JPS63309060A - 一次元固体撮像装置 - Google Patents

一次元固体撮像装置

Info

Publication number
JPS63309060A
JPS63309060A JP62145842A JP14584287A JPS63309060A JP S63309060 A JPS63309060 A JP S63309060A JP 62145842 A JP62145842 A JP 62145842A JP 14584287 A JP14584287 A JP 14584287A JP S63309060 A JPS63309060 A JP S63309060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
scanning direction
state imaging
state image
edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62145842A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Kaneda
兼田 修
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP62145842A priority Critical patent/JPS63309060A/ja
Publication of JPS63309060A publication Critical patent/JPS63309060A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Facsimile Heads (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分!l!f] この発明は、−次元周体撮像装置に関し、特に1上2数
個の固体撮像素子が素子の主走査方向に沿った方向に並
んで形成されている一次元固体撮像装置の製造において
、各固体撮像素子を基板に取り付ける技術に関するもの
である。
[従来の技術] 第3図は、たとえば、特開昭61−80947号公報に
示された従来の一次元固体撮像装置を示す立面図である
。図において、1aは固体撮像索子、2は固体撮像素子
の突き合わせ部、3はセンサ基板、6はセンサ基板3の
中心線である。ここで、Aは主走査方向、Bは副走査方
向を示す。センサ基板3上に直方体の固体撮像素子1a
が矢印Aで示される主走査方向に沿った方向にセンサ基
板の中心線6−1−に=luんで形成されている。
第3図のようにセンサ基板31二に既に貼り付けられて
形成されている固体撮像素子1aを取り替える必要が生
じたときは、固体撮像素子1aをセンサ基板3に対し垂
直方向に引き」二げて取り去り、新しい固体撮像素子1
aをセンサ基板3に対して垂直な方向から挿入する。
[発明が解決しようとする問題点コ 上述のように従来の一次元固体撮像装置においては、複
数個の素子が10μm程度の間隔をもって突き合わせら
れて、直線状に並べられている。
基板に貼り付けられ、形成された状態から素子を取り替
えるときに、取り替えられるべき素子の隣りの素子に損
傷を与えずに作業を行なうためには素子の姿勢を三次元
的に制御して行なう必要があった。そのため、固体撮像
素子の取り替え作業における位置決めが困難であるとい
う問題点があった。
そこで、この発明は、」ユ記のような問題点を解消する
ためになされたもので、基板と同一平面−にで素子を剥
離して取り除く作業を行なうことができるとともに、新
しい素子を挿入するときも同一平面上で二次元的に素子
の位置決めができる一次元固体撮像装置を得ることを目
的とする。
[問題点を解決するための手段コ この発明に従った一次元固体撮像装置は、複数個の固体
撮像素子が素子の主走査方向に沿った方向に並んで形成
されている一次元固体撮像装置において、その固体撮像
索子の形状は素子の主走査方向に交差する端縁が素子の
副走査方向に対して所定の角度をなす形状を有すること
を特徴とするものである。
[作用] この発明における一次元固体撮像装置を構成する固体撮
像索子は主走査方向に交差する端縁が副走査方向に対し
て所定の角度をもっている。そのため、このような形状
の素子を素子中心を回転中心として基板上で回転させる
と、回転させられる素子の端縁がその素子と隣接する素
子の端縁と接触せずに、その素子の端縁を素子の突き合
わせ部から離れさせることができる。
[発明の実施例] 第1図はこの発明の一実施例である一次元固体撮像装置
を示す立面図、第2図は第1図で示される一次元固体撮
像装置の斜視図である。これらの図は簡単にするため、
3チツプから)b成される一次元固体撮像装置を示して
いる。図において、1は固体撮像素子、2は固体撮像索
子の突き合わせ部、3はセンサ基板、4は素子の回転方
向、5は素子の回転中心である素子中心、6はセンサ基
板3の中心線である。ここで、Aは主走査方向、Bは副
走査方向を示す。今、固体撮像索子1をセンサ基板3に
貼り付けて形成した後に装置不良が発見され、中央の固
体撮像素子1を新しい固体撮像素子1と交換する必要が
生じたとする。不良素子の交換は、以下のようにして行
なうことができる。
まず、中央の固体撮像素子1を第1図、第2図において
4で示される方向に素子中心5を回転中心として回転さ
せれば、隣りの素子に接触することなく、素子の突合わ
せ部2から素子の主走査方向Aに交差する端縁を離れさ
せることができる。その後、この固体撮像素子1をセン
サ基板3に対して垂直な方向に引き上げることによって
取り去ることができる。逆に、新しい素子を所定の位置
に挿入するときは、新しい素子を、元の素子が垂直方向
に引き上げられる前の状態でセンサ基板3上に置き、新
しい素子の中心をセンサ基板3上にある元の素子の素子
中心5に合わせた後、その素子の中心を回転中心として
4で示される方向と反対方向に、新しい素子の中心線が
センサ基板の中心線6に合致するまで、新しい素子を回
転させればよい。
第1図において突き合わせ部2の間隔は10μm程度で
ある。固体撮像素子1は主走査方向Aに交差する端縁が
副走査方向Bに対して所定の角度θをもっている。今、
θを固体撮像素子の主走査方向Aに交差する端縁がその
素子の副走査方向Bに対してなす角度、■を固体撮像素
子の素子中心長、Wを固体撮像索子の素子幅とする。θ
が次の関係式を満足するように素子の形状が決定される
と、第1図において4で示される方向に素子を回転させ
ても、隣りの素子と接触することがない好ましい索子端
縁が、上記のような非常に狭い隣接素子間隔を考慮する
ことなく fUられる。
θ≧tan″+[fαバシ/2) −w/2))  −
41/2]・・・ (a) 第4図は上記関係式(a)を説明するための図であり、
1個の固体撮像素子の端縁部を示す立面図である。図に
おいて、kjehmは固体撮像素子1の外周で、jeh
は隣りの素子との境界をなす端縁を示す直線、すなわち
素子の主走査方向Aに交差する端縁を示す直線、kjS
hmは素子の主走査方向Aに沿う端縁を示す直線である
。0は素子中心を示す点で第1図の5に対応する点、7
丁は素子中心0を通り、主走査方向Aに平行な直線で、
素子中心0と直線jehを等分する点eとの距離、すな
わち素子中心長αを示し、7王は素子の端縁を示す直線
が交差する点りより直線7石へ下ろした垂線で、素子の
副走査方向Bと平行であり、その長さは素子幅Wの1/
2である。また、enは素子中心0を回転中心として素
子を回転させたときの素子端縁を示す直線j e h 
J:の点eの端縁を示す直線の交差点りの軌跡を示す円
弧である。
角度θは第4図において直線ihと素子端縁を示す1−
1″1線j e hとのなす角度θ0として描かれる。
今、図において円弧hp上の点りで接する線と一致する
ように素子端縁を示す直線jehを描くと、素子端縁を
示す直線の交差点11と素子中心0とを結んだ直線宜と
主走査方向Aに平行な直線iとのなす角度は角度θ0と
等しくなる。このとき、円弧の軌跡en、hpから明ら
かなように、素子を回転させても索子端縁(〒71)が
隣りの素子に接触することなく、素子端縁を示す直線の
交差点h、索子端縁を示す直線jehを等分する点eが
、回転させられる素子の内方に向かう軌跡を描くことが
できる。
したがって、素子中心0を回転中心として素子を回転さ
せたときに素子端縁(jeh)が隣りの素子端縁と接触
しないための条件は、角度θが、hの軌跡として描かれ
る円弧hp上の点りで接する線と索子端縁を示す直線j
ehが一致するときの角度、すなわち第4図で示される
ときの角度θ0と等しいか、あるいは角度θ0より大き
いときである。すなわち、θ≧00のときである。
角度θ0は以下のようにして導かれる。第4図において
索子端縁を示ず直線jehと、素子端縁を示す直線の交
差点りの軌跡として描かれる円弧eihとΔhioは相
似の関係にあることより、ei/hi−mbiloi 
−janθ0τゴー下ゴtallθ0.  o i −
kx i  (1/lanθ0)Q−ei+oi−hi
(tanθ(、+17tanθ0)t aIfθ0につ
いて解くと、 tanθO−1(Q、/bi)±J了u/hl)” =
41 / 2ここで、θ0の値は小さい方を採用するの
で、tanθo −1(Q、 /hi) −1丁丁/h
i)’ −41/ 2Do  −tan−’  [[1
1/(v/2) −−fTT7ζ;フ’2)l   ”
   −41/2]よって、θが式(a)を満足するよ
うに選ばれるとき、回転させても隣りの素子と接触する
ことがない、素子の主走査方向に交差する端縁の形状を
隣接する素子間隔に関係なく、決定することができる。
たとえば、l−30mm、w−2mmのときθは1.9
1°以−にであればよい。
[発明の効果] 以1.のように、この発明によれば、素子の交換のとき
に必要な素子と基板との位置決めは、素子の回転中心を
元の素子の中心に合わせることと、基板の中心線と新し
い素子の中心線が合致するまで新しい素子を回転させる
ことによって行なわれるので、基板と同一平面上で行な
うことができる。
したがって、素子交換時において三次元的な、基板と新
しい素子との位置決めを行なう必要がなくなるとともに
、隣りの素子に損傷を与えることなく容易に素子交換作
業を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一次元固体撮像装置の立面図、第2
図は第1図でボされる一次元固体撮像装置の斜視図、第
3図は従来の一次元固体撮像装置の立面図、第4図はこ
の発明に従った一次元固体撮像装置を構成する固体撮像
素子の好ましい形状を規定する条件を説明するための図
である。 図において、1,1aは固体撮像素子、θは所定の角度
、Aは主走査方向を示す矢印、Bは副走査方向を示す矢
印である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数個の固体撮像素子が素子の主走査方向に沿っ
    た方向に並んで形成されている一次元固体撮像装置にお
    いて、 前記固体撮像素子の形状は、素子の主走査方向に交差す
    る端縁が素子の副走査方向に対して所定の角度をなす形
    状を有することを特徴とする一次元固体撮像装置。
  2. (2)前記所定の角度(θ)は、以下の式を満足するよ
    うに選ばれる、特許請求の範囲第1項記載の一次元固体
    撮像装置。 θ≧tan^−^1[{l/(w/2)−√{l/(w
    /2)}^2−4}/2]ただし、 θ:固体撮像素子の主走査方向に交差する端縁がその素
    子の副走査方向に対してなす角度 l:固体撮像素子の素子中心長 w:固体撮像素子の素子幅
JP62145842A 1987-06-10 1987-06-10 一次元固体撮像装置 Pending JPS63309060A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62145842A JPS63309060A (ja) 1987-06-10 1987-06-10 一次元固体撮像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62145842A JPS63309060A (ja) 1987-06-10 1987-06-10 一次元固体撮像装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63309060A true JPS63309060A (ja) 1988-12-16

Family

ID=15394365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62145842A Pending JPS63309060A (ja) 1987-06-10 1987-06-10 一次元固体撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63309060A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5716889A (en) Method of arranging alignment marks
TWI488243B (zh) Threading device and joining method
WO2020062423A1 (zh) 一种曲面阵列基板及其制备方法
CN104520058B (zh) 用于分开具有焊接部段的卷绕式金属软管的方法和装置
JP2019153419A (ja) 電線の導体の接合方法および電線
JPS63309060A (ja) 一次元固体撮像装置
JP4449088B2 (ja) 半導体ウエハーおよびその製造方法
JPH03211784A (ja) プリント基板
JP3183194B2 (ja) フラットアパーチャーグリル、アパーチャーグリル及びそのペリフェリトリミング方法、並びに陰極線管
JP2740196B2 (ja) 半導体ウエハ
JPH01112729A (ja) 電子ビーム露光方法
JPH11329237A (ja) 鞍型コイル製造装置
JPH01100989A (ja) セラミック基板の構造
JPH079376Y2 (ja) (100)面異方性エッチング加工マスク
JPH04116137U (ja) 半導体製造装置
JP2001111016A (ja) 固体撮像装置
JP2516871Y2 (ja) ペレットボンディング装置
JPH0325940A (ja) 半導体装置
JPH0534652U (ja) 蛍光表示管
JPH0528675Y2 (ja)
JPS6254916A (ja) 半導体製造装置
JPH0563126A (ja) 半導体装置用リードフレーム及び半導体装置の製造方法
JPH0677217U (ja) ピン端子付きボビン
JP2004281336A (ja) カラー陰極線管用色選別電極構体及びその製造方法並びに製造装置
JPH05243343A (ja) プローブカード