JPH04158278A - 半導体装置の測定装置 - Google Patents
半導体装置の測定装置Info
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- JPH04158278A JPH04158278A JP2285064A JP28506490A JPH04158278A JP H04158278 A JPH04158278 A JP H04158278A JP 2285064 A JP2285064 A JP 2285064A JP 28506490 A JP28506490 A JP 28506490A JP H04158278 A JPH04158278 A JP H04158278A
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- Japan
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- signal generator
- analog signal
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 9
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 6
- 229920000729 poly(L-lysine) polymer Polymers 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 101100350628 Arabidopsis thaliana PLL3 gene Proteins 0.000 description 3
- OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-acetyloxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOCCOC(C)=O OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はアナログ信号とディジタル信号を同期させ、か
つ広範囲で正確な周波数の信号を必要とする半導体装置
の測定装置に関するものである。
つ広範囲で正確な周波数の信号を必要とする半導体装置
の測定装置に関するものである。
従来の技術
従来の半導体装置の測定装置は、ディジタル信号発生器
のクロックとアナログ信号発生器のクロックの周波数に
おいて、単一の周波数をデバイダ−を通すことによって
任意の周波数を発生している。
のクロックとアナログ信号発生器のクロックの周波数に
おいて、単一の周波数をデバイダ−を通すことによって
任意の周波数を発生している。
以下に従来の半導体装置の測定方法について説明する。
第２図は従来の半導体装置の測定装置の構成図を示すも
のである。第２図において、１１は水晶発振器で、マス
ター・クロック源である。１２はＰＬＬ （位相同期回
路）で、ディジタル信号発生器のクロック源である。１
３はＰＬＬでアナログ信号器のクロック源である。１４
はデバイダ−である。１５はデジタル信号発生器である
。１６はアナログ信号発生器である。
のである。第２図において、１１は水晶発振器で、マス
ター・クロック源である。１２はＰＬＬ （位相同期回
路）で、ディジタル信号発生器のクロック源である。１
３はＰＬＬでアナログ信号器のクロック源である。１４
はデバイダ−である。１５はデジタル信号発生器である
。１６はアナログ信号発生器である。
以上のように構成された半導体装置の測定装置について
、以下その動作について説明する。
、以下その動作について説明する。
まず、水晶発振器１１から一定の正確な周波数発生し、
ＰＬＬ１２．１３で周波数を変換する。
ＰＬＬ１２．１３で周波数を変換する。
ＰＬＬ１２の出力をディジタル信号発生器１５に入力し
、任意の周波数のディジタル信号を発生する。一方、Ｐ
ＬＬ１３の出力をデバイダ−１４で分周して、アナログ
信号発生器１６に入力し、任意の周波数のアナログ信号
を発生する。ディジタル信号発生器１５、およびアナロ
グ信号発生器１６から出力される信号は共通の水晶発振
器１１から信号を作り出しているので相互に同期してい
る。
、任意の周波数のディジタル信号を発生する。一方、Ｐ
ＬＬ１３の出力をデバイダ−１４で分周して、アナログ
信号発生器１６に入力し、任意の周波数のアナログ信号
を発生する。ディジタル信号発生器１５、およびアナロ
グ信号発生器１６から出力される信号は共通の水晶発振
器１１から信号を作り出しているので相互に同期してい
る。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の構成では広範囲で正確な周波
数の信号を発生することができないので、アナログ信号
とディジタル信号を同期させ、かつ広範囲で正確な周波
数の信号を必要とする半導体装置を正確に測定すること
ができないという欠点を有していた。
数の信号を発生することができないので、アナログ信号
とディジタル信号を同期させ、かつ広範囲で正確な周波
数の信号を必要とする半導体装置を正確に測定すること
ができないという欠点を有していた。
本発明は上記従来の問題を解決するもので、広範囲で正
確な周波数の信号を必要とする半導体装置を測定するこ
とのできる半導体装置の測定装置を提供することを目的
とする。
確な周波数の信号を必要とする半導体装置を測定するこ
とのできる半導体装置の測定装置を提供することを目的
とする。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明の半導体装置の測定装
置は、アナログ信号とディジタル信号を同期させている
信号発生器のアナログ信号発生器のクロックの周波数と
して、複数の周波数を選択的に使用できるようにしたも
のである。
置は、アナログ信号とディジタル信号を同期させている
信号発生器のアナログ信号発生器のクロックの周波数と
して、複数の周波数を選択的に使用できるようにしたも
のである。
作用
このようにアナログ信号発生器のクロックの周波数とし
て複数の周波数を選択的に使用できるようにすることに
よって、広範囲で正確な周波数を発生することができる
。
て複数の周波数を選択的に使用できるようにすることに
よって、広範囲で正確な周波数を発生することができる
。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例における半導体装置の測定装
置の構成図を示すものである。第１図において、１は水
晶発振器でマスター・クロック源、２はＰＬＬでディジ
タル信号発生器のクロック源、３はＰＬＬでアナログ信
号発生器のクロック源、４はＰＬＬ３とは異なる周波数
で位相同期し、ＰＬＬ３とは異なるクロックを出力する
ＰＬＬで、アナログ信号発生器のクロック源となる。５
はＰＬＬ３．４とは異なる周波数で位相同期し、ＰＬＬ
３．４とは異なるクロックを出力するＰＬＬで、アナロ
グ信号発生器のクロック源となる。６はＰＬＬ３．４．
５の出力を分周するデバイダ−１７はディジタル信号発
生器、８はアナログ信号発生器である。
置の構成図を示すものである。第１図において、１は水
晶発振器でマスター・クロック源、２はＰＬＬでディジ
タル信号発生器のクロック源、３はＰＬＬでアナログ信
号発生器のクロック源、４はＰＬＬ３とは異なる周波数
で位相同期し、ＰＬＬ３とは異なるクロックを出力する
ＰＬＬで、アナログ信号発生器のクロック源となる。５
はＰＬＬ３．４とは異なる周波数で位相同期し、ＰＬＬ
３．４とは異なるクロックを出力するＰＬＬで、アナロ
グ信号発生器のクロック源となる。６はＰＬＬ３．４．
５の出力を分周するデバイダ−１７はディジタル信号発
生器、８はアナログ信号発生器である。
以上のように構成された半導体装置の測定装置について
、以下その動作の説明をする。
、以下その動作の説明をする。
まず、水晶発振器１から一定の正確な周波数が発生し、
ＰＬＬ２．３，４．５で周波数を変換する。ＰＬＬ２の
出力をディジタル信号発生器７に入力し、任意の周波数
のディジタル信号を発生する。一方、ＰＬＬ３，４．５
から出力される異なった周波数のいずれかを選択し、デ
バイダ−６で分周して、その出力をアナログ信号発生器
８に入力し、任意の周波数のアナログ信号を発生する。
ＰＬＬ２．３，４．５で周波数を変換する。ＰＬＬ２の
出力をディジタル信号発生器７に入力し、任意の周波数
のディジタル信号を発生する。一方、ＰＬＬ３，４．５
から出力される異なった周波数のいずれかを選択し、デ
バイダ−６で分周して、その出力をアナログ信号発生器
８に入力し、任意の周波数のアナログ信号を発生する。
ディジタル信号発生器７．アナログ信号発生器８から出
力される信号は、共通の水晶発振器１から信号を作り出
されているので相互に同期している。
力される信号は、共通の水晶発振器１から信号を作り出
されているので相互に同期している。
以上のように本実施例によれば、アナログ信号発生器の
クロック周波数として、複数の周波数を選択的に使用で
きるようにすることにより、アナログ信号とディジタル
信号を同期させ、かつ広範囲で正確な周波数の信号を発
生することができる。また、ＰＬＬをＴＤＡＣにしても
同じ機能が得られる。
クロック周波数として、複数の周波数を選択的に使用で
きるようにすることにより、アナログ信号とディジタル
信号を同期させ、かつ広範囲で正確な周波数の信号を発
生することができる。また、ＰＬＬをＴＤＡＣにしても
同じ機能が得られる。
発明の効果
以上のように本発明は、アナログ信号とディジタル信号
を同期させている信号発生器のアナログ信号発生器のク
ロックの周波数として、複数の周波数を選択的に使用で
きるようにしたものであるから、アナログ信号とディジ
タル信号を同期させ、かつ広範囲で正確な周波数の信号
を必要とする半導体装置の測定装置を実現できるもので
ある。
を同期させている信号発生器のアナログ信号発生器のク
ロックの周波数として、複数の周波数を選択的に使用で
きるようにしたものであるから、アナログ信号とディジ
タル信号を同期させ、かつ広範囲で正確な周波数の信号
を必要とする半導体装置の測定装置を実現できるもので
ある。
第１図は本発明の実施例における半導体装置の測定装置
のブロック図、第２図は従来の半導体装置の測定装置の
ブロック図である。 １・・・・・・水晶発振器、２・・・・・・ＰＬＬ、３
・・・・・・ＰＬＬ、４・・・・・・ＰＬＬ、５・・・
・・・ＰＬＬ、６・・・・・・デバイダ−１７・・・・
・・ディジタル信号発生器、８・・・・・・アナログ信
号発生器、１１・・・・・・水晶発振器、１２・・・・
・・ＰＬＬ、１３・・・・・・ＰＬＬ、１４・・・・・
・デバイダ−１１５・・・・・・ディジタル信号発生器
、１６・・・・・・アナログ信号発生器。 代理人の氏名 弁理士小鍜治明 ほか２名ｖＪｉ図
のブロック図、第２図は従来の半導体装置の測定装置の
ブロック図である。 １・・・・・・水晶発振器、２・・・・・・ＰＬＬ、３
・・・・・・ＰＬＬ、４・・・・・・ＰＬＬ、５・・・
・・・ＰＬＬ、６・・・・・・デバイダ−１７・・・・
・・ディジタル信号発生器、８・・・・・・アナログ信
号発生器、１１・・・・・・水晶発振器、１２・・・・
・・ＰＬＬ、１３・・・・・・ＰＬＬ、１４・・・・・
・デバイダ−１１５・・・・・・ディジタル信号発生器
、１６・・・・・・アナログ信号発生器。 代理人の氏名 弁理士小鍜治明 ほか２名ｖＪｉ図
Claims (1)
- アナログ信号とディジタル信号を同期させている信号発
生器のアナログ信号発生器のクロックの周波数として、
相互に異なる複数の周波数を選択的に使用するように構
成したことを特徴とする半導体装置の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2285064A JPH04158278A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 半導体装置の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2285064A JPH04158278A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 半導体装置の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04158278A true JPH04158278A (ja) | 1992-06-01 |
Family
ID=17686692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2285064A Pending JPH04158278A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 半導体装置の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04158278A (ja) |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP2285064A patent/JPH04158278A/ja active Pending
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