JPH04158541A

JPH04158541A - ２線式プローブの位置調整装置

Info

Publication number: JPH04158541A
Application number: JP2284658A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Takagi; 啓行高木
Original assignee: INTER TEC KK
Current assignee: INTER TEC KK
Priority date: 1990-10-22
Filing date: 1990-10-22
Publication date: 1992-06-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明はＩＣ，ＬＳＩ、ハイブリッドＩＣ、プリント
配線基板等の検査に使用する２線式プローブの位置調整
装置に関するものである。

（従来の技術）近年、電子回路の高速処理化に伴い、半導体素子（ＩＣ
，ＬＳＩ、ハイブリッドＩＣ等）、及びそれらを組み込
んだプリント配線基板等では、高速信号を扱うことが多
くなり、従来よりも一段と高周波領域での特性が要求さ
れるようになってきている。このような用途に使用され
る高周波プローブでは、一般に２個の導体、例えば同軸
型伝送路では、中心導体と外部導体とを用いた伝送路が
採用されている。

そしてこのような伝送路において、ブロービング時の伝
送損失を抑えるためには、プローブ点にできるだけ近い
位置まで、伝送路のインピーダンスを一定に保つ必要が
ある。このため例えば第５図に示すような構造の２線式
プローブが使用されている。

これは同軸伝送線路５１の先端部に、中心導体に接続さ
れた信号用ニードル５２と、外部導体に接続されたＧＮ
Ｄ用ニードル５３を配置し、これらニート′ル５２．５
３を、被検査ＩＣ等の信号用電極５４と、ＧＮＤ用電極
電極５５それぞれ接触探針させる構造のものである。

そして従来、このプローブは、直交３軸方向に位置調整
可能な位置決め装置（ポジショナ）に装着され、顕微鏡
を見ながら、一対のニードル５２．５３を、所定の一対
の電極５４．５５上に位置合わせする作業が行われる。

（発明が解決しようとする課題）ところで上記位置合わせ作業において、例えば第５図の
ように、プローブが各電極５４．５５列に対して、何等
かの原因で正しく直交して配置されていないような状態
が生じた場合には、接触、探針操作が行えないことから
、その方向調整を行う必要が生じる。しかしながら従来
のポジショナに対するプローブの取付構造は、ポジショ
ナの先端部にプローブを、固定用部材を介して名ジ等で
締付、固定する構造であるため、上記プローブの方向調
整作業は容易でなはい。またもし仮に、上記プローブを
回転させて方向調整を行おうとしても、プローブをその
取付側で回転させざるを得ないことから、第５図矢線で
示すように、プローブの先端部が大きく変位してしまい
、今度は顕微鏡の視野Ｚから外れてしまうという不具合
が生じる。

この発明は上記従来の欠点を解決するためになされたも
のであって、その目的は、上記のようなプローブの方向
調整が容易に行え、そのため正確で、かつ高能率なプロ
ービングを行うことが可能な２線式プローブの位置調整
装置を提供することにある。

（課題を解決するだめの手段）そこで第１請求項記載の２線式プローブの位置調整装置
は、直交３軸方向に位置調整されるポジショナ本体の先
端部に、アタッチメントを介して２線式プローブを装着
して成り、上記アタッチメントは、２線式プローブの先
端側接触点又はその近傍を通る鉛直線回りに上記２線式
プローブを回転させる回転機構を備えていることを特徴
としている。

また第２請求項記載の２線式プローブの位置調整装置は
、上記回転機構が、ポジショナ本体側に支持される円弧
状ガイドレールと、このガイドレールに沿って移動可能
に装着されると共に、上記２線式プローブの装着される
スライダとより成ることを特徴としている。

さらに第３請求項記載の２線式プローブの位置調整装置
は、上記回転機構が、鉛直線回りの回転軸と、この回転
軸に装着されると共に、この回転軸に同期駆動される平
行リンクとより成り、この平行リンクに上記２Ｗ式プロ
ーブが装着されていることを特徴としている。

（作用）上記第１請求項ないし第３請求項記載の２線式プローブ
の位置調整装置では、２線式プローブは、その先端部又
はその近傍を中心にして回転することから、方向調整に
際しては、先端部の変位を最小限に抑えることが可能に
なる。

（実施例）次にこの発明の２線式プローブの位置調整装置の具体的
な実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

第１図〜第３図は、第１実施例を示すものである。図に
おいて、１はポジショナ本体を示している。このポジシ
ョナ本体１は従来同様に、直交３軸方向に位置調整可能
なものであって、その先端部２には、アタッチメント３
が装着されている。

このアタッチメント３は、上記先端部２に装着されたガ
イド部１０と、このガイド部１０に、移動可能に装着さ
れたスライド部２０とより成るものである。

上記ガイド部１０は、概略り字状の取付ブラケットｌｌ
と、このブラケット１１の先端側に取着された円弧状ガ
イドレール１２とより成り、このガイドレール１２には
、円弧状の長孔１３が穿設されている。

また上記スライド部２０は、上記ガイトレール１２の上
下面及び前面に摺接して移動可能に支持されるスライダ
２Ｉと、このスライダ２１の前面から下方に延びるプロ
ーブ取付部２２とを備えており、プローブ取付部２２の
下端部に２線式同軸型プローブＰが装着されている。上
記スライダ２１には、カムフォロア（厚肉の外輪に針状
ころを組込んだスタッド付きの総ころ軸受）２３、ゴム
ローラ２４、固定用つまみ２５、位置調整部材２６がそ
れぞれ装着されている。

上記カムフォロア２３、ゴムローラ２４、位置調整部材
２６の配置態様は、第３図に示す通りであって、上記カ
ムフォロア２３とゴムローラ２４とが対になって上記ガ
イドレール１２の背面を転動する一方、上記位置調整部
材２６は、上記ガイドレール１２の前面に摺接している
。

上記位置調整部材２６は、テフロン（登録商標）等のブ
ロック状のもので、これをガイドレール１２に近接、離
反する方向に位置調整することで、上記スライダ２１を
ガタッキのない状態に保持し得るようなされている。

また上記ゴムローラ２４には、第１図のように回転用把
持部２７が直結されており、この把持部２７を回転操作
することで、ゴムローラ２４を転動させ、これによりス
ライダ２１を移動させるようなっている。

第２図のように、上記固定用つまみ２５にはねし軸２８
が一体的に連設されているが、このねじ軸２日は、上記
ガイドレール１２の長孔１３を貫通してガイドレール１
２の内部に導入され、その導入端部にナツト２９が螺合
されている。つまり上記固定用つまみ２５を回転してね
じ軸２８をねじ込み、これによりガイドレール１２とス
ライダ２１との間を締付けてスライダ２１を固定するよ
うなされているのである。

そしてここで留意する点は、上記円弧状のガイドレール
１２の曲率中心が、第１図及び第２図に示すように、２
線式プローブＰのニードル３１．３２のうち、中心側ニ
ードル３１の先端部に設定されていることである。この
結果、上記スライダ２１を移動させることにより、上記
２線式プローブＰは、上記中心側ニードル３１の先端部
を通る鉛直線りを中心に回転移動し、これにより上記２
線式プローブＰの方向調整が行えることになる。

そしてこの際、上記２線式プローブＰのニードル３１．
３２の各先端部の変位が極めて小さくなることから、方
向調整作業は容易に行えることになり、この結果、ブロ
ービング作業が正確、かつ高能率に行えることになる。

つまり従来のように、ニードル３Ｉ、３２の各先端部が
大きく回転変位して、顕微鏡の視野から外れてしまうと
いう不具合が防止し得ることになるのである。

第４図には第２実施例を示すが、これは鉛直線回りの回
転軸４１と、この回転軸４１に接続されると共に、この
回転軸４１と同期駆動される平行リンク４２を用いたも
ので、この平行リンク４２の先端に２線式プローブＰを
取着した構造のものである。この実施例においても、上
記第１実施例と略同様の作用、効果が得られる。

なお上記各実施例では、２線式プローブＰのニードル３
１の先端部を回転中心位置としているが、回転中心位置
は特にこの点に限定される訳ではなく、実質的に同一の
作用、効果を果たし得る範囲内において、ニードル３１
の先端部の近傍に配置してもよい。

（発明の効果）以上のように上記第１請求項ないし第３請求項記載の２
線式プローブの位置調整装置では、２線式プローブは、
その先端部又はその近傍を中心にして回転することから
、プローブの方向調整に際しては、その先端部の変位を
最小限に抑えることが可能になって、この結果、プロー
ブ方向調整が容易に行え、ひいてはプロービング作業を
正確、かつ高能率に行えるという利点が生じる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の２線式プローブの位置調整装置の第
１実施例の平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第
３図は上記装置の概略構成の説明図、第４図は第２実施
例の平面図、第５図は従来例の説明図である。ｌ・・・ポジショナ本体、３・・・アク・ンチメント、
１２・・・ガイドレール、２１・　・　・スライダ、３
１．３２・・・ニードフレ、４１・・・回転軸、４２・
・・平行リンク、Ｐ・・・２線式フ゛ローブ、Ｌ・・・
鉛直線。

Claims

【特許請求の範囲】１、直交３軸方向に位置調整されるポジショナ本体の先
端部に、アタッチメントを介して２線式プローブを装着
して成り、上記アタッチメントは、２線式プローブの先
端側接触点又はその近傍を通る鉛直線回りに上記２線式
プローブを回転させる回転機構を備えていることを特徴
とする２線式プローブの位置調整装置。２、上記回転機構は、ポジショナ本体側に支持される円
弧状ガイドレールと、このガイドレールに沿って移動可
能に装着されると共に、上記２線式プローブの装着され
るスライダとより成ることを特徴とする第１請求項記載
の２線式プローブの位置調整装置。３、上記回転機構は、鉛直線回りの回転軸と、この回転
軸に装着されると共に、この回転軸に同期駆動される平
行リンクとより成り、この平行リンクに上記２線式プロ
ーブが装着されていることを特徴とする第１請求項記載
の２線式プローブの位置調整装置。