JPH041481A - 真空容器の真空排気機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、真空容器の真空排気機構に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

第２図は従来の真空装置の真空排気システムを示す図で
あり、図において、１は真空チャン／（，２は真空チャ
ンバ１内を真空排気するターボ分子ポンプ、３は真空チ
ャンバ１とターボ分子ポンプ２間の配管を導通、遮断す
るターボ分子ポンプ吸気弁、４はターボ分子ポンプ２の
補助排気を行うロータリーポンプ、５はターボ分子ポン
プ２とロータリーポンプ４間の配管を導通、遮断するロ
ータリーポンプ吸気弁・　６は真空チャンバ１内の圧力
を測定する真空計である。

次に動作について説明する。まず、真空チャンバ１内を
真空状態にするためにロータリーポンプ４を運転させ、
ロータリーポンプ吸気弁５、およびターボ分子ポンプ吸
気弁３を開く。この時から真空チャンバ１内の空気、あ
るいはガス等が排気されて、真空チャンバ１内は真空に
近すいて行く。

次に真空チャンバ１内の圧力を真空計６によりチェツク
し、規定の圧力以下になったところでターボ分子ポンプ
２を運転させる。こうして真空チャンバｌ内の圧力はさ
らに低下し、ますます真空に近ずくことになる。

ここでターボ分子ポンプ２は、吸気側および排気側の圧
力が規定の圧力以下にならないと運転することができず
、高い圧力中で運転すると破損を招く恐れかある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の真空装置の真空排気システムに以上のように構成
されているため、真空排気を行っている状態からターボ
分子ポンプ吸気弁３を閉めて、真空子ヤンバｌ内を大気
圧に戻した後、再度真空排気を開始するときには、ター
ボ分子ポンプ２を停止させ、回転が止まったことご確認
してから再度上記ターボ分子ポンプ吸気弁３を開け、真
空チャンバ１内の圧力が規定以下になるまで待った後、
ターボ分子ポンプ２の運転を再開始する等の処置が必要
で、装置の操作性が恕＜、またターボ分子ポンプ２は高
速で回転するため、停止するまで長く時間がかかり、さ
らに回転中に大気を突入させた時等は破損の恐れがある
等の問題があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ターボ分子ポンプを停止することなしに真空
チャンバの大気導入、真空排気の再開始を行なうことが
できるとと５に、操作性が向上し、操作ミス等によるタ
ーボ分子ポンプの破損を防止できる真空装置の真空排気
システムを得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る真空装置の真空排気システムは、真空チ
ャンバとターボ分子ポンプ吸気弁間と、ロータリーポン
プ吸気弁とロータリーポンプ間とをバイパス配管で接続
し、かつバイパス配管にはノ（イバス排気弁を設けたも
のである。

〔作用〕

この発明における真空装置の真空排気システムは、真空
チャンバが真空状態から、ターボ分子ポンプ吸気弁を閉
めて大気圧に戻された後、再度真空排気を開始する時に
、ターボ分子ポンプを停止させることなしに、バイパス
排気弁を開け、ロータリーポンプのみにて真空排気を行
い、真空チャンバ内が規定の圧力以下になった時に上記
バイパス排気弁を閉めた後、ターボ分子ポンプ吸気弁を
開けてターボ分子ポンプにて真空排気分行う。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１は真空チャ・ンバ、２は真空チャンバ１
内を真空排気するターボ分子ポンプ、３は真空チャンバ
１とターボ分子ポンプ２間の配管を導通、遮断するター
ボ分子ポンプ吸気弁、４はターボ分子ポンプ２の補助排
気を行うロータリーポンプ、５はターボ分子ポンプ２と
ロータリーポンプ４間の配管を導通、遮断するロータリ
ーポンプ吸気弁・６は真空チャンバ１内の圧力を測定す
る真空計、７＆は真空チャンバ】とターボ分子ポンプ吸
気弁３間に、７ｂはロータリーポンプｇ＆ｌ＝５とロー
タリーポンプ４間にｆ！続され、両点を結フ各々バイパ
ス配管、８はバイパス配管７ａ、７ｂ　途中の経路に配
置され、バイパス配管を導通、遮断するためのバイパス
排気弁である。

次に本実施例の動作について説明する。真空チャン／＜
１が大気圧状態であり、ターボ分子ポンプ吸気弁３は閉
、ターボ分子ポンプ２は停止、ロータリーポンプ吸気弁
５は閉、ロータリーポンプ４は停止の状態から、真空チ
ャンバ１のＪｉＬ空排気を開始する時は、まずロータリ
ーポンプ４を運転させる。次にロータリーポンプ吸気弁
５を開き、次いでターボ分子ポンプ吸気弁３を開く。ロ
ータリーポンプ４のみにて真空チャンバ１内の真空排気
を行いながら真空計６にて真空チャンバｌ内の圧力をチ
ェツクし、規定圧力以下になったらターボ分子ポンプ２
を運転する。こうして真空チャンバ１内は低圧力まで真
空排気されること（こなる。この時、真空チャンバｌ内
で任意の処理ひ行うことが可能になるわけであるが、処
理終了後、ターボ分子ポンプ吸気弁３を閉めて真空チャ
ンバ１内を大気圧かあるいは大気圧に近い圧力まで戻し
た後・再度真空排気を開始Ｔる必要があるときは、ロー
タリーポンプ吸気弁５を閉め、ターボ分子ポンプ２を停
止させることなしに、真空排気系から遮断し、次いでバ
イ／ぐス排気弁８を開け、ロータリーポンプ４のみにて
真空チャンバ１内の真空排気を行い、真空チャンバ内の
圧力を真空計６にてチエツクして規定圧力以下になった
時、バイパス排気弁８を閉め、次いでロータリーポンプ
吸気弁５およびターボ分子ポンプ吸気弁３を開ける。

以上のことにより、真空チャンバ１は再度低圧力まで真
空排気されることになる。

なお上記冥流側では、真空排気用のポンプにはロータリ
ーポンプとターボ分子ポンプの２つを使用したものを示
したが、ロータリーポンプとターボ分子ポンプの間にメ
刀二カルブ−スターポンプの入った８つのポンプシステ
ムでも艮い。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、ターボ分子ホ。

ンプを停止させることなく真空チャンバ内を真空排気し
たり、大気圧へ戻したりする動作をくり返し行うことが
できるので、操作性が同上し、またターボ分子ポンプが
停止するまで次動作を待たされる必要が無いので、装置
のスループントが向上する。さらに操作ミス等によるタ
ーボ分子ポンプの破損を避けることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による真空装置の真空排気
システムを示す機能プロンク図、第２図は従来の真空装
置の真空排気システムを示す機能ブロック図である。 図中、１は真空チャンバ、２はターボ分子ポンプ、３は
ターボ分子ポンプ吸気弁、４はロータリーポンプ、５は
ロータリポンプ吸気弁、６は真空計、７＆％７ｂはバイ
パス配管、８はバイパス排気弁である〇 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　真空チャンバと、この真空チャンバ内を真空排気する
   ためのターボ分子ポンプと、上記真空チャンバと上記タ
   ーボ分子ポンプの間に位置し、真空排気配管を開閉する
   ターボ分子ポンプ吸気弁と、上記ターボ分子ポンプの排
   気口側に位置し、ターボ分子ポンプの補助排気を行うロ
   ータリーポンプと、上記ターボ分子ポンプと上記ロータ
   リーポンプとの間に位置し、ターボ分子ポンプの排気、
   およびロータリーポンプの吸気を行うために真空排気配
   管を開閉するロータリーポンプ吸気弁と、上記真空チャ
   ンバ内の圧力をモニタする真空計とを備えた真空装置に
   おいて、上記真空チャンバと上記ターボ分子ポンプ吸気
   弁の間と、上記ロータリーポンプ吸気弁と上記ターボ分
   子ポンプの間とを結ぶバイパス配管を設け、さらにバイ
   パス配管に上記真空チャンバと上記ロータリーポンプ間
   を導通、遮断できるバイパス排気弁を設けたことを特徴
   とする真空容器の真空排気機構。