JPH04152662A - 集積回路パッケージ - Google Patents
集積回路パッケージInfo
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- JPH04152662A JPH04152662A JP27810790A JP27810790A JPH04152662A JP H04152662 A JPH04152662 A JP H04152662A JP 27810790 A JP27810790 A JP 27810790A JP 27810790 A JP27810790 A JP 27810790A JP H04152662 A JPH04152662 A JP H04152662A
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- H01L23/04—Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
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- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15312—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a pin array, e.g. PGA
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は集積回路パッケージに関し、特にコンピュータ
などに使用されるLSI(大規模集積回路)パッケージ
の表面実装用ピングリッドアレイ(PGA)の構造に関
する。
などに使用されるLSI(大規模集積回路)パッケージ
の表面実装用ピングリッドアレイ(PGA)の構造に関
する。
従来技術
従来、LSIパッケージの表面実装用ピングリッドアレ
イ、特に入出力用ピン(以下I10ピンとする)の構造
および形成方法においては、第3図に示すように、LS
IIのセラミック基板10への実装と、I10ピン8−
1〜8−5のセラミック基板10への装着とが夫々別工
程および別構成をとっている。
イ、特に入出力用ピン(以下I10ピンとする)の構造
および形成方法においては、第3図に示すように、LS
IIのセラミック基板10への実装と、I10ピン8−
1〜8−5のセラミック基板10への装着とが夫々別工
程および別構成をとっている。
すなわち、I10ピン8−1〜8−5のセラミック基板
10への装着は図示せぬ配列治具にI10ピン8−1〜
8−5を挿入し、この状態でI10ピン8−1〜8−5
を接合部9−1〜9−5でセラミック基板10にロー付
けまたははんだ付けした後に、配列治具をI10ピン8
−1〜8−5から取外した構成となっていた。
10への装着は図示せぬ配列治具にI10ピン8−1〜
8−5を挿入し、この状態でI10ピン8−1〜8−5
を接合部9−1〜9−5でセラミック基板10にロー付
けまたははんだ付けした後に、配列治具をI10ピン8
−1〜8−5から取外した構成となっていた。
また、LSIIのセラミック基板10への実装は、I1
0ピン8−1〜8−5のセラミック基板10への装着が
終わってから、LSIIをセラミック基板10にはんだ
バンブ部11−1〜11−5で接合することにより行わ
れており、その後にキャップ5がLSIIおよびセラミ
ック基板10に接合部6.7で接合される構成となって
いた。
0ピン8−1〜8−5のセラミック基板10への装着が
終わってから、LSIIをセラミック基板10にはんだ
バンブ部11−1〜11−5で接合することにより行わ
れており、その後にキャップ5がLSIIおよびセラミ
ック基板10に接合部6.7で接合される構成となって
いた。
このような従来のLSIパッケージでは、LSllのセ
ラミック基板10への実装と、I10ピン8−1〜8−
5のセラミック基板lOへの装着とが夫々別工程および
別構成をとっているので、製造コストが高くなるという
問題がある。
ラミック基板10への実装と、I10ピン8−1〜8−
5のセラミック基板lOへの装着とが夫々別工程および
別構成をとっているので、製造コストが高くなるという
問題がある。
また、I10ピン8−1〜8−5のセラミック基板10
への装着が配列治具を用いて行っているので、I10ピ
ン8−4〜8−5のピッチやピン径が微細で、配列治具
の加工精度や形状などが悪いと、配列治具を取外すとき
にI10ピン8−1〜8−5本体またはセラミック基板
10とI10ピン8−1〜8−5との接合部9−1〜9
−5に無理な力が加わってしまい、品質や信頼性の上で
好ましくないという問題がある。
への装着が配列治具を用いて行っているので、I10ピ
ン8−4〜8−5のピッチやピン径が微細で、配列治具
の加工精度や形状などが悪いと、配列治具を取外すとき
にI10ピン8−1〜8−5本体またはセラミック基板
10とI10ピン8−1〜8−5との接合部9−1〜9
−5に無理な力が加わってしまい、品質や信頼性の上で
好ましくないという問題がある。
よって、加工精度的にみてI10ピン8−1〜8−5の
ピッチは1.27txmが、I10ピン8−1〜8−5
のピン径は[1,2am−が生産上の限度であり、高密
度多ピンのLSIパッケージにはむかないという問題が
ある。
ピッチは1.27txmが、I10ピン8−1〜8−5
のピン径は[1,2am−が生産上の限度であり、高密
度多ピンのLSIパッケージにはむかないという問題が
ある。
発明の目的
本発明は上記のような従来のものの問題点を除去すべく
なされたもので、高密度多ピン化に適した集積回路パッ
ケージの提供を目的とする。
なされたもので、高密度多ピン化に適した集積回路パッ
ケージの提供を目的とする。
発明の構成
本発明による集積回路パッケージは、各々入出力ピンが
接続される複数の接続パッドを有する集積回路と、前記
接続パッドの取付は位置に夫々対応する位置に前記入出
力ピンが貫通する貫通穴を有し、前記入出力ピンを保持
するセラミック基板とを含み、前記セラミック基板に保
持された前記入出力ピンを前記接続パッド各々に接合す
るようにしたことを特徴とする。
接続される複数の接続パッドを有する集積回路と、前記
接続パッドの取付は位置に夫々対応する位置に前記入出
力ピンが貫通する貫通穴を有し、前記入出力ピンを保持
するセラミック基板とを含み、前記セラミック基板に保
持された前記入出力ピンを前記接続パッド各々に接合す
るようにしたことを特徴とする。
実施例
次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図である。
図において、LSIIの一面にはAj)、Cu、Au
SA u / S n 、 S n / P bなどで
形成された接続パッド2−1〜2−5が設けられており
、これら接続パッド2−1〜2−5各々に入出力ピン(
以下I10ピンとする)3−1〜3−5がロー付けまた
ははんだ付けにより接合されるようになっている。
SA u / S n 、 S n / P bなどで
形成された接続パッド2−1〜2−5が設けられており
、これら接続パッド2−1〜2−5各々に入出力ピン(
以下I10ピンとする)3−1〜3−5がロー付けまた
ははんだ付けにより接合されるようになっている。
I10ピン3−1〜3−5の構成材料は機械的強度が強
く、電気的特性の良いNi、W、コバールもしくはCu
合金が使用されている。
く、電気的特性の良いNi、W、コバールもしくはCu
合金が使用されている。
I10ピン3−1〜3−5はLSIIの接続パッド2−
1〜2−5との位置合せを行い、またI10ピン3−1
〜3−5を配列させて保持しておくために、セラミック
基板4に予め設けられた貫通穴に挿入されて保持される
。
1〜2−5との位置合せを行い、またI10ピン3−1
〜3−5を配列させて保持しておくために、セラミック
基板4に予め設けられた貫通穴に挿入されて保持される
。
このセラミック基板4はI10ピン3−1〜3−5を配
列させて保持しておくが、従来の配列治具のようにLS
IIに接合された後に取外されることはなく、パッケー
ジ母体としてそのまま使用され、つまりセラミック基板
4に保持されたI10ピン3−1〜3−5がLSIIに
接合されてから、LSllおよびセラミック基板4にキ
ャップ5が接合部6.7で接合される。
列させて保持しておくが、従来の配列治具のようにLS
IIに接合された後に取外されることはなく、パッケー
ジ母体としてそのまま使用され、つまりセラミック基板
4に保持されたI10ピン3−1〜3−5がLSIIに
接合されてから、LSllおよびセラミック基板4にキ
ャップ5が接合部6.7で接合される。
第2図(a)〜(c)は本発明の一実施例によるLSI
パッケージの製造工程を示す図である。
パッケージの製造工程を示す図である。
これら第1図および第2図を用いて本発明の一実施例の
動作について説明する。
動作について説明する。
まず、I10ピン3−1〜3−5をセラミック基板4の
予め設けられた貫通穴に挿入し、セラミック基板4によ
りI10ピン3−1〜3−5を配列させて保持しておく
[第2図(a)参照]。
予め設けられた貫通穴に挿入し、セラミック基板4によ
りI10ピン3−1〜3−5を配列させて保持しておく
[第2図(a)参照]。
次に、セラミック基板4により配列させた■10ピン3
−1〜3−5をLSIIの接続パッド2−1〜2−5に
ロー付けまたははんだ付けにより接合する[第2図(b
)参照]。
−1〜3−5をLSIIの接続パッド2−1〜2−5に
ロー付けまたははんだ付けにより接合する[第2図(b
)参照]。
ここで、セラミック基板4はパッケージ母体としてその
まま使用されるので、セラミック基板4に保持されたI
10ピン3−1〜3−5がり、S11の接続パッド2−
1〜2−5に接合されてからも取外す必要がない。
まま使用されるので、セラミック基板4に保持されたI
10ピン3−1〜3−5がり、S11の接続パッド2−
1〜2−5に接合されてからも取外す必要がない。
したがって、I10ピン3−1〜3−5のピッチが1.
0 as以下、ピン径が0.1 as’以下の微細加工
も可能となる。
0 as以下、ピン径が0.1 as’以下の微細加工
も可能となる。
I10ピン3〜1〜3−5をLSIIの接続パッド2−
1〜2−5に接合すると、li 20.セラミックやA
j7NもしくはSiCなどで形成されたキャップ5がセ
ラミック基板4に接合部6でAgローやA u / S
n、あるいはS n/P bによるロー付けやはんだ付
けで接着封止される[第2図(C)参照]。
1〜2−5に接合すると、li 20.セラミックやA
j7NもしくはSiCなどで形成されたキャップ5がセ
ラミック基板4に接合部6でAgローやA u / S
n、あるいはS n/P bによるロー付けやはんだ付
けで接着封止される[第2図(C)参照]。
また、キャップ5はLSIIの放熱のために、LSll
のI10ピン3−1〜3−5が装着されている面と反対
側の面においてAgエポキシ樹脂もしくはSn/Pbな
どのはんだにより接合部7で接着されている[第2図(
C)参照]。
のI10ピン3−1〜3−5が装着されている面と反対
側の面においてAgエポキシ樹脂もしくはSn/Pbな
どのはんだにより接合部7で接着されている[第2図(
C)参照]。
これにより、LSIIとセラミック基板4とが110ピ
ン3−1〜3−5を介して接続されるので、I10ピン
3−1〜3−5を予め設定された長さに設定することで
、LSIIとセラミック基板4とにおける熱膨張率の違
いによる熱ストレスはI10ピン3−1〜3−5により
ほとんど緩和されることになる。
ン3−1〜3−5を介して接続されるので、I10ピン
3−1〜3−5を予め設定された長さに設定することで
、LSIIとセラミック基板4とにおける熱膨張率の違
いによる熱ストレスはI10ピン3−1〜3−5により
ほとんど緩和されることになる。
通常、I10ピン3−1〜3−5のその部分の長さは0
.5 mm〜2.01位に設計される。
.5 mm〜2.01位に設計される。
このように、I10ピン3−1〜3−5をセラミック基
板4に予め設けた貫通穴を通してLSIIの接続パッド
2−1〜2−5に直接装着するようにすることによって
、高密度化、多ピン化に適した構成とすることができる
。
板4に予め設けた貫通穴を通してLSIIの接続パッド
2−1〜2−5に直接装着するようにすることによって
、高密度化、多ピン化に適した構成とすることができる
。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、入出力ピンをセラミ
ック基板に予め設けた貫通穴を通して集積回路に直接装
着するようにすることによって、高密度多ピン化に適し
た構成とすることができるという効果がある。
ック基板に予め設けた貫通穴を通して集積回路に直接装
着するようにすることによって、高密度多ピン化に適し
た構成とすることができるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は本発
明の一実施例によるLSIパッケージの製造工程を示す
図、第3図は従来例を示す断面図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・LSI 2−1〜2−5・・・・・・接続パッド3−1〜3−5
・・・・・・入出力ピン4・・・・・・セラミ ツク基板
明の一実施例によるLSIパッケージの製造工程を示す
図、第3図は従来例を示す断面図である。 主要部分の符号の説明 1・・・・・・LSI 2−1〜2−5・・・・・・接続パッド3−1〜3−5
・・・・・・入出力ピン4・・・・・・セラミ ツク基板
Claims (1)
- (1)各々入出力ピンが接続される複数の接続パッドを
有する集積回路と、前記接続パッドの取付け位置に夫々
対応する位置に前記入出力ピンが貫通する貫通穴を有し
、前記入出力ピンを保持するセラミック基板とを含み、
前記セラミック基板に保持された前記入出力ピンを前記
接続パッド各々に接合するようにしたことを特徴とする
集積回路パッケージ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2278107A JP2623952B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 集積回路パッケージ |
FR9112819A FR2668302B1 (fr) | 1990-10-17 | 1991-10-17 | Boitier comportant un ou plusieurs circuits integres et procede de fabrication de ce boitier. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2278107A JP2623952B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 集積回路パッケージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04152662A true JPH04152662A (ja) | 1992-05-26 |
JP2623952B2 JP2623952B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=17592726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2278107A Expired - Lifetime JP2623952B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 集積回路パッケージ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2623952B2 (ja) |
FR (1) | FR2668302B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61170054A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Mitsubishi Electric Corp | クリツプリ−ド |
JPS6284931U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-30 | ||
JPS63142857U (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-20 | ||
JPH01283948A (ja) * | 1988-05-11 | 1989-11-15 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH0281447A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-22 | Hitachi Ltd | フレキシブルピンキャリア及びそれを使用した半導体装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE2938096A1 (de) * | 1979-09-20 | 1981-04-02 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Leistungshalbleiterbauelement |
DE3127457C2 (de) * | 1981-07-11 | 1985-09-12 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | Stromrichtermodul |
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US4987478A (en) * | 1990-02-20 | 1991-01-22 | Unisys Corporation | Micro individual integrated circuit package |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP2278107A patent/JP2623952B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-10-17 FR FR9112819A patent/FR2668302B1/fr not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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FR2668302B1 (fr) | 1998-07-17 |
FR2668302A1 (fr) | 1992-04-24 |
JP2623952B2 (ja) | 1997-06-25 |
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