JPH04134608A - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装
置に用いられる、磁気回路を構成する軟磁性薄膜とこの
軟磁性薄膜を支持する基板とを有している磁気ヘッドに
関するものである。

〔従来の技術］ 近年、磁気記録技術の高密度化に伴って、例えばメタル
テープ等の高保磁力記録媒体を用いるようになってきて
いる。このため、磁気ヘッドに使用されるコア材料は、
高い飽和磁束密度を有するものが要求されている。

このような磁気ヘンドとしては、例えば第１１図に示す
ように、磁気記録媒体、例えば磁気テープの記録面との
摺動面２１を備える基板２４と、上記摺動面２１と隣接
する上記基板２４の一面に沿って作製される高い飽和磁
束密度を有する軟磁性金属、例えばセンダストから成る
軟磁性薄膜２２とを有し、一対の上記基板２４がそれぞ
れの軟磁性薄膜２２を対向させて、低融点ガラス２８を
用いて溶着接合してなるヘッドチップ２５が用いられて
いる。このとき、対向している各軟磁性薄膜２２の間に
は、ギャップ２３が形成されている。

そして、上記摺動面上のギャップ２３の幅は、磁気記録
媒体のトラック幅となるため、軟磁性薄膜２２の厚さ精
度や摺動面２１上の接合精度は高（決められている。

このようなヘッドチップ２５を用いた磁気へノドでは、
軟磁性薄膜２２がギャップ２３の幅方向に対して斜めに
形成されており、このため、磁気ヘンドに磁気テープを
摺動させた際、ギャップ２３を形成する軟磁性薄膜２２
が基板２４より速く摩耗するという偏摩耗が抑制されて
いる。一方、基板２４に酸化物磁性材料、例えばフェラ
イトを用いた場合、フェライトから成る基板２４と軟磁
性薄膜２２との境界がギャップ幅方向と平行になってい
ると、その境界を境にして磁気特性が不連続となってお
り、疑似ギャップとして働き磁気ヘッドの性能に悪影響
を及ぼす問題を生じることがあるが、上記構成では、そ
のような問題も回避されている。

〔発明が解決しようとする課Ｂ］ ところが、上記磁気ヘッドにおけるギャップ２３を介し
て対向している各軟磁性薄膜２２・２２については、第
１２図に示すように、各軟磁性薄膜２２・２２同士が、
磁気テープ等の摺動面にあるギヤ・ノブ２３であるフロ
ントギャップ２６では合っていても、上記摺動面の対向
面側にあるギャップ２３であるハックギャップ２７でず
れることがある。このずれの原因としては、軟磁性薄膜
２２の形成された一対の基板２４を、ギャップ２３を形
成するように位置を合わせ、加圧固定を行って接合する
溶着工程以前における各工程の加工精度に起因するもの
と考えられる。

上記のようなハックギャップ２７がずれることによる影
響は、特に軟磁性薄膜２２を支持する基板２４に、ガラ
ス等の非磁性材料を用いた場合や、狭トラツク幅、つま
りギャップ２３の幅が狭く作製されている場合に大きく
なる。

それは、対向して設けられている軟磁性薄膜２２・２２
間の相対向する面積、つまり磁束の通る磁路断面積が減
少し、実質的な磁気回路を構成する部分が小さくなるこ
とから、記録再生時における電気信号から磁界、または
磁界から電気信号への変換効率低下を生じるからである
。

したがって、基板２４に耐摩耗性等に優れる結晶化ガラ
ス等が用いられ、また、高記録密度の要求からより狭い
トラック幅が要求される磁気ヘッドにおいて、上記のよ
うなずれ等を生じることによる所定の変換効率を有する
磁気ヘッドが得られ難くなり、磁気ヘッドの歩留りの低
下を招くという問題を生じている。

〔課題を解決するための手段］ 本発明に係る磁気ヘッドは、上記課題を解決するために
、磁気記録媒体との摺動面を備える基板と、上記摺動面
と隣接するように上記基板に形成される溝と、その溝の
壁面に沿って作製される軟磁性薄膜とを有し、一対の基
板が、それぞれの軟磁性薄膜を対向させてギャップを形
成してなる磁気ヘッドにおいて、上記軟磁性薄膜の厚さ
が、摺動面端側に対向する他端側は摺動面端側より２〜
３倍厚くなるように作製されていることを特徴としてい
る。

〔作　用〕

上記の構成によれば、対向する軟磁性薄膜の相対向する
面積は、従来より増加するので、製造工程の加工精度の
バラツキによる、各軟磁性薄膜の対向面にずれを生して
も、従来より相対向する面積は確保されるので、対向す
る軟磁性薄膜により構成される磁路断面積の減少率は低
下する。

この結果、磁気回路の効率低下が抑制される。

〔実施例］ 本発明の一実施例を第１図ないし第１０図に基づいて説
明すれば、以下の通りである。

磁気ヘッドには、第１図に示すように、高飽和磁束密度
を有する、例えばセンダスト等の軟磁性磁性体から成る
厚さの異なる軟磁性薄膜２ａ・２ｂを備えるヘッドチッ
プ１０が用いられている。

次に、この磁気ヘッドの製造工程を順をおって説明する
。まず、第２図に示すように、例えば結晶化ガラス、感
光性結晶化ガラスあるいはセラミックス等の非磁性材料
や軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料により成る略直
方体形状の基板１の磁性体記録媒体、例えば磁気テープ
の記録面が摺動する基板１の摺動面１２に隣接する基板
１上に、複数の断面路■字形状の溝５を相互に平行に、
所定のピッチ寸法Ａで隣接して、かつ、上記摺動面１２
に対してほぼ垂直に形成する。この形成加工は、例えば
■型プレートを用いるダイシング加工によって行う。こ
のとき、図示していないが、溝５の長さ方向における基
板１の長さの異なる２種類の第１基板と第２基板とにそ
れぞれ溝５を上記のように作製する。

続いて、第３図に示すように、上記の第１基板１ａにお
ける各溝５の一方の溝壁面に真空蒸着あるいはスパッタ
法等により所定の膜厚、所望するトラック幅となるよう
な厚さに軟磁性薄膜２ａを作製する。

一方、第４図に示すように、上記第２基板１ｂに上記と
同様に、ただし上記軟磁性薄膜２ａの膜厚の２〜３倍の
膜厚に形成した軟磁性薄膜２ｂを作製する。なお、第２
基板１ｂは溝５の長さ方向に、第１基板１ａより約３〜
４倍長く成型されている。

その後、第５図に示すように、上記各基板１ａ・１ｂは
、それぞれの溝５が連続となるように、かつ、軟磁性薄
膜２ａを、２〜３倍の膜厚を備える軟磁性薄膜２ｂにお
けるほぼ中央の位置に、かつ長平方向に沿うように位置
合わせを行う。

この次に、第６図に示すように、それぞれの溝５を覆う
ように低融点ガラス３を充填、溶着して接合し、一つの
接合基板とする。その後、第７図に示すように、低融点
ガラス３の表面と各基板１ａ・ｌｂの各溝５間に形成さ
れる各頂点とが一致するように、低融点ガラス３を平面
状に研磨して研磨面とする。

次いで、第８図に示すように、各基板１ａ・１ｂよりな
る接合基板に、上記研磨面とその研磨面の対向面との両
面に内部巻線溝６と外部巻線溝７とを形成する。その際
、第１基板１ａにおける摺動面１２を考慮して上記各内
部巻線溝６および外部巻線溝７を作製する。さらに、上
記研磨面に所定のギャップスペースとなるように、図示
しないが５ｉ（ｈ等の非磁性ギャップ材を真空蒸着ある
いはスパッタ法によりギャップ面８を形成して基板ブロ
ック１１とする。

この後、第９図に示すように、上記の一対の基板ブロツ
ク１１の各ギヤツブ面８同士を対向させ、それぞれの軟
磁性薄膜２ａ・２ｂを直線状になるように位置を合わせ
てギャップ１３を形成し、加圧固定を行って溶着接合し
、コアブロック９を作、製する。次いで、上記のコアブ
ロック９を破線に沿って所定のピッチ寸法Ｂで切断して
第１図に示すヘッドチップ１０を得る。そして、このヘ
ッドチップ１０を図示しないベース板に接着固定後、コ
イル巻線および摺動面研磨を施して、磁気ヘッドが完成
する。

このように上記構成では、基板１ａ・１ｂが磁性体から
成る場合、対向する各基板１ａ・１ｂ、各軟磁性薄膜２
ａ・２ｂおよびコイル巻線により、一方、基板１ａ・１
ｂが非磁性体から成る場合、対向する各軟磁性薄膜２ａ
・２ｂおよびコイル巻線により、磁気回路が構成される
。

そこで、記録時には、コイル巻線に流される電気信号変
化によりギャップ１３に磁界が生じ、摺動されている磁
気記録媒体に記録され、また、再生時には、情報が記録
されている磁気記録媒体をギャップ１３上を摺動させる
ことで、その磁気記録媒体による磁界の変化に応じてコ
イル巻線に電気信号が生して再生される。

ところで、第１０図に示すように、磁気記録媒体に情報
を記録、再生するギャップとなるフロントギャップ１３
ａを厳密に合わせて一対の接合基板を接合しても、例え
ばダイシング加工等による溝形成加工時における溝形状
の不均一さ等から、バックギャップ１３ｂがずれること
がある。

従来では、上記のようなずれを生じた際、特に基板がガ
ラス等の非磁性体から成る場合、フロントギャップから
バックギャップまでほぼ均一の、トラック幅を決める幅
に軟磁性薄膜が作製されているため、対向して磁気回路
を構成している各軟磁性薄膜の相対向する面積、つまり
磁路断面積が減少する。したがって、電気信号から磁界
の生成、またはその逆の磁界からの電気信号の生成にお
ける変換効率の低下が見られ、所定の変換効率を有する
磁気ヘッドが得られないことがあり、磁気ヘッドの歩留
りが悪化していた。

しかしながら、上記の構成では、各軟磁性薄膜２ａ・２
ｂの厚さが、摺動面端側に対向する他端側は摺動面端側
より２〜３倍厚くなるように作製され、また、第２基板
１ｂは溝５の長さ方向に、−第１基板１ａより約３〜４
倍長く成型されていることから、軟磁性薄膜２ｂは軟磁
性薄膜２ａより約３〜４倍長くなっている。

このことにより、従来と同しギャップ幅を備える場合、
対向する各軟磁性薄膜２ａ・２ｂの相対向する面積は従
来より増加する。したがって、製造工程の加工精度のバ
ラツキによる各軟磁性薄膜２ａ・２ｂの対向面にずれを
生じても、従来より大きな磁路断面積を確保できること
になる。特に、基板１ａ・１ｂが結晶化ガラス等の非磁
性体から成るとき、磁気ヘンド内の磁路が軟磁性薄膜２
ａ・２ｂ内だけを通るため、その大きな磁路断面積を確
保できる効果はより大きくなる。

このことから、磁気ヘッドにおける電気信号と磁界との
相互変換の効率低下は抑制される。

したがって、たとえ加工精度の劣化等が生じても、所定
の変換効率を有する磁気ヘンドが得ることができ、磁気
ヘントの歩留りの向上を図ることができる。

〔発明の効果］ 本発明に係る磁気ヘンドは、以上のように、磁気記録媒
体との摺動面を備える基板と、上記摺動面と隣接するよ
うに上記基板に形成される溝と、その溝の壁面に沿って
作製される軟磁性薄膜とを有し、一対の基板が、それぞ
れの軟磁性薄膜を対向させてギャップを形成してなる磁
気ヘッドにおいて、上記軟磁性薄膜の厚さが、摺動面端
側に対向する他端側は摺動面端側より厚くなるように作
製されている構成である。

これにより、対向する各軟磁性薄膜の相対向する面積は
、従来より増加するので、製造工程の加工精度のバラツ
キによる軟磁性薄膜のずれを生しても、従来より大きな
磁気回路が確保される。

したがって、対向する軟磁性薄膜により構成される磁気
回路の効率低下は抑制される。

この結果、得られる磁気ヘッドの歩留りの向上を図るこ
とかできるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第１０図は本発明の一実施例を示すもので
ある。 第１図は磁気ヘッドの斜視図である。 第２図は溝の形成された基板の斜視図である。 第３図は溝の壁面に軟磁性薄膜を作製した基板の正面図
である。 第４図は溝の壁面に第３図における軟磁性薄膜の厚さよ
り厚く軟磁性薄膜を作製した基板の正面図である。 第５図は第３図および第４図の基板に形成されているそ
れぞれの溝を連続するようにほぼ合わせて接合した接合
基板の斜視図である。 第６図は低融点ガラスを充填した基板の正面図である。 第７図は低融点ガラスを研磨した基板の正面図である。 第８図は基板ブロックの斜視図である。 第９図は一対の基板ブロックを接合した基板ブロツクの
斜視図である。 第１０回は磁気へ、ドにおいて対向して設けられている
一対の軟磁性薄膜を示す説明図である。 第１１図および第１２図は従来例を示すものである。 第１１図は磁気ヘッドの斜視図である。 第１２図は磁気ヘットにおいて対向して設けられている
一対の軟磁性薄膜を示す説明図である。 １・１ａ・１ｂは基板、２ａ・２ｂは軟磁性薄膜、５は
溝、１２は摺動面である。 特許出願人　　　　　シャープ　゛株式会社第 図 第 図 ｂ 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気記録媒体との摺動面を備える基板と、上記摺動
   面と隣接するように上記基板に形成される溝と、この溝
   の壁面に沿って作製される軟磁性薄膜とを有し、一対の
   上記基板が、それぞれの軟磁性薄膜を対向させてギャッ
   プを形成してなる磁気ヘッドにおいて、 上記軟磁性薄膜の厚さが、摺動面端側に対向する他端側
   は摺動面端側より厚くなるように作製されていることを
   特徴とする磁気ヘッド。