JPH04133441A - キャピラリ - Google Patents

キャピラリ

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Publication number
JPH04133441A
JPH04133441A JP2255625A JP25562590A JPH04133441A JP H04133441 A JPH04133441 A JP H04133441A JP 2255625 A JP2255625 A JP 2255625A JP 25562590 A JP25562590 A JP 25562590A JP H04133441 A JPH04133441 A JP H04133441A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capillary
bonding wire
bonding
wire insertion
hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP2255625A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Gomi
五味 聡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2255625A priority Critical patent/JPH04133441A/ja
Publication of JPH04133441A publication Critical patent/JPH04133441A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、キャピラリに関し、特にワイヤーボンディン
グ装置用のキャピラリに関する。
〔従来の技術〕
従来のキャピラリは、第3図(a)、(b)に示すよう
に、ボンディング線挿入口側の端面3が、キャピラリ1
の中心軸4に対し90°の角度を有して設けられていた
又、ボンディング線挿入口2の形状は円形になっており
、直径が30μmのボンディング線に使用するキャピラ
リ1では、ボンディング線挿入口2の直径が約70μm
であった。
第4図はキャピラリをボンディング装置に装着した状態
を示す模式図である。
第4図に示すように、キャピラリ1はボンディング装置
のホーン10に装着され、ワイヤースプール6より繰出
されたボンディング線7がテンションクランパ8及びワ
イヤークランパ9を経由してキャピラリ1に挿入され、
ボンディング作業が行なわれる。
ここで、ボンディング線挿入口はキャピラリ1の中心軸
に対して垂直になっているため目視が困難であった。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のキャピラリは、ボンディング線挿入口が
非常に狭く、又、ワイヤーボンディング装置の構造上キ
ャピラリの真上にワイヤークランパ等があるため、ボン
ディング線挿入口が直接目視しに<<、ワイヤーボンデ
ィングの作業に際してキャピラリにボンディング線を挿
入するのが、困難であるという欠点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のキャピラリは、ボンディング線挿入口側の端面
がキャピラリの中心軸に対して傾斜した角度を有し且つ
ボンディング線挿入口が楕円の形状を有して構成される
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図(a)〜(c)は本発明の第1の実施例を示す平
面図及び正面図並びに側面図である。
第1図(a)〜(c)に示すように、ボンディング線挿
入口2を有するキャピラリlのボンディング線挿入側の
端面3がキャピラリ1の中心軸4に対して約45°の傾
斜を有して形成されており、従来例の90゛の場合に比
べ、ボンディング線挿入口2の面積を約1,4倍にでき
るため、ボンディング線をキャピラリlに容易に挿入出
来る。
又、キャピラリ1をホンディング装置に取り付けた場合
にも端面3が傾斜しているためにキャピラリ1にボンデ
ィング線を通す際にもボンディング線挿入口2が、容易
に目視できる利点がある。
第2図(a)〜(c)は本発明の第2の実施例を示す平
面図及び正面図並びに側面図である。
第2図(a)〜(c)に示すように、ボンディング線挿
入口2の近傍を盃状に広げた以外は第1の実施例と同様
の構成を有しており、ボンディング線の挿入及び目視が
更に容易になる利点がある。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、キャピラリのボンディン
グ線挿入側の端面をキャピラリの中心軸に対して鋭角に
なるように傾斜させて設けることにより、ボンディング
線挿入口の面積を大きくでき、キャピラリにボンディン
グ線を通しやすくなり、又、ボンディング装置に装着し
た場合に目視が容易になり作業性を向上させるという効
果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)〜(c)は本発明の第1の実施例を示す平
面図及び正面国益ひに側面図、第2図(a)〜(c)は
本発明の第2の実施例を示す平面図及び正面図並びに側
面図、第3図(a)(b)は従来のキャピラリの一例を
示す平面図及びA−A’線断面図、第4図は従来のキャ
ピラリをワイヤボンディング装置に装着した状態を示す
模式図である。 1・・・キャピラリ、2・・・ボンディング線挿入口、
3・・・端面、4・・・中心軸、6・・・ワイヤースプ
ール、7・・・ボンディング線、8・・・テンションク
ランパ、9・・・ワイヤークランパ、10・・・ホーン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ワイヤーボンディング装置用のキャピラリにおいて、
    前記キャピラリのボンディング線挿入口側の端面がキャ
    ピラリの中心軸に対して傾斜した角度を有し且つボンデ
    ィング線挿入口が楕円の形状を有することを特徴とする
    キャピラリ。
JP2255625A 1990-09-26 1990-09-26 キャピラリ Pending JPH04133441A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2255625A JPH04133441A (ja) 1990-09-26 1990-09-26 キャピラリ

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2255625A JPH04133441A (ja) 1990-09-26 1990-09-26 キャピラリ

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JPH04133441A true JPH04133441A (ja) 1992-05-07

Family

ID=17281353

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2255625A Pending JPH04133441A (ja) 1990-09-26 1990-09-26 キャピラリ

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