JPH04137729U - 溶剤回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンパクトな構成で未凝縮の溶剤を含むガス
を処理できるようにして装置全体の小型化を図る。 【構成】 活性炭素繊維製のガス吸着用エレメントＡを
設けた一個の吸着塔１に溶剤含有ガスを供給して溶剤を
吸着させ、そして、加熱用水蒸気を供給して脱着した溶
剤を凝縮器６で冷却して液化するとともに比重分離器７
により比重分離して液状溶剤を回収する溶剤回収装置に
おいて、吸着塔１での溶剤脱着時に、凝縮器６で凝縮液
化しなかった未凝縮の溶剤含有ガスを、活性炭素材製の
吸着材２９を設けた補助吸着塔１９に供給し、溶剤を吸
着するとともに、溶剤を吸着除去した後のガスを補助排
気管２４から排出し、一方、吸着塔１での溶剤吸着時
に、加熱用水蒸気を吸着材２９に供給し、脱着した溶剤
を溶剤補助回収管２６を介して凝縮器６に供給し、液状
溶剤を比重分離によって回収する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体工場等で使用される超音波洗浄機等から発生するフロンガス （例えば、Ｒ−１１３）や、ドライクリーニング工場から発生するテトラクロロ エチレンなどの塩素系有機溶剤ガスや石油系有機溶剤ガス、塗装工場や印刷工場 等からの排気ガス中に含まれるトルエンなどの有機溶剤ガスなどを回収するため に、活性炭素繊維製のガス吸着用エレメントを設けた一個の吸着塔に、溶剤含有 ガスを供給するガス供給管と、脱着した溶剤を回収する溶剤回収管とを設け、ガ ス吸着用エレメントを間にして、ガス供給管および溶剤回収管とは反対側に、溶 剤を吸着除去した後のガスを排出する排気部と溶剤を脱着するための加熱用水蒸 気を供給する水蒸気供給管とを設け、溶剤回収管に、ガス吸着用エレメントから 脱着した溶剤を含有する溶剤含有ガスを冷却して液化する凝縮器と、その凝縮器 から排出される液を比重分離して液状溶剤を回収する比重分離器とを接続した溶 剤回収装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

溶剤回収装置としては、連続的に発生する溶剤含有ガスを回収することを目的 として、活性炭素繊維製のガス吸着用エレメントを設けた吸着塔を複数個設け、 それらの吸着塔を、溶剤含有ガスを供給する吸着状態と、加熱水蒸気を供給して 溶剤含有ガスを脱着する脱着状態とに、背反的になるように交互に切換え、吸着 と脱着とを常時行って溶剤含有ガスを連続的に回収できるように構成したものが ある。

【０００３】 ところが、溶剤含有ガスが間歇的にしか発生しない箇所に、前述のような連続 回収タイプの溶剤回収装置を用いた場合に、溶剤含有ガスが発生していないにも かかわらず吸着運転を行うことになり、イニシャルコストおよびランニングコス トのいずれもが増大して不経済である。

【０００４】 そこで、活性炭素繊維製のガス吸着用エレメントを設けた吸着塔を一個設け、 溶剤含有ガスが発生しているときにのみ吸着状態に、そして、溶剤含有ガスが発 生していないときには脱着状態になるように、溶剤含有ガスの発生状態に連動し て吸着状態と脱着状態とに切換えるように構成したのが、前述した本考案が対象 とする間歇タイプの溶剤回収装置である。

【０００５】 このような間歇タイプの溶剤回収装置としては、従来一般に、図３の概略構成 図に示すように構成されていた。 すなわち、筒状の活性炭素繊維で構成したガス吸着用エレメントＡをフィルタ ーとして取り付けた吸着塔１の下部側空間に、第１の電磁弁２を介して、溶剤含 有ガスを供給するガス供給ブロワー３を介装したガス供給管４を接続するととも に、第２の電磁弁５を介して、凝縮器６と比重分離器７とをその順に直列に介装 した溶剤回収管８を接続する。

【０００６】 吸着塔１の上部開口には、エアシリンダ９によって開閉動作する弁体１０を設 け、かつ、その弁体１０により閉じられた状態の空間に接続するように、第３の 電磁弁１１を介装した溶剤脱着用の加熱水蒸気を供給する水蒸気供給管１２を接 続する。

【０００７】 吸着塔１の上部を覆うカバー１３に、溶剤を脱着した後のガスを排出する排気 部としての排気管１４を接続し、この排気管１４に第４の電磁弁１４ａを介装す る。 凝縮器６と比重分離器７との間において、溶剤回収管８にバイパス配管０１を 接続し、膨張収縮可能な袋体をケーシング内に収容して形成したバッファー０２ をバイパス配管０１に接続し、凝縮器６で液化しなかったガス成分をバッファー ０２に貯留するようになっている。

【０００８】 バイパス配管０１の途中箇所と、ガス供給管４のガス供給ブロワー３よりも上 流側箇所とを戻し管０３を介して接続し、バッファー０２に貯留されたガス成分 を吸着塔１に再度供給するようになっている。

【０００９】 図中０４は逆止弁を、０５は、バイパス配管０１に接続したドレン管を、１５ は、比重分離器７に接続したドレン管をそれぞれ示している。ガス供給ブロワー ３のサクション側が常時負圧になる状態で運転する場合は逆止弁０４は省略でき る。

【００１０】 以上の構成により、溶剤吸着時には、第１および第４の電磁弁２，１４ａなら びに弁体１０それぞれを開くとともに第２および第３の電磁弁５，１１それぞれ を閉じ、ガス供給ブロワー３により吸着塔１に溶剤含有ガスを供給してガス吸着 用エレメントＡを通過させ、溶剤をガス吸着用エレメントＡの活性炭素繊維に吸 着する。そして、吸着した溶剤の脱着時には、ガス供給ブロワー３を停止し、第 １および第４の電磁弁２，１４ａならびに弁体１０それぞれを閉じるとともに第 ２および第３の電磁弁５，１１それぞれを開き、加熱水蒸気を供給することによ り、ガス吸着用エレメントＡの活性炭素繊維に吸着された溶剤を加熱脱着して再 生し、脱着した溶剤を比重分離器７に供給し、液状溶剤を分離して回収するよう になっている。

【００１１】 また、未凝縮の溶剤を含んだガスをバッファー０２に供給して貯留しておき、 次に吸着状態に切換えたときに、戻し管０３を通じて吸着塔１に供給し、再度吸 着処理させるようになっている。

【００１２】 すなわち、活性炭素繊維の場合、粒状活性炭に比べて充填密度を高くできない ため、吸着塔１内にかなりの量の空気を含み、そのうえ、活性炭素繊維は溶剤の 脱着スピードが速いため、溶剤を飽和状態まで吸着した活性炭素繊維に加熱水蒸 気を供給するに伴い、溶剤が直ちに脱着し、その溶剤含有ガスが吸着塔内の空気 とともに凝縮器６に供給されるが、凝縮器６での冷却温度における飽和蒸気圧に 相当する量の溶剤までは凝縮液化できない。この未凝縮の溶剤を含んだガスをバ ッファー０２に貯留するのである。

【００１３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、溶剤の処理量が多くて大きな吸着塔１が必要になるに伴い、未 凝縮の溶剤を含むガスの量も多くなり、それに伴ってバッファーが大型化し、装 置全体が大型化する欠点があった。

【００１４】 本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであって、請求項１に係る考 案の溶剤回収装置は、コンパクトな構成で未凝縮の溶剤を含むガスを処理できる ようにすることを目的とし、また、請求項２に係る考案の溶剤回収装置は、未凝 縮の溶剤を含むガスを容易に処理できるようにすることを目的とし、そして、請 求項３に係る考案の溶剤回収装置は、未凝縮の溶剤を含むガスをより良好に処理 できるようにすることを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】

請求項１に係る考案の溶剤回収装置は、上述のような目的を達成するために、 活性炭素繊維製のガス吸着用エレメントを設けた一個の吸着塔に、溶剤含有ガス を供給するガス供給管と、脱着した溶剤を回収する溶剤回収管とを設け、ガス吸 着用エレメントを間にして、ガス供給管および溶剤回収管とは反対側に、溶剤を 吸着除去した後のガスを排出する排気部と溶剤を脱着するための加熱用水蒸気を 供給する水蒸気供給管とを設け、溶剤回収管に、ガス吸着用エレメントから脱着 した溶剤を含有する溶剤含有ガスを冷却して液化する凝縮器と、その凝縮器から 排出される液を比重分離して液状溶剤を回収する比重分離器とを接続した溶剤回 収装置において、凝縮器の下流側に、その凝縮器で凝縮液化しなかった未凝縮の 溶剤を含むガスを回収する未凝縮ガス回収管を接続するとともに、その未凝縮ガ ス回収管に、活性炭素材製の吸着材を設けた補助吸着塔を接続し、その補助吸着 塔内に設けた吸着材を間にして、未凝縮ガス回収管とは反対側に、溶剤を吸着除 去した後のガスを排出する補助排気部を設けて構成する。 補助吸着塔に設ける活性炭素材製の吸着材としては、活性炭素繊維や粒状活性 炭が使用できる。

【００１６】 また、請求項２に係る考案の溶剤回収装置は、上述のような目的を達成するた めに、請求項１の補助吸着塔内に設けた吸着材を間にして、未凝縮ガス回収管と は反対側に、溶剤を脱着するための加熱用水蒸気を供給する水蒸気補助供給管を 設け、かつ、補助吸着塔の未凝縮ガス回収管の接続側と凝縮器への入口側とを溶 剤補助回収管を介して接続して構成する。

【００１７】 また、請求項３に係る考案の溶剤回収装置は、上述のような目的を達成するた めに、請求項２の凝縮器の下流側において、比重分離器より補助未凝縮ガス回収 管を分岐し、その補助未凝縮ガス回収管をガス供給管のガス供給ブロワーの上流 側に接続して構成する。

【００１８】

【作用】

請求項１に係る考案の溶剤回収装置の構成によれば、発生した溶剤含有ガスを 吸着塔に供給してそれに含まれる溶剤を吸着させ、次いで、溶剤含有ガスが発生 していないときに脱着状態に切換え、ガス吸着用エレメントに吸着した溶剤を加 熱水蒸気の供給によって脱着し、ガス吸着用エレメントを再生するとともに、脱 着した溶剤含有ガスを凝縮器に供給し、溶剤を凝縮液化し、その液化した液状溶 剤を比重分離器で分離して回収する。 一方、凝縮器で液化しなかった未凝縮の溶剤を含むガスを補助吸着塔に供給し 、その吸着材に溶剤を吸着させ、溶剤を吸着除去した後のガスを補助排気部から 排出する。そして、溶剤の沸点が高くて凝縮器で液化しやすく、未凝縮の溶剤を 含むガス量が少ない場合には、補助吸着塔内に設けた吸着材の溶剤吸着量が飽和 になった時点でその吸着材を新規のものと交換するといったようにして、補助吸 着塔内の吸着材に吸着した溶剤を回収することができる。

【００１９】 また、請求項２に係る考案の溶剤回収装置の構成によれば、吸着塔において吸 着状態にあるときに、水蒸気補助供給管を通して補助吸着塔に加熱水蒸気を供給 して吸着材から溶剤を脱着し、補助吸着塔内の吸着材を再生しながら、その脱着 した溶剤を溶剤補助回収管を通して凝縮器に供給し、凝縮液化して回収処理する ことができる。

【００２０】 また、請求項３に係る考案の溶剤回収装置の構成によれば、吸着塔において吸 着状態にあり、かつ、補助吸着塔において脱着状態にあるときに、補助吸着塔内 の吸着材から脱着された溶剤を溶剤補助回収管を通して凝縮器に供給し、そこで も凝縮液化しなかった未凝縮の溶剤を含むガスを補助未凝縮ガス回収管およびガ ス供給管を通じて吸着塔に供給し、ガス吸着用エレメントに吸着することができ る。

【００２１】

【実施例】

次に、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

【００２２】 図１は、本考案の実施例の溶剤回収装置の概略構成図であり、溶剤含有ガスの 発生時に、ガス供給ブロワー３により、ガス供給管４を通じて溶剤含有ガスを吸 着塔１に供給し、溶剤をガス吸着用エレメントＡに吸着させる構成、ならびに、 水蒸気供給管１２を通じ、吸着塔１内に加熱水蒸気を供給してガス吸着用エレメ ントＡで吸着した溶剤を脱着し、凝縮器６で凝縮液化させ、その液化した液状溶 剤を比重分離器７により比重分離して回収する構成は、先に、図３を用いて説明 した通りであり、ここでは、それらと異なるところについて説明し、先に説明し たものと同じ構成のものには同一番号を付して説明は省略する。

【００２３】 すなわち、凝縮器６と比重分離器７とを接続する連通管１６の途中箇所に、未 凝縮ガス回収管１７を接続するとともに、その未凝縮ガス回収管１７に補助吸着 塔１８を接続し、凝縮器６で凝縮液化しなかった未凝縮の溶剤含有ガスを回収し て補助吸着塔１８内に供給するようになっている。

【００２４】 補助吸着塔１８の上部開口には、補助エアシリンダ１９によって開閉動作する 補助弁体２０を設け、かつ、その補助弁体２０により閉じられた状態の空間に接 続するように、未凝縮ガス回収管１７とは反対側に、第５の電磁弁２１を介装し た溶剤脱着用の加熱水蒸気を供給する水蒸気供給管２２を介装する。

【００２５】 補助吸着塔１８の上部を覆うカバー２３に、溶剤を脱着した後のガスを排出す る補助排気部としての補助排気管２４を接続し、この補助排気管２４に第６の電 磁弁２５を介装する。

【００２６】 また、補助吸着塔１８の未凝縮ガス回収管１７の接続側と凝縮器６への入口側 とを溶剤補助回収管２６を介して接続する。 未凝縮ガス回収管１７には第７の電磁弁２７を、そして、溶剤補助回収管２６ には第８の電磁弁２８をそれぞれ接続する。

【００２７】 比重分離器７に補助未凝縮ガス回収管２９を分岐接続するとともに、その補助 未凝縮ガス回収管２９をガス供給管４のガス供給ブロワー３の上流側に接続し、 かつ、補助未凝縮ガス回収管２９に第９の電磁弁３０を介装する。

【００２８】 連通管１５と未凝縮ガス回収管１７との接続箇所には、図示しないが、中央に 開口を形成した弁座と水および溶剤の比重の小さい側のものよりも比重の小さい フロート弁体とから成る弁としてのフロート弁を設けてあり、定常の溶剤脱着時 において、凝縮器６で冷却により凝縮して液化した水と液状溶剤との混合液の貯 留量が設定量以上になるに伴い、フロート弁体を浮力によって上昇し、フロート 弁を開いて混合液を比重分離器７に流下供給し、そして、溶剤脱着の開始時にあ って、加熱用水蒸気の供給に伴い、吸着塔１内の内圧が上昇したときに、その圧 力をフロート弁に作用させ、そのフロート弁体を押し下げて閉じることにより、 上昇した圧力が比重分離器７側に伝わることを遮断するようになっている。

【００２９】 補助吸着塔１８内には、活性炭素繊維製の吸着材３１を設ける。 吸着塔１内に設けたガス吸着用エレメントＡおよび上述した補助吸着塔１８内 に設ける吸着材３１それぞれとしては、例えば、公称比表面積1000ｍ² ／ｇのピ ッチ系活性炭素繊維（Ａ−１０：株式会社アドール製）をフェルト状に加工した 活性炭素繊維フェルト（ＦＮ３００ＧＦ１０：関西タール製品株式会社製）を用 いる。

【００３０】 補助吸着塔１８内に設ける吸着材３１としては、活性炭素繊維に限らず、粒状 活性炭を充填したものでも良い。

【００３１】 ガス供給ブロワー３、第１ないし第９の電磁弁２，５，１１，１４ａ，２１， ２５，２７，２８，３０、エアシリンダ９および補助エアシリンダ１９それぞれ をマイクロコンピュータ（図示せず）に接続し、溶剤含有ガスの発生源における 発生サイクルに合わせて所定のタイミングで作動するように制御してあり、次に 、図２のタイミングチャートを用いて説明する。

【００３２】 先ず、溶剤含有ガスの発生源において、溶剤含有ガスの発生が開始される時よ りも設定時間だけ前の時点で、第２、第３、第６および第７の電磁弁５，１１， ２５，２７それぞれを開くとともに補助エアシリンダ１９を短縮して補助弁体２ ０を開き、吸着塔１では、その内部に加熱水蒸気を供給することにより、ガス吸 着用エレメントＡに吸着した溶剤を脱着し、一方、補助吸着塔１８では、未凝縮 ガス回収管１７を通じて、凝縮器６で凝縮液化しなかった溶剤を含んだガスを供 給して吸着材３１に溶剤を吸着する。

【００３３】 次いで、溶剤含有ガスの発生が開始されるに伴い、ガス供給ブロワー３をＯＮ （起動）し、第２、第３、第６および第７の電磁弁５，１１，２５，２７それぞ れを閉じるとともに、第１、第４、第５、第８および第９の電磁弁２，１４ａ， ２１，２８，３０それぞれを開き、かつ、補助エアシリンダ１９を伸張して補助 弁体２０を閉じるとともにエアシリンダ９を短縮して弁体１０を開き、吸着塔１ では、溶剤含有ガスを供給してガス吸着用エレメントＡに吸着し、一方、補助吸 着塔１８では、その内部に加熱水蒸気を供給することにより、吸着材３１に吸着 した溶剤を脱着し、その脱着した溶剤を溶剤補助回収管２６を通じて凝縮器６に 供給し、凝縮液化処理してから比重分離器７に供給し、液状溶剤を分離回収する 。このとき、前記凝縮器６で液化し得なかった溶剤を含んだガスは、未凝縮ガス 回収管２９を通じ、溶剤含有ガスと混合され、吸着塔１により吸着される。

【００３４】 補助吸着塔１８での溶剤脱着に必要な時間が経過した時点で、第５および第８ の電磁弁２１，２８それぞれを閉じ、補助吸着塔１８での溶剤脱着を停止する。

【００３５】 そして、溶剤含有ガスの発生が停止されるに伴い、ガス供給ブロワー３をＯＦ Ｆ（停止）し、第１および第４の電磁弁２，１４ａそれぞれを閉じるとともに、 エアシリンダ９を伸張して弁体１０を閉じ、吸着塔１の溶剤吸着を停止する。

【００３６】 これらの動作を繰り返すことにより、ガス供給ブロワー３により吸着塔１に溶 剤含有ガスを供給してガス吸着用エレメントＡを通過させ、溶剤をガス吸着用エ レメントＡに吸着し、そして、吸着した溶剤の脱着時には、加熱水蒸気を供給し てガス吸着用エレメントＡに吸着された溶剤を加熱脱着して再生するとともに、 脱着した溶剤を比重分離器７に供給し、液状溶剤を分離して回収し、一方、補助 吸着塔１８において、吸着塔１での溶剤脱着時に、凝縮器６で凝縮液化しなかっ た未凝縮の溶剤を含んだガスを吸着材３１に吸着し、そして、吸着塔１での溶剤 吸着開始後の所定時間で、吸着材３１に吸着した溶剤を脱着して回収することが できる。

【００３７】 上述実施例および比較例の溶剤回収装置を用いて行った比較実験結果は次の通 りである。

【００３８】 比較例としては、従来例において説明したバッファー０２を設けた溶剤回収装 置を用いた。 実施例および比較例いずれの溶剤回収装置においても、吸着塔１内に、17kgの 活性炭素繊維で構成したガス吸着用エレメントＡを設け、そこに、フロン濃度が 2000ppmのフロンガスＲ−１１３を風量50Ｎｍ³/min で流して処理した。

【００３９】 この結果、発生した未凝縮ガスは、平均濃度が約30000ppmで容量が約500 リッ トルであった。このため、比較例においては、バッファー０２として容量が 500 リットル以上のものを必要とし、一方、実施例においては、未凝縮ガスの全量を 吸着するに必要な活性炭素繊維は900gで良く、その活性炭素繊維で構成した吸着 材３１を設けた補助吸着塔１８の容量は50リットルと非常にコンパクトな構成に できた。

【００４０】

【考案の効果】

請求項１に係る考案の溶剤回収装置によれば、凝縮器で液化しなかった未凝縮 の溶剤を含むガスを補助吸着塔に供給し、溶剤を吸着除去した後のガスを補助排 気部から排出するから、バッファーを設ける場合のように未凝縮の溶剤を含む多 量のガスを貯留せずに済み、小型の補助吸着塔を設けるだけで良く、コンパクト な構成でもって未凝縮の溶剤を含むガスを処理でき、設置スペースが小さくて済 み、実用上極めて有利である。

【００４１】 請求項２に係る考案の溶剤回収装置によれば、凝縮器で液化せずに補助吸着塔 に供給され、その補助吸着塔内の吸着材に吸着された未凝縮の溶剤を、加熱用水 蒸気の供給により脱着し、その脱着溶剤を凝縮器から比重分離器に供給して回収 するから、その吸着と脱着との繰り返しによって、飽和状態で別の吸着材と交換 するといった手間をかけずに補助吸着塔内の吸着材を再生使用でき、未凝縮の溶 剤を含むガスを容易に処理できる。

【００４２】 請求項３に係る考案の溶剤回収装置によれば、補助吸着塔内の吸着材に対する 脱着処理においても凝縮器で液化しなかった未凝縮の溶剤を含むガスを補助未凝 縮ガス回収管を通じて吸着塔内のガス吸着用エレメントに供給し、その溶剤を吸 着させるから、未凝縮の溶剤を含むガスをより良好に処理できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る溶剤回収装置の実施例を示すフロ
ーシートである。

【図２】本考案に係る溶剤回収装置の制御動作を説明す
るタイミングチャートである。

【図３】従来例の溶剤回収装置を示すフローシートであ
る。

【符号の説明】

１…吸着塔 ３…ガス供給ブロワー ４…ガス供給管 ６…凝縮器 ７…比重分離器 １２…水蒸気供給管 １４…排気部としての排気管 １７…未凝縮ガス回収管 １８…補助吸着塔 ２２…水蒸気補助供給管 ２４…補助排気部としての補助排気管 ２６…溶剤補助回収塔 ２９…補助未凝縮ガス回収管 ３１…吸着材 Ａ…ガス吸着用エレメント

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 柴田 和彦 大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪 瓦斯株式会社内

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 活性炭素繊維製のガス吸着用エレメント
   を設けた一個の吸着塔に、溶剤含有ガスを供給するガス
   供給管と、脱着した溶剤を回収する溶剤回収管とを設
   け、前記ガス吸着用エレメントを間にして、前記ガス供
   給管および溶剤回収管とは反対側に、溶剤を吸着除去し
   た後のガスを排出する排気部と溶剤を脱着するための加
   熱用水蒸気を供給する水蒸気供給管とを設け、前記溶剤
   回収管に、前記ガス吸着用エレメントから脱着した溶剤
   を含有する溶剤含有ガスを冷却して液化する凝縮器と、
   前記凝縮器から排出される液を比重分離して液状溶剤を
   回収する比重分離器とを接続した溶剤回収装置におい
   て、前記凝縮器の下流側に、その凝縮器で凝縮液化しな
   かった未凝縮の溶剤含有ガスを回収する未凝縮ガス回収
   管を接続するとともに、その未凝縮ガス回収管に、活性
   炭素材製の吸着材を設けた補助吸着塔を接続し、前記補
   助吸着塔内に設けた吸着材を間にして、前記未凝縮ガス
   回収管とは反対側に、溶剤を吸着除去した後のガスを排
   出する補助排気部を設けたことを特徴とする溶剤回収装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１の補助吸着塔内に設けた吸着材
   を間にして、未凝縮ガス回収管とは反対側に、溶剤を脱
   着するための加熱用水蒸気を供給する水蒸気補助供給管
   を設け、かつ、前記補助吸着塔の前記未凝縮ガス回収管
   の接続側と凝縮器への入口側とを溶剤補助回収管を介し
   て接続した溶剤回収装置。
3. 【請求項３】 請求項２の凝縮器の下流側において、比
   重分離器より補助未凝縮ガス回収管を分岐し、その補助
   未凝縮ガス回収管をガス供給管のガス供給ブロワーの上
   流側に接続した溶剤回収装置。