた３
電極構造の面放電型ＰＤＰであり、蛍光体１８によって
放電ガスの発光色以外の色の表示を行うように構成され
ている。
【００２２】面放電のための電極対２２は、誘電体層２
５によって放電空間３０に対して被覆されている。誘電
体層２５は、２０μｍ程度の厚さの低融点ガラス層であ
り、低融点ガラスペーストの焼成によって形成されてい
る。
５によって放電空間３０に対して被覆されている。誘電
体層２５は、２０μｍ程度の厚さの低融点ガラス層であ
り、低融点ガラスペーストの焼成によって形成されてい
る。
【００２３】放電空間３０は、互いに当接して同一方向
に延びた帯状の隔壁１７，２７によって区画され且つそ
の間隙寸法（１００μｍ程度）が規定されている。隔壁
１７，２７も低融点ガラスからなる。
に延びた帯状の隔壁１７，２７によって区画され且つそ
の間隙寸法（１００μｍ程度）が規定されている。隔壁
１７，２７も低融点ガラスからなる。
【００２４】ＰＤＰ１では、誘電体層２５の上に、低融
点ガラスの焼成温度（５００〜６００℃）では軟化しな
い程度の耐熱性を有した絶縁体層２６が設けられ、この
絶縁体層２６の上に隔壁２７が設けられている。絶縁体
層２６は、例えば二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）又はアルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）などからなり、その厚さは５０００Å程
度である。
点ガラスの焼成温度（５００〜６００℃）では軟化しな
い程度の耐熱性を有した絶縁体層２６が設けられ、この
絶縁体層２６の上に隔壁２７が設けられている。絶縁体
層２６は、例えば二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）又はアルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）などからなり、その厚さは５０００Å程
度である。
【００２５】なお、絶縁体層２６の表面には、後述のよ
うに誘電体層２５上に隔壁２７を設けた後の段階で、二
次電子放出係数の大きい酸化マグネシウム（ＭｇＯ）か
らなる保護膜２８が設けられている。この保護膜２８
は、誘電体層２５の劣化防止とともに放電開始電圧を低
くする役割をもつ。
うに誘電体層２５上に隔壁２７を設けた後の段階で、二
次電子放出係数の大きい酸化マグネシウム（ＭｇＯ）か
らなる保護膜２８が設けられている。この保護膜２８
は、誘電体層２５の劣化防止とともに放電開始電圧を低
くする役割をもつ。
【００２６】以上の構造のＰＤＰ１の製造に際しては、
ガラス基板２１の上に電極対２２及び誘電体層２５を順
に形成する。そして、誘電体層２５の上に真空蒸着又は
スパッタなどの成膜手法を用いて絶縁体層２６を形成す
る。
ガラス基板２１の上に電極対２２及び誘電体層２５を順
に形成する。そして、誘電体層２５の上に真空蒸着又は
スパッタなどの成膜手法を用いて絶縁体層２６を形成す
る。
【００２７】ここで、絶縁体層２６は上述のように薄い
層であり、その形成に要する時間は短い。また、絶縁体
層２６の形成時には、誘電体層２５に対する加熱（熱処
理）を行うが、その温度は２００℃程度であって、誘電
体層２５の軟化は生じない。
層であり、その形成に要する時間は短い。また、絶縁体
層２６の形成時には、誘電体層２５に対する加熱（熱処
理）を行うが、その温度は２００℃程度であって、誘電
体層２５の軟化は生じない。
【００２８】その後、絶縁体層２６の上に、所定パター
ンのスクリーンマスクを用いて、低融点ガラス粉末及び
バインダ（有機溶剤）などからなるペーストを塗布し、
５００℃程度の熱処理によってペーストを焼成して隔壁
２７を形成する。
ンのスクリーンマスクを用いて、低融点ガラス粉末及び
バインダ（有機溶剤）などからなるペーストを塗布し、
５００℃程度の熱処理によってペーストを焼成して隔壁
２７を形成する。
【００２９】このとき、誘電体層２５は軟化するもの
の、誘電体層２５を覆う絶縁体層２６は軟化しないの
で、ペーストがこれに引きずられて変形することのない
固形状の平面体の上で焼成されることになる。これによ
り、ペーストは下面に影響されることなく穏やかに収縮
し、一部で欠けることのない一様な高さの帯状の隔壁２
７となる。
の、誘電体層２５を覆う絶縁体層２６は軟化しないの
で、ペーストがこれに引きずられて変形することのない
固形状の平面体の上で焼成されることになる。これによ
り、ペーストは下面に影響されることなく穏やかに収縮
し、一部で欠けることのない一様な高さの帯状の隔壁２
７となる。
【００３０】つまり、ＰＤＰ１においては、絶縁体層２
６を設けることによって隔壁２７の形状がほぼ設計どお
りの形状となり、放電の拡がりを適正に抑えた高品質の
表示が可能となる。
６を設けることによって隔壁２７の形状がほぼ設計どお
りの形状となり、放電の拡がりを適正に抑えた高品質の
表示が可能となる。
【００３１】なお、絶縁体層２６を設ける代わりに、誘
電体層２５の直上に保護膜２８を設け、その後に隔壁２
７を設けることが考えられる。すなわち、保護膜２８を
隔壁形成のための下地層として利用することによって所
定形状の隔壁２７を得ることが考えられる。しかし、そ
の場合には、実際上は隔壁２７の形成時にバインダなど
によって保護膜２８が汚染され、放電特性が不安定にな
るという弊害が生じてしまう。
電体層２５の直上に保護膜２８を設け、その後に隔壁２
７を設けることが考えられる。すなわち、保護膜２８を
隔壁形成のための下地層として利用することによって所
定形状の隔壁２７を得ることが考えられる。しかし、そ
の場合には、実際上は隔壁２７の形成時にバインダなど
によって保護膜２８が汚染され、放電特性が不安定にな
るという弊害が生じてしまう。
【００３２】上述の実施例においては、一例として面放
電型のＰＤＰ１を例示したが、誘電体層の上に表示品質
に係わる隔壁を有した構造のＰＤＰであれば、放電の形
態及び蛍光体１８の有無に係わらず本発明を適用するこ
とができる。例えばガス発光色の表示色とした対向放電
型のＰＤＰにも適用可能である。
電型のＰＤＰ１を例示したが、誘電体層の上に表示品質
に係わる隔壁を有した構造のＰＤＰであれば、放電の形
態及び蛍光体１８の有無に係わらず本発明を適用するこ
とができる。例えばガス発光色の表示色とした対向放電
型のＰＤＰにも適用可能である。
【００３３】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、放電空間を区
画する隔壁の形状不良の発生を抑えることができ、製造
の歩留りを高めることができる。
画する隔壁の形状不良の発生を抑えることができ、製造
の歩留りを高めることができる。
【００３４】
【図１】本発明に係るＰＤＰの要部の構成を示す部分断
面図である。
面図である。
【図２】従来のＰＤＰの要部の構造を示す部分断面図で
ある。
ある。
１ ＰＤＰ ２５ 誘電体層 ２７ 隔壁 ２６ 絶縁体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−248338（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−148645（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−301934（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/02 H01J 11/02
Claims (1)
- 【請求項１】放電電極を覆う誘電体層の上でパターニン
グした隔壁材料層を焼成することによって隔壁を形成す
るプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、 前記誘電体層の上に当該誘電体層よりも軟化点が高くて
隔壁形成工程の焼成に際して軟化しない絶縁体層を設
け、当該絶縁体層の上に前記パターニングした隔壁材料
層を形成して焼成することによって前記隔壁を形成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3785492A JP3260797B2 (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3785492A JP3260797B2 (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05234518A JPH05234518A (ja) | 1993-09-10 |
| JP3260797B2 true JP3260797B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=12509135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3785492A Expired - Fee Related JP3260797B2 (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3260797B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980065367A (ko) * | 1996-06-02 | 1998-10-15 | 오평희 | 액정표시소자용 백라이트 |
| KR19990043958A (ko) * | 1997-11-30 | 1999-06-25 | 김영남 | 투과형 플라즈마 표시소자 |
-
1992
- 1992-02-25 JP JP3785492A patent/JP3260797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05234518A (ja) | 1993-09-10 |
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