JPH04152662A - 集積回路パッケージ - Google Patents

集積回路パッケージ

Info

Publication number
JPH04152662A
JPH04152662A JP27810790A JP27810790A JPH04152662A JP H04152662 A JPH04152662 A JP H04152662A JP 27810790 A JP27810790 A JP 27810790A JP 27810790 A JP27810790 A JP 27810790A JP H04152662 A JPH04152662 A JP H04152662A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pins
ceramic substrate
integrated circuit
connection pads
input
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP27810790A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2623952B2 (ja
Inventor
Hikari Kimura
光 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2278107A priority Critical patent/JP2623952B2/ja
Priority to FR9112819A priority patent/FR2668302B1/fr
Publication of JPH04152662A publication Critical patent/JPH04152662A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2623952B2 publication Critical patent/JP2623952B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/04Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
    • H01L23/053Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49827Via connections through the substrates, e.g. pins going through the substrate, coaxial cables
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15172Fan-out arrangement of the internal vias
    • H01L2924/15174Fan-out arrangement of the internal vias in different layers of the multilayer substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15312Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a pin array, e.g. PGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は集積回路パッケージに関し、特にコンピュータ
などに使用されるLSI(大規模集積回路)パッケージ
の表面実装用ピングリッドアレイ(PGA)の構造に関
する。
従来技術 従来、LSIパッケージの表面実装用ピングリッドアレ
イ、特に入出力用ピン(以下I10ピンとする)の構造
および形成方法においては、第3図に示すように、LS
IIのセラミック基板10への実装と、I10ピン8−
1〜8−5のセラミック基板10への装着とが夫々別工
程および別構成をとっている。
すなわち、I10ピン8−1〜8−5のセラミック基板
10への装着は図示せぬ配列治具にI10ピン8−1〜
8−5を挿入し、この状態でI10ピン8−1〜8−5
を接合部9−1〜9−5でセラミック基板10にロー付
けまたははんだ付けした後に、配列治具をI10ピン8
−1〜8−5から取外した構成となっていた。
また、LSIIのセラミック基板10への実装は、I1
0ピン8−1〜8−5のセラミック基板10への装着が
終わってから、LSIIをセラミック基板10にはんだ
バンブ部11−1〜11−5で接合することにより行わ
れており、その後にキャップ5がLSIIおよびセラミ
ック基板10に接合部6.7で接合される構成となって
いた。
このような従来のLSIパッケージでは、LSllのセ
ラミック基板10への実装と、I10ピン8−1〜8−
5のセラミック基板lOへの装着とが夫々別工程および
別構成をとっているので、製造コストが高くなるという
問題がある。
また、I10ピン8−1〜8−5のセラミック基板10
への装着が配列治具を用いて行っているので、I10ピ
ン8−4〜8−5のピッチやピン径が微細で、配列治具
の加工精度や形状などが悪いと、配列治具を取外すとき
にI10ピン8−1〜8−5本体またはセラミック基板
10とI10ピン8−1〜8−5との接合部9−1〜9
−5に無理な力が加わってしまい、品質や信頼性の上で
好ましくないという問題がある。
よって、加工精度的にみてI10ピン8−1〜8−5の
ピッチは1.27txmが、I10ピン8−1〜8−5
のピン径は[1,2am−が生産上の限度であり、高密
度多ピンのLSIパッケージにはむかないという問題が
ある。
発明の目的 本発明は上記のような従来のものの問題点を除去すべく
なされたもので、高密度多ピン化に適した集積回路パッ
ケージの提供を目的とする。
発明の構成 本発明による集積回路パッケージは、各々入出力ピンが
接続される複数の接続パッドを有する集積回路と、前記
接続パッドの取付は位置に夫々対応する位置に前記入出
力ピンが貫通する貫通穴を有し、前記入出力ピンを保持
するセラミック基板とを含み、前記セラミック基板に保
持された前記入出力ピンを前記接続パッド各々に接合す
るようにしたことを特徴とする。
実施例 次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図である。
図において、LSIIの一面にはAj)、Cu、Au 
SA u / S n 、 S n / P bなどで
形成された接続パッド2−1〜2−5が設けられており
、これら接続パッド2−1〜2−5各々に入出力ピン(
以下I10ピンとする)3−1〜3−5がロー付けまた
ははんだ付けにより接合されるようになっている。
I10ピン3−1〜3−5の構成材料は機械的強度が強
く、電気的特性の良いNi、W、コバールもしくはCu
合金が使用されている。
I10ピン3−1〜3−5はLSIIの接続パッド2−
1〜2−5との位置合せを行い、またI10ピン3−1
〜3−5を配列させて保持しておくために、セラミック
基板4に予め設けられた貫通穴に挿入されて保持される
このセラミック基板4はI10ピン3−1〜3−5を配
列させて保持しておくが、従来の配列治具のようにLS
IIに接合された後に取外されることはなく、パッケー
ジ母体としてそのまま使用され、つまりセラミック基板
4に保持されたI10ピン3−1〜3−5がLSIIに
接合されてから、LSllおよびセラミック基板4にキ
ャップ5が接合部6.7で接合される。
第2図(a)〜(c)は本発明の一実施例によるLSI
パッケージの製造工程を示す図である。
これら第1図および第2図を用いて本発明の一実施例の
動作について説明する。
まず、I10ピン3−1〜3−5をセラミック基板4の
予め設けられた貫通穴に挿入し、セラミック基板4によ
りI10ピン3−1〜3−5を配列させて保持しておく
 [第2図(a)参照]。
次に、セラミック基板4により配列させた■10ピン3
−1〜3−5をLSIIの接続パッド2−1〜2−5に
ロー付けまたははんだ付けにより接合する[第2図(b
)参照]。
ここで、セラミック基板4はパッケージ母体としてその
まま使用されるので、セラミック基板4に保持されたI
10ピン3−1〜3−5がり、S11の接続パッド2−
1〜2−5に接合されてからも取外す必要がない。
したがって、I10ピン3−1〜3−5のピッチが1.
0 as以下、ピン径が0.1 as’以下の微細加工
も可能となる。
I10ピン3〜1〜3−5をLSIIの接続パッド2−
1〜2−5に接合すると、li 20.セラミックやA
j7NもしくはSiCなどで形成されたキャップ5がセ
ラミック基板4に接合部6でAgローやA u / S
n、あるいはS n/P bによるロー付けやはんだ付
けで接着封止される[第2図(C)参照]。
また、キャップ5はLSIIの放熱のために、LSll
のI10ピン3−1〜3−5が装着されている面と反対
側の面においてAgエポキシ樹脂もしくはSn/Pbな
どのはんだにより接合部7で接着されている[第2図(
C)参照]。
これにより、LSIIとセラミック基板4とが110ピ
ン3−1〜3−5を介して接続されるので、I10ピン
3−1〜3−5を予め設定された長さに設定することで
、LSIIとセラミック基板4とにおける熱膨張率の違
いによる熱ストレスはI10ピン3−1〜3−5により
ほとんど緩和されることになる。
通常、I10ピン3−1〜3−5のその部分の長さは0
.5 mm〜2.01位に設計される。
このように、I10ピン3−1〜3−5をセラミック基
板4に予め設けた貫通穴を通してLSIIの接続パッド
2−1〜2−5に直接装着するようにすることによって
、高密度化、多ピン化に適した構成とすることができる
発明の詳細 な説明したように本発明によれば、入出力ピンをセラミ
ック基板に予め設けた貫通穴を通して集積回路に直接装
着するようにすることによって、高密度多ピン化に適し
た構成とすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は本発
明の一実施例によるLSIパッケージの製造工程を示す
図、第3図は従来例を示す断面図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・LSI 2−1〜2−5・・・・・・接続パッド3−1〜3−5
・・・・・・入出力ピン4・・・・・・セラミ ツク基板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)各々入出力ピンが接続される複数の接続パッドを
    有する集積回路と、前記接続パッドの取付け位置に夫々
    対応する位置に前記入出力ピンが貫通する貫通穴を有し
    、前記入出力ピンを保持するセラミック基板とを含み、
    前記セラミック基板に保持された前記入出力ピンを前記
    接続パッド各々に接合するようにしたことを特徴とする
    集積回路パッケージ。
JP2278107A 1990-10-17 1990-10-17 集積回路パッケージ Expired - Lifetime JP2623952B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2278107A JP2623952B2 (ja) 1990-10-17 1990-10-17 集積回路パッケージ
FR9112819A FR2668302B1 (fr) 1990-10-17 1991-10-17 Boitier comportant un ou plusieurs circuits integres et procede de fabrication de ce boitier.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2278107A JP2623952B2 (ja) 1990-10-17 1990-10-17 集積回路パッケージ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04152662A true JPH04152662A (ja) 1992-05-26
JP2623952B2 JP2623952B2 (ja) 1997-06-25

Family

ID=17592726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2278107A Expired - Lifetime JP2623952B2 (ja) 1990-10-17 1990-10-17 集積回路パッケージ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2623952B2 (ja)
FR (1) FR2668302B1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0685003A (ja) * 1992-09-01 1994-03-25 Nec Corp 半導体装置およびその製造方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5465481A (en) * 1993-10-04 1995-11-14 Motorola, Inc. Method for fabricating a semiconductor package

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5138293U (ja) * 1974-09-13 1976-03-22
JPS61170054A (ja) * 1985-01-23 1986-07-31 Mitsubishi Electric Corp クリツプリ−ド
JPS6284931U (ja) * 1985-11-19 1987-05-30
JPS63142857U (ja) * 1987-03-11 1988-09-20
JPH01283948A (ja) * 1988-05-11 1989-11-15 Hitachi Ltd 樹脂封止型半導体装置
JPH0281447A (ja) * 1988-09-16 1990-03-22 Hitachi Ltd フレキシブルピンキャリア及びそれを使用した半導体装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2938096A1 (de) * 1979-09-20 1981-04-02 Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim Leistungshalbleiterbauelement
DE3127457C2 (de) * 1981-07-11 1985-09-12 Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim Stromrichtermodul
US4630096A (en) * 1984-05-30 1986-12-16 Motorola, Inc. High density IC module assembly
US4987478A (en) * 1990-02-20 1991-01-22 Unisys Corporation Micro individual integrated circuit package

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5138293U (ja) * 1974-09-13 1976-03-22
JPS61170054A (ja) * 1985-01-23 1986-07-31 Mitsubishi Electric Corp クリツプリ−ド
JPS6284931U (ja) * 1985-11-19 1987-05-30
JPS63142857U (ja) * 1987-03-11 1988-09-20
JPH01283948A (ja) * 1988-05-11 1989-11-15 Hitachi Ltd 樹脂封止型半導体装置
JPH0281447A (ja) * 1988-09-16 1990-03-22 Hitachi Ltd フレキシブルピンキャリア及びそれを使用した半導体装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0685003A (ja) * 1992-09-01 1994-03-25 Nec Corp 半導体装置およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
FR2668302B1 (fr) 1998-07-17
FR2668302A1 (fr) 1992-04-24
JP2623952B2 (ja) 1997-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5324892A (en) Method of fabricating an electronic interconnection
US5029386A (en) Hierarchical tape automated bonding method
US7456504B2 (en) Electronic component assemblies with electrically conductive bonds
JP2825085B2 (ja) 半導体装置の実装構造、実装用基板および実装状態の検査方法
KR100355972B1 (ko) 팁 구조물을 제조하는 방법
JPH09134934A (ja) 半導体パッケージ及び半導体装置
JPH04234141A (ja) Tabフレームおよびその基板への接続方法
US5086335A (en) Tape automated bonding system which facilitate repair
JP2894594B2 (ja) ソルダーバンプを有するノウングッドダイの製造方法
JPH04152662A (ja) 集積回路パッケージ
JP3715438B2 (ja) 電子装置およびその製造方法
US6492254B2 (en) Ball grid array (BGA) to column grid array (CGA) conversion process
JPH02122556A (ja) 半導体装置の実装方法
JPH0233960A (ja) 半導体装置
JP2731584B2 (ja) リードフレーム及びこれを用いた電子部品パッケージの製造方法
JP2000307238A (ja) ピン振込み治具およびプリント基板へのピンの取付方法
JPH0851178A (ja) ボールグリッドアレイパッケージおよびそのボールグリッドアレイの形成方法
JPS63284890A (ja) 電子部品の実装方法
JP3163707B2 (ja) 配線基板
JPH0685003A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPH04127547A (ja) Lsi実装構造体
JPH0436115Y2 (ja)
JP3615368B2 (ja) チップサイズパッケージ及びその製造方法
JPH0258245A (ja) 半導体装置
JPH10209213A (ja) 半導体装置およびその製造方法