JPH0325940A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH0325940A JPH0325940A JP16153789A JP16153789A JPH0325940A JP H0325940 A JPH0325940 A JP H0325940A JP 16153789 A JP16153789 A JP 16153789A JP 16153789 A JP16153789 A JP 16153789A JP H0325940 A JPH0325940 A JP H0325940A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead wires
- semiconductor device
- parts
- obtuse angle
- wiring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置の配線形状に関するもので，ちる
。
。
従来、半導体装置の千鳥状に対向する金属配線５の先端
の２隅の形状は第３図に示すように端部が鈍角な形状６
となっていた。
の２隅の形状は第３図に示すように端部が鈍角な形状６
となっていた。
上述した従来の半導体装置の配線形状では千鳥状に対向
した配線構造を形成した場合、素子の縮少化を図る上で
対向する配線の鈍角な部分において配線間隔が狭くなり
パターン形状におけるパターンショートや解像度の限界
に近付き、パターン間の分離が困難となり、微細化，高
密度化への障害となっていた。
した配線構造を形成した場合、素子の縮少化を図る上で
対向する配線の鈍角な部分において配線間隔が狭くなり
パターン形状におけるパターンショートや解像度の限界
に近付き、パターン間の分離が困難となり、微細化，高
密度化への障害となっていた。
この発明の目的は、パターンの微細化，高密度化が可能
で、かつ、歩留り，品質低下のない半導体装詮の配線形
状を提供することである。
で、かつ、歩留り，品質低下のない半導体装詮の配線形
状を提供することである。
本発明の半導体装置は、鈍角な部分が千，（．；状に対
向する配線形状を持つ半導体装置において、この対向す
る配線先端の２隅の鈍角な部分が而１■リされている形
状を有している。
向する配線形状を持つ半導体装置において、この対向す
る配線先端の２隅の鈍角な部分が而１■リされている形
状を有している。
次に本発明について図面を用いて説明する。第１図は本
発明の第１−の実施例を説明するための平面図である。
発明の第１−の実施例を説明するための平面図である。
木￥施例イ゛１４一導体装５ｔの配線形状は第１図に示
すように千鳥状に角が対向する配線１の先端部の鈍角な
部分が面取りされた部分２となっており配線１の形状は
台形状とされている。このような構戒を有するための配
線間距離をパターンショートを生じさせずに第１図の距
Ｎ９だけ近づけることができ半導体装置の微細化，高密
度化を図ることができる。
すように千鳥状に角が対向する配線１の先端部の鈍角な
部分が面取りされた部分２となっており配線１の形状は
台形状とされている。このような構戒を有するための配
線間距離をパターンショートを生じさせずに第１図の距
Ｎ９だけ近づけることができ半導体装置の微細化，高密
度化を図ることができる。
第２図は本発明の第２の実施例の平面図であり、前述し
た第１の実施例と同様に鈍角な部分が千鳥状に対向する
配線３に対し、配線３の内側に円弧を描く様に面取りさ
れた部分４を有している。この実施例では面取りされた
部分４を有した形状であるため、対向する配線３を更に
近づける事が可能であり、高密度化に適している。
た第１の実施例と同様に鈍角な部分が千鳥状に対向する
配線３に対し、配線３の内側に円弧を描く様に面取りさ
れた部分４を有している。この実施例では面取りされた
部分４を有した形状であるため、対向する配線３を更に
近づける事が可能であり、高密度化に適している。
以上説明したように本発明は、配線の千鳥状に対向する
鈍角な部分が面取りされているので配線間距離を第１図
の９に示す距離だけ近づけることが可能であり、又、従
来構造で発生していた千鳥状に対向する鈍角な部分にお
けるパターンショートも、鈍角な２隅を面取りすること
で十分な配線間隔を保てることができ、歩留，品質を低
下させることなく半導体装置の微細化・高密度化を図る
ことが可能である。
鈍角な部分が面取りされているので配線間距離を第１図
の９に示す距離だけ近づけることが可能であり、又、従
来構造で発生していた千鳥状に対向する鈍角な部分にお
けるパターンショートも、鈍角な２隅を面取りすること
で十分な配線間隔を保てることができ、歩留，品質を低
下させることなく半導体装置の微細化・高密度化を図る
ことが可能である。
第ｌ図は本発明の第１の実施例を説明するための平面図
、第２図は本発明の第２の実施例を説明するための平面
図、第３図は従来技術を説明するための平面図である。 １，３．５・・・配線、２．４・・・面取りされた部分
、６・・・鈍角な部分、７・・・従来技術でのパターン
ショート誘発点、８・・・本発明での対向する部分、９
・・・本発明での近づけられる距離。
、第２図は本発明の第２の実施例を説明するための平面
図、第３図は従来技術を説明するための平面図である。 １，３．５・・・配線、２．４・・・面取りされた部分
、６・・・鈍角な部分、７・・・従来技術でのパターン
ショート誘発点、８・・・本発明での対向する部分、９
・・・本発明での近づけられる距離。
Claims (1)
- 半導体基板上の素子分離された各トランジスタ間を金属
配線形成により結合させる構造を持つ半導体装置におい
て、千鳥状に対向する金属配線先端の２隅の部分が面取
りされた形状を有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16153789A JPH0325940A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16153789A JPH0325940A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325940A true JPH0325940A (ja) | 1991-02-04 |
Family
ID=15736984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16153789A Pending JPH0325940A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325940A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016072269A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及び発光装置用基板 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61245549A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-10-31 | Hitachi Ltd | 多層配線構造体 |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP16153789A patent/JPH0325940A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61245549A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-10-31 | Hitachi Ltd | 多層配線構造体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016072269A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置及び発光装置用基板 |
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